KR940006301B1

KR940006301B1 - 프라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법

Info

Publication number: KR940006301B1
Application number: KR1019910019087A
Authority: KR
Inventors: 김대일
Original assignee: 삼성전관 주식회사; 김정배
Priority date: 1991-10-29
Filing date: 1991-10-29
Publication date: 1994-07-14
Also published as: US5221979A; DE4211258C2; JPH0812348B2; DE4211258A1; KR930008920A; JPH05134242A

Abstract

내용 없음.

Description

프라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법

제1도는 종래 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 분해 사시도.

제2도는 제1도에 도시된 디스플레이 장치의 부분 확대 발췌단면도.

제3도는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 사시도.

제4도는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 단면도.

제5도는 본 발명에 따른 액정표시소자의 다른 실시예의 단면도.

본 발명은 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법에 관한 것으로서, 플라즈마 어드레싱부의 구조가 개선된 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법에 관한 것이다.

디스플레이 장치에는 고속 전자선을 이용한 전통적 음극선관을 위시해서 저속 전자선을 이용한 형광표시관, 그리고 가스방전을 이용한 플라즈마 표시소자, 전계발광효과를 이용한 소위 E. L표시소자, 전계광학적인 효과를 이용한 액정표시소자등, 매우 다양한 종류의 것들이 있다. 이들 종류별 디스플레이 장치는 각각 기능과 구조적 특성을 달리 하기 때문에 그 특성에 맞게 선택적으로 적용되고 있다.

이러한 디스플레이 장치들의 공통점은 전기적 화상신호 또는 데이터 신호등을 시각화한다는 점으로서, 각각의 위치에서 여러가지 방향에서 구조적 및 기능적 개선이 이루어져 왔다. 최근 디스플레이 장치의 개발동향은 다량의 대중정보의 표시매체의 요구와 대화면의 고선명 텔레비젼 소위 HDTV의 출현으로 인해 매우 높은 선명도의 대형 화면을 가지면서도 가능한 그 두께가 얇은 표시장치의 제조를 그 목적으로 하고 있다.

이러한 개발추세에 맞추어서 최근에는 플라즈마 방전장치와 전계광학 소자 즉, 액정표시소자를 복합 구성한 새로운 형태의 매트릭스형 디스플레이 장치가 개발된 바 있다. 이 디스플레이 장치는 플라즈마 방전으로 한 라인씩을 어드레싱하는 방식의 것으로서, 제1도에 도시된 바와 같이 스트라이프상의 데이터전극(14)이 평행하게 다수 배열되는 배열구조를 액정셔터부(10)와, 이 액정셔터부(10)의 스트라이프상의 데이터전극(14)과 직교하는 방향으로의 단위 주사라인(21)이 다수 마련된 플라즈마 어드레싱부(20)가 상호 포개어지는 구조를 가진다. 그리고 플라즈마 어드레싱부의 후측에는 통상 EL소자로 된 배경광 발생장치(미도시)가 마련된다.

이를 제2도를 통하여 구체적으로 설명하면, 우선 상기 액정셔터부(10)는 두매의 투명한 제1 및 제2기판(12)(13)의 사이에는 액정(16)이 주입되며, 전면측의 제1기판(12)의 내면에는 스트라이프상 데이터전극(14)이 형성된 구조를 가진다. 상기 두개의 기판중, 상기 제2기판(13)은 약 50μm 정도의 얇은 두께를 가지는 것으로 액정의 배향에 있어서 매우 중요한 역할을 하게 된다. 그리고 상기 플라즈마 어드레싱부(20)는, 하나의 제3기판(25)상에 상기 스트라이프상 화소에 대해 직교하는 방향으로의 주사라인(21)을 형성하는 그루브(GROOVE : 24)가 다수 평행하게 형성되고, 각 그루브(24)의 바닥면 양측에는 한쌍의 전극(22)(23)이 나란하게 마련되는 구조를 가진다. 이와 같은 상태에서 상기 제3기판(25)은, 상기 액정셔터부(10)의 제2기판(13)과 밀착 고정됨으로써 상기 그루브(24)가 하나의 밀페된 방전공간을 형성되어 이에 방전가스가 충진되어 있게 된다.

