JPH08304790A - プラズマアドレス表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】品質の良い放電電極を印刷することができるプ
ラズマアドレス表示装置を提供する。 【構成】プラズマ基板ガラス３１に、まず放電電極３２
を印刷した後、取出電極３７を印刷する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、液晶セルとプラズマセ
ルとを誘電体シートを介して積層したプラズマアドレス
表示装置の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶セルとプラズマセルとが誘電
体シートを介して積層されてなるプラズマアドレス表示
装置が提案されている。図４は、このプラズマアドレス
表示装置の構造の一例を示すものである。

【０００３】図４のプラズマアドレス表示装置は、液晶
セル２とプラズマセル３とを誘電体シート４を介して積
層したフラットパネル構造を有する。液晶セル２は、カ
ラーフィルター基板２１が液晶シール材２２を介して所
定の間隙を有した状態で誘電体シート４に接合されてい
る。カラーフィルタ基板２１内面側の面には、図示しな
いが行方向に延びる透明導電材料からなるストライプ状
のデータ電極が列方向（図面垂直方向）に並列的に形成
されている。カラーフィルタ基板２１と誘電体シート４
との間隙には液晶が充填されて液晶層２３が形成されて
いる。なお、図４では示していないが液晶層２３には間
隙の寸法を均一にするためにスペーサーが配設されてい
る。

【０００４】プラズマセル３においては、プラズマ基板
ガラス３１が誘電体シート４と所定の間隙をもって対向
している。誘電体シート４側のプラズマ基板ガラス３１
上には、列方向に延び、行方向に所定の間隙を持って並
列的に形成されたニッケル製などのストライプ状の放電
電極３２が形成され、この放電電極３２上に、絶縁性の
セラミックなどからなり、放電電極３２より幅が狭いバ
リヤリブ３３が、放電電極３２と等ピッチで重ね合わさ
れて形成されている。これらの放電電極３２とバリヤリ
ブ３３を介してプラズマ基板ガラス３１が誘電体シート
４と所定の間隙を持って対向している。これら放電電極
３２とバリヤリブ３３とが隔壁５を構成し、この隔壁５
で区画された密閉空間がプラズマ室３４として構成され
ている。このプラズマ室３４は、列方向に延び、行方向
に所定の間隔で形成されている。プラズマ室３４にはイ
オン化可能なガスが封入されている。このガスとして
は、例えばヘリウム、ネオン、アルゴンあるいはこれら
の混合ガスなどが使用される。このように、放電電極３
２とバリヤリブ３３は、各プラズマ室３４を区分けする
隔壁５としての役割を果たすと共に、各プラズマ室のギ
ャップスペーサーとしての役割も果たす。なお、放電電
極３２は、交互にアノード放電電極３２Ａとカソード放
電電極３２Ｋとなるようにそれぞれドライバに接続され
ている。プラズマ基板ガラス３１の周辺部は低融点ガラ
スなどを使用したリング状のフリットシール３５が配設
され、このフリットシール３５でプラズマ基板ガラス３
１と誘電体シート４とが気密的に接合されている。

【０００５】上記プラズマアドレス表示装置は、データ
電極とプラズマ室は直交し、データ電極が列駆動単位と
なり、プラズマ室は行駆動単位となり、これらの交差部
に画素が規定されるものである。このようなプラズマア
ドレス表示装置において、アノード放電電極３２Ａとカ
ソード放電電極３２Ｋとの間に所定電圧が印加される
と、そのプラズマ室の部分のガスが選択的にイオン化さ
れてプラズマ放電が発生し、その内部は略アノード電位
に維持される。この状態で、データ電極にデータ電圧が
印加されると、そのプラズマ室３４に対応して列方向に
並ぶ画素の液晶層２３に誘電体シート４を介してデータ
電圧が書き込まれる。プラズマ放電が終了すると、プラ
ズマ室３４は浮遊電位となり、対応する画素の液晶層２
３に書き込まれた電圧は、次の書き込み期間（例えば１
フレーム後）まで保持される。このとき、プラズマ室３
４はサンプリングスイッチとして機能し、各画素の液晶
層２３はサンプリングキャパシタとして機能している。

