JP3297782B2 - プラズマアドレス液晶表示装置及びプラズマアドレス液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
プラズマアドレス液晶表示装置及びプラズマアドレス液晶表示装置の製造方法Info
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマを利用して電
気光学材料層を駆動し、画素選択を行う画像表示装置で
あるプラズマアドレス液晶表示装置に関する。
気光学材料層を駆動し、画素選択を行う画像表示装置で
あるプラズマアドレス液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶を駆動する画像表示装置とし
て、放電プラズマを利用したいわゆるプラズマアドレス
液晶表示装置が知られている。このプラズマアドレス液
晶表示装置の一例の概略的な構成を図５を用いて簡単に
説明する。
て、放電プラズマを利用したいわゆるプラズマアドレス
液晶表示装置が知られている。このプラズマアドレス液
晶表示装置の一例の概略的な構成を図５を用いて簡単に
説明する。
【０００３】このプラズマアドレス液晶表示装置は、平
坦で非導電性があり、光学的に十分に透明な液晶側ガラ
ス６と、複数の放電電極１０が形成された基板ガラス１
１との間に、電気光学材料層である液晶層７を間挿する
と共に、上記液晶層７と上記基板ガラス１１との間の空
間を放電領域１５として成るものである。
坦で非導電性があり、光学的に十分に透明な液晶側ガラ
ス６と、複数の放電電極１０が形成された基板ガラス１
１との間に、電気光学材料層である液晶層７を間挿する
と共に、上記液晶層７と上記基板ガラス１１との間の空
間を放電領域１５として成るものである。
【０００４】上記液晶側ガラス６には、その一主面に帯
状の電極１４が形成されると共に、この電極１４に接し
てネマチック液晶等から成る液晶層７が配置されてい
る。この液晶層７は、薄い誘電体板である薄板ガラス８
によって上記液晶側ガラス６との間に挟持されている。
これら液晶側ガラス６、液晶層７及び薄板ガラス８によ
って、いわゆる液晶セルが構成された形になっている。
尚、上記薄板ガラス８は液晶層７と放電領域１５との絶
縁遮断層として機能するものである。
状の電極１４が形成されると共に、この電極１４に接し
てネマチック液晶等から成る液晶層７が配置されてい
る。この液晶層７は、薄い誘電体板である薄板ガラス８
によって上記液晶側ガラス６との間に挟持されている。
これら液晶側ガラス６、液晶層７及び薄板ガラス８によ
って、いわゆる液晶セルが構成された形になっている。
尚、上記薄板ガラス８は液晶層７と放電領域１５との絶
縁遮断層として機能するものである。
【０００５】一方、上記基板ガラス１１にも複数の放電
電極１０が帯状電極として形成されると共に、周囲をシ
ール剤であるフリット１２によって支持することによ
り、上記薄板ガラス８から所定の間隔をもって配置され
る。これにより、上記基板ガラス１１と薄板ガラス８と
の間の空間が放電プラズマを発生する放電領域１５とな
っている。尚、上記フリット１２とは粉末ガラスのこと
であり、塗布することにより形成される。
電極１０が帯状電極として形成されると共に、周囲をシ
ール剤であるフリット１２によって支持することによ
り、上記薄板ガラス８から所定の間隔をもって配置され
る。これにより、上記基板ガラス１１と薄板ガラス８と
の間の空間が放電プラズマを発生する放電領域１５とな
っている。尚、上記フリット１２とは粉末ガラスのこと
であり、塗布することにより形成される。
【０００６】各放電電極１０は上記基板ガラス１１上に
等間隔で配置され、この放電電極１０上には隔壁、いわ
ゆるバリアリブ９が印刷形成されている。放電領域１５
はこの複数のバリアリブ９によって仕切られ、それぞれ
独立したプラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・に分割されてい
る。各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・にはイオン化が可
能なガスが封入されている。このイオン化可能なガスと
しては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、あるいはこれら