이상과 같은 구조에 있어서 상기 액정셔터부(10)는, 데이터 신호가 선택된 데이터전극(14)에 인가됨으로써 액정의 여기를 위한 전위가 선택된 스트라이프 화소(11)에 형성되도록 되어 있고, 상기 플라즈마 어드레싱부(20)는, 순차 선택되는 한 라인씩의 플라즈마 주사라인(21)에 플라즈마 방전을 위한 소정 전위의 전압이 인가되어 선상의 플라즈마 방전이 야기됨으로써 상기 액정에 접촉되고 있는 상기 제2기판(13)에 상기 액정(16)의 여기를 위한 상대 전위가 주사라인(21)을 따라 선상으로 형성한다. 따라서 상기 액정셔터부(10)와 이에 직교되는 방향의 주사라인(21)에 의해 상호 직교되는 방향의 전위가 형성되는 바, 그 교차부에서 액정을 전위차에 의해 여기 배향되고, 이를 통해 돗트상의 광 통과영역이 마련됨으로써 그 후측에 마련된 배경광 발생장치로부터의 광이 돗트상으로 통과된다.

이를 부언하면, 상기 플라즈마 어드레싱부(20)에 있어서, 순시 선택되는 주사라인(21)상의 한쌍의 전극(22)(23)에 소정전위의 전압이 인가되면, 평행한 두개의 전극(22)(23)들의 사이에 선상의 직류 방전이 일어나게 되고, 이로 인해 얇은 두께의 제2기판(13)에 상기 주사라인(21)을 따른 선상의 전위가 형성되게 된다. 이와 같이 주사신호에 의해 선택된 주사라인(21)에서 선상의 방전에 의해 제2기판(13)에 선상의 전위가 형성된 상태가 되면, 전기한 바와 같이 그 상부의 액정셔터부(10)에 선택적으로 데이터 신호가 인가되어 액정 여기의 상대 전위가 데이터전극(14)에 의해 형성되어 있으므로 선택된 스트라이프 화소(11)과 선택된 주사라인(21)의 교차 부분에서 상대 전위차에 의해 액정이 여기됨으로서 액정의 국부적인 재배열에 의해 그 후측 배경광의 통과가 이루어지게 된다(즉, 하나의 화점을 형성하게 된다).

이러한 디스플레이 장치는 데이터전극과 주사라인으로 액정을 배향시키는 독특한 타입의 평판 표시소자로서 다음과 같은 단점을 가진다. 상기한 바와 같이 상기 어드레싱부가 제3기판상에 형성되는 그루브(24)와 이의 바닥에 형성되는 한쌍의 전극(22)(23)을 그 구조적 기반으로 하기 때문에, 제조가공이 매우 까다로운 단점이 있다. 즉, 제3기판(25)에 그루브(24)가 형성되어야 하므로 이를 위한 까다로운 에칭 공정이 수반되어야 하고, 특히 그루브의 바닥에 한쌍의 전극을 형성하기 위하여는 간편한 실크 인쇄법이 사용되지 못하고 금속의 증착 공정을 가지는 포토리소그래피법등이 적용되어야 하는 어려움이 뒤따른다.

이러한 기술, 즉 유리에 그루브를 형성하고 이에 전극을 형성하는 기술은 매우 까다로운데, 특히 대화면의 표시소자에 있어서는 더욱 어려움이 가중된다.

본 발명은 대형화가 가능하고 제조가공이 용이한 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자를 제공함에 그 목적이 있다.

