JPH10269935A

JPH10269935A - パネルディスプレイ製造方法及び製造装置

Info

Publication number: JPH10269935A
Application number: JP9073257A
Authority: JP
Inventors: Shinichiro Nagano; 眞一郎永野
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-03-26
Filing date: 1997-03-26
Publication date: 1998-10-09
Also published as: KR100288031B1; KR19980080621A; US6081306A

Abstract

(57)【要約】【課題】対向する基板表面からの圧力でバリアリブに
折損痕が残るのはやむをえないとして、折損片が放電空
間から除去して組立る。【解決手段】パネルディスプレイを生成する工程にお
いて、一方のガラス基板と他方のガラス基板とを向き合
わせて仮に使用状態のアライメントを合わせるステップ
と、この仮のアライメントを合わせた状態で一方のガラ
ス基板と他方のガラス基板とで作られるバリアリブ形成
空間を大気圧から隔離して減圧するステップと、この減
圧後に大気圧に戻して一方のガラス基板と他方のガラス
基板とを離し、少なくともどちらかのガラス基板の向き
合った側の面をクリーニングするステップと、このクリ
ーニング後に仮のアライメントに近い状態で張り合わせ
て、放電空間を形成するステップとを設けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明はパネルディスプレ
イの画素欠陥の発生率を低減する製造方法及び製造装置
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１は、代表的な面放電型プラズマディ
スプレイパネルの構造図である。図中、１ｘ、１ｙは一
対の維持放電電極、２ｘ、２ｙはそれぞれ維持放電電極
１ｘ、１ｙに電圧を供給するための一対のバス電極、３
はバス電極を覆う一様な誘電体層、４は放電のカソード
として機能するＭｇＯ蒸着膜、５はこれらの放電電極、
誘電体層、Ｍｇφ蒸着膜を搭載する前面ガラス基板であ
る。また、６は維持放電電極と直角交差するアドレス電
極、７は個々のアドレス電極６を区画するためのバリア
リブ、８Ｒ，８Ｇ，８Ｂはそれぞれアドレス電極６とバ
リアリブ７の壁面に形成された赤、緑、青の蛍光体、９
はこれらのアドレス電極、バリアリブ、蛍光体を搭載す
る背面ガラス基板である。バリアリブ７の頂部がカソー
ド膜４に接することで、アドレス電極６とバリアリブ７
の壁面に形成された蛍光体とカソード膜４とに囲まれた
放電空間が形成され、この放電空間はＮｅ＋Ｘｅの混合
ガスで満たされている。

【０００３】ここで図１のプラズマディスプレイパネル
の従来の製造工程について以下に述べる。まず前面ガラ
ス基板５の側の製造フローは下記の１）〜３）ステップ
で行われる。１）ステップ：全面ガラス基板５の上に、維持放電電極
１ｘ、１ｙ並びにバス電極２ｘ、２ｙを、薄膜の写真製
版によるパターン形成法もしくは厚膜の印刷転写法等の
加工技術を用いて形成する。２）ステップ：誘電体層３を厚膜の低軟化点ガラスを塗
布して焼結させることにより形成する。３）ステップ：カソード膜４を真空中でＭｇＯを蒸着す
ることにより形成する。次に背面ガラス基板９の側の製造フローは下記の４）〜
６）ステップで行われる。４）ステップ：背面ガラス基板９の上に、アドレス電極
６を薄膜の写真製版によるパターン形成法もしくは厚膜
の印刷転写法等の加工技術を用いて形成する。５）ステップ：バリアリブ７を低軟化点ガラスを塗布し
て焼結させることにより形成する。この際、バリアリブ
のパターン化の加工が必要であるが、それには厚膜印刷
により直接パターン転写する方法、厚膜印刷でベタを塗
布の後サンドブラストでパターン化する方法、あるいは
予めレジストで鋳型用のパターンを形成して厚膜印刷で
溝に刷り込むことでパターン化する方法などが挙げられ
る。６）ステップ：蛍光体８Ｒ、８Ｇ，８Ｂを、原材料とな
るペーストを塗布し、このペースト中に含まれる樹脂バ
インダを燃焼させることにより形成する。

【０００４】こうして完成した前面ガラス基板５と背面
ガラス基板９を組み合わせる工程は下記の７）〜１０）
ステップで行われる。７）ステップ：前面ガラス基板５、背面ガラス基板９の
少なくとも一方の基板上に、両基板を外縁部で貼り合わ
せるための封着用ガラスを塗布する。８）ステップ：両基板を向かい合わせにしてアライメン
トを施す。９）ステップ：アライメントされた両基板を加熱して上
記封着用ガラスを溶融させることにより、両基板を外縁
部で貼り合わせる。この時、一般に、背面ガラス基板９
を厚み方向に貫通する恰好で予め形成されている排気孔
に対し、後工程の１０）ステップで必要となるチップ管
を封着用ガラスで接合する作業も並行して実施される。１０）ステップ：上述のチップ管を外部装置の排気管に
接続して、両基板が対向して形作られた空間を加熱して
脱ガスさせながら真空排気する。排気完了後、同チップ
管経由で放電用のＮｅ―Ｘｅガスを該対向空間に充填す
る。充填完了後、同チップ管を背面基板９にできるだけ
近いポイントでチップオフする。

