DE4211258A1 - Plasmaadressierte fluessigkristallanzeige und herstellungsverfahren fuer diese - Google Patents

Plasmaadressierte fluessigkristallanzeige und herstellungsverfahren fuer diese

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige (LCD) und ein Herstellungsverfahren für diese, und richtet sich im besonderen auf eine plasmaa­ dressierte LCD mit verbesserter Plasmaadressiereinheit und ihr Herstellungsverfahren.
Zu den verschiedenen Arten von Anzeigen gehören eine Leuchtstoffanzeigeröhre, die einen langsamen Elektronen­ strahl verwendet, eine Plasmaanzeige, die eine Gasentladung verwendet, eine Elektrolumineszenz-(EL-)Anzeige, die den Elektrolumineszenzeffekt verwendet, eine elektrooptische Flüssigkristallanzeige (LCD) sowie eine traditionelle Katho­ denstrahlröhre, die einen schnellen Elektronenstrahl ver­ wendet. Diese verschiedenen Anzeigen sind jeweils gemäß ihren Eigenschaften angepaßt, da sie verschiedene Funktionen und Aufbauten haben. Ihr gemeinsamer Zweck ist die Sicht­ barmachung eines elektrischen Bildes oder Datensignals. Die Anzeigen sind auf ihren jeweiligen Gebieten hinsichtlich ihres Aufbaus und ihrer Funktion weiterentwickelt worden. Eine jüngere Matrix-Anzeige mit einem zusammengesetzten Aufbau aus einer Plasmaentladungsvorrichtung und einer elek­ trooptischen Vorrichtung, d. h. eine LCD, ist in US 48 96 149 beschrieben.
Die Anzeige soll einzelne Zeilen mittels einer Plasma­ entladung adressieren, die in Fig. 3 gezeigt ist. Gemäß Fig. 3 ist die Anzeige so aufgebaut, daß ein Flüssigkristallver­ schluß 10, in welchem eine Anzahl von streifigen Datenelek­ troden 14 parallel angeordnet sind, eine Plasmaadressier­ einheit 20 überlagert, in welcher eine Anzahl von Abtastlei­ tungen 21 unter rechtem Winkel zu den streifigen Datenelek­ troden 14 des Flüssigkristallverschlusses 10 angeordnet sind. Ein Erzeuger für von hinten einfallendes Licht, der üblicherweise bei einer EL-Anzeige vorhanden ist, ist auf der Rückseite der Plasmaadressiereinheit 20 vorgesehen.
Gemäß Fig. 4 weist der Flüssigkristallverschluß 10 ein erstes und zweites transparentes Substrat 12 und 13 auf, zwischen welchen Flüssigkristall 16 eingefüllt ist. Die streifigen Datenelektroden 14 sind an der Innenseite des ersten Substrats 12 ausgebildet. Von diesen beiden Substra­ ten hat das zweite Substrat 13 eine verhältnismäßig geringe Dicke von 50 µm und spielt eine wichtige Rolle bei der Ori­ entierung des Flüssigkristalls. Die Plasmaadressiereinheit 20 weist eine Anzahl von Rillen 24 auf, die Abtastzeilen 21 auf einem dritten Substrat 25 senkrecht zu den streifigen Datenelektroden bilden. Ein Paar von Elektroden 22 und 23 ist parallel zu beiden Seiten des Bodens einer jeden Rille 24 vorgesehen. Bei dieser Konfiguration ist das dritte Sub­ strat 25 mit dem zweiten Substrat 13 des Flüssigkristallver­ schlusses 10 verklebt, so daß die Rillen 24 einen geschlos­ senen Entladungsraum bilden, in welchen Entladungsgas einge­ füllt ist.