또한 본 발명은 상기 목적을 달성하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자는, 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되는 제3기판과, 상기 제2기판에 대면하는 제3기판의 내면에 상기 데이터전극에 대해 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제1전극과, 상기 제1전극의 사이에 이와 동방향으로 배치되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽의 몸체 일부에 같이 적층 형성되어 해당 격벽의 양측에 위치된 제1전극과 그 가장자리가 방전공간을 통하여 마주보도록 된 제2전극을 구비하는 점에 그 특징이 있다.

이상과 같은 본 발명의 액정표시소자에 있어서, 상기 격벽과 같이 형성되는 상기 제2전극은 격벽의 중간에 위치되어 각 해당 격벽을 상하로 격리시키는 구조가 마련되고, 다른 유형에 있어서는 상기 제2전극이 각 해당 격벽의 상단면, 즉 제2기판의 저면에 대하는 격벽의 상단면에 형성되어 격벽과 제2전극이 독립된 몸체로 적층 형성된 구조가 마련된다.

또한 상기 제2전극은 상기 격벽의 중간에 형성됨에 있어서 그 양측 가장자리 전체 또는 어느 일측이 노출되게 형성된다.

한편 상기 목적을 달성하는 본 발명의 제조방법은, 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되는 제3기판과, 상기 제2기판에 대면하는 제3기판의 내면에 상기 데이터전극에 대해 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제1전극과, 상기 제1전극의 사이에 이와 동방향으로 배치되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽의 몸체 일부에 같이 적층 형성되어 해당 격벽의 양측에 위치된 제1전극과 그 가장자리가 방전공간을 통하여 마주보도록 된 제2전극을 구비하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 제3기판에 스트라이프상 투명 제1전극을 다수 나란하게 형성하는 단계와, 상기 투명 제1전극의 사이에 제2전극이 같이 적층된 소정 높이의 격벽을 형성하는 단계와, 상기 제3기판과 소정 두께의 제2기판을 상기 격벽을 사이에 둔채 페이스트로 상호 고정하는 단계와, 상기 제2기판의 전방에 데이터전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합하는 단계와, 상기 제1기판과 제2기판의 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.

이상과 같은 본 발명의 제조방법에 있어서, 상기 제2전극이 같이 적층된 격벽을 형성하는 단계가, 상기 격벽의 하부요소를 형성한 후 그 위에 제2전극을 형성하고, 그리고 제2전극의 상부에 격벽의 상부 부위를 형성하여 격벽을 완성하도록 한다.

그리고, 상기 제3기판에 대한 제2기판의 고정단계가, 상기 격벽의 최상단에 페이스트를 소정 두께로 형성한 후 이에 제2기판을 얹은 후 소정온도로 소성하는 과정을 갖는다.

한편 본 발명의 다른 유형이 있어서는, 상기 제2전극이 같이 적층된 격벽을 형성하는 단계가, 상기 격벽을 먼저 형성한 후 그 최상단에 제2전극을 형성하도록 한다.

그리고 상기 제3기판에 대한 제2기판의 고정단계는, 상기 격벽의 최상단에 마련된 제2전극의 표면에 페이스트를 소정 두께로 형성한 후 이에 제2기판을 얹은 후 소정온도로 소성하는 과정을 갖는다.

이상과 같은 본 발명에 있어서, 상기 페이스트를 소성하는 단계는, 상기 페이스트가 겔상태로 되는 온도대로 가열하도록 하는 과정을 갖는다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

