JP3511667B2 - 面放電型ガス放電パネル - Google Patents
面放電型ガス放電パネルInfo
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Description
ィスプレイ装置に用いられる面放電型ガス放電パネルに
係り、特にカラー表示用の面放電型ガス放電パネルの高
解像度化を可能にする構成に関するものである。
2本の平行した電極、所謂、面放電電極対間のガス放電
によって発生した紫外線により蛍光膜を励起し、その螢
光色に対応した色の可視光を表示させるディスプレイで
あって、放電方式によってAC型とDC型に分類される
が、電極を誘電体層で被覆してメモリ機能を持たせたA
C面放電型が輝度、発光効率、寿命の点で優れている。
高密度で高解像度な表示を行うために、複数の面放電電
極対の間隔を接近させた構成を採用している。
面放電型ガス放電パネルの要部平面図及びその要部断面
図を示す。
なる前面基板であり、該前面基板1上にはITO(Indi
um Tin Oxide)、またはSnO2等の透明導電膜で形成され
た縦方向の平行して隣接する2本の透明電極2aと2bを一
対とする面放電電極対2が所定間隔をあけて複数配設さ
れている。これらの透明電極2a, 2bには該電極の抵抗値
を低下させるために図示のようなCr-Cu-Crの三層膜,Cr-
Cuの二層膜, Cu膜, 或いはCr膜等からなる金属電極3が
部分的に重なる如く積層形成されている。
含む前面基板1上には低融点ガラス等からなる誘電体層
4が被覆され、必要に応じて更にその表面にMgO 等から
なる保護膜を覆っている。
ラス基板(後面基板)11上には、前記の前面基板1側の
面放電電極対2と直交するAg厚膜、或いはAl薄膜等で形
成された横方向の複数のアドレス電極12が配設され、こ
の各アドレス電極12間には放電領域を画定するためのス
トライプ状の隔壁(図示せず)がアドレス電極12と平行
するように設けられると共に、隔壁で挟まれた凹所内に
はアドレス電極12と隔壁の壁面を被うようにR,G,B
の蛍光体膜13が塗布されている。
ス電極12と面放電電極対2とが直交するように対向配置
し、その周囲を封着材により気密封止して所定のガス放
電空間5を形成した後、そのガス放電空間5内にヘリウ
ム(He)、またはネオン(Ne)を主成分とする、例えばNe-X
e ペニングガスが封入されてパネルが完成する。
電パネルを駆動表示する際は、先ず選択された面放電電
極対2の一方の電極2aとアドレス電極12との間に所定の
電圧を印加して、それら電極の交点間で定まるアドレス
用放電セルに書込み放電を発生させる。
2aと他方の電極2bの間で定まる表示用放電セルに対して
それら電極から交互に放電維持パルスを印加することに
より、その表示用放電セルに書込み放電を引き継ぐよう
な放電が発生し、この維持放電によって表示がなされる
が、その放電に伴って発生する紫外線が後面基板11上に
設けた螢光体膜13を励起して螢光発光を起こさせカラー
表示となる。
C型の面放電型ガス放電パネルでは、メモリ機能を持た
せるためと金属電極3の酸化を防止するために面放電電
極対2を含む全面基板1の全面に誘電体層4が被覆され
ていることから、該誘電体層4と隣接する2本の電極間
にコンデンサが形成される。
表示を得る場合には、複数の面放電電極対2の各電極対
間を接近させる構成になるので隣接する2組の電極対間
の非放電領域にもコンデンサが形成される。このコンデ
ンサにはガス放電に伴って生じた電荷が蓄積されるの
で、非放電領域のコンデンサに所定量の電荷が蓄積され
ると近くの面放電領域に放電を発生させたとき、この放
電が種火となって当該非放電領域にも誤って放電(異常
放電)が生じてしまい、表示品質が劣化するという問題
があった。
数の面放電電極対間における非放電領域の誘電体層の構
成を改良し、各面放電電極対間をより接近させて高密度
な電極配列にしても、その非放電領域において異常放電
が発生し難いようにした新規な面放電型ガス放電パネル
を提供することを目的とするものである。
達成するため、ガス放電空間を挟んで対向する一対の基
板の内の、一方の基板上に2本づつ隣接して対となる複
数の面放電電極対を所定間隔隔てて配列するとともに誘
電体層で被い、かつ他方の基板上に前記面放電電極と交
差する方向のアドレス電極及び放電空間を区画する隔壁
を備えるガス放電パネルにおいて、前記誘電体層は、前
記面放電電極対の全体を被う誘電体膜上の、当該各面放
電電極対の間の非放電領域に対応する部分に、当該誘電
体膜よりも比誘電率の小さい絶縁材を積層するように設
けてなる構成とする。
の基板の内の、一方の基板上に2本づつ隣接して対とな
る複数の面放電電極対を所定間隔隔てて配列するととも
に誘電体層で被い、かつ他方の基板上に前記面放電電極