【０００５】ところで、低軟化点ガラスの焼結によって
得られた誘電体層３の表面には、一般にその構成材料自
身でサブミクロンから数ミクロンレベルの細かい突起が
無数に現れる。また、焼結の過程で低軟化点ガラスの中
に異物が混入すると、異物の存在によっても表面に突起
が生じ、中には数十ミクロンレベルの突起が現れること
もある。その誘電体層３をカソード膜４が覆っても、一
般にカソード膜４は下地の誘電体層３の表面凹凸をその
ままに一様な厚みで形成されるので、上述の表面突起は
残ったままである。一方、同じく低軟化点ガラスの焼結
によって得られたバリアリブ７の頂部にも構成材料自身
や異物混入による突起が現れるのが一般である。また、
誘電体層３と違って、バリアリブ７は細分化されたパタ
ーンとなっており、その高さは１００￣２００ミクロン
で、パターン幅よりも大きいか等しい位の寸法である。
このような形状の構造物は一般に、ピンポイント的な圧
力を受けると折損が生じ易い。

【０００６】この状態で８）ステップ以降の工程で図１
１に示すようにバリアリブ７の頂部がカソード膜４に接
すると、誘電体層３の突起やバリアリブ７の頂部の突起
により、バリアリブ７にピンポイント的な圧力が加わっ
てバリアリブ７が折損するケースがしばしば現れる。中
でもバリアリブ折損が生じ易いのは上述の１０）ステッ
プの排気の最中である。即ち、排気の際には放電空間が
真空の状態になり、前面ガラス基板５と背面ガラス基板
９が受ける外気圧をバリアリブ７で支える状態となり、
材質的に弱いバリアリブ７の先端部を中心に損失が発生
する。バリアリブ折損の様子をバリアリブ７のパターン
に垂直な断面で見立てたのが図１１である。図中、２１
は誘電体層３中に埋まっている異物、２２は左記の異物
による突起でピンポイント的な圧力を受けてバリアリブ
７が折損した痕、２３はそのバリアリブ７の折損片であ
る。折損片２３には壁面に付着していた蛍光体も付随し
ている。このようなバリアリブの折損は、下記（ａ）、
（ｂ）により放電発光時のドット欠陥の原因となる。（ａ）バリアリブの折損痕２２では、放電空間を区画す
る性能が損なわれ、図１１中、折損痕２２を挟んで左右
の放電空間の相互干渉が強力になる。（ｂ）バリアリブの折損片２３が、放電空間の物理的、
電気的な障害物として作用する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のパネルディスプ
レイ製造方法及び装置は上述した方法でなされるので、
最終製品の段階でバリアリブの損失が残留し、従って放
電発光時のドット欠陥が起こるという課題があった。こ
れを少なくするため、まずバリアリブ７の頂部の突起を
減らすことが考えられる。具体的にはバリアリブ７の頂
部を研磨する等の方法があるが、余程の研磨仕上げ精度
で研磨しないと、上述の１０）ステップの排気の際に加
えられる外気圧を均等に分散できず、折損防止は困難で
ある。また、バリアリブ７の頂部の突起が除かれたとし
ても、誘電体層３に表面突起が存在するため、折損発生
を防止する効果は少ない。誘電体層３の表面突起を抑え
るには、形成過程での異物混入を防ぐのが従来からの第
１の有効な方法であり、それでも突起が現れれば表面を
研磨するという方法をとる。しかし、パネルディスプレ
イの様な大面積の構造物に対して異物の混入をゼロに抑
えることは現実的に無理であり、また誘電体層３の表面
研磨もバリアリブ７の研磨と同様に困難であるという課
題があった。

【０００８】本発明は上述の課題を解消するためになさ
れたもので、バリアリブ７の折損が生じるのはやむをえ
ないとして、むしろ発生した折損片が放電空間の障害物
にならないよう除去する工程を加えて、または製造装置
として、ドット欠陥発生を減らすことを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明に係るパネルデ
ィスプレイ製造方法は、一方のガラス基板に放電空間形
成用のバリアリブを形成し、他方のガラス基板をバリア
リブを挟んで張り合わせてパネルディスプレイを生成す
る工程において、一方のガラス基板と他方のガラス基板
とを向き合わせて仮に使用状態のアライメントを合わせ
るステップと、この仮のアライメントを合わせた状態で
一方のガラス基板と他方のガラス基板とで作られるバリ
アリブ形成空間を大気圧から隔離して減圧するステップ
と、この減圧後に大気圧に戻して一方のガラス基板と他
方のガラス基板とを離し、少なくともどちらかのガラス
基板の向き合った側の面をクリーニングするステップ
と、このクリーニング後に仮のアライメントに近い状態
で張り合わせて、放電空間を形成するステップとを設け
た。