Beim Flüssigkristallverschluß 10 wird, da ein Daten­ signal auf eine ausgewählte Datenelektrode 14 gegeben wird, ein Potential zur Aktivierung des Flüssigkristalls längs einer ausgewählten Datenelektrode 14 ausgebildet. In der Plasmaadressiereinheit 20 wird gemäß dem ionisierten Zustand einer jeden Entladungszeile als Folge der Plasmaentladung einer jeden sequentiell ausgewählten Plasmaabtastzeile 21 ein positives Potential zur Aktivierung des Flüssigkristalls 16 linear längs der Abtastleitung 21 auf dem mit dem Flüs­ sigkristall in Berührung stehenden zweiten Substrat 13 aus­ gebildet. Dementsprechend wird eine Potentialdifferenz zwi­ schen einer ausgewählten Datenelektrode 14 des Flüssigkri­ stallverschlusses 10 und der Abtastzeile 21 der Plasmaadres­ siereinheit 20 ausgebildet. Flüssigkristall, der am Über­ kreuzungspunkt angeordnet ist, wird durch die dort herr­ schende Potentialdifferenz aktiviert und orientiert, was einen gepunkteten Lichtdurchgangsbereich bildet, durch wel­ chen Licht aus dem rückwärtigen Hintergrundlichterzeuger verläuft.
Mit anderen Worten, bei der Plasmaadressiereinheit 20 tritt, wenn ein bestimmtes Potential an ein Paar von par­ allelen Elektroden 22 und 23 einer sequentiell ausgewählten Abtastzeile angelegt wird, eine lineare Gleichspannungsent­ ladung zwischen den parallelen Elektroden 22 und 23 auf. Dadurch wird ein lineares Potential längs der Abtastzeile 21 auf dem dünneren, zweiten Substrat 13 ausgebildet. Wenn das lineare Potential auf dem zweiten Substrat 13 durch die lineare Entladung auf der durch das Abtastsignal ausgewähl­ ten Abtastzeile 21 ausgebildet ist, wird ein Datensignal ausgewählt auf die Datenelektrode 14 des oberen Flüssigkri­ stallverschlusses 10 gegeben. Wenn Flüssigkristall dann durch die Potentialdifferenz an der Überschneidung der aus­ gewählten Datenelektrode 14 und der ausgewählten und ent­ ladenden Abtastzeile 21 aktiviert und lokal umorientiert wird, geht Hintergrundlicht einen bestimmten Bildpunkt aus­ bildend durch.
Die Anzeige ist eine besondere Flachplattenanzeige, welche den Flüssigkristall durch die Datenelektroden und Abtastzeilen ausrichtet. Ihr Nachteil besteht darin, daß die Herstellung der Anzeige sehr umfangreich ist, da, wie oben beschrieben, die Adressiereinheit als strukturelle Grundlage auf dem dritten Substrat ausgebildete Rillen 24 und ein Paar von auf dem Boden des dritten Substrats 25 ausgebildete Elektroden 22 und 23 erfordert. Mit anderen Worten, die Ausbildung der Rillen 24 auf dem dritten Substrat 25 erfor­ dert einen komplizierten Ätzprozeß. Insbesondere die Aus­ bildung eines Paares von Elektroden auf dem Boden einer jeden Rille erfordert mehr als ein einfaches Siebdruckver­ fahren; ein photolithographisches Verfahren einschließlich einer Metallabscheidung ist erforderlich. Eine solche Tech­ nik zur Ausbildung einer Rille auf Glas, gefolgt von der Ausbildung einer Elektrode darauf, ist sehr kompliziert, insbesondere fur eine Anzeige mit großem Bildschirm.
Aufgabe der Erfindung ist daher die Schaffung einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige, welche eine groß­ flächige Anzeige erlaubt und die Herstellung erleichtert.
Aufgabe der Erfindung ist auch die Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung einer solchen plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige.
Hierzu schlägt die Erfindung eine plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige vor, welche ein erstes und zweites Substrat mit dazwischen eingefülltem Flüssigkristall, eine Anzahl von auf der Innenseite des ersten Substrats ausgebil­ deten streifigen Datenelektroden, ein der Außenseite des zweiten Substrats gegenüberliegendes drittes Substrat, eine Anzahl von streifigen ersten Elektroden, die auf der Innen­ seite des dritten Substrats dem zweiten Substrat gegenüber­ liegend unter rechtem Winkel zu den Datenelektroden angeord­ net sind, eine Barriere vorgegebener Höhe zwischen den er­ sten Elektroden und parallel dazu, und eine zweite Elektrode in Stapelung mit jeder Barriere aufweist, wobei die Flanken der zweiten Elektrode den benachbart zu einer entsprechenden Barriere angeordneten ersten Elektroden zugekehrt sind.
