KR940004288B1 - 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법

제1도는 종래 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 분해사시도.

제2도는 제1도에 도시된 디스플레이 장치의 부분 확대 발췌단면도.

제3도는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략도 사시도.

제4도는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 단면도.

제5도는 본 발명에 따른 액정표시소자의 다른 실시예의 단면도.

제6도는 본 발명에 따른 액정표시소자의 또 다른 실시예의 단면도.

본 발명은 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법에 관한 것으로서, 플라즈마 어드레싱부의 구조가 배선된 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자와 그 제조방법에 관한 것이다.

디스플레이 장치에는 고속 전자선을 이용한 전통적 음곽선관을 위시해서 저속 전자선을 이용한 형광표시관, 그리고 가스방전을 이용한 플라즈마 표시소자, 전발광효과를 이용한 소위 E.L표시소자, 전계 광학적인 효과를 이용한 액정표시소자등, 매우 다양한 종류의 것들이 있다. 이들 종류별 디스플레이 장치는 각각 기능과 구조적 특성을 달리하기 때문에 그 특성에 맞게 선택적으로 적용되고 있다.

이러한 디스플레이 장치들의 공통점은 전기적 화상신호 또는 데이터 신호등을 시각화한다는 것으로서, 각각의 위치에서 여러가지방향에서의 구조적 및 기능적 개선이 이루어져 왔다. .

최근 디스플레이장치의 개발동향은 다량의 대중정보의 표시 매체의 요구와 대화면의 고선명 텔레비젼 소위 HDTV의 출현으로 인해 매우 높은 선명도의 대형 화면을 가지면서도 가능한 그 두께가 얇은 표시장치의 제조를 그 목적으로 하고 있다.

이러한 개발추세에 맞추어서 최근에는 플라즈마 방전장치와 전계광학 소자 즉, 액정표시소자를 복합 구성한 새로운 형태의 매트릭스형 디스플레이 장치가 개발된 바 있다. 이 디스플레이 장치는 플라즈마 방전으로 한 라인씩을 어드레싱하는 방식의 것으로서, 제1도에 도시된 바와 같이 스트라이프상의 데이터 전극(14)이 평행하게 다수 배열되는 배열구조를 액정 셔터부(10)와, 이 액정 셔터부(10)의 스트라이프상의 데이터 전극(14), 직교하는 방향으로의 단위 주사 라인(21)이 다수 마련된 플라즈마 어드레싱부(20)가 상호 포개어지는 구조를 가진다. 그리고 플라즈마 어드레싱부의 후측에는 통상 EL 소자로 된 배경광 발생장치(미도시)가 마련된다.

이를 제2도를 통하여 구체적으로 설명하면, 우선 상기 액정셔터부(10)는 두매의 투명한 제1 및 제2기판(12)(13)의 사이에는 액정(16)이 주입되며, 전면측의 제1기판(12)의 내면에는 스트라이프상 데이터 전극(14)이 형성된 구조를 가진다. 상기 두개의 기판중, 상기 제2기판(13)은 약 50um 정도의 얇은 두께를 가지는 것으로 액정의 배향에 있어서 매우 중요한 역할을 하게 된다. 그리고 상기 플라즈마 어드레싱부(20)는, 하나의 제3기판(25)상에 상기 스트라이프 화소에 대해 직교하는 방향으로의 주사 라인(21)을 형성하는 그루브(GROOVE; 24)가 다수 평행하게 형성되고, 각 그루브 (24)의 바닥면 양측에는 한쌍의 전극(22)(23)이 나란하게 마련되는 구조를 가진다. 이와 같은 상태에서 상기 제3기판(25)은, 상기 액정 셔터부(10)의 제2기판(13)과 밀착 고정됨으로써 상기 그루브(24)가 하나의 밀폐된 방전공간을 형성되어 이에 방전가스가 충전되어 있게 된다.