【００１０】また更に、クリーニングのステップと、張
り合わせて放電空間を形成するステップとの間に、少な
くとも一方のガラス基板または他方のガラス基板のいず
れかの周囲に張り合わせて放電空間を形成するための封
着材を形成するステップを設けた。

【００１１】また更に、張り合わせて放電空間を形成す
るステップにおいて、張り合わせた後に張り合わせた一
方及び他方のガラス基板の周囲に放電空間を形成するた
めの封着材を形成するようにした。

【００１２】また更に、仮に使用状態のアライメントを
合わせるステップにおいて、一方のガラス基板または他
方のガラス基板のいずれかの周辺にスペーサ相当を巡ら
せてアライメントを合わせてそのままの状態で減圧に備
えるようにし、バリアリブ形成空間を減圧するステップ
において、張り合わせ接着後の吸引孔を利用して減圧す
るようにした。

【００１３】また更に、バリアリブ形成空間を減圧する
ステップにおいて、一方のガラス基板及び他方のガラス
基板の各周辺部を巡らせてバリアリブ形成空間と繋がる
気密空間を形成する気密用材を用いて減圧するようにし
た。

【００１４】また更に、クリーニングのステップと、張
り合わせて放電空間を形成するステップとの間に、少な
くとも一方のガラス基板または他方のガラス基板のいず
れかに蛍光体を塗布するステップを設けた。

【００１５】また更に、クリーニングのステップと、張
り合わせて放電空間を形成するステップとの間に、少な
くとも一方のガラス基板または他方のガラス基板のいず
れかにカソードを設けるステップを備えた。

【００１６】また更に、仮にアライメントを合わせるス
テップと、バリアリブ形成空間を減圧するステップと、
クリーニングするステップとを複数回繰り返すようにし
た。

【００１７】この発明に係るパネルディスプレイ製造装
置は、一方のガラス基板に放電空間形成用のバリアリブ
を形成し、他方のガラス基板をバリアリブを挟んで張り
合わせてパネルディスプレイを製造する装置において、
一方のガラス基板と他方のガラス基板とをバリアリブを
内側にして向き合わせた状態で、少なくともこれらいず
れかのガラス基板を気密材で覆って他のいずれかのガラ
ス基板を支える台とで気密空間を形成する上述の気密材
を設けた。

【００１８】また更に、気密空間を形成する気密材は、
一方のガラス基板または他方のガラス基板の周囲のみを
覆って、かつバリアリブの形成空間と繋がって減圧孔へ
と導く形状とした。

【００１９】また更に、気密空間を形成する気密材は、
一方のガラス基板または他方のガラス基板の周囲のみを
覆って、かつこの覆う範囲にバリアリブの領域を含む大
きさとした。

【００２０】また更に、いずれかのガラス基板を支える
台には、ＸＹ平面のＸ及びＹ方向の一方のガラス基板及
び他方のガラス基板用のガイドピン基準面を設けた。

【００２１】この発明に係るパネルディスプレイ製造方
法において更に、仮に使用状態のアライメントを合わせ
るステップに代えて、放電空間形成用のバリアリブを形
成した一方のガラス基板を別の平滑な平面に合わせるス
テップとした。

【００２２】

【発明の実施の形態】

実施の形態１．折損部分を除去する工程を含むパネルデ
ィスプレイの製造方法及び製造装置を説明する。図１は
組立後の最終製品の構造を示す構造斜視図、図２は本実
施の形態における製造方法の途中の工程を説明する構造
断面図である。図において、１ｘ_n、１ｙ_n、１
ｘ_n+1、１ｙ_n+1はそれぞれｎ番目、ｎ＋１番目の１対
の維持電極、２ｘ_n、２ｙ_n、２ｘ_n+1、２ｙ_n+1はそ
れぞれｎ番目、ｎ＋１番目の１対のバス電極、３は誘電
体層、４はカソード、５はこれらの要素を搭載する前面
ガラス基板、６はアドレス電極、７はバリアリブ、８
Ｒ、８Ｇ、８Ｂはそれぞれ赤、緑、青の蛍光体、９はこ
れらの要素を搭載する背面ガラス基板である。また１４
は前面ガラス基板５と背面ガラス基板９を最終工程で貼
り合わせるための封着ガラスで、図の工程では未だ溶融
封着していない状態にある。３１は前面ガラス基板５と
背面ガラス基板９を乗せる台盤で製造装置の一部であ
り、３２はその台盤に設けられた真空に引くための減圧
用孔で、元の大気圧に戻すためにも用いられる。３３は
柔軟材の気密シートであり、台盤３１とで、前面ガラス
基板５と背面ガラス基板９を包んで内部を減圧するため
に用いられる。場合によっては剛体の台盤３１に代えて
柔軟材の気密シート３３をもう１つ、前面ガラス基板５
の下にも敷くようにしてもよい。

