JPH06250158A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

プラズマアドレス表示装置の製造方法

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JPH06250158A
JPH06250158A JP5061078A JP6107893A JPH06250158A JP H06250158 A JPH06250158 A JP H06250158A JP 5061078 A JP5061078 A JP 5061078A JP 6107893 A JP6107893 A JP 6107893A JP H06250158 A JPH06250158 A JP H06250158A
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JP
Japan
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dielectric sheet
plasma
display device
cell
antistatic agent
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JP5061078A
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English (en)
Inventor
Atsushi Seki
敦司 関
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
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    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/133374Constructional arrangements; Manufacturing methods for displaying permanent signs or marks

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  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プラズマアドレス表示装置において表示セル
とプラズマセルとを互いに隔てる誘電体シートの変形、
亀裂、破損を防止する。 【構成】 プラズマアドレス表示装置を製造する際、予
め誘電体シート1に帯電防止剤を適用し異物の付着を防
止する。この誘電体シート1の一面側に、行状の放電チ
ャネル5が形成された一方のガラス基板2を接合しイオ
ン化可能なガスを封入してプラズマセルを形成する。薄
板ガラス等からなる誘電体シート1とガラス基板2の接
合はフリットシールにより行なわれる。この際、誘電体
シート1には帯電防止剤の効果により異物が付着してい
ないので亀裂や破損が生じない。誘電体シート1の他面
側に、列状の信号電極Dが形成された他方のガラス基板
6を離間的に接合し、液晶層7を間挿して表示セルを組
み立てる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶セル等の表示セル
とプラズマセルを重ねた積層構造を有するプラズマアド
レス表示装置の製造方法に関する。より詳しくは、表示
セルとプラズマセルとの間に介在する誘電体シートの表
面処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】プラズマセルを表示セルのアドレッシン
グに用いるプラズマアドレス表示装置は、例えば特開平
1−217396号公報に開示されている。図5に示す
様に、この表示装置は表示セル101とプラズマセル1
02が中間の誘電体シート103を介して重ねられた構
造を有している。プラズマセル102は、互いに平行な
複数の溝105が形成されたガラス基板104から構成
される。このガラス基板104は誘電体シート103の
一面に対してフリットシールにより接合されており、各
溝105は完全に密封されている。密封された溝105
の中には放電によりイオン化可能なガスが封入されてお
り放電チャネル106を構成している。隣合う溝105
を隔てる凸条部107は個々の放電チャネル106を区
分けする側壁の役割を果たすとともに各放電チャネル1
06のギャップスペーサとしての役割も果たしている。
各溝105の底部には、互いに平行な一対の放電電極1
08,109が設けられている。一対の電極はアノード
及びカソードとして機能し放電チャネル106内のガス
をイオン化して放電プラズマを発生する。かかる放電チ
ャネル106は行走査単位となる。一方、表示セル10
1は上側のガラス基板110を用いて構成されている。
このガラス基板110は誘電体シート103に所定の間
隙を介して対向配置されており間隙内には電気光学材料
として例えば液晶層111が間挿されている。ガラス基
板110の内表面には透明導電材料からなる信号電極1
12が形成されている。この信号電極112は放電チャ
ネル106と直交しており列駆動単位となる。列駆動単
位と行走査単位の交差部分にマトリクス状の画素が規定
される。
【0003】かかる構成を有する表示装置においては、
プラズマ放電が行なわれる放電チャネル106を線順次