제3도와 제4도에는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 사시도와 단면도가 개략으로 도시되어 있는 바, 이것은 액정셔터부(100)와 플라즈마 어드레싱부(200)로 구분된다. 투명한 제1기판(120)과 제3기판(250)이 소정간격으로 배치되어 후술되는 그 사이의 기능층을 보호한다. 상기 제1기판(120)에는 스트라이프상의 투명 데이터전극(140)이 다수 평행하게 형성되고, 이에 접하여 액정층(160)과 제2기판(130)이 순차적으로 마련된다. 상기 제2기판(130)은 약 50μm의 두께를 가지는 것으로 소정의 유전율을 가진다. 그리고 제4도에 도시된 바와 같이 상기 제2기판(130)을 중앙으로 하여 상기 액정층(160)의 반대편에는 스트라이프상 제2전극(230)이 그 몸체 중간에 개재된 격벽(220)이 소정 높이로 다수 나란하게 마련되고, 이 격벽 사이의 제3기판(250)의 내면에는 상기 제2전극과 나란한 제1전극(210)이 마련된다. 상기 두개의 전극중, 상기 제2전극(230)은 상기 격벽(220) 사이에서 그 양측 가장자리가 다 노출되는 구조를 가지도록 되어 있으나, 최소한 그 일측 가장자리만이 노출되게 할 수도 있을 것이다.

이상과 같은 구조에 있어서, 상기 제1기판에 형성된 데이터전극에 대하여 상기 격벽(220) 및 제1, 제2전극(210)(230)은 직교되게 마련되는데, 제1전극(210)은 그 양쪽에 인접된 격벽(220)상의 제2전극(230)의 가장자리와 마주 대하게 된다. 상기 격벽(220)은 제2기판(130)과 제3기판(250)의 사이를 일정하게 유지시켜 주는 스페이서로서의 역할을 하여 이 사이에 방전가스가 충입될 수 있는 공간이 마련되게 한다. 그리고 상기 중간의 제2기판은 액정층(160)과 방전공간을 격리시켜줌과 아울러 특히 소정의 유전성을 가짐으로써 방전시 차지(Charge)되어 액정을 배향시키는 전극을 역할을 하게 된다.

한편 제4도에는 본 발명의 다른 실시예의 단면도가 도시되어 있는 바, 이 실시예는 제2전극(230)이 격벽(220)의 상단면에 위치되어 제2기판(130)의 저면에 접촉되는 구조를 가진다. 그리고 상기 액정의 경우는 통상의 액상 액정이 사용될 수 있으나, 보다 신속한 응답성과 양호한 제조 가공성을 가지는 폴리머 분산 액정이 사용될 수 있는데, 바람직하기로는 후자의 것이 사용됨이 바람직하다.

이상과 같은 본 발명의 액정표시소자는 플라스마 어드레싱부의 구조적인 특징에 의해 세개의 전극이 하나의 선상방전공간에 노출되도록 되어 있다. 따라서 방전을 위한 전극의 기본 개수인 두개 보다 하나가 많은 형태이므로 구동방식에 따라 방전을 위한 전극의 취사선택이 가능하다. 그러나 하나의 선상방전공간에 한쌍의 전극이 마련되어 있는 형태이므로 종래와 같이 하나는 음극 그리고 또 하나는 양극이 되어도 무방하다. 이때에 방전효율의 증진을 위하여 격벽(220)들의 사이에 위치된 제1전극은 음극, 격벽과 같이 형성된 제2전극은 양극으로 사용함이 바람직하다. 한편 그 소재들에 있어서는 상기 데이터전극은 투명성을 가져야 하므로 ITO로서 형성하며, 상기 전극들은 금속성, 예를들어 니켈 페이스트로 형성함이 바람직하다. 특히 제1전극의 경우는 배경광의 통과가 가능하여야 하므로 사실 ITO로 형성함이 바람직하나, 종래와 같이 배경광의 통과를 최대한 허용하도록, 즉 그 폭을 상당히 줄임으로서 상기한 바와 같이 금속성 페이스트를 사용할 수 있게 된다. 상기 이때에 적용되는 전극 형성법은 물론 스크린 인쇄법으로서 제1전극은 별도로 먼저 형성한 후에 상기 제2전극은 격벽을 형성하는 도중, 또는 완성한 후에 형성한다. 그리고 상기 제1전극인 ITO로 형성하는 경우는 통상 증착법과 포토리소그래피법으로 형성한다.