の混合ガス等が用いられる。
等間隔で配置され、この放電電極１０上には隔壁、いわ
ゆるバリアリブ９が印刷形成されている。放電領域１５
はこの複数のバリアリブ９によって仕切られ、それぞれ
独立したプラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・に分割されてい
る。各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・にはイオン化が可
能なガスが封入されている。このイオン化可能なガスと
しては、ヘリウム、ネオン、アルゴン、あるいはこれら
の混合ガス等が用いられる。
【０００７】上記バリアリブ９は、複数の放電電極１０
の各帯状電極上に、各走査単位毎に形成されている。従
って、各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・が各走査線に対
応している。上記バリアリブ９は印刷法、例えばアルミ
ナ等のセラミックを混入したガラスペーストをスクリー
ン印刷法により複数回積層印刷することによって形成さ
れる。ここで、バリアリブ９は、放電領域１５のギャッ
プ間隔、即ち基板ガラス１１と薄板ガラス８との距離を
規制する役割も果たす。この放電領域１５のギャップ間
隔は、バリアリブ９を形成する際のスクリーン印刷の回
数や各印刷時のガラスペーストの量等を調節することに
より制御することができ、通常は２００μｍ程度とされ
る。複数の放電電極１０は、例えば銀粉末等を含有する
導電ペーストを印刷することにより、基板ガラス１１上
に直接形成することができる。また、エッチング工程に
よって形成してもよい。
の各帯状電極上に、各走査単位毎に形成されている。従
って、各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・が各走査線に対
応している。上記バリアリブ９は印刷法、例えばアルミ
ナ等のセラミックを混入したガラスペーストをスクリー
ン印刷法により複数回積層印刷することによって形成さ
れる。ここで、バリアリブ９は、放電領域１５のギャッ
プ間隔、即ち基板ガラス１１と薄板ガラス８との距離を
規制する役割も果たす。この放電領域１５のギャップ間
隔は、バリアリブ９を形成する際のスクリーン印刷の回
数や各印刷時のガラスペーストの量等を調節することに
より制御することができ、通常は２００μｍ程度とされ
る。複数の放電電極１０は、例えば銀粉末等を含有する
導電ペーストを印刷することにより、基板ガラス１１上
に直接形成することができる。また、エッチング工程に
よって形成してもよい。
【０００８】上記液晶側ガラス６の上記基板ガラス１１
と対向する主面上に所定の幅をもって形成された複数の
電極１４は、例えばインジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）
等の透明導電材料により形成されており、光学的に透明
である。また、各電極１４は互いに平行に配列され、例
えば画面に垂直に配列されている。一方、上記基板ガラ
ス１１の上記液晶側ガラス６と対向する主面上にも複数
の放電電極１０が形成されている。これら放電電極１０
も平行な線状電極であるが、その配列方向は先の液晶側
ガラス６上に形成された電極１４と直交する方向であ
る。即ち、これら放電電極１０は画面に水平に配列され
ている。また、これら放電電極１０はアノード電極とカ
ソード電極とから成り、これらを対にして放電用電極が
構成されている。上述のように放電電極１０上にバリア
リブ９を印刷形成した場合には、これらバリアリブ９で
区切られた各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・において
は、放電電極１０が共用されている。即ち、例えば放電
電極１０ａは、プラズマ室Ｐ1の放電用電極でもあり、
プラズマ室Ｐ2 の放電用電極でもある。
と対向する主面上に所定の幅をもって形成された複数の
電極１４は、例えばインジウム錫オキサイド（ＩＴＯ）
等の透明導電材料により形成されており、光学的に透明
である。また、各電極１４は互いに平行に配列され、例
えば画面に垂直に配列されている。一方、上記基板ガラ
ス１１の上記液晶側ガラス６と対向する主面上にも複数
の放電電極１０が形成されている。これら放電電極１０
も平行な線状電極であるが、その配列方向は先の液晶側