In einer Ausführungsform von LCD ist die zweite Elek­ trode auf einer mittleren Höhe der Barriere in dieser an­ geordnet, wobei die Barriere in einen oberen und einen unte­ ren Teil unterteilt ist. In einer weiteren Ausführungsform ist die zweite Elektrode oben auf der Barriere vorgesehen und berührt den Boden des zweiten Substrats, so daß die Barriere und die zweite Elektrode als zwei Körper aufein­ ander geschichtet sind.
Ferner sind, wenn die zweite Elektrode in der Mitte der Barriere ausgebildet ist, eine oder beide Flanken der zwei­ ten Elektrode freigelegt.
Bei einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige mit einem ersten und zweiten Substrat, zwischen welchen Flüssig­ kristall eingefüllt ist, einer Anzahl von streifigen Daten­ elektroden, die an der Innenseite des ersten Substrats aus­ gebildet sind, einem der Außenseite des zweiten Substrats gegenüberliegenden dritten Substrat, einer Anzahl von strei­ figen ersten Elektroden, die parallel auf der Innenseite des dritten Substrats dem zweiten Substrat gegenüberliegend unter rechten Winkeln zu den Datenelektroden angeordnet sind, einer Barriere einer vorgegebenen Höhe, die zwischen den ersten Elektroden und parallel zu diesen angeordnet ist, und einer auf jede Barriere aufgestapelten zweiten Elektro­ de, wobei die Flanken der zweiten Elektrode den ersten Elek­ troden zugekehrt sind, die benachbart zu einer entsprechen­ den Barriere angeordnet sind, umfaßt ein Herstellungsver­ fahren derselben die Schritte des parallelen Ausbildens der ersten Elektroden auf dem dritten Substrat, des Ausbildens der Barriere in einer vorgegebenen Höhe, an der die zweite Elektrode aufgeschichtet wird, zwischen den ersten Elektro­ den, des Verklebens von drittem Substrat und zweitem Sub­ strat mit Paste einer bestimmten Dicke unter Zwischenlage der Barriere, des Anbringens des ersten Substrats, auf dem die Datenelektroden vorab ausgebildet sind, oben auf dem zweiten Substrats getrennt um einen vorgegebenen Abstand, und des Versiegelns nach dem Einfüllen von Flüssigkristall von erstem und zweitem Substrat.
Bei einer Ausführungsform des Verfahrens zur Herstel­ lung der plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige wird im Schritt des Ausbildens der Barriere, auf die die zweite Elektrode aufgestapelt ist, die Barriere so aufgebaut, daß ein unterer Teil der Barriere ausgebildet wird, die zweite Elektrode darauf ausgebildet wird und ein oberer Teil der Barriere auf der zweiten Elektrode ausgebildet wird.
Bei einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemä­ ßen Verfahrens wird im Schritt des Ausbildens der Barriere, auf die die zweite Elektrode aufgeschichtet ist, nach dem vollständigen Ausbilden der Barriere die zweite Elektrode oben auf der Barriere ausgebildet.
Im Verfahrensschritt des Verklebens des zweiten und dritten Substrats wird nach dem Beschichten der Oberseite der Barriere mit Paste in einer vorgegebenen Dicke das zwei­ te Substrat auf der Barriere fixiert und nach einem bestimm­ ten Prozeß gebrannt.
Im Schritt des Brennens der Paste wird, um der Paste stoßabsorbierende Eigenschaften zu verleihen, die Paste auf eine Temperatur erwärmt, wo die Paste in Form eines Gels vorliegt.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben.
Auf diesen zeigt
Fig. 1 eine schematische perspektivische Ansicht einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige gemäß der Erfin­ dung,
Fig. 2 eine schematische Schnittansicht der plasmaa­ dressierten Flüssigkristallanzeige gemäß der Erfindung,
Fig. 3 eine Schnittansicht einer weiteren Ausführungs­ form der Flüssigkristallanzeige gemäß der Erfindung,
Fig. 4 eine perspektivische Explosionsansicht, welche schematisch eine herkömmliche plasmaadressierte Flüssigkri­ stallanzeige zeigt, und
Fig. 5 eine vergrößerte Teilschnittansicht der herkömm­ lichen plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige der Fig. 4.