【００２３】本実施の形態におけるパネルディスプレイ
の製造方法を説明する。手順は以下のステップ（工程）
をたどる。この場合、前面ガラス基板５には維持電極、
誘電体層３とカソードが形成され、背面ガラス基板９に
はアドレス電極６、バリアリブ７と蛍光体が形成されて
いる。なお、封着ガラス１４はこの場合には、背面ガラ
ス基板９に下記工程の前に塗布されているものとする。１１）ステップ：台盤３１の上に上述の各要素が形成
済みの前面ガラス基板５を誘電体層３を上にして置く。
更に、各要素が形成済みの背面ガラス基板９をバリアリ
ブ７を下にして置く。１２）ステップ：前面ガラス基板５と、背面ガラス基
板９とのアライメントをとる。１３）ステップ：気密質の柔軟シート３３を２つのガ
ラス基板が台盤３１とで他の空間と隔離されるように覆
う。

【００２４】１４）ステップ：排気孔３２を通じて上
述の隔離された空間を減圧する。図２はこの状態を示す
図である。またこの状態で２つのガラス基板が隔離され
た外側の大気圧で柔軟シート３３を通じて互いに押しつ
けられ、バリアリブ７の主として突起の弱い先端部が押
しつぶされて折損する。１５）ステップ：所定時間が経過した後、排気孔３２
から上述の隔離空間の圧力を元に戻す。１６）ステップ：柔軟シート３３を外して背面ガラス
基板９を前面ガラス基板５から離す。１７）ステップ：上述の２つのガラス基板５、９に付
着している主としてバリアリブ７の折損片２３からなる
残留物を除去する。具体的には真空吸引法または振動法が背面ガラス基板９
に対しては有効であり、蛍光体がない前面ガラス基板に
対しては超音波エアーブローでまず折損片２３を飛ば
し、真空吸引で除去するのがよい。

【００２５】１８）ステップ：クリーニングされた２
つのガラス基板５、９を、再び向き合わせて１２）ステ
ップと同様のアライメントをとる。図３はこの状態を示
しており、仮に誘電体層３に異物２１が残留していて
も、バリアリブ７の折損痕２２とはめ合いになって新し
い折損が生じる可能性が低くなる。１９）ステップ：封着用ガラス１４を溶融させて２つ
のガラス基板５、９の外縁部を貼り合わせる。２０）ステップ：最後に封着された２つのガラス基板
５、９の内部空間を真空吸引し、その後ネオンーキセノ
ン・ガスを内部空間に充填する。こうして折損片が除去
されるので、パネルディスプレイ表示の際のドット欠陥
が少なくなる。なお、上述の工程では１４）ステップの減圧工程は１度
の場合を説明したが、１１）ステップないし１７）ステ
ップを複数回繰り返してもよい。

【００２６】実施の形態２．本実施の形態ではバリアリ
ブにかかる減圧工程での外からの圧力をパネル全面で均
等化する方法を説明する。実施の形態１では封着ガラス
１４を減圧の前の工程で背面ガラス基板９に塗布してい
たが、図２で示すように封着ガラス１４が塗布されてい
るガラス面の周囲ではバリアリブ７が前面ガラス基板５
から離れて積極的な折損が発生しないおそれがある。つ
まりパネル周辺ではドット欠陥が発生する可能性が残
る。これを改善するには、封着ガラス１４の塗布工程を
減圧工程後にすればよい。図４は封着ガラス１４が塗布
されていない状態で減圧工程を施した場合の１４）ステ
ップでの断面を示す図である。以降もそうであるが、図
中の前図と同一の符号の要素は前の図の対応要素と同じ
ものである。こうすることでパネル周辺のバリアリブ７
に対しても十分な強制折損を強いることができる。な
お、封着ガラス１４の塗布は、１６）ステップの両基板
引離し工程後或は１７）ステップの残留物の除去工程の
後で行ってもよいし、１８）ステップの正式アライメン
ト工程の前後で２つのガラス基板を貼り合わせた後に周
囲から封着材を塗って溶融してもよい。

【００２７】図４は本実施の形態における他の製造方法
を説明する断面図である。図４の方法では、減圧工程で
パネル周辺部に逆に大きな圧力がかかり、必要以上にバ
リアリブ７が折損するおそれがある。そこで図５にしめ
すように、１２）ステップの仮のアライメントをとる工
程で２つのガラス基板５、９のいずれか小さい方の周辺
にスペーサ３４を置く。この状態で１４）ステップの減
圧工程を施せば、バリアリブ７は全面に渡ってほぼ均等
な圧力を受けて、上述の各不具合を避けられる。

