JPH08304789A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

プラズマアドレス表示装置の製造方法

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JPH08304789A
JPH08304789A JP7110447A JP11044795A JPH08304789A JP H08304789 A JPH08304789 A JP H08304789A JP 7110447 A JP7110447 A JP 7110447A JP 11044795 A JP11044795 A JP 11044795A JP H08304789 A JPH08304789 A JP H08304789A
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liquid crystal
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Takehiro Togawa
剛広 外川
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    • G02F1/133374Constructional arrangements; Manufacturing methods for displaying permanent signs or marks

Abstract

(57)【要約】 【目的】ごみの混入による液晶層のギャップむらや誘電
体シートの割れを可及的に防止することができるプラズ
マアドレス表示装置の製造方法を提供する。 【構成】プラズマセル3を構成するプラズマ基板ガラス
31と誘電体シート4とが多数並列的に設けられた隔壁
4を介して対向するプラズマアドレス表示装置の製造方
法であって、隔壁5の一部を誘電体シート4に形成する
と共に、プラズマ基板ガラス31に隔壁5の一部を形成
し、これらの誘電体シート4とプラズマ基板ガラス31
とをこれらに形成した隔壁5の一部同士を合わせて隔壁
6を完成するようにして接合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルとプラズマセ
ルとを誘電体シートを介して積層したプラズマアドレス
表示装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、液晶セルとプラズマセルとが誘電
体シートを介して積層されてなるプラズマアドレス表示
装置が提案されている。図3は、このプラズマアドレス
表示装置の構造の一例を示すものである。
【0003】図3のプラズマアドレス表示装置は、液晶
セル2とプラズマセル3とを誘電体シート4を介して積
層したフラットパネル構造を有する。液晶セル2は、カ
ラーフィルター基板21が液晶シール材22を介して所
定の間隙を有した状態で誘電体シート4に接合されてい
る。カラーフィルタ基板21内面側の面には、図示しな
いが行方向に延びる透明導電材料からなるストライプ状
のデータ電極が列方向(図面垂直方向)に並列的に形成
されている。カラーフィルタ基板21と誘電体シート4
との間隙には液晶が充填されて液晶層23が形成されて
いる。なお、図3では示していないが液晶層23には間
隙の寸法を均一にするためにスペーサーが配設されてい
る。
【0004】プラズマセル3においては、プラズマ基板
ガラス31が誘電体シート4と所定の間隙をもって対向
している。誘電体シート4側のプラズマ基板ガラス31
上には、列方向に延び、行方向に所定の間隙を持って並
列的に形成されたニッケル製などのストライプ状の表示
電極32が形成され、この表示電極32上に、絶縁性の
セラミックなどからなり、表示電極32より幅が狭いバ
リヤリブ33が、表示電極32と等ピッチで重ね合わさ
れて形成されている。これらの表示電極32とバリヤリ
ブ33を介してプラズマ基板ガラス31が誘電体シート
4と所定の間隙を持って対向している。これら表示電極
32とバリヤリブ33とが隔壁5を構成し、この隔壁5
で区画された密閉空間がプラズマ室34として構成され
ている。このプラズマ室34は、列方向に延び、行方向
に所定の間隔で形成されている。プラズマ室34にはイ
オン化可能なガスが封入されている。このガスとして
は、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれら
の混合ガスなどが使用される。このように、表示電極3
2とバリヤリブ33は、各プラズマ室を区分けする隔壁
5としての役割を果たすと共に、各プラズマ室のギャッ
プスペーサーとしての役割も果たす。なお、表示電極3
2は、交互にアノード表示電極32Aとカソード表示電
極32Kとなるようにそれぞれドライバに接続されてい