【０００６】各画素の液晶層２３に対してデータ電極１
５から書き込まれたデータ電圧によって液晶が動作する
ことから画素単位で表示が行われる。従って、プラズマ
放電を発生させて列方向に並ぶ複数の画素の液晶層２３
にデータ電圧を書き込むプラズマ室３４を行方向に順次
走査していくことで、二次元画像の表示を行うことがで
きる。

【０００７】このようなプラズマアドレス表示装置の製
造方法について、図５で簡単に説明すると、まず、図５
（Ａ）に示すように、プラズマ基板ガラス３１上に放電
電極パターンを例えばスクリーン印刷法でストライプ状
に印刷した後、乾燥して放電電極３２を形成する。

【０００８】次に、ストライプ状に形成した放電電極３
２の上にスクリーン印刷でバリヤリブ３３を、図５
（Ｂ）に示すように、等ピッチで積層する。この場合、
バリヤリブ３３は約２００μｍ程度の高さとするため
に、スクリーン印刷を繰り返して重ね塗りを行うことで
この高さを出すようにしている。所定の高さのバリヤリ
ブを印刷した後、焼成を行い、バリヤリブの上部を研磨
し、バリヤリブの高さを所定の高さにそろえる。

【０００９】そして、図５（Ｃ）に示すように、プラズ
マ基板ガラス３１の周辺にリング状フリットシール３５
をディスペンサーなどで形成し、このフリットシール３
５を介してガラス製の誘電体シート４をバリヤリブに乗
せた状態でプラズマ基板ガラスに接合する。これによ
り、フリットシール３５で囲まれた領域は、誘電体シー
ト４とプラズマ基板ガラス３１を上下壁とし、フリット
シールを側壁とする外部と気密的に遮断された扁平密封
室３６となる。形成された密封室３６を真空に引いた
後、ガスを注入する。

【００１０】次に、図示しない配向処理を行い、図５
（Ｄ）に示すように、液晶層を均一の厚さにするための
スペーサー２４を散布し、図５（Ｅ）に示すように、液
晶シール材２２を介してカラーフィルタ２１を誘電体シ
ート４に接合して、液晶室を形成し、その後液晶を注入
して図４に示したプラズマアドレス表示装置を得ること
ができる。

【００１１】ところで、上述したプラズマアドレス表示
装置のプラズマセル部３の放電電極の列方向の末端は、
図６の断面図に示すように、プラズマ基板ガラス３１上
に放電電極３２と銀で形成された取出電極３７とがそれ
ぞれ等ピッチでストライプ状に形成され、この放電電極
３１と取出電極３７との端縁相互が重なって接続されて
いる。取出電極３７は、フリットシール内の放電電極３
２をフリットシール外方と接続するもので、銀を用いる
のは機密性が高いためである。この取出電極３７と放電
電極３２とが重なる継ぎ目部分を覆って行方向に延びる
カバーガラス３８が絶縁カバーとして形成されている。
また、フリットシール３５がディスペンサーなどによっ
て、取出電極３７上のカバーガラス３８の端縁をシール
するように塗布されて形成されている。更に、放電電極
３２上には絶縁性のバリヤリブ３３が形成されている。

【００１２】このような、取出電極３７、放電電極３２
及びカバーガラス３８を形成する工程を説明すると、図
７（Ａ）に示すように、プラズマ基板ガラス３１上に例
えばスクリーン印刷法でストライプ状の取出電極３７を
形成する。次に、同図（Ｂ）に示すように、放電電極３
２をスクリーン印刷法などで一部を重ねて取出電極３７
に同ピッチでストライプ状に形成する。そして、カバー
ガラス３８をスクリーン印刷法などで取出電極３７と放
電電極３２との継ぎ目部分をカバーするように帯状に形
成するものである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記工
程で製造されたプラズマアドレス表示装置では、液晶表
示部に透過率むらが生じたり、放電電極のショートが生
じる場合がある。本発明者らは、この原因について検討
したところ、上記工程では、まず、取出電極３７をスク
リーン印刷により印刷するが、この時、放電電極３２を
印刷する位置に取出電極３７のスクリーンの乳剤面が接
触し、このため乳剤面に付着していた汚れが放電電極を
印刷する領域に付着するためであることがわかった。こ
のように付着した汚れは放電電極３２の印刷を阻害し、
放電電極３２の線幅にむらが生じたり、エッジ形状に乱
れを生じさせ、これが透過率むらの原因となることを知
見した。発光を見るプラズマディスプレーでは、これは
大きな問題とならないが、透過光を見るプラズマアドレ
ス表示装置においては画質を左右する重大な問題であ
る。