【００２８】実施の形態３．本実施の形態では製造工程
中でのアライメントのずれを防いで２つのガラス基板が
正しく貼り合わされる工夫を説明する。上述の各実施の
形態における製造方法では、隔離された減圧空間を作る
のにガラス基板の全面を覆う気密シートを用いたが、減
圧工程で気密シート３３が面方向に伸びて変形するため
にアライメントがずれるおそれがある。この面方向の伸
びを防ぐため、気密材を直接にはパネル周辺部だけに覆
い、ガラス基板の周辺部から減圧をする装置、工程とす
ればよい。図６は本実施の形態における製造装置の主要
部分を説明する構造断面図である。図において、１６は
排気フランジで、製造最終工程で排気を行う孔１３を利
用して２つのガラス基板５、９が形成する空間を排気す
る。１７は排気フランジ１６とガラス基板との気密性を
保つためのＯリング、１８は柔軟材のスペーサである。
この場合は封着ガラス１４はクリーニング工程以降で形
成するので、１４）ステップの減圧工程に備えて１２）
ステップの仮のアライメント工程でスペーサ１８を小さ
い方のガラス基板、この場合には前面ガラス基板５の周
辺に巡らせて、大きい方のガラス基板、つまり背面ガラ
ス基板９が前面ガラス基板５側に押しつけられて曲がる
ことを防いでいる。

【００２９】本実施の形態におけるパネルディスプレイ
の製造方法を説明する。なお、先に説明したように封着
ガラス１４は１７）ステップのクリーニング工程より後
に実施する。製造の工程は実施の形態１と同様である
が、以下の工程が異なる。即ち、１２）ステップの仮の
アライメントをとる工程またはその前に、柔軟材質のス
ペーサ１８を前面ガラス基板５の周囲に置く。また１
３）ステップの気密質の柔軟シート３３を覆う工程に換
えて、次の２３）ステップを行う。２３）ステップ：排気孔１３にＯリング１７を介して
排気フランジ１６をあてがう。１４）ステップの減圧工程以降は実施の形態１と同様に
なる。本実施の形態の製造方法によれば、柔軟材のシー
ト３３による横方向への力がかからなくなるので、アラ
イメントがずれることがない。

【００３０】実施の形態４．本実施の形態では製造工程
中でのアライメントのずれを防ぎ、かつアライメントの
調整が簡単で、更に微妙な柔軟性スペーサが不要な優れ
た製造装置または製造方法を説明する。図７は本実施の
形態における製造装置の周辺気密部を形成するための上
蓋を示す図で、図８は同じく製造装置の台盤に前面ガラ
ス基板と背面ガラス基板を乗せたところを示す平面図
で、図９は図８の状態に図７の上蓋を乗せたところを示
す断面図である。図において、３６は気密用のドーナツ
型の上蓋、３７はそのドーナツ型の上蓋３６の気密を保
つための外周Ｏリング、３８は同じく内周Ｏリングであ
る。４１は本実施の形態の製造装置における箱形台盤
で、４２の排気孔を持っている。この製造装置において
はアライメントを行う上にも工夫を凝らしており、４３
はＬ字形のベースプレート、４４、４５、４６は前面ガ
ラス基板５と背面ガラス基板９のアライメントを同時に
とるためのガイドピンである。４７はガイドピン４４、
４５、４６と上述の２つのガラス基板５、９との高さ調
節用のセッター、４８は背面ガラス基板９の上に置かれ
る重しで、２つのガラス基板間の位置ずれが生じないよ
うにしている。

【００３１】本実施の形態におけるパネルディスプレイ
の製造方法を説明する。実施の形態１における製造方法
と工程は以下の工程を除いて同様である。この場合、封
着用ガラス１４は減圧工程より後で塗布されるものとす
る。１１）ステップの２つのガラス基板５、９を台盤４
１に置くに先立ち、箱形台盤４１にはガイドピン４４、
４５、４６が固定されたＬ字形ベースプレート４３を置
き、また高さ調節用セッター４７を置いておく。３２）ステップ：１２）ステップと同様のアライメン
トをとるが、本実施の形態のアライメント工程は、図９
に示すようにガイドピン４４、４５、４６に２つのガラ
ス基板５、９を当てるだけで容易に再現性よくアライメ
ントがとれる。更に詳しく述べると、Ｌ字形ベースプレ
ート４３が箱形台盤４１に固定されており、高さ調節用
セッター４７の上にある２つのガラス基板５、９の台盤
上のＸＹ平面のそれぞれ片端は、ガイドピン４４、４
５、４６の下半分と上半分に当たる位置にある。一方、
パネルディスプレイの要素である維持放電電極１ｘ、１
ｙ、バス電極２ｘ、２ｙ、アドレス電極６，バリアリブ
７、蛍光体を十分周辺部まで形成しておけば絶対的な平
行位置ずれが生じても表示性能に問題はなく、アライメ
ント再現性があればよい。そこで高さ調節したセッター
４７の上に１１）ステップで、前面ガラス基板５をＸＹ
の各端面をガイドピンに当てながら置き、本ステップで
は背面ガラス基板９を、バリアリブ７のある面を下にし
て前面ガラス基板５の上に置く。そして、ガイドピン４
４、４５、４６に背面ガラス基板９の端面を突き当て
る。この時、ガイドピン４４、４５に背面ガラス基板の
端面を当てながら、ガイドピン４６から僅かに端面が離
れるような位置で一旦背面ガラス基板９を前面ガラス基
板上に乗せ、その後、ガイドピン４４、４５に背面ガラ
ス基板の端面を当てながら、ガイドピン４６に向けてバ
リアリブ７のパターンと平行方向に背面ガラス基板９を
前面ガラス基板上で平行移動させるのが好ましい。この
移動方向であれば、バリアリブ７の頂部が前面ガラス基
板５の表面と擦れても、バリアリブ７のパターンに垂直
方向に摩擦力が生じることが少ないので、無用なバリア
リブ７の折損が生じるのを未然に防ぐことができる。