る。プラズマ基板ガラス31の周辺部は低融点ガラスな
どを使用したフリットシール35が配設され、このフリ
ットシール35でプラズマ基板ガラス31と誘電体シー
ト4とが気密的に接合されている。
【0005】上記プラズマアドレス表示装置は、データ
電極とプラズマ室34は直交し、データ電極が列駆動単
位となり、プラズマ室34は行駆動単位となり、これら
の交差部に画素が規定されるものである。このようなプ
ラズマアドレス表示装置において、アノード表示電極3
2Aとカソード表示電極32Kとの間に所定電圧が印加
されると、そのプラズマ室の部分のガスが選択的にイオ
ン化されてプラズマ放電が発生し、その内部は略アノー
ド電位に維持される。この状態で、データ電極にデータ
電圧が印加されると、そのプラズマ室34に対応して列
方向に並ぶ画素の液晶層23に誘電体シート4を介して
データ電圧が書き込まれる。プラズマ放電が終了する
と、プラズマ室34は浮遊電位となり、対応する画素の
液晶層23に書き込まれた電圧は、次の書き込み期間
(例えば1フレーム後)まで保持される。このとき、プ
ラズマ室34はサンプリングスイッチとして機能し、各
画素の液晶層23はサンプリングキャパシタとして機能
している。
【0006】各画素の液晶層23に対してデータ電極1
5から書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作する
ことから画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ
放電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層23
にデータ電圧を書き込むプラズマ室34を行方向に順次
走査していくことで、二次元画像の表示を行うことがで
きる。
【0007】このようなプラズマアドレス表示装置の製
造方法について、図4で簡単に説明すると、まず、図4
(A)に示すように、プラズマ基板ガラス31上に表示
電極パターンを例えばスクリーン印刷法でストライプ状
に印刷した後、乾燥して表示電極32を形成する。
【0008】次に、ストライプ状に形成した表示電極3
2の上にスクリーン印刷でバリヤリブ33を、図4
(B)に示すように、重ねて積層する。この場合、バリ
ヤリブ33は約200μm程度の高さとするために、ス
クリーン印刷を繰り返して重ね塗りを行うことでこの高
さを出すようにしている。所定の高さのバリヤリブを印
刷した後、焼成を行い、バリヤリブの上部を研磨し、バ
リヤリブの高さを所定の高さにそろえる。
【0009】そして、図4(C)に示すように、プラズ
マ基板ガラス31の周辺にフリットシール35をディス
ペンサーなどで形成し、このフリットシール35を介し
てガラス製の誘電体シート4をバリヤリブに乗せた状態
でプラズマ基板ガラスに接合し、形成されたプラズマ室
34を真空に引いた後、ガスを注入する。
【0010】次に、図示しない配向処理を行い、図4
(D)に示すように、液晶層を均一の厚さにするための
スペーサー24を散布し、図4(E)に示すように、液
晶シール材22を介してカラーフィルタ21を誘電体シ
ート4に接合して、液晶室を形成し、その後液晶を注入
して図3に示したプラズマアドレス表示装置を得ること
ができる。
【0011】ところで、上記誘電体シート4をバリヤリ
ブ33上に乗せてプラズマ基板ガラス31に接合する際
に、図5に示すように、5〜10数μm程度のごみD
が、バリヤリブ33と誘電体シート4との合わせ面間に
挟まることがある。誘電体シート4は約50μm程度の
厚さの薄板硝子であり、誘電体シート4上に形成される
液晶層は約7μm程度の厚さであるので、このような大
きさのごみDがバリヤリブ33と誘電体シート4との間
に挟まると、液晶層23のギャップむらになり、その結
果液晶表示のむらになる。また、それだけでなく、薄板
硝子で構成される誘電体シート4は、バリヤリブ33に
押圧されているので、ごみDの部分で局所的に大きく変
形し、割れることもある。このため、このようにごみD
が入ったパネルは不良品となり、製造のコストを上昇さ
せる原因となっている。
【0012】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、ごみの混入による液晶層のギャップむらや誘電体シ
ートの割れを可及的に防止することができるプラズマア
ドレス表示装置の製造方法を提供することを目的とす
る。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法は、
液晶セルとプラズマセルとが誘電体シートを介して積層
され、該プラズマセルを構成するプラズマ基板ガラスと
該誘電体シートとが多数並列的に設けられた隔壁を介し
て対向するプラズマアドレス表示装置の製造方法であっ
て、前記隔壁の一部を前記誘電体シートに形成すると共
に、前記プラズマ基板ガラスに前記隔壁の一部を形成