で切り換え走査するとともに、この走査に同期して表示
セル側の信号電極112に画像信号を印加する事により
表示駆動が行なわれる。放電チャネル106内にプラズ
マ放電が発生すると内部は略一様にアノード電位になり
1行毎の画素選択が行なわれる。即ち、放電チャネル1
06はサンプリングスイッチとして機能する。プラズマ
サンプリングスイッチが導通した状態で各画素に画像信
号が印加されるとサンプリングホールドが行なわれ画素
の点灯もしくは消灯が制御できる。プラズマサンプリン
グスイッチが非導通状態になった後にも画像信号はその
まま画素内に保持される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した誘
電体シート103は液晶層111を封止する機能ととも
に、液晶層111と放電チャネル106との間の絶縁遮
断層としても機能する。この誘電体シート103は例え
ば薄板ガラスで構成される。誘電体であるので、液晶画
素とプラズマサンプリングスイッチとの間に介在するキ
ャパシタとして作用する。従って、液晶層111とプラ
ズマサンプリングスイッチとの電気的結合を十分に確保
する為になるべくその厚みは薄い方が好ましく、例えば
50μm程度である。この極めて薄い誘電体シート10
3を下側のガラス基板104にフリットシールし気密構
造を得ている。しかしながら、誘電体シートは静電気等
により帯電し易くごみやケバ等の異物が付着するという
難点がある。製造工程中で異物が付着したままフリット
シールを行なうと、誘電体シートは極めて薄い為接合界
面に介在する異物により容易に変形が生じ最悪の場合に
は亀裂や破損に至る。亀裂や破損が生じると放電チャネ
ルの気密性が保たれない為プラズマ放電不良になるとい
う課題がある。又、亀裂や破損に至らないまでも変形に
より凹凸が生じると表示セル側で均一な間隙寸法を維持
する事ができなくなる。従って、表示セルに液晶層等を
封入した場合その厚みにばらつきが生じる為画像表示品
位を損なうという課題がある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述した従来の技術の課
題に鑑み、本発明はプラズマアドレス表示装置の製造工
程において誘電体シートの帯電等により表面にごみやケ
バ等の異物が付着しない様にする事を目的とする。かか
る目的を達成する為に以下の手段を講じた。即ち、本発
明にかかるプラズマアドレス表示装置の製造方法は、予
め誘電体シートに帯電防止剤を適用する表面処理工程
と、該誘電体シートの一面側に、行状の放電用チャネル
が形成された一方の基板を接合しイオン化可能なガスを
封入してプラズマセルを形成する第一組立工程と、該誘
電体シートの他面側に、列状の信号電極が形成された他
方の基板を離間的に接合し電気光学物質を間挿して表示
セルを形成する第二組立工程とからなる。前記表面処理
工程は、帯電防止剤として例えば塩構造を有する有機化
合物又はアルコールを用いる。又前記第一組立工程で
は、プラズマセルの加熱排気を行ない誘電体シートの表
面に残留する帯電防止剤を除去した後イオン化可能なガ
スを封入する様にしても良い。この第一組立工程では、
例えば薄板ガラスからなる誘電体シートをフリットシー
ルによりガラスからなる該一方の基板に接合する。場合
によっては先に表示セルを組み立て、後でプラズマセル
を組み立てても良い。この場合には、本発明にかかる製
造方法は、予め誘電体シートに帯電防止剤を適用する表
面処理工程と、該誘電体シートの一面側に、列状の信号
電極が形成された一方の基板を離間的に接合し電気光学
物質を間挿して表示セルを形成する第一工程と、前記誘
電体シートの他面側に、行状の放電用チャネルが形成さ
れた他方の基板を接合しイオン化可能なガスを封入して
プラズマセルを形成する第二工程とからなる。
【0006】
【作用】本発明では、プラズマセルや表示セルの組み立
てを行なう前に、予め誘電体シートに帯電防止剤を塗布
しておき静電気による異物の付着を防止する。この為、
最終組立工程に至るまで誘電体シートの表面は清浄な状
態に保たれ、フリットシールを行なっても何ら変形、亀
裂、破損が生じない。従って、プラズマセル内の各放電
チャネルは完全に気密な状態で形成される。又、誘電体
シートの平坦性が保たれる為、表示セル側においても液
晶層の均一な厚みを維持できる。なお、プラズマセルを
組み立てた後にも誘電体シート表面に帯電防止剤が残留
しているとアウトガスの原因となりプラズマ放電特性の
劣化を招く惧れも考えられる。従って、イオン化可能な
ガスを封入する前にプラズマセルの加熱排気を行ない残
留帯電防止剤を気化して除去すると良い。
【0007】
【実施例】以下図面を参照して本発明の好適な実施例を
詳細に説明する。図1は本発明にかかるプラズマアドレ
ス表示装置の製造方法を示す模式的な工程図である。先
ず工程Aにおいて誘電体シート1を用意する。この誘電
体シート1は例えば厚さが数十μmの薄板ガラスからな
る。場合によっては、薄板ガラスに代えて高分子フィル
ムを用いても良い。何れにしても誘電体である為静電気
により帯電し易くごみやケバ等の異物が吸着する惧れが
ある。この為、誘電体シート1の表面に予め帯電防止剤
を適用しておく。帯電防止剤としては例えば塩構造を有
する有機化合物やアルコールを用いる事ができる。有機
化合物の塩構造あるいはアルコールの水酸基は水分を吸
着し易い性質を有している。吸着された水分との相互作
用によってイオンの形で電荷を移動させる事ができる。