ガラス６上に形成された電極１４と直交する方向であ
る。即ち、これら放電電極１０は画面に水平に配列され
ている。また、これら放電電極１０はアノード電極とカ
ソード電極とから成り、これらを対にして放電用電極が
構成されている。上述のように放電電極１０上にバリア
リブ９を印刷形成した場合には、これらバリアリブ９で
区切られた各プラズマ室Ｐ1 ，Ｐ2 ，・・・において
は、放電電極１０が共用されている。即ち、例えば放電
電極１０ａは、プラズマ室Ｐ1の放電用電極でもあり、
プラズマ室Ｐ2 の放電用電極でもある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のプラ
ズマアドレス液晶表示装置では、バリアリブの周囲にフ
リット、即ち粉末ガラスを塗布することにより放電領域
を形成している。この粉末ガラスを塗布する工程はフリ
ットシールと呼ばれる。このフリットシールを行った後
に、バリアリブ上に薄板ガラスを張り合わせる。このと
きに、バリアリブと薄板ガラスとの間にフリットが入り
込んでいると、約５０μｍ程度の厚さの薄板ガラスは割
れてしまう。
ズマアドレス液晶表示装置では、バリアリブの周囲にフ
リット、即ち粉末ガラスを塗布することにより放電領域
を形成している。この粉末ガラスを塗布する工程はフリ
ットシールと呼ばれる。このフリットシールを行った後
に、バリアリブ上に薄板ガラスを張り合わせる。このと
きに、バリアリブと薄板ガラスとの間にフリットが入り
込んでいると、約５０μｍ程度の厚さの薄板ガラスは割
れてしまう。
【００１０】そこで、バリアリブのエッジ部とフリット
が塗布される位置とは、１．８〜２．０ｍｍ程度離され
る。このバリアリブとフリットとが離れている場合に、
カソード電極を順次放電させていくと、カソード−カソ
ード間の局所放電が生じ、カソード電極の断線やショー
ト等の問題を引き起こす場合が生じる。
が塗布される位置とは、１．８〜２．０ｍｍ程度離され
る。このバリアリブとフリットとが離れている場合に、
カソード電極を順次放電させていくと、カソード−カソ
ード間の局所放電が生じ、カソード電極の断線やショー
ト等の問題を引き起こす場合が生じる。
【００１１】そこで、本発明は上述の実情に鑑み、薄板
ガラスを割ることなく貼り合わせることができ、また、
カソード−カソード間の局所放電が生じないプラズマア
ドレス液晶表示装置を提供するものである。
ガラスを割ることなく貼り合わせることができ、また、
カソード−カソード間の局所放電が生じないプラズマア
ドレス液晶表示装置を提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に係るプラズマア
ドレス液晶表示装置は、隔壁及び支持壁の第２電極側の
一部に接触するように、上記第２電極の取り出し部近傍
を絶縁物で被覆することにより上述した課題を解決す
る。
ドレス液晶表示装置は、隔壁及び支持壁の第２電極側の
一部に接触するように、上記第２電極の取り出し部近傍
を絶縁物で被覆することにより上述した課題を解決す
る。
【００１３】また、本発明に係るプラズマアドレス液晶
表示装置の製造方法は、一主面上に互いに略平行な複数
の第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と対向
する主面上に、上記第１電極と略直交し且つ互いに略平
行な複数の第２電極が印刷法によって形成される第２の
基板上の上記第２電極上に形成される隔壁及び上記隔壁
の周囲に形成される支持壁の上記第２電極側の一部に接
触するように、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物
で被覆することを特徴とする。
表示装置の製造方法は、一主面上に互いに略平行な複数
の第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と対向
する主面上に、上記第１電極と略直交し且つ互いに略平
行な複数の第２電極が印刷法によって形成される第２の
基板上の上記第２電極上に形成される隔壁及び上記隔壁
の周囲に形成される支持壁の上記第２電極側の一部に接
触するように、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物
で被覆することを特徴とする。