이러한 디스플레이 장치는 상기한 바와 같은 제2기판을 매게하여 상기 액정 셔터부와 플라즈마 어드레싱 부가 전기적으로 용량성 결합을 하고 있다고 볼 수 있는데, 방전라인에서 제1전극과 제2전극의 사이에 방전이 일어나면 방전 라인 전체가 전리상태(lonized state)가 되어 이에 접하는 제2기판은 방전 라인을 따라 국부적으로 양극 전위가 되고, 이때에 상기 데이터 전극에 상대적으로 음전위인 데이터 신호가 입력되면 그 전위차에 의해 액정이 움직이게 되어 화상을 표시하도록 된 것이다.

즉, 상기 액정 셔터부(10), 데이터 신호가 선택된 데이터 전극(14)에 인가됨으로써 액정의 여기를 위한 전위가 선택된 스트라이프 화소(11)에 형성되도록 되어 있고, 상기 플라즈마 어드레싱부(20)는, 순차 선택 되는 한 라인씩의 플라즈마 주사 라인(21)에 플라즈마 방전을 위한 소정 전위의 전압이 인가되어 선상의 플라즈마 방전이 야기됨으로써 상기 액정에 접촉되고 있는 되어 상기 제2기판(13)에 상기 액정(16)의 여기를 위한 상대 전위가 주사라인(21)을 따라 선상으로 형성된다.

따라서 상기 액정 셔터부(10)와 이에 직교되는 방향의 주사라인(21)에 의해 상호 직교되는 방향의 전위가 형성되는 바, 그 교차부에서 액정을 전위차에 의해 여기 배향되고, 이를 통해 돗트상의 광 통과 영역이 마련됨으로써 그 후측에 마련된 배경광 발생장치로부터의 광이 돗트상으로 통과된다.

이를 부언하면, 상기 플라즈마 어드레싱부(20)에 있어서, 순시 선택되는 주사 라인(21)상의 한쌍의 전극(22)(23)에 소정 전위의 전압이 인가되면, 평행한 두 개의 전극(22)(23)들의 사이에 선상의 직류 방전이 일어나게 되고, 이로인해 얇은 두께의 제2기판(13)에 상기 주사라인(21)을 따른 선상의 전위가 형성되게 된다. 이와 같이 주사 신호에 의해 선택된 주사 라인(21)에서 선상의 방전에 의해 제2기판(13)에 선상의 전위가 형성된 상태가 되면, 전기한 바와 같이 그 상부의 액정 셔터부(10)에 선택적으로 데이터 신호가 인가되어 액정 여기의 상대 전위가 데이터 전극(14)에 의해 형성되어 있으므로 선택된 스트라이프 화소(11)과 선택된 주사라인(21)의 교차 부분에서 상대 전위차에 의해 액정이 여기됨으로써 액정의 국부적인 재배열에 의해 그 후측 배경광의 통과가 이루어지게 된다(즉, 하나의 화점을 형성하게 된다).

이러한 액정표시소자에 이어서, 보다 응답성이 좋은 화상 표시를 위하여는 결국 플라즈마 어드레싱부에서의 방전이 신속하고 안정되게 일어나야 하는데, 상기 종래 액정표시소자의 경우에는 나란하게 배치된 제1전극과 제2전극 사이에 직류 방전이 일어나는 형태이기 때문에 그 방전 특성에 있어서 불리하게 된다. 즉, 직류방전 방식에 있어서는 나란히 대향된 전극들 사이에 전방적으로 균일한 방전이 일어나기 어렵고, 국부적인 방전이 쉽게 일어날 수 있는데, 이 경우 국부 방전에 의해 인가 전압이 방전 개시 전압대 이하로 떨어지게 됨으로써 다른 부분에서의 방전을 불가능하게 된다. 이러한 결점은 특히 화면이 대형화 될수록 더욱 심화되게 되는 바, 이에 대한 개선책으로 방전 특성에 있어서 전류-전압 특성의 기울기를 급격히 중가시키면 가능하다. 이 경우 방전 가스의 압력을 낮추거나, 방전 전압을 펄스형으로 인가하거나, 전극 재료를 2차 전자 방출 특성이 양호한 소재를 사용하거나, 또는 임피던스가 큰 방전가스를 사용하는 등의 방안이 있을 수 있다. 그러나 이러한 방안들은 비교적 적은 크기의 화면에 있어서는 가능할지는 몰라도 대형화 될수록 그 효과등에 있어서 불안정되어 그 신뢰성이 있어서 문제시된다.