【００１４】本発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、品質の良い放電電極を形成することができるプラズ
マアドレス表示装置の製造方法を提供することを目的と
する。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法は、
液晶セルとプラズマセルとが誘電体シートを介して積層
されてなり、該プラズマセルを構成するプラズマ基板ガ
ラスと該誘電体シートとがこれらの周辺部に配設された
リング状シール部を介して接合され、プラズマを生ぜし
める電圧が印加されるストライプ状放電電極と、該シー
ル部外方と該放電電極とを接続するストライプ状取出電
極とが上記プラズマ基板ガラスに形成されたプラズマア
ドレス表示装置の製造方法であって、前記放電電極と取
出電極とを前記プラズマ基板ガラスに印刷法により形成
する際に、まず放電電極を印刷した後、取出電極を印刷
するようにしたものである。

【００１６】この場合、印刷法がスクリーン印刷法であ
ることが好ましい。

【００１７】

【作用】本発明のプラズマアドレス表示装置の製造方法
は、従来、まずプラズマ基板ガラスに取出電極を印刷し
た後、放電電極を印刷していた順序を逆にし、まず放電
電極を印刷した後、取出電極を印刷するようにしたもの
である。これにより、放電電極印刷時には、放電電極を
印刷すべき面は未だ印刷処理が行われていないので、印
刷に伴う汚れが付着することがなく、このため放電電極
を良好に印刷することができ、放電電極の線幅にむらが
生じたり、エッジ形状に乱れが生じることは少なくな
り、その結果透過率むらが発生することは少なくなる。

【００１８】なお、従来、取出電極を放電電極より先に
印刷していたのは、プラズマディスプレーと同様の工程
としていたからであり、プラズマディスプレーにおいて
は、次のような制約から取出電極を先に印刷する。第１
に、放電のむらが輝度むらとして画質を大きく左右する
ので、電極の品質を確保するために取出電極と放電電極
とリブを別々に焼成する必要があること、第２に、放電
電極の焼成とリブの焼成の間に高温の熱工程が入ると、
放電電極とリブの相対的な位置精度を乱すため、取出電
極、放電電極、リブの順序で印刷、焼成を行う必要があ
ることによる。

【００１９】しかしながら、本発明者らは、上記理由に
ついて再検討したところ、プラズマアドレス表示装置に
おいては、放電はスイッチングに利用するだけなので、
第１の理由のような制約がなく、また、放電電極の上に
リブを形成するプラズマアドレス表示装置においては、
第２の理由のような制約がない。従って、プラズマアド
レス表示装置では、取出電極、放電電極及びリブを全て
印刷した後、一括して焼成することが可能であり、その
ために放電電極を取出電極より先に印刷しても問題が生
じないことを知見したものである。

【００２０】

【実施例】以下、本発明の実施例について、図面を参照
しながら具体的に説明する。図１、図２は、本発明のプ
ラズマアドレス表示装置の製造工程を説明するフローチ
ャートであり、図３は、図２のＡ―Ａ’線に沿った断面
図である。