【００１４】さらに、一主面上に互いに略平行な複数の
第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と略直交
し且つ互いに略平行な複数の第２電極がエッチング法に
よって形成される溝内に形成される第２の基板上の上記
第２電極上を絶縁物で被覆することを特徴とする。
第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と略直交
し且つ互いに略平行な複数の第２電極がエッチング法に
よって形成される溝内に形成される第２の基板上の上記
第２電極上を絶縁物で被覆することを特徴とする。
【００１５】
【作用】本発明においては、第２電極又はこの第２電極
取り出し部近傍を絶縁物で被覆して、カソード電極を順
次放電させる。
取り出し部近傍を絶縁物で被覆して、カソード電極を順
次放電させる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例について、図
面を参照しながら説明する。図１には、本発明に係るプ
ラズマアドレス液晶表示装置の上面図を示し、図２に
は、図１に示すプラズマアドレス液晶表示装置をＤ−
Ｄ’で切断したときの断面図を示す。
面を参照しながら説明する。図１には、本発明に係るプ
ラズマアドレス液晶表示装置の上面図を示し、図２に
は、図１に示すプラズマアドレス液晶表示装置をＤ−
Ｄ’で切断したときの断面図を示す。
【００１７】この実施例に示すプラズマアドレス液晶表
示装置は、基板ガラス１１上に複数の放電電極１０が形
成され、この放電電極１０上にはバリアリブ９がそれぞ
れ印刷される。また、上記バリアリブ９の周囲にはフリ
ット１２が塗布されている。さらに、上記バリアリブ９
の上部には、薄板ガラス８が貼り合わせてある。
示装置は、基板ガラス１１上に複数の放電電極１０が形
成され、この放電電極１０上にはバリアリブ９がそれぞ
れ印刷される。また、上記バリアリブ９の周囲にはフリ
ット１２が塗布されている。さらに、上記バリアリブ９
の上部には、薄板ガラス８が貼り合わせてある。
【００１８】ここで、上記放電電極１０の上部であって
この放電電極１０の取り出し部近傍には、上記バリアリ
ブ９の下部の一部及びフリット１２の下部の一部にそれ
ぞれ接触するようにして放電防止カバー１が形成されて
いる。この放電防止カバー１の厚さは１０〜１５μｍで
あり、絶縁物から成る。もし、上記放電防止カバー１が
厚く形成された場合には上記バリアリブ９が突起とな
り、このバリアリブ９上に張り合わされる薄板ガラス８
が割れてしまう。
この放電電極１０の取り出し部近傍には、上記バリアリ
ブ９の下部の一部及びフリット１２の下部の一部にそれ
ぞれ接触するようにして放電防止カバー１が形成されて
いる。この放電防止カバー１の厚さは１０〜１５μｍで
あり、絶縁物から成る。もし、上記放電防止カバー１が
厚く形成された場合には上記バリアリブ９が突起とな
り、このバリアリブ９上に張り合わされる薄板ガラス８
が割れてしまう。
【００１９】次に、この実施例におけるプラズマアドレ
ス液晶表示装置の製造工程の一部を図３に示し、以下に
説明する。
ス液晶表示装置の製造工程の一部を図３に示し、以下に
説明する。
【００２０】先ず、図３のａにおいて、基板ガラス１１
上に、複数の放電電極１０を印刷によって等間隔に生成
する。この後、焼成を行う。
上に、複数の放電電極１０を印刷によって等間隔に生成
する。この後、焼成を行う。
【００２１】次に、図３のｂにおいて、放電防止カバー
１を上記複数の放電電極１０の両端の取り出し部近傍に
形成する。このとき、上記放電防止カバー１は上記複数
の放電電極１０間だけではなく、上記放電電極１０上に
も放電防止カバー１の一部分１ａが積層される。また、
上記放電防止カバー１には、上記バリアリブ９と同じ材
質のものを使用するが、この材質の粘度を上記バリアリ
ブ９の１０倍程度に薄くし、線径の細いメッシュのスク
リーンを用いて１０〜１５μｍの厚さに印刷する。
１を上記複数の放電電極１０の両端の取り出し部近傍に
形成する。このとき、上記放電防止カバー１は上記複数
の放電電極１０間だけではなく、上記放電電極１０上に
も放電防止カバー１の一部分１ａが積層される。また、
上記放電防止カバー１には、上記バリアリブ９と同じ材
質のものを使用するが、この材質の粘度を上記バリアリ
ブ９の１０倍程度に薄くし、線径の細いメッシュのスク