【００３２】１３）ステップの隔離工程は、以下の工程
となる。３３）ステップ：気密用のドーナツ型の上蓋３６を外
周Ｏリング３７、内周Ｏリング３８を介して図９に示す
ように２つのガラス基板の周辺部を覆って箱形台盤４１
の周辺部とで気密性を保つように被せる。以降の工程は
実施の形態１と同様である。本実施の形態の製造装置及
び製造方法によれば、先の実施の形態での柔軟性リング
１８が持つバリアリブ７の高さ１００ないし２００ミク
ロンでの微妙な調整が必要なくなる。すなわちこの柔軟
性リング１８は、肉厚が薄すぎると真空漏れが生じ易
く、厚すぎるとガラス基板周辺部のバリアリブ７が浮き
上がって余分な突起に対する積極的な折損が生じなくな
る。また更に、柔軟性リングがあることでガラス基板の
平行移動がやり難いという問題もある。一方、本実施の
形態では外周Ｏリング３７が箱形台盤４１の外周壁と接
し、同時に内周Ｏリング３８が背面ガラス基板９と接す
ることが必須となる。しかし、外周Ｏリング３７、内周
Ｏリング３８に十分な弾性と柔軟性が備わっていれば、
箱形台盤４１或はドーナツ形上蓋３６の加工精度範囲内
でその必須事項を容易に達成することができる。従っ
て、先の実施の形態で必要とされるリング１８の微妙な
厚み調整といった加工精度上の問題は解消されている。
なお、３３）ステップの隔離工程で、ドーナツ形の上蓋
３６は十分ガラス基板の周辺部を覆うことが大切で、バ
リアリブ７の積極的な折損が得られるに十分な大きさに
その内周部の寸法を定める。周知のように減圧時の圧力
はドーナツ形の上蓋部分には十分にかかるが、その覆わ
れた部分を外れると急激に圧力が低下してしまうからで
ある。具体的には内周Ｏリング３８が背面ガラス基板９
に接するポイントは、下方のバリアリブ７、前面ガラス
基板５、セッター４７、箱形台盤４１による支持が全て
効いていることが望ましい。なぜなら、減圧時にドーナ
ツ形上蓋３６が受ける外気の圧力の内のかなりの部分
が、内周Ｏリング３８と背面ガラス基板の接点に伝えら
れるので、それらの支持がなければ背面ガラス基板９が
割れる危険性が大きいからである。但し、そうすると、
内周Ｏリング３８のリングからはみだした領域にも幾分
かのバリアリブ７が存在する恰好となり、その領域では
内周Ｏリングから距離が開くほど、バリアリブ７に対す
る圧力が急激に減少してしまうので、所望のバリアリブ
折損が得られない場合がある。従って、少なくともプラ
ズマディスプレイパネルとしての有効表示域内にあるバ
リアリブ７には十分な圧力が加わることを第１として内
周Ｏリング３８の形状を決め、場合によっては内周Ｏリ
ング３８から受ける上記の圧力を支持するために左記の
有効表示域外にダミーのバリアリブパターンを予め背面
ガラス基板上設けておくことが望ましい。

【００３３】本実施の形態における他の製造方法を説明
する。図１０は図８に示す製造装置と同様の装置である
が、５１の中央部を切り欠いた台盤とし、ここに２つの
ガラス基板５、９を挟む固定用クリップ５２、５３を挿
入できる構造としている。この製造装置に対しての製造
方法は、１８）ステップのアライメントをとる工程に適
用され、アライメントをとった後、両方のクリップ５
２、５３で２つのガラス基板５、９を挟みつける。こう
して、３２）ステップのアライメントが、１８）ステッ
プで容易に再現された状態となり１９）ステップの貼り
合せ工程へと続く。なお、封着ガラス１４の形成は１
８）ステップの前後どちらのタイミングで行なっても良
い。