と交差する方向のアドレス電極及び放電空間を区画する
隔壁を備えるガス放電パネルにおいて、前記誘電体層
は、前記面放電電極対の面放電領域に対応する誘電体層
部分を薄く形成しかつ当該面放電電極対の間の非放電領
域に対応する誘電体層部分を厚く形成してなる構成とす
る。
が、面放電電極対をなす2本の電極の間隔と略等しい構
成とする。
域に対応する誘電体層上に当該誘電体膜よりも比誘電率
の小さい絶縁材を積層するように設けて構成、及び当該
各面放電電極対間の非放電領域に対応する誘電体層部分
の膜厚を面放電電極対によって形成される面放電領域の
誘電体層よりも大きい構成とすることにより、面放電領
域のコンデンサ容量を非放電領域のコンデンサ容量より
も大きく形成することができ、コンデンサ容量の小さい
非放電領域では電荷の蓄積量が小さくなり、また膜厚の
大きい非放電領域の誘電体層部分が対向基板上の隔壁と
接することで隣接セルへの面放電(空間電荷など)の拡
がりを抑えることができるので、当該非放電領域での異
常放電が発生し難くなり、しかも面放電部分のみでの放
電の発生も容易となる。
極対の2本の電極間の間隔と等しくすることもでき、そ
うすることにより高密度、高解像度の表示を容易に実現
することができる。
細に説明する。図1(a), (b)は本発明をAC面放電型の
カラープラズマディスプレイパネルに適用した第1実施
例の説明図であり、図(a) は要部平面図、図(b) は要部
断面図である。
来例のパネル構成と異なる点は、複数の面放電電極対2
の間隔が、該面放電電極対2を構成する2本の透明電極
2aと2b間の間隔と等しくされている点と、各面放電電極
対2によって構成される面放電領域対応の誘電体層21の
構造が変更されている点である。
記し、また異なる部分について詳細な説明をする。即
ち、複数の面放電電極対2に被覆される誘電体層21は、
例えば比誘電率εが2程度の低融点ガラスが用いられる
が、各面放電電極対2をそれぞれ構成する2本の透明電
極2aと2b間の各面放電領域と対応する誘電体膜21a の層
厚を、例えばその領域以外の誘電体膜21a の層厚が40μ
mとした場合にはその1/2 の20μm程度と薄くしてい
る。
11側のアドレス電極12と直交する部分(表示ドットが形
成される放電領域)の誘電体膜21a のみを局部的に薄く
して島状の凹部22を設ける。そして島状の凹部22内に前
記誘電体膜21a の比誘電率ε2よりも大きい比誘電率ε
4〜5を有する、例えばチタン酸バリウム(BaTiO3)、或
いは酸化タンタル(Ta2O5) 等の誘電体材料を含有する絶
縁材料21b をスクリーン印刷法等により埋め込む。
これ以外の非放電領域のコンデンサ容量よりも倍程度、
或いはそれ以上に大きくなる。このように面放電領域と
非放電領域のコンデンサ容量をかえることにより、面放
電領域での面放電の発生が容易となり、しかも各面放電
電極対2間の間隔を該面放電電極対2を構成する2本の
透明電極2a, 2b間の間隔と同一にして接近させても、各
電極対2間の非放電領域での異常放電の発生を抑制する
ことが可能となる。
マディスプレイパネルの表示品質が向上し、高密度、高
解像度の表示を容易に実現することができる。なお、上
記した誘電体層21の構成を形成するには、複数の面放電
電極対2を設けた前面基板1の表面に低融点ガラスから
なるペースト状の絶縁材料をスクリーン印刷法により均
一に塗布した後、熱処理を行って先ず誘電体膜21a を形
成する。
ジストを塗布し、そのフォトレジスト膜の各面放電電極
対2で定まる面放電領域 (表示ドット) を局部的に除去
するようにフォトリソグラフィ法によりパターニング
し、そのパターニングにより露出した誘電体層21部分を
既知の化学エッチング等により薄層化した後、前記フォ
トレジスト膜を除去することによって各面放電領域と対
応する部分に凹部22を有する誘電体膜21a が得られる。
部22内に該誘電体膜21a の比誘電率ε2よりも大きい比
誘電率ε4〜5を有する、例えばチタン酸バリウム(BaT
iO3)、或いは酸化タンタル(Ta2O5) 等の誘電体材料を含
有する絶縁材料21b をスクリーン印刷法等により選択的
に塗布 (埋め込む) した後、熱処理を行うことによって
その凹部22でのコンデンサ容量 (面放電領域でのコンデ
ンサ容量) が、これ以外の非放電領域のコンデンサ容量
よりも倍程度、或いはそれ以上に大きくすることができ
る。
例に相当する第2実施例を説明する図であり、図(a) は
要部平面図、図(b) は要部断面図である。なお、図1
(a),(b) の第1実施例と同等部分には同一符号を付して
いる。
は、比誘電率の大きい絶縁材料を埋設する凹部の形状が
島状からストライプ状に変更された点である。具体的に
は図2(a) に示すように各面放電電極対2の形状に沿っ