그리고 그 구조에 있어서도, 제3기판(25)에 그루브(24)가 형성되어야 하므로 이를 위한 까다로운 에칭 공정이 수반되어야 하고, 특히 그루브의 바닥에 한쌍의 전극을 형성하기 위하여는 간편한 실크 인쇄법이 사용되지 못하고 금속의 증착공정을 가지는 포토그리소그래피법 등이 적용되어야 하는 어려움이 뒤따른다. 이러한 기술, 즉 유리에 그루브를 형성하고 이에 전극을 형성하는 기술은 매우 까다로운데, 특히 대화면의 표시소자에 있어서는 더욱 어려움이 가중된다.

본 발명은 양질의 화상 실현이 가능하고, 특히 화면의 대형화에 유리한 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자를 제공함에 그 목적이 있다.

또한 본 발명은 구조적으로 제조 가공이 용이한 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자를 제공함에 그 목적이 있다.

그리고, 본 발명은 상기 목적을 달성하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자를 제조하기에 적합한 제조방법을 제공한다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자는, 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터 전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되며 그 내면 평면형 공통 제1전극과 이 상부의 유전체층이 마련된 제3기판과, 상기 제3기판의 유전체층과 상기 제2기판 사이에 상기 데이터 전극에 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽에 의해 형성된 상기 제2격벽과 제3격벽과 사이의 방전공간에 상기 격벽과 같은 방향으로 다수 나란하게 마련되는 제2전극을 구비하는 점에 그 특징이 있다.

이상과 같은 본 발명의 액정표시소자에 있어서, 상기 제2전극은 상기 격벽들 사이의 상기 유전체층의 상부에 위치될 수도 있으며, 상기 격벽들 사이의 상기 방전공간으로 그 가장자리가 노출되도록 상기 격벽과 같이 적층 형성될 수 있다.

그리고 상기 격벽들사이의 방전공간에 위치하는 제2전극의 경우는 선상의 금속소재가 사용됨이 바람직하며 특히 상기 선상의 제2전극에 표면에 유전 물질이 도포됨이 동작 특성상 더욱유리하다.

한편 상기 목적을 달성하는 본 발명의 제조방법은, 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터 전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되며 그 내면 전체에 평면형 공통 제1전극과 이 상부의 유전층이 마련된 제3기판과, 상기 제3기판의 유전체층과 상기 제2기판 사이에 상기 데이터 전극에 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 소정높이의 격벽과, 상기 격벽에 의해 형성된 상기 제2격벽과 제3격벽과 사이의 방전공간에 상기 격벽과 같은 방향으로 다수 나란하게 마련되는 제2전극을 구비하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 제3기판에 제1전극을 전면적으로 형성하는 단계와, 상기 제1전극의 표면 전체에 유전체층을 도포형성하는 단계와, 상기 유전체층의 상부에 서정 높이를 가지는 소정 폭의 격벽과, 상기 제1전극과 대향되는 제2전극을 형성하는 단계와, 상기 제3기판과 소정 두께의 제2기판을 상기 격벽을 사이에 둔채 상호 고정하는 단계와, 상기 제2기판의 전방에 데이터 전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합하는 단계와, 상기 제1기판의 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 단계를 포함하는 점에 그 특징이 있다.

이상과 같은 본 발명의 제조방법에 있어서, 상기 격벽과 제2전극의 형성단계는, 격벽을 위한 프릿트 인쇄 단계와 도전성 페이스트를 도포하는 단계를 포함할 수 있는바, 하나의 유형에 있어서, 상기 격벽과 제2전극이 같은 단층구조내에 위치되도록 스크린 인쇄가 같이 병행되며, 다른 유형에 있어서는, 상기 격벽들의 사이에 노출된 상기 유전체층의 표면에 소정폭을 가지도록 도전성 페이스트로 먼저 제2전극을 형성한 후 이들 사이에 소정 높이의 격벽을 플릿트로 형성할 수 있다.