【００３４】実施の形態５．先の実施の形態では、背面
ガラス基板９は蛍光体８Ｒ、８Ｇ、８Ｂが形成されたガ
ラス基板に対して組立を行っている。ところで、背面ガ
ラス基板側ではこれらの蛍光体があるので、折損片２３
を除去する際に超音波エアーブローのような強力なクリ
ーニング手段を適用すると、蛍光体８の正常なパターン
まで除去してしまう危険がある。しかし壁面に付着した
蛍光体８がつなぎの役割を果たすので、バキュームによ
る吸引力だけでは折損片２３を除去しきれない場合があ
る。そこで、蛍光体を形成しないまま背面ガラス基板９
を上述の実施の形態の方法に従って、各工程の処理を行
うと残留分の除去に効果がある。即ち、蛍光体が未形成
なので超音波エアーブローのような強力なクリーニング
手段を適用することができる。また、蛍光体８が存在し
ないことで折損片２３を繋ぎ止めるものもない。こうし
て、バリアリブの折損片２３を効率良く除去した後に、
例えば７）ステップのクリーニング工程の後、各蛍光体
のパターンを形成して最終アライメントの工程へと進め
ていくと、放電発光時のドット欠陥の発生原因となる折
損片２３の残留数を減らすことができる。

【００３５】同様に先の実施の形態では、前面ガラス基
板５はカソード膜４が形成された状態からスタートして
いた。ところが、一般にＡＣ形プラズマディスプレイパ
ネルでカソード膜として用いられているＭｇＯは、表面
が非常に汚染されやすく、汚染が進行すると減圧工程で
の排気脱ガスで十分に清浄に戻すのが困難となる性質が
ある。カソード膜４が形成された状態で前面ガラス基板
５を処理すると、カソード膜４にバリアリブ７の頂部や
蛍光体が接触したり擦れたりするので、上述の汚染を受
けやすい状況に晒される。そこで、蛍光体の場合と同様
に、カソード膜４を形成しないまま前面ガラス基板５を
先の実施の形態の製造方法の工程を施すと、この汚染の
問題は解消される。カソード膜４の形成時にバリアリブ
７の折損に繋がるような突起が新たに発生することは殆
どないので、カソード膜４が無くても各図示の装置での
処理で所望のバリアリブの折損はほぼ１００％達成でき
る。処理が済んだ後、誘電体層３の表面を超音波エアー
ブローのような強力なクリーニング手段を使って折損片
２３を効率良く除去した上で、カソード膜４をそれに積
層し、最終のアライメント工程へと進めばよい。

【００３６】先の各実施の形態では１８）ステップのフ
ァイナルアライメント工程に先駆けて、バリアリブ７の
折損が見込まれる箇所で予め積極的にバリアリブ７の折
損を引き起こし、生じたバリアリブの折損片２３を除去
した後に、ファイナルアライメントに入る方法を説明し
た。ところで本発明は、誘電体層３の突起によるバリア
リブ７の折損を除去するのが主旨なので、誘電体層３の
状態にかかわらず、バリアリブ７の頂部が突起している
箇所に対し背面ガラス基板９単独で、予め積極的にバリ
アリブを折損させることにも一定の効果がある。具体的
には、図５、６、９の装置で前面ガラス基板５の代わり
に平滑な素ガラス基板を用いてもよい。

【００３７】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、２つの
ガラス基板とを貼り合わせるファイナルアライメントに
先駆けて、バリアリブの折損が見込まれる箇所で予め積
極的にバリアリブの折損を引き起こし、生じたバリアリ
ブの折損片を除去したのでプラズマディスプレイパネル
の内部にバリアリブの折損片が残留するのを減らすこと
ができる。このことによりプラズマディスプレイパネル
の放電発光時のドット欠陥を減らす効果がある。また、
完成したプラズマディスプレイパネルが外部から振動や
衝撃を受けると、常時前面ガラス基板と接触しているバ
リアリブに衝撃が伝わって新たなバリアリブ折損が発生
しドット欠陥が増えるという不具合に対しても、新たな
バリアリブ折損が発生する確率は小さくなるという効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】代表的なパネルディスプレイの放電セル構造
図である。