たストライプ形状の凹部32を誘電体膜31a に設け、その
凹部32内にストライプ状の前記した比誘電率の大きい絶
縁材料31b を埋め込んでいる。
例と同様にフォトリソグラフィ技法とスクリーン印刷法
等により容易に形成することができ、しかも面放電領域
での面放電の発生が容易で、かつ非放電領域での異常放
電の発生を抑制できるという効果が得られる。
マディスプレイパネルの表示品質が向上し、高密度、高
解像度の表示を容易に実現することができる。また、図
3(a), (b)は本発明の第3実施例を説明する図であり、
図(a) は要部平面図、図(b) は要部断面図である。な
お、図2(a),(b) の第2実施例と同等部分には同一符号
を付している。
例と異なる点は、誘電体層41を、比誘電率εが4〜5と
大きい、例えばチタン酸バリウム(BaTiO3) 、或いは酸
化タンタル(Ta2O5) 等の誘電体材料を含有する絶縁材料
を用いて誘電体膜41a を形成する点と、この誘電体膜41
a の各面放電電極対2間の非放電領域に対応する部分の
層厚を、例えば面放電領域の誘電体膜41a の層厚を40μ
mとした場合にその1/2 の20μm程度と薄くし、当該非
放電領域の誘電体層部分にストライプ形状の凹部42を形
成する点にある。
の凹部42内に、誘電体膜41a の比誘電率ε4〜5よりも
小さい比誘電率ε2を有する低融点ガラス等からなる絶
縁材料41b をスクリーン印刷法等により埋め込み、熱処
理を施して誘電体層41を構成したことである。
第1、第2実施例と同様に非放電領域のコンデンサ容量
が面放電領域のそれよりも小さくなるので、非放電領域
での異常放電の発生をより効果的に抑制することが可能
となる。
体膜31a, 41aの凹部32, 42内に埋め込み、その表面を誘
電体膜31a, 41aの表面と同一面に設けたが、誘電体膜31
a, 41aに凹部を形成することなく、その表面に絶縁材料
31b, 41bを積層するように設けても良い。
面放電領域の誘電体層部分だけを薄く形成したり、その
部分の誘電体層の材料にチタン酸バリウム(BaTiO3)、或
いは酸化タンタル(Ta2O5) 等の比誘電率εが4〜5と大
きい材料を用い、それ以外の非放電領域部分には低融点
ガラス等の比誘電率εが2程度と小さい材料を用いて誘
電体層を形成することも可能である。
表示のAC面放電型プラズマディスプレイパネルにも適
用可能である。
に係るAC型の面放電型ガス放電パネルによれば、面放
電領域と非放電領域のコンデンサ容量を変える、特に非
放電領域のコンデンサ容量を面放電領域のそれよりも小
さくした構成とすることにより、該面放電領域以外での
異常放電が発生し難くなり、効果的に抑制されるので表
示品質が向上する。
の間隔を、該面放電電極対を構成する2本の電極間の間
隔と略同等に狭めることが可能となるので、高密度、高
解像度の表示が得られる等、実用上優れた効果を奏す
る。
ラープラズマディスプレイパネルを説明する要部平面図
と要部断面図である。
ラープラズマディスプレイパネルを説明する要部平面図
と要部断面図である。
ラープラズマディスプレイパネルを説明する要部平面図
と要部断面図である。
プレイパネル等の面放電型ガス放電パネルを示す要部平
面図とその要部断面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 ガス放電空間を挟んで対向する一対の基
板の内の、一方の基板上に2本づつ隣接して対となる複
数の面放電電極対を所定間隔隔てて配列するとともに誘
電体層で被い、かつ他方の基板上に前記面放電電極と交
差する方向のアドレス電極及び放電空間を区画する隔壁
を備えるガス放電パネルにおいて、 前記誘電体層は、前記面放電電極対の全体を被う誘電体
膜上の、当該各面放電電極対の間の非放電領域に対応す
る部分に、当該誘電体膜よりも比誘電率の小さい絶縁材
を積層するように設けてなることを特徴とする面放電型
ガス放電パネル。 - 【請求項2】 ガス放電空間を挟んで対向する一対の基
板の内の、一方の基板上に2本づつ隣接して対となる複
数の面放電電極対を所定間隔隔てて配列するとともに誘
電体層で被い、かつ他方の基板上に前記面放電電極と交
差する方向のアドレス電極及び放電空間を区画する隔壁
を備えるガス放電パネルにおいて、 前記誘電体層は、前記面放電電極対の面放電領域に対応
する誘電体層部分だけを薄く形成し当該面放電電極対の
間の非放電領域に対応する誘電体層部分にストライプ形
状の突出部を形成してなることを特徴とする面放電型ガ
ス放電パネル。 - 【請求項3】 前記複数の面放電電極対の間隔が、面放
電電極対をなす2本の電極の間隔と略等しいことを特徴
とする請求項1、2のいずれかに記載の面放電型ガス放
電パネル。
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