Gemäß den Fig. 1 und 2 teilt sich die Flüssigkristall­ anzeige der vorliegenden Erfindung in einen Flüssigkristall­ verschluß 100 und eine Plasmaadressiereinheit 200. Trans­ parente erste und dritte Substrate 120 und 250 sind in einem Abstand voneinander angeordnet und schützen eine später noch erwähnte Funktionsschicht, die dazwischen angeordnet ist. Eine Anzahl von streifigen transparenten Datenelektroden 140 sind parallel auf dem ersten Substrat 120 ausgebildet. Eine Schicht 160 und ein zweites Substrat 130 folgt auf das erste Substrat. Das zweite Substrat 130 hat eine Dicke von 50 µm und eine vorgegebene Dielektrizitätskonstante.
Wie in Fig. 2 gezeigt, sind eine Anzahl von Barrieren 220 (die bei dieser Ausführungsform als in einen oberen und unteren Körper unterteilt gezeigt sind) mit einer vorgegebe­ nen Höhe und in Stapelung mit einer streifigen zweiten Elek­ trode 230 der Flüssigkristallschicht unter Zwischenlage des zweiten Substrats 130 gegenüberliegend vorgesehen. Eine erste Elektrode 210 ist parallel zur zweiten Elektrode 230 zwischen den Barrieren und an der Innenseite des dritten Substrats 250 vorgesehen. Von den beiden Elektroden liegen bei der zweiten Elektrode 230 beide Flanken vollständig frei, es kann aber auch nur eine Flanke freigelegt sein.
Bei obigem Aufbau laufen die Barrieren 220, die ersten und zweiten Elektroden 210 und 230 senkrecht zu den auf dem ersten Substrat ausgebildeten Datenelektroden 140, wobei eine erste Elektrode 210 der Flanke einer solchen zweiten Elektrode 230 zugekehrt ist, die zwischen den oberen und unteren Körper der Barriere 220 angeordnet ist und benach­ bart zur ersten Elektrode liegt.
Bei dem Aufbau der gegenständlichen Plasmaadressier­ einheit der LCD liegen drei Elektroden zu jeweils einem linearen Entladungsraum frei. Da dies eine Elektrode mehr als die Grundanzahl von zwei Entladungselektroden darstellt, können die Entladungselektroden gemäß deren Ansteuerverfah­ ren ausgewählt werden. Da jedoch zwei Arten von Elektroden im linearen Entladungsraum vorhanden sind, kann eine die Kathode und die andere die Anode sein. Hierbei ist es für eine wirkungsvolle Entladung wünschenswert, daß die zwischen den Barrieren angeordnete erste Elektrode als die Kathode und die zwischen den oberen und unteren Körper der Barriere gelegte zweite Elektrode als die Anode verwendet wird. Au­ ßerdem ist es wünschenswert, daß die Datenelektrode aus Indium-Zinn-Oxid (IZO) aus Transparenzgründen und die erste und zweite Elektrode aus Metall, beispielsweise Nickelpaste, ausgebildet wird. Wenn es auch wünschenswert ist, daß die erste Elektrode aus IZO gebildet wird, damit aus dem Hinter­ grund kommendes Licht durchtreten kann, kann die erste Elek­ trode unter erheblicher Verminderung ihrer Breite, damit der Durchtritt von Hintergrundslicht maximiert wird, auch aus Metallpaste ausgebildet sein. Die Elektroden werden nach einem Siebdruckverfahren hergestellt, so daß die erste Elek­ trode getrennt zuerst und dann die zweite Elektrode während oder nach dem Ausbilden der Barriere ausgebildet wird. Beim Ausbilden der ersten Elektrode aus IZD wird eine Abscheidung oder Photolithographie üblicherweise verwendet.
Gemäß Fig. 3, welche eine weitere Ausführungsform der Erfindung veranschaulicht, ist eine zweite Elektrode 230′ oben auf einer einteiligen Barriere 220′ angeordnet und berührt die Unterseite des zweiten Substrats 130. Es kann gewöhnlicher verflüssigter Flüssigkristall als das Flüssig­ kristallmaterial verwendet werden, aber polymerdispergierter Flüssigkristall mit raschem Ansprechen und ausgezeichneten Herstellungseigenschaften ist wünschenswert.
In jeder Form wirkt die Barriere 220 als Abstandsstück, welches einen bestimmten Abstand zwischen dem zweiten und dritten Substrat 130 und 250 aufrechterhält, zwischen wel­ chen Entladungsgas eingefüllt ist. Das zweite Substrat 130 trennt die Flüssigkristallschicht 160 vom Entladungsraum und orientiert, während der Entladung den Flüssigkristall als Folge ihrer dielektrischen Eigenschaften.