リーンを用いて１０〜１５μｍの厚さに印刷する。
【００２２】さらに、図３のｃにおいて、上記複数の放
電電極１０上にそれぞれバリアリブ９をスクリーン印刷
によって形成する。このとき、図４のａに示すように、
形成されたバリアリブ９の上部は、放電防止カバー１上
において盛り上がった状態である。よって、このバリア
リブ９の上部を研磨して、図４のｂに示すように平坦な
状態にする。この後、焼成を行う。
電電極１０上にそれぞれバリアリブ９をスクリーン印刷
によって形成する。このとき、図４のａに示すように、
形成されたバリアリブ９の上部は、放電防止カバー１上
において盛り上がった状態である。よって、このバリア
リブ９の上部を研磨して、図４のｂに示すように平坦な
状態にする。この後、焼成を行う。
【００２３】次に、図３のｄにおいて、フリット１２を
バリアリブ９の周囲に塗布して形成する。この後、上記
バリアリブ９と薄板ガラス８とを貼り合わせる。
バリアリブ９の周囲に塗布して形成する。この後、上記
バリアリブ９と薄板ガラス８とを貼り合わせる。
【００２４】また、他のプラズマアドレス液晶表示装置
として、エッチング法によって形成された溝内に第２電
極が形成されるプラズマアドレス液晶表示装置において
は、スパッタによってＳｉＯ2 の放電防止カバーを形成
する方法やレジストによって絶縁物を形成する方法が考
えられる。具体的には、上記スパッタによってＳｉＯ2
の放電防止カバーを形成する方法は、先ずマスクを作製
し、このマスクを第２電極が溝内に形成された基板ガラ
ス上に置いて、そのままスパッタ装置に投入し、ＳｉＯ
2 膜を０．２μｍ以上塗布するものである。また、レジ
ストによって絶縁物を形成する方法は、上記マスクを作
製し、上記基板ガラス上にレジストによる絶縁物を形成
するものである。
として、エッチング法によって形成された溝内に第２電
極が形成されるプラズマアドレス液晶表示装置において
は、スパッタによってＳｉＯ2 の放電防止カバーを形成
する方法やレジストによって絶縁物を形成する方法が考
えられる。具体的には、上記スパッタによってＳｉＯ2
の放電防止カバーを形成する方法は、先ずマスクを作製
し、このマスクを第２電極が溝内に形成された基板ガラ
ス上に置いて、そのままスパッタ装置に投入し、ＳｉＯ
2 膜を０．２μｍ以上塗布するものである。また、レジ
ストによって絶縁物を形成する方法は、上記マスクを作
製し、上記基板ガラス上にレジストによる絶縁物を形成
するものである。
【００２５】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係るプラズマアドレス液晶表示装置は、隔壁及び支
持壁の第２電極側の一部に接触するように、上記第２電
極の取り出し部近傍を絶縁物で被覆することにより、カ
ソード−カソード間の異常放電をなくすことができる。
また、フリットシールを行った後に、薄板ガラスを割る
ことなく貼り合わせることができる。
明に係るプラズマアドレス液晶表示装置は、隔壁及び支
持壁の第２電極側の一部に接触するように、上記第２電
極の取り出し部近傍を絶縁物で被覆することにより、カ
ソード−カソード間の異常放電をなくすことができる。
また、フリットシールを行った後に、薄板ガラスを割る
ことなく貼り合わせることができる。
【００２６】また、本発明に係るプラズマアドレス液晶
表示装置の製造方法は、一主面上に互いに略平行な複数
の第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と対向
する主面上に、上記第１電極と略直交し且つ互いに略平
行な複数の第２電極が印刷法によって形成される第２の
基板上の上記第２電極上に形成される隔壁及び上記隔壁
の周囲に形成される支持壁の上記第２電極側の一部に接
触するように、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物
で被覆することにより、印刷法によって第２電極が形成
されるプラズマアドレス液晶表示装置において、カソー
ド−カソード間の異常放電をなくすことができる。
表示装置の製造方法は、一主面上に互いに略平行な複数
の第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と対向
する主面上に、上記第１電極と略直交し且つ互いに略平