【００２１】本発明においては、まず、図１（Ａ）に示
すように、ストライプ状の放電電極３２をプラズマ基板
ガラス３１に形成する。形成方法は、スクリーン印刷法
が一般的である。次に、図１（Ｂ）に示すように、スト
ライプ状の取出電極３７を放電電極３２と等ピッチで、
末端を一部放電電極３２と重ねて形成する。形成方法
は、スクリーン印刷法が一般的であるが、蒸着法でもよ
い。取出電極３７の材質は、銀が普通である。次に、図
１（Ｃ）に示すように、絶縁カバー３８を取出電極３７
と放電電極３２との継ぎ目部を覆うように形成する。絶
縁カバーの形成方法は、スクリーン印刷法が普通であ
り、材質はガラスを用いるのが一般的である。そして、
図１（Ｃ）の破線で示すように、バリヤリブ３３を放電
電極３２上にスクリーン印刷法などで形成し、ここで、
今まで印刷した放電電極３２、取出電極３７及びバリヤ
リブ３３を焼成する。その後、図１（Ｃ）の破線で示し
たように、フリットシール３５をディスペンサーなどを
用いて低融点ガラスなどを取出電極３７と絶縁カバー３
８の継ぎ目をほぼ中心として塗布して形成する。フリッ
トシールの幅は通常約１．５μｍ程度であり、絶縁カバ
ー３８はこのうち約０．７５μｍ程度フリットシールで
覆われるようにフリットシールの形成を制御する。な
お、フリットシール３５とバリヤリブ３３との離間距離
は誘電体シート４の割れを防止するために、１．８ｍｍ
以下とすることが好ましい。

【００２２】その後は、誘電体シート４とプラズマ基板
ガラス３１とをフリットシール３５を介して貼り合わせ
る。次に、真空ポンプ（図示せず）でフリットシール３
５で囲まれた密封室３６内を真空にする。更にガスを注
入した後、水銀蒸気を密封室内に拡散させる。

【００２３】その後、図示しない配向処理を行い、図５
（Ｄ）に示したように、液晶層を均一の厚さにするため
のスペーサー２４を散布し、液晶シール材２２を介して
カラーフィルタ２１を誘電体シート４に接合して、液晶
室を形成し、その後液晶を注入して図４に示したプラズ
マアドレス表示装置を得ることができる。

【００２４】本実施例のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、まず放電電極を印刷するので、放電電
極を印刷すべき面は、他の印刷により汚れたり、ごみが
付着することはないため、品質の良い放電電極を印刷す
ることができる。このため、良好な表示性能をもち、放
電電極のショートなどのない品質の良いプラズマアドレ
ス表示装置を製造することができる。

【００２５】本発明は、上記実施例に限定されるもので
はない。例えば、上記例では放電電極の上に絶縁体であ
るバリヤリブを乗せた構造としたが、放電電極とバリヤ
リブは離間していてもよく、その他本発明の要旨を逸脱
しない範囲で種々変更することができる。

【００２６】

【発明の効果】本発明のプラズマアドレス表示装置の製
造方法によれば、品質の良好な放電電極を印刷すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（Ａ）〜（Ｃ）は、本発明のプラズマアドレス
表示装置の製造工程を示す平面図である。

【図２】図１の製造工程の続きを示す平面図である。

【図３】図２のＡ―Ａ’線に沿った断面図である。

【図４】プラズマアドレス表示装置の一例を示す断面図
である。

【図５】（Ａ）〜（Ｅ）は、図４のプラズマアドレス表
示装置の製造工程を示すフローチャートである。

【図６】従来のプラズマアドレス表示装置の一例を示す
断面図である。

【図７】従来のプラズマアドレス表示装置の製造工程の
一例を示す平面図である。

【符号の説明】

２ 液晶セル ３ プラズマセル ４ 誘電体シート ５ 隔壁 ２１ カラーフィルタ基板 ２２ 液晶シール材 ２３ 液晶層 ３１ プラズマ基板ガラス ３２ 表示電極 ３３ バリヤリブ ３４ プラズマ室 ３５ フリットシール ３６ 密封室 ３７ 取出電極 ３８ 絶縁カバー

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】液晶セルとプラズマセルとが誘電体シート
   を介して積層されてなり、該プラズマセルを構成するプ
   ラズマ基板ガラスと該誘電体シートとがこれらの周辺部
   に配設されたリング状シール部を介して接合され、プラ
   ズマを生ぜしめる電圧が印加されるストライプ状放電電
   極と、該シール部外方と該放電電極とを接続するストラ
   イプ状取出電極とが上記プラズマ基板ガラスに形成され
   たプラズマアドレス表示装置の製造方法であって、 前記放電電極と取出電極とを前記プラズマ基板ガラスに
   印刷法により形成する際に、まず放電電極を印刷した
   後、取出電極を印刷することを特徴とするプラズマアド
   レス表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】印刷法がスクリーン印刷法である請求項１
   記載のプラズマアドレス表示装置の製造方法。