この様な性質を有する帯電防止剤を誘電体シートに適用
する事により、表面に蓄積された静電気を漏洩させる事
ができる。この結果静電気帯電による異物の付着を防ぐ
事ができる。この様な表面処理を行なう為、例えば帯電
防止剤を有機溶剤に溶かして塗布すれば良い。ディップ
コート、ロールコート、スプレーコート等の塗布技術を
応用しても良い。
【0008】帯電防止剤としては低分子系のものと高分
子系のものが知られており、アニオンタイプ、カチオン
タイプ、非イオンタイプ、両性タイプ等様々なものがあ
る。参考の為、低分子系帯電防止剤の代表例を表1に示
し、高分子系帯電防止剤の代表例を表2に示しておく。
【表1】
【表2】
【0009】一方工程Bではガラス基板2の加工を行な
う。先ず、フォトリソグラフィ及びエッチングによりガ
ラス基板2の表面にストライプ状の溝3を形成する。次
にスパッタリング又は真空蒸着により金属薄膜を全面的
に堆積する。金属薄膜材料としては例えばニッケルを用
いる事ができる。さらにフォトリソグラフィ及びエッチ
ングを用いて金属薄膜をパタニングし、個々の溝3の内
部に一対の放電電極4を形成する。
【0010】工程Cにおいて、誘電体シート1とガラス
基板2をフリットシールにより互いに接合する。この結
果、個々のストライプ状溝3は気密封止され放電チャネ
ル5が形成される。フリットシールする際、誘電体シー
ト1には異物が付着していない為加熱加圧を行なっても
誘電体シート1に亀裂や破損が生じる惧れがない。従っ
て、放電チャネル5の気密性を完全に維持できる。又、
誘電体シート1とガラス基板2の接合界面には異物が介
在しない為、誘電体シート1の平坦性も維持できる。こ
の後、放電チャネル5内にイオン化可能なガスを封入し
てプラズマセルを完成させる。なお、帯電防止剤が誘電
体シート1の内表面に残留しているとアウトガスの原因
となりプラズマ放電特性の劣化を招く可能性もある。従
って、帯電防止剤は誘電体シート1をフリットシールし
た後アニールの為加熱排気した時に気化させて除去する
事が望ましい。この点を考慮すると帯電防止剤としては
気化の容易な分子量2000以下のものが好ましい。
【0011】最後に工程Dで表示セルの組み立てを行な
う。先ず、所定の間隙を介して上側のガラス基板6を誘
電体シート1の表面側に接着する。なお、上側ガラス基
板6の内表面には予めストライプ状の信号電極Dがパタ
ニング形成されている。次に基板6と誘電体シート1と
の間の間隙に液晶層7を間挿して表示セルを完成する。
前述した様に、誘電体シート1の平坦性が完全に維持さ
れている為、液晶層7は画面全体に渡って均一な厚みを
有し良好な画像表示品位が得られる。なお、本例では先
にプラズマセルを組み立て、後で表示セルを組み立てて
いるが、逆にしても良い。この場合には順に予め誘電体
シートに帯電防止剤を適用する表面処理工程、該誘電体
シートの一面側に、列状の信号電極が形成された一方の
基板を離間的に接合し電気光学物質を間挿して表示セル
を形成する第一工程、前記誘電体シートの他面側に、行
状の放電用チャネルが形成された他方の基板を接合しイ
オン化可能なガスを封入してプラズマセルを形成する第
二工程が行なわれる。
【0012】図2は、図1に示した製造方法によって組
み立てられたプラズマアドレス表示装置の模式的な断面
図である。列方向即ち信号電極方向に沿って切断した形
状を表わしている。前述した様に、プラズマアドレス表
示装置は表示セル8とプラズマセル9と両者の間に介在
する極薄の誘電体シート1とを積層したフラットパネル
構造を有する。表示セル8は上側のガラス基板6を用い
て構成されており、その内側主面にはストライプ状の信
号電極Dが列方向に沿って形成されている。ガラス基板
6はスペーサ10を用いて所定の間隙を介し誘電体シー
ト1に接着されている。間隙内には電気光学材料として
液晶層7が充填されている。一方プラズマセル9は下側
のガラス基板2を用いて構成されている。ガラス基板2
の内側主面上には信号電極Dと直交するストライプ状の
溝3が形成されており、行方向に沿って延設されてい
る。各溝の底部に形成された一対の放電電極4はアノー
ドA及びカソードKとして機能する。ガラス基板2は誘
電体シート1に接合されており、気密封止された各溝3
は放電チャネル5を構成し、その内部にはイオン化可能
なガスが封入されている。ガス種は例えばヘリウム、ネ
オン、アルゴンあるいはこれらの混合気体から選ぶ事が
できる。個々の溝3の間に位置する凸条部11は隔壁と
して機能するとともに、誘電体シート1の裏面側に当接
しスペーサとしての機能も果たす。なおプラズマセル9
の構造は図示するものに限られるものではない。例え
ば、平坦な基板表面にアノード/カソードを厚膜印刷す
るとともに、隔壁も厚膜印刷で形成し放電チャネルとし
ても良い。かかる構造は、例えば特開平4−26593
1号公報に開示されている。
【0013】参考の為、図3を参照して図2に示したプ
ラズマアドレス表示装置の動作を簡潔に説明する。図3
は表示装置に用いられる駆動回路の一例を示している。
この駆動回路は信号回路21と走査回路22と制御回路
23とから構成されている。信号回路21には信号電極
D1〜Dmがバッファを介して接続されている。一方、
走査回路22には同じくバッファを介してカソードK1
〜Knが接続されている。アノードA1〜Anは共通に
接地されている。カソードは走査回路22により線順次
走査されるとともに、信号回路21はこれに同期して各