이상과 같은 구조를 가지는 본 발명의 액정표시소자의 구동방식은 종래와 유사한 바, 액정셔터부에서의 데이터전극에는 데이터 신호가 기입(입력)되며, 플라즈마 어드레싱부의 선택된 제1전극과 제2전극에는 소정 전위의 전압 즉, 주사신호가 기입되게 된다.

이를 통해 방전이 야기되고 이 방전에 의해서 방전 라인방향으로 액정에 전계를 형성하게 됨으로써 데이터가 기입되는 데이터전극과의 교차부에서의 액정이 여기되어 소정방향으로 배향되게 된다. 그리고 다음 주사라인으로 방전이 옮기어지는 단계에서는 새로운 제1전극과 제2전극이 선택되어 여기에 펄스성 전압이 인가됨으로써 다음번 방전이 일어나게 된다.

이상과 같은 구조를 가지는 액정표시소자에 있어서, 상기한 바와 같이 상기 격벽은 종래와는 달리 스크린인쇄법으로 형성될 수 있는 바, 통상적인 종래 제조방법에 의하면, 각 격벽마다 높이를 달리하기 때문에 격벽에 접촉되는 매우 얇은 두께의 제2기판과의 불규칙적인 갭이 존재할 수 있게 되는데, 이와 같은 경우 화상 표시의 특성상 이상(異狀)이나 방전시 주사라인 간의 크로스 토오크등이 일어날 우려가 있는데, 이것을 이하에서 상세히 설명되는 본 발명의 액정표시소자의 제조방법에 의해 간단하게 해소된다.

먼저 제3기판에 스트라이프상 투명 제1전극을 다수 나란하게 형성한 후에 이들 투명 제1전극의 사이에 소정 높이의 격벽을 형성한다. 그리고 상기 격벽의 최상단에 제2전극을 인쇄법으로 형성한다. 그리고 제2전극이 격벽 사이에 형성되는 제4도에 도시된 형태의 것에 있어서는 상기 제2전극의 위에 격벽을 더 형성한다. 이와 같은 작업이 끝난 후에는 소성로 내에서 소정온도, 예를 들어 580℃로 약 10분간 소성처리한다. 소성 작업이 완료된 후에 상기 격벽의 상부 또는 제2전극의 상부에 인쇄법으로 소정 두께의 페이스트를 얇게 도포한 후 이의 위에 약 50μm 정도의 두께를 가지는 제2기판을 올려 약간 가압하여 전체적인 밀착 상태가 가능한 고르게 되도록 한 후, 이들 결합체를 상기 페이스트의 응고온도 이하의 온도, 즉 상기 페이스트가 겔상태로 되는 온도로 가열하여 상기 페이스트가 겔상태로 존재하게 한다. 이때에 사용되는 페이스트로 ESL상의 상품 #D-4057이나 #D-4058을 들수 있는데, 이것은 약 480℃ 부근에서 겔상태가 되므로 상기 가열온도를 480℃로 하면 이상과 같은 겔상태의 접착 성분을 만들 수 있다. 이와 같은 겔상태의 접착제는 어느 정도의 탄력을 가지는 완충층의 역할을 하기 때문에 상기한 바와 같이 얇은 제2기판을 지지하기에 매우 적합하다.

이와 같이 한 후에 상기 제2기판의 전방에 데이터전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합한 후 이들 사이 액정을 충진하여 밀봉함으로써 목적하는 액정표시소자를 가완성하고 후속되는 통상의 마무리단계를 통하여 제품을 완성한다.

이상 같은 본 발명에 의하면 전기한 바와 같은 제2전극과 상기 격벽과의 갭의 발생에 의한 문제가 해소되게 된다. 이러한 본원 발명은 그 구조에 있어서 종래의 것에 비해 그 제조방법이 용이하도록 되어 있는바, 플라즈마 어드레싱부의 격벽 특히 전극을 형성함에 있어서, 통상의 실크 인쇄법이 적용될 수 있는 장점을 가진다. 이러한 장점은 자연 화면의 대형화를 용이하게 하는 효과를 낳는다.