한편 본 발명의 다른 유형에 있어서는, 상기 유전체층에 격벽을 먼저 형성한 후, 이들의 사이에 선상의 금속선을 배치하여 제2전극을 구성할 수 있다. 그리고 이와 같은 경우 그속선의 표면에 동작특성의 향상을 위한 유전물질의 도포가 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

제3도와 제4도에서는 본 발명에 따른 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 개략적 사시도와 단면도가 개략적으로 도시되어 있는바, 이것은 액정 셔터부(100)와 플라즈마 어드레싱부(200)로 구분된다.

투명한 제1기판(120)과 제3기판(250)이 소정간격으로 배치되어 후술되는 그 사이의 액정 셔터부(100)과의 플라즈마 어드레싱부(200)의 기능 요소를 보호한다. 상기 제1기판(120)에는 스트라이프상의 투명데이터 전극(140)이 다수 평행하게 형성되고, 이에 접하여 액정층(160)과 제2기판(130)이 순차적으로 마련된다.

상기 제2기판(130)은 약 50um의 두께를 가지는 것으로 소정의 유전율을 가진다. 그리고, 상기 제3기판의 표면에는 제1전극(210)이 형성되고, 그 위에는 교류 방전을 위한 유전체층(211)이 마련된다. 그리고 상기 유전체층(211)의 상부에는 그 상단이 제2기판(130)에 접촉되는 격벽(220)이 마련되고, 이들의 사이에는 선상의 제2전극(230)이 마련된다.상기 선상 제2전극(230)에는 안정된 방전을 위하여 유전물질이 코팅됨이 바람직하다. 이상과 같은 구조의 본 발명에 있어서, 상기 제2전극은 선상소재가 아닌 다른 소재가 사용될 수 있는데, 예를들어 판상 소재, 아니면 상기 유전체층에 스트라이프상의 코팅할 수 있는 통상의 투명전극 소재를 사용할 수 있다.

한편 제5도에는 본 발명의 다른 실시예의 간략하게 도시되어 있는바, 이는 제2전극(230')이 격벽(220')의 단층 구조내에 마련된 것에 그 특징이 있는데, 그 양 가장자리가 격벽(220')의 양측으로 노출된 점에 그 특징이 있다. 이러한 본 발명에 있어서, 상기 격벽(220')에 같이 형성된 제2전극(230')은 제6도에 도시된 바와 같은 형태로 변형될 수 있다. 즉, 제6도에 도시된 본 발명의 또다른 실시예에서의 제2전극(230')은 격벽(220")의 단층 구조 내에 마련되되, 그 일측 가장자리만이 방전 공간으로 노출되는 형태를 가진다.

상기 격벽(220)은 제2기판(130)과 제3기판(250)의 사이를 일정하게 유지시켜 주는 스페이서로서의 역할을 하여 이 사이에 방전가스가 충입될 수 있는 공간이 마련되게 한다. 그리고 상기 중간의 제2기판은 액정층(160)과 방전공간을 격리시켜 줌과 아울러 특히 소정의 유전성을 가짐으로써 방전시 차지(Charge)되어 액정을 배향시키는 전극을 역할을 하게 된다.

이상과 같은 본 발명의 액정표시소자는 플라즈마 어드레싱부의 구조적인 특징에 의해 하나의 공통된 전극, 즉 제1전극과 그 상부의 제2전극중 선택된 하나 또는 그 이상의 제2전극사이에서 상기 유전체층을 통한 교류방전이 일어날 수 있도록 된 것으로서, 그 구조가 교류 방전에 매우 유리한 형태를 가진다. 즉, 본발명에 있어서는 두개의 나란한 전극이 최소한 어느 하나가 유전체에 의해 코팅되어 있으므로 대향된 양 전극이 용량성 결합을 했다 할 수 있는 것인 바, 방전 경로사이에 개재된 용량성 결합체로서의 유전체층은 캐페시터로서 작용하여 나란히 대양된 양 전극에서 전체적으로 고른 AC방전이 야기되도록 한다.

이상과 같은 구조를 가지는 본 발명의 액정표시소자의 구동방식은 종래와 유사한, 바 액정 셔터부에서의 데이터 전극에는 데이터신호가 기입(입력)되며, 플라즈마 어드레싱부의 공통적인 제1전극과 선택된 하나의 제2전극에는 소정 전위의 전압 즉, 주사신호가 기입되게 한다.