し、これらの前記誘電体シートと前記プラズマ基板ガラ
スとをこれらに形成した隔壁の一部同士を合わせて隔壁
を完成するようにして接合するものである。
【0014】この場合、隔壁が、プラズマ基板ガラスに
形成された表示電極と、誘電体シートに形成されたバリ
ヤリブとで完成するようにすることが好ましい。また、
隔壁が、プラズマ基板ガラスに形成された表示電極と、
この表示電極上に形成されたバリヤリブの上下に分割さ
れた一方と、誘電体シートに形成されたバリヤリブの上
下に分割された他方とで完成するようにすることが好ま
しい。
【0015】
【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
は、プラズマ室を構成する隔壁の製造方法を改良して、
ごみの混入の影響を可及的に少なくし得たものである。
【0016】即ち、従来は、隔壁を構成する表示電極と
この上に形成されるバリヤリブとをプラズマ基板ガラス
に形成していたが、本発明においては、プラズマ基板ガ
ラスに隔壁の一部を、誘電体シートに隔壁の一部を形成
し、これらを合わせることにより、隔壁を完成するよう
にしたものである。
【0017】このような方法によれば、ごみが合わせ面
に混入する確率は、従来と変わりはないが、たとえごみ
が合わせ面に混入したとしても、ごみは、誘電体シート
に直接当たらず、バリヤリブを押し上げるだけであるの
で、ごみが誘電体シートに直に接すると1点加圧にな
り、応力が局所的に集中するのに対し、誘電体シートは
なだらかに変形し、ストレスが分散するため、誘電体シ
ートが割れるおそれは少なくなり、液晶のギャップむら
も見え難くなり、品質に影響を与えるおそれは少なくな
る。更に、バリヤリブの合わせ面は比較的粗くポーラス
であり、このためごみが合わせ面に挟まっても、ごみが
粗い面にある程度沈むので、この点でもごみの影響を少
なくし得る。
【0018】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら具体的に説明する。図1、図2は、それぞれ、本
発明において、隔壁を完成させながら誘電体シートとプ
ラズマ基板ガラスとを接合する様子を説明する断面図で
ある。 [第1実施例]本例の方法は、図1(A)に示すよう
に、表示電極32をプラズマ基板ガラス31に形成し、
この表示電極に対応させてバリヤリブ33を誘電体シー
ト(薄板硝子)4に形成する工程と、同図(B)に示す
ように、誘電体シート4とプラズマ基板ガラス31とを
フリットシール35を介して接合する際に、これらの表
示電極32とバリヤリブ33とを合わせて隔壁5を完成
させる工程とを有する。
【0019】この場合、表示電極32は、スクリーン印
刷法、CVD、PVD等の蒸着法で膜を形成した後フォ
トリソグラフィによってパターニングする方法等種々の
方法によって形成することができる。材質はニッケルな
どの金属が代表的であるが、これに限られるものではな
い。
【0020】また、バリヤリブ33は、表示電極32の
形成位置に対応した位置、即ち表示電極32と等ピッチ
で誘電体シート4に形成する。ピッチ間隔は、現状では
約0.69mm程度である。形成方法は、通常スクリー
ン印刷法が採用される。バリヤリブの印刷材料は、ガラ
スとの膨張性の観点から、鉛とセラミックと溶剤等から
作られるペーストである。1回の印刷では十分な高さを
得ることができないので、通常数回重ね塗りをする。所
定の高さにバリヤリブを印刷した後、焼成を行う。この
焼成温度は、通常570℃程度である。
【0021】本例においては、バリヤリブ33を全て誘
電体シート4に形成しているので、ごみがバリヤリブ3
3と表示電極32間に挟まれたとしても、これによりバ
リヤリブ33はごみの高さ分持ち上がるが、バリヤリブ
33と誘電体シート4間のごみが誘電体シートに局所的
応力を与えるのと異なり、ストレスが一点に集中するこ
とがなく、誘電体シート4(薄板硝子)がなだらかに変
形するので、誘電体シート4が割れるおそれは少なく、
液晶のギャップむらも生じ難い。
【0022】なお、バリヤリブ33をプラズマ基板ガラ
ス31に形成する従来法の場合は、焼成後、通常バリヤ
リブ33の表面の研磨を行う。この研磨の目的は、誘電
体シート4の面を出すためであるので、誘電体シート4
にバリヤリブ33を形成する本例においては、研磨は特
に必要な工程ではない。従って、本例では、研磨を省略
することができるので、工程を減らしてコスト低下が可
能となる。 [第2実施例]本例の製造方法の工程を図2に示す。こ
の例では、同図(A)に示すように、バリヤリブ33を
上下に2分割し、誘電体シート4に半割バリヤリブ33
aを形成する工程とプラズマ基板ガラス31に形成した
表示電極32の上に半割バリヤリブ33bを形成する工
程と、同図(B)に示すように、誘電体シート4とプラ
ズマ基板ガラス31とをフリットシール35を介して接