Das Ansteuerverfahren der gegenständlichen LCD ist ähnlich wie bei der herkömmlichen. Ein Datensignal wird auf die Datenelektrode des Flüssigkristallverschlusses und eine Spannung eines bestimmten Wertes, d. h. ein Abtastsignal, auf die ausgewählte erste und zweite Elektrode der Plasmaadres­ siereinheit gegeben. Dies ruft eine Entladung hervor, welche ein elektrisches Feld im Flüssigkristall in Richtung der Entladungszeile ausbildet. An der Überkreuzung mit der Da­ tenelektrode wird der Flüssigkristall aktiviert und in einer Richtung orientiert, so daß dann dort Daten geschrieben werden. Beim Bewegen der Entladung zur nächsten Abtastzeile werden neue erste und zweite Elektroden ausgewählt und eine gepulste Spannung daran angelegt, um so die nächste Entla­ dung zu erzeugen.
Anders als beim herkömmlichen Verfahren können die Barrieren nach dem gegenständlichen Verfahren, wie oben beschrieben, nach einem Siebdruckverfahren hergestellt wer­ den. Gemäß dem herkömmlichen Herstellungsverfahren können die Barrieren, da jede Barriere eine andere Höhe hat, irre­ guläre Zwischenräume zu dem sehr dünnen zweiten Substrat haben, was Anomalien in einem Bild und Übersprechen zwischen Abtastzeilen während der Entladung hervorruft. Dieses Pro­ blem kann mit dem im folgenden im einzelnen beschriebenen gegenständlichen Herstellungsverfahren für eine Flüssigkri­ stallanzeige einfach gelöst werden.
Zunächst werden nach Ausbildung einer Anzahl von strei­ figen transparenten ersten Elektrode parallel auf dem drit­ ten Substrat die Barrieren einer bestimmten Höhe zwischen den transparenten ersten Elektroden ausgebildet. Die zweiten Elektroden werden oben auf den Barrieren nach einem Druck­ verfahren ausgebildet. Wenn wie im Falle der Fig. 2 die zweite Elektrode zwischen dem oberen und unteren Körper der Barriere ausgebildet ist, wird ein weiterer Barrierenkörper auf der zweiten Elektrode ausgebildet. Nach diesem Prozeß wird bei einer bestimmten Temperatur, beispielsweise 580°C, ein Brennvorgang für 10 Minuten in einem Ofen durchgeführt.
Nach dem Brennen wird die Oberseite entweder der Bar­ riere oder der zweiten Elektrode in einer bestimmten Dicke dünn mit Paste durch Ablagerung beschichtet. Danach wird das zweite Substrat von 50 µm Dicke angebracht und leicht ange­ drückt, damit sich ein gleichförmiger Klebezustand ergibt. Der zusammenhängende Körper wird auf eine Temperatur unter den Erstarrungspunkt der Paste, d. h. auf eine Temperatur, bei der die Paste noch in einem Gelzustand vorliegt, er­ hitzt. Zu geeigneten Pasten gehören #D-4057 und #D-4058 der Firma ESL und Gele bei etwa 480°C. Gegelte Kleberkomponenten erhält man also, wenn die Erwärmungstemperatur 480°C be­ trägt. Die gegelten Kleber wirken als elastische Puffer­ schicht, die geeignet ist, das dünne zweite Substrat abzu­ stützen.
Danach wird das erste Substrat mit der darauf vorab ausgebildeten Datenelektrode mit der Oberseite des zweiten Substrats verbunden und von diesem in einem bestimmten Ab­ stand gehalten, wobei der Raum zwischen beiden Substraten mit Flüssigkristall gefüllt und danach versiegelt wird. Diese bildenden einleitende Verfahrensschritte, die eine übliche nachfolgende Vervollständigung erfordern.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist das Problem der auftretenden Lücken zwischen der zweiten Elektrode und der Barriere gelöst. Mit ihrem Aufbau erleichtert die Erfindung die Herstellung und kann von dem üblichen Siebdruckverfahren bei der Ausbildung der Barriere und insbesondere der Elek­ trode der Plasmaadressiereinheit Gebrauch machen, womit sich ein großflächiger Bildschirm verwirklichen läßt.