Claims

그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터전극과, 상기 제2기판의 외측면에 마주대하도록 위치되는 제3기판과, 상기 제2기판에 대면하는 제3기판의 내면에 상기 데이터전극에 대해 직교하는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제1전극과, 상기 제2기판과 제3기판 사이에 마련되어 상기 제1전극의 사이에 이와 동방향으로 배치되는 소정 높이의 격벽과, 상기 각 격벽에 같이 적층되되 그 가장자리가 해당 격벽으로부터 방전공간으로 노출되도록 형성되어, 격벽 사이에 위치한 제1전극을 방전공간을 통하여 마주보도록 된 제2전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제1항에 있어서, 상기 제2전극이 상기 격벽의 상단면에 마련되어 상기 제2기판의 저면에 접촉되도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제1항에 있어서, 상기 제2전극이 상기 격벽의 중간에 위치되어, 상기 격벽을 상하로 분할하도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제1항 내지 제3항중의 어느 한 항에 있어서, 상기 제1전극 및 제2전극중 최소한 어느 하나가 금속성 페이스트에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제4항에 있어서, 상기 액정층이 액상의 액정 또는 폴리머 분산 액정을 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 제2전극이 그 양측의 방전공간중 최소한 어느 일측에 노출되도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제6항에 있어서, 상기 제1전극 및 제2전극중 최소한 어느 하나가 금속성 페이스트에 의해 형성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
제7항에 있어서, 상기 액정층이 액상의 액정 또는 폴리머 분산 액정을 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되는 제3기판과, 상기 제2기판에 대면하는 제3기판의 내면에 상기 데이터전극에 대해 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제1전극과, 상기 제1전극의 사이에 이와 동방향으로 배치되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽의 몸체 일부에 같이 적층 형성되어 해당 격벽의 양측에 위치된 제1전극과 그 가장자리가 방전공간을 통하여 마주보도록 된 제2전극을 구비하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 제3기판에 스트라이프상 투명 제1전극을 다수 나란하게 형성하는 단계와, 상기 투명 제1전극의 사이에 소정 높이의 격벽을 형성하는 단계와, 상기 격벽에 제2전극을 적층 형성하는 단계와, 상기 제3기판의 소정두께의 제2기판을 상기 격벽을 사이에 둔채 페이스트로 상호 고정하는 단계와, 상기 제2기판의 전방에 데이터전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합하는 단계와, 상기 제1기판과 제2기판의 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.
제9항에 있어서, 상기 제2전극이 같이 적층된 격벽을 형성하는 단계가, 상기 격벽의 하부요소를 형성한 후 그 위에 제2전극을 형성하고, 그리고 제2전극의 상부에 격벽의 상부 부위를 형성하여 격벽을 완성하도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.
제10항에 있어서, 상기 제3기판에 대한 제2기판의 고정단계가, 상기 격벽의 최상단에 페이스트를 소정 두께로 형성한 후 이에 제2기판을 얹은 후 소정온도로 소성하는 과정을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.
제9항에 있어서, 상기 제2전극이 같이 적층된 격벽을 형성하는 단계가, 상기 격벽을 먼저 형성한 후 그 최상단에 제2전극을 형성하도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.
제12항에 있어서, 상기 제3기판에 대한 제2기판의 고정단계가, 상기 격벽의 최상단에 마련된 제2전극의 표면에 페이스트를 소정 두께로 형성한 후 이에 제2기판을 얹은 후 소정온도로 소성하는 과정을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.
제11항 또는 제13항에 있어서, 상기 페이스트를 소성하는 단계가, 상기 페이스트가 겔상태로 되는 온도대로 가열하도록 하는 과정을 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법.