合する際に、これらの表示電極32と半割バリヤリブ3
3aと33bとを合わせて隔壁5を完成させる工程とを
有する。
【0023】この場合、表示電極32、半割バリヤリブ
33a、33bの形成は、上記と同様とすることができ
る。また、半割バリヤリブのそれぞれの高さは適宜選定
することができる。本例では、半割バリヤリブ33a、
33bの粗い端面同士が合わせ面となるので、ごみがこ
の合わせ面に挟まっても、ごみがバリヤリブ表面の凹み
にある程度埋め込まれるので、ごみの影響を低下させる
効果は、実施例1よりも高い。また、ごみによる誘電体
シートへの影響は、同様になだらかになり、誘電体シー
トが割れるおそれは少ない。更に、バリヤリブの研磨を
省略できることも同様である。
【0024】このようにして、誘電体シート4とプラズ
マ基板ガラス31とを接合して、図4(C)に示したよ
うな工程が完了した後、形成されたプラズマ室34にガ
スを注入する。次に、図示しない配向処理を行い、図4
(D)に示したように、液晶層を均一の厚さにするため
のスペーサー24を散布し、液晶シール材22を介して
カラーフィルタ21を誘電体シート4に接合して、液晶
室を形成し、その後液晶を注入して図2に示したプラズ
マアドレス表示装置を得ることができる。
【0025】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、隔壁はバリヤリブのみで構成してもよ
く、その他本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更す
ることができる。
【0026】
【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、誘電体シートとプラズマ基板ガラスを
接合する際に、合わせ面にごみが混入することによる誘
電体シートに割れが発生したり、液晶のむらが発生する
ことを可及的に防止できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
の一実施例を示す断面図である。
【図2】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
の他の実施例を示す断面図である。
【図3】プラズマアドレス表示装置の一例を示す断面図
である。
【図4】(A)〜(E)は、図3のプラズマアドレス表
示装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図5】誘電体シートとバリヤリブとの合わせ面にごみ
が混入する状態を説明する断面図である。
【符号の説明】
2 液晶セル 3 プラズマセル 4 誘電体シート 5 隔壁 21 カラーフィルタ基板 22 液晶シール材 23 液晶層 31 プラズマ基板ガラス 32 表示電極 33 バリヤリブ 33a、33b 半割バリヤリブ 34 プラズマ室 35 フリットシール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】液晶セルとプラズマセルとが誘電体シート
    を介して積層され、該プラズマセルを構成するプラズマ
    基板ガラスと該誘電体シートとが多数並列的に設けられ
    た隔壁を介して対向するプラズマアドレス表示装置の製
    造方法であって、 前記隔壁の一部を前記誘電体シートに形成すると共に、
    前記プラズマ基板ガラスに前記隔壁の一部を形成し、こ
    れらの前記誘電体シートと前記プラズマ基板ガラスとを
    これらに形成した隔壁の一部同士を合わせて隔壁を完成
    するようにして接合することを特徴とするプラズマアド
    レス表示装置の製造方法。
  2. 【請求項2】隔壁が、プラズマ基板ガラスに形成された
    表示電極と、誘電体シートに形成されたバリヤリブとで
    完成する請求項1記載のプラズマアドレス表示装置の製
    造方法。
  3. 【請求項3】隔壁が、プラズマ基板ガラスに形成された
    表示電極と、この表示電極上に形成されたバリヤリブの
    上下に分割された一方と、誘電体シートに形成されたバ
    リヤリブの上下に分割された他方とで完成する請求項1
    記載のプラズマアドレス表示装置の製造方法。
JP7110447A 1995-05-09 1995-05-09 プラズマアドレス表示装置の製造方法 Pending JPH08304789A (ja)

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KR1019960014098A KR100399299B1 (ko) 1995-05-09 1996-05-01 플라즈마어드레스표시장치의 제조방법
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