信号電極に画像信号を供給する。制御回路23は信号回
路21と走査回路22の同期制御を行なうものである。
各カソードに沿って放電チャネルが形成され行走査単位
となる。一方各信号電極は列駆動単位となる。両単位の
間に画素24が規定される。
【0014】図4は図5に示す2個の画素24を切り取
って模式的に表わしたものである。各画素24は信号電
極(D1,D2)及び誘電体シート1によって挟持され
た液晶層7からなるサンプリングキャパシタと、プラズ
マサンプリングスイッチS1との直列接続からなる。プ
ラズマサンプリングスイッチS1は放電チャネルの機能
を等価的に表わしたものである。即ち、放電チャネルが
活性化するとその内部は略全体的にアノード電位に接続
される。一方、プラズマ放電が終了すると放電チャネル
は浮遊電位となる。サンプリングスイッチS1を介して
個々の画素24のサンプリングキャパシタに画像信号を
書き込み所謂サンプリングホールドを行なう。
【0015】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、プ
ラズマアドレス表示装置の放電用チャネルを作成する際
に、予め誘電体シートに帯電防止剤を塗布しておく事に
よって、ごみやケバ等の異物の吸着を防ぎ、フリットシ
ール時における誘電体シートの変形、亀裂、破損等を抑
制する事ができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかるプラズマアドレス表示装置の製
造方法を示す工程図である。
【図2】本発明にかかる製造方法により作成されたプラ
ズマアドレス表示装置を示す模式的な断面図である。
【図3】プラズマアドレス表示装置に用いられる駆動回
路のブロック図である。
【図4】プラズマアドレス表示装置に含まれる画素を切
り取って示した模式図である。
【図5】従来のプラズマアドレス表示装置の一例を示す
部分破断斜視図である。
【符号の説明】
1 誘電体シート 2 ガラス基板 3 溝 4 放電電極 5 放電チャネル 6 ガラス基板 7 液晶層 8 表示セル 9 プラズマセル A アノード K カソード D 信号電極

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 予め誘電体シートに帯電防止剤を適用す
    る表面処理工程と、該誘電体シートの一面側に、行状の
    放電用チャネルが形成された一方の基板を接合しイオン
    化可能なガスを封入してプラズマセルを形成する第一組
    立工程と、該誘電体シートの他面側に、列状の信号電極
    が形成された他方の基板を離間的に接合し電気光学物質
    を間挿して表示セルを形成する第二組立工程とを含むプ
    ラズマアドレス表示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】 予め誘電体シートに帯電防止剤を適用す
    る表面処理工程と、該誘電体シートの一面側に、列状の
    信号電極が形成された一方の基板を離間的に接合し電気
    光学物質を間挿して表示セルを形成する第一工程と、前
    記誘電体シートの他面側に、行状の放電用チャネルが形
    成された他方の基板を接合しイオン化可能なガスを封入
    してプラズマセルを形成する第二工程とを含むプラズマ
    アドレス表示装置の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記表面処理工程は、帯電防止剤として
    塩構造を有する有機化合物又はアルコールを用いる請求
    項1あるいは2記載のプラズマアドレス表示装置の製造
    方法。
  4. 【請求項4】 前記第一組立工程は、プラズマセルの加
    熱排気を行ない該誘電体シートの表面に残留する帯電防
    止剤を除去した後、イオン化可能なガスを封入する工程
    を含む請求項1記載のプラズマアドレス表示装置の製造
    方法。
  5. 【請求項5】 前記第一組立工程は、薄板ガラスからな
    る誘電体シートをフリットシールによりガラスからなる
    該一方の基板に接合する工程を含む請求項1記載のプラ
    ズマアドレス表示装置の製造方法。
JP5061078A 1993-02-25 1993-02-25 プラズマアドレス表示装置の製造方法 Pending JPH06250158A (ja)

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JP (1) JPH06250158A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01240620A (ja) * 1988-03-16 1989-09-26 Miyamoto Kogyosho:Kk ビレット調質方法とビレット調質炉
JPH06317786A (ja) * 1993-03-08 1994-11-15 Sony Tektronix Corp プラズマ・アドレス装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01240620A (ja) * 1988-03-16 1989-09-26 Miyamoto Kogyosho:Kk ビレット調質方法とビレット調質炉
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