行な複数の第２電極が印刷法によって形成される第２の
基板上の上記第２電極上に形成される隔壁及び上記隔壁
の周囲に形成される支持壁の上記第２電極側の一部に接
触するように、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物
で被覆することにより、印刷法によって第２電極が形成
されるプラズマアドレス液晶表示装置において、カソー
ド−カソード間の異常放電をなくすことができる。
【００２７】さらに、一主面上に互いに略平行な複数の
第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と略直交
し且つ互いに略平行な複数の第２電極がエッチング法に
よって形成される溝内に形成される第２の基板上の上記
第２電極上を絶縁物で被覆することにより、エッチング
法によって形成された溝内に第２電極が形成されるプラ
ズマアドレス液晶表示装置において、カソード−カソー
ド間の異常放電をなくすことができる。
第１電極を有する第１の基板上の上記第１電極と略直交
し且つ互いに略平行な複数の第２電極がエッチング法に
よって形成される溝内に形成される第２の基板上の上記
第２電極上を絶縁物で被覆することにより、エッチング
法によって形成された溝内に第２電極が形成されるプラ
ズマアドレス液晶表示装置において、カソード−カソー
ド間の異常放電をなくすことができる。
【図１】本発明に係るプラズマアドレス液晶表示装置の
概略的な構成を示す上面図である。
概略的な構成を示す上面図である。
【図２】本発明に係るプラズマアドレス液晶表示装置の
概略的な構成を示す断面図である。
概略的な構成を示す断面図である。
【図３】本発明に係るプラズマアドレス液晶表示装置の
製造工程を示す図である。
製造工程を示す図である。
【図４】形成されたバリアリブの断面を示す図である。
【図５】従来のプラズマアドレス液晶表示装置の概略的
な構成を示す図である。
な構成を示す図である。
１ 放電防止カバー ８ 薄板ガラス ９ バリアリブ １０ 放電電極 １１ 基板ガラス １２ フリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02F 1/1333 H01J 17/49
Claims (3)
- 【請求項１】 一主面上に互いに略平行な複数の第１電
極を有する第１の基板と、上記第１の基板上の第１電極
と対向する主面上に上記第１電極と略直交し且つ互いに
略平行な複数の第２電極を有する第２の基板と、上記複
数の第２電極上にそれぞれ形成する隔壁と、上記隔壁の
周囲に形成する支持壁と、上記隔壁上に貼付する誘電体
板と、上記第１の基板の第１電極と接触して、上記第１
電極と上記誘電体板との間に形成される電気光学材料層
とを備え、プラズマ放電によって書き込みを行うプラズ
マアドレス液晶表示装置において、 上記隔壁及び上記支持壁の上記第２電極側の一部に接触
するように、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物で
被覆することを特徴とするプラズマアドレス液晶表示装
置。 - 【請求項２】 一主面上に互いに略平行な複数の第１電
極を有する第１の基板上の上記第１電極と対向する主面
上に、上記第１電極と略直交し且つ互いに略平行な複数
の第２電極が印刷法によって形成される第２の基板上の
上記第２電極上に形成される隔壁及び上記隔壁の周囲に
形成される支持壁の上記第２電極側の一部に接触するよ
うに、上記第２電極の取り出し部近傍を絶縁物で被覆す
ることを特徴とするプラズマアドレス液晶表示装置の製
造方法。 - 【請求項３】 一主面上に互いに略平行な複数の第１電
極を有する第１の基板上の上記第１電極と略直交し且つ
互いに略平行な複数の第２電極がエッチング法によって
形成される溝内に形成される第２の基板上の上記第２電
極上を絶縁物で被覆することを特徴とするプラズマアド
レス液晶表示装置の製造方法。
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|---|---|---|---|
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-
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