【図２】本発明の実施の形態１における積極的なバリ
アリブ折損をおこす方法の説明図である。

【図３】本発明の製造工程を経たパネルディスプレイ
のバリアリブ折損状況を示す図である。

【図４】本発明の実施の形態２における積極的なバリ
アリブ折損をおこす方法の説明図である。

【図５】実施の形態２における他の積極的なバリアリ
ブ折損をおこす方法の説明図である。

【図６】本発明の実施の形態３における積極的なバリ
アリブ折損をおこす方法の説明図である。

【図７】本発明の実施の形態４におけるドーナツ形の
上蓋の構造図である。

【図８】本発明の実施の形態４における積極的なバリ
アリブ折損をおこす方法の説明図である。

【図９】本発明の実施の形態４における製造方法を説
明する構造断面図とその詳細図である。

【図１０】実施の形態４における他のファイナルアラ
イメントを説明する図である。

【図１１】従来の製造方法によるバリアリブ折損の残
留状態を示す図である。

【符号の説明】

１ｘ，１ｙ維持放電電極対、２ｘ，２ｙバス電極、
３誘電体層、４カソード膜、５前面ガラス基板、
６アドレス電極、７バリアリブ、８Ｒ，８Ｇ，８Ｂ
３色蛍光体、９背面ガラス基板、１３排気孔、１
４封着ガラス、１６排気フランジ、１７Ｏリン
グ、１８リング状の柔軟材、２１誘電体層の異物或
いは突起、２２バリアリブの折損痕、２３バリアリ
ブの折損片、３１台盤、３２排気口、３３柔軟材
のシート、３４スペーサ、３６ドーナツ形の上蓋、３
７外周Ｏリング、３８内周Ｏリング、４１箱形台
盤、４２排気口、４３Ｌ字形ベースプレート、４
４、４５、４６ガイドピン、４７セッター、４８
重し、５１ファイナルアライメント用台盤、５２、５
３固定用クリップ。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一方のガラス基板に放電空間形成用のバ
リアリブを形成し、他方のガラス基板を上記バリアリブ
を挟んで張り合わせてパネルディスプレイを生成する工
程において、一方のガラス基板と他方のガラス基板とを向き合わせて
仮に使用状態のアライメントを合わせるステップと、上記仮のアライメントを合わせた状態で上記一方のガラ
ス基板と他方のガラス基板とで形成される上記バリアリ
ブ形成空間を大気圧と隔離して減圧するステップと、上記減圧後、大気圧に戻して上記一方のガラス基板と他
方のガラス基板とを離し、少なくともどちらかのガラス
基板の上記向き合った側の面をクリーニングするステッ
プと、上記クリーニング後、上記仮のアライメントに近い状態
で張り合わせて、放電空間を形成するステップとを設け
たことを特徴とするパネルディスプレイ製造方法。
【請求項２】クリーニングのステップと、張り合わせ
て放電空間を形成するステップとの間に、少なくとも一方のガラス基板または他方のガラス基板の
いずれかの周囲に張り合わせて放電空間を形成するため
の封着材を形成するステップを設けたことを特徴とする
請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項３】張り合わせて放電空間を形成するステッ
プにおいて、張り合わせた後に、張り合わせた一方及び他方のガラス
基板の周囲に放電空間を形成するための封着材を形成す
るようにしたことを特徴とする請求項１記載のパネルデ
ィスプレイ製造方法。
【請求項４】仮に使用状態のアライメントを合わせる
ステップにおいて、一方のガラス基板または他方のガラス基板のいずれかの
周辺にスペーサ相当を巡らせてアライメントを合わせて
そのままの状態で減圧に備えるようにし、バリアリブ形成空間を減圧するステップにおいて、張り合わせ接着後の吸引孔を利用して減圧することを特
徴とする請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項５】バリアリブ形成空間を減圧するステップ
において、一方のガラス基板及び他方のガラス基板の各周辺部を巡
らせてバリアリブ形成空間と繋がる気密空間を形成する
気密用材を用いて減圧するようにしたことを特徴とする
請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項６】クリーニングのステップと、張り合わせ
て放電空間を形成するステップとの間に、少なくとも一方のガラス基板または他方のガラス基板の
いずれかに蛍光体を塗布するステップを設けたことを特
徴とする請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項７】クリーニングのステップと、張り合わせ
て放電空間を形成するステップとの間に、少なくとも一方のガラス基板または他方のガラス基板の
いずれかにカソードを設けるステップを備えたことを特
徴とする請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項８】仮にアライメントを合わせるステップ
と、バリアリブ形成空間を減圧するステップと、クリー
ニングするステップとを複数回繰り返すことを特徴とす
る請求項１記載のパネルディスプレイ製造方法。
【請求項９】一方のガラス基板に放電空間形成用のバ
リアリブを形成し、他方のガラス基板を上記バリアリブ
を挟んで張り合わせてパネルディスプレイを製造する装
置において、上記一方のガラス基板と他方のガラス基板とを上記バリ
アリブを内側にして向き合わせた状態で、少なくとも上
記いずれかのガラス基板を気密材で覆って上記他のいず
れかのガラス基板を支える台とで気密空間を形成する上
記気密材を設けたことを特徴とするパネルディスプレイ
製造装置。
【請求項１０】気密空間を形成する気密材は、一方の
ガラス基板または他方のガラス基板の周囲のみを覆っ
て、かつバリアリブの形成空間と繋がって減圧孔へと導
く形状としたことを特徴とする請求項９記載のパネルデ
ィスプレイ製造装置。
【請求項１１】気密空間を形成する気密材は、一方の
ガラス基板または他方のガラス基板の周囲のみを覆っ
て、かつ該覆う範囲にバリアリブの領域を含む大きさと
したことを特徴とする請求項１０記載のパネルディスプ
レイ製造装置。
【請求項１２】いずれかのガラス基板を支える台に
は、ＸＹ平面のＸ及びＹ方向の一方のガラス基板及び他
方のガラス基板用のガイドピン基準面を設けたことを特
徴とする請求項９記載のパネルディスプレイ製造装置。
【請求項１３】仮に使用状態のアライメントを合わせ
るステップに代えて、放電空間形成用のバリアリブを形
成した一方のガラス基板を別の平滑な平面に合わせるス
テップとしたことを特徴とする請求項１記載のパネルデ
ィスプレイ製造方法。