Claims (12)

1. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige mit
einem ersten und zweiten Substrat (120, 130), zwischen welchen Flüssigkristall (160) eingefüllt ist,
eine Anzahl von streifigen Datenelektroden (140), die parallel auf der Innenseite des ersten Substrats (120) aus­ gebildet sind,
einem der Außenseite des zweiten Substrats (130) gegen­ überliegenden dritten Substrat (250),
einer Anzahl von streifigen ersten Elektroden (210), die auf der Innenseite des dritten Substrats (250) dem zwei­ ten Substrat (130) gegenüberliegend in rechtem Winkel zu den Datenelektroden (140) angeordnet sind,
einer Barriere (220, 220′) einer vorgegebenen Höhe, die zwischen ersten Elektroden (210) und parallel zu diesen angeordnet ist, und
einer zweiten Elektrode (230, 230′) in Stapelung mit jeder Barriere (220, 220′), wobei die Flanken der zweiten Elektrode (230, 230′) ersten Elektroden (210) zugekehrt sind, die benachbart zu einer entsprechenden Barriere (220, 220′) angeordnet sind.
2. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (230) oben auf der Barriere (220) vorgesehen ist und die Unterseite des zweiten Substrats (130) berührt.
3. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Barriere (220′) in einen oberen und unteren Teil unterteilt ist und die zweite Elektrode (230′) zwischen dem oberen und unteren Teil der Barriere (220′) angeordnet ist.
4. Flüssigkristallanzeige nach mindestens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und/oder die zweiten Elektroden (210, 230, 230′) aus Metallpaste gebildet sind.
5. Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallschicht (160) aus verflüssigtem Flüssigkristall oder polymer-dispergierten Flüssigkristall gebildet ist.
6. Flüssigkristallanzeige nach mindestens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (230, 230′) nach wenigstens einem der beid­ seitig vorhandenen Entladungsräume hin freiliegt.
7. Verfahren zur Herstellung einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige nach Anspruch 1 mit den Verfahrens­ schritten des
Ausbildens der ersten streifigen transparenten Elek­ troden (210) parallel zueinander auf dem dritten Substrat (250),
Ausbildens der Barriere (220, 220′) in einer vorgegebe­ nen Höhe, auf der dann die zweite Elektrode (230, 230′) aufgeschichtet wird,
Verklebens von drittem Substrat (250) und zweitem Sub­ strat (130) mit Paste einer vorgegebenen Dicke unter Zwi­ schenlage der Barriere (220, 220′),
Anschließens des ersten Substrats (120), auf dem die Datenelektroden (140) vorab ausgebildet worden sind, an die Oberseite des zweiten Substrats (130) unter Einhaltung eines vorgegebenen Abstands, und
Versiegelns nach Einfüllen von Flüssigkristall (160) zwischen erstem und zweitem Substrat (130, 140).
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Verfahrensschritt des Ausbildens der Barriere (220′) mit darauf aufgeschichteter zweiter Elektrode (230′) die Schritte des Ausbildens eines unteren Teils der Barriere (220′), des Ausbildens der zweiten Elektrode (230′) auf dem unteren Teil der Barriere (220′) und des Ausbildens eines oberen Teils der Barriere (220′) auf der zweiten Elektrode (230′) umfaßt.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß im Verfahrensschritt des Verklebens von zweitem und drittem Substrat (130, 250) das zweite Substrat, nachdem die Oberseite der Barriere in einer bestimmten Dicke mit Paste beschichtet worden ist, auf der Barriere (220′) festgelegt und ein Brennen durchgeführt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß im Verfahrensschritt des Ausbildens der Barriere (220) mit darauf aufgeschichteter zweiter Elektrode (230) die zweite Elektrode (230) oben auf der Barriere (220), nachdem diese ausgebildet worden ist, ausgebildet wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß im Verfahrensschritt des Verklebens von zweitem und drittem Substrat (130, 250) das zweite Substrat (130) nach Beschichtung der Oberseite der Barriere (220) mit Paste in einer bestimmten Dicke auf der Barriere festgelegt und ein Brennen durchgeführt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 9 oder 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß im Verfahrensschritt des Brennens die Paste auf eine Temperatur erwärmt wird, bei der die Paste in Form eines Gels vorliegt.
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