이를 통해 방전이 야기되고 이 방전에 의해서 방전 라인 방향으로 액정에 전계를 형성하게 됨으로써 데이타가 기입되는 데이터 전극과의 교차부에서의 액정이 여기되어 소정방향으로 배향하게 된다. 그리고 다음 주사라인으로 방전이 옮기어지는 단계에서는 새로운 제2전극이 선택되어 여기에 펄스성 전압이 인가됨으로써 다음번 방전이 일어나게 된다.

이상과 같은 구조를 가지는 본 발명의 액정표시소자는 기본적으로 AC방전 방식을 취하기 때문에 그 동작 특성에 있어서 종래의 것에 비해 매우 안정된다. 그리고 그 구조에 있어서도 개선되어 상기한 바와 같이 상기 격벽은 종래와는 달리 간편한 스크린 인쇄법으로서의 소위 후막 인쇄법으로 형성될 수 있다. 이하 본 발명의 제조방법을 설명한다.

먼저 제3기판에 투명 제1전극을 전면적으로 도포형성한 후, 그 위에 유전체층을 형성한다. 그리고 유전체의 상부에 제2전극과 소정 높이의 격벽을 다수 나란하게 형성한다. 상기 제2전극은 본 발명의 유형에 다라 상기 격벽사이에 위치되도록 별도로 형성될 수 있으며, 바람직하기로는 제5도와 제6도에 도시된 바와 같이 격벽과 같은 단층 구조내에 마련되도록 스크린 인쇄법을 이용한 격벽과 제2전극의 형성작업을 병행한다. 그러나 제3도와 제4도에 도시된 바와 같은 유형에 있어서는 격벽을 먼저 소정 높이로 완성한 후에 격벽들의 사이에 선상의 제2전극을 배치한다. 이때에 상기 선상의 제2전극의 표면에는 유전물질을 코팅하여 보다 안정된 방전 구조를 가지도록 도모함이 바람직하다. 한편 다른 방법으로서 상기 제2전극의 소재로 투명성 박막 소재를 상기 유전체층에 스트라이프상으로 도포하여 제2전극을 형성할 수 있다. 이상과 같은 단계를 통하여 제3기판에 대한 제1, 제2전극 및 격벽의 형성작업이 완료되면, 상기 격벽의 상단에 인쇄법으로 소정 두께의 페이스트를 얇게 도포한 후 이의 위에 약 50um 정도의 두께를 가지는 제2기판을 올려 약간 가압하여 전체적인 밀착상태가 가능한 고르게 되도록 한 후, 이들 결합체를 상기 페이스트의 응고 온도 이하의 온도, 즉 상기 페이스트가 완전 고화하거나 겔상태로 되는 온도로 가열하여 상기 페이스트가 겔상태로 존재하게 한다. 이때에 사용되는 페이스트로 ESL사의 상품 HD-4057이나 #D-4058을 들 수 있는데, 이것은 약 480'C 부근에서 겔상태가 되므로 상기 가열온도를 480'C로 하면 이상과 같은 겔상태의 접착 성분을 만들 수 잇다. 이와 같은 겔상태의 접착제는 어느 정도의 탄력을 가지는 완층층의 역할을 하기 ㄸ문에 상기한 바와 같이 얇은 제2기판을 지지하기에 매우 적합하다.

이와 같이 한 후에 상기 제2기판의 전방에 데이터 전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합한 후 이들 사이 액정을 충진하여 밀봉함으로써 목적하는 액정표시소자를 가완성하고 후속되는 통상의 마무리 단계를 통하여 제품을 왼성한다.

이상 같이 본 발명의 제조방법은 상기 플라즈마 어드레싱부를 제작함에 있어서, 스크린 인쇄법을 사용하도록 되어 있기 때문에 복잡한 에칭공정과 전극 형성과정을 가지는 종래 제조방법에비해 매우 간편한 장점을 가진다. 즉, 그 구조에 있어서 종래의 것에 비해 그 제조방법이 용이하도록 되어 있는바, 플라즈마 어드레싱부의 격벽 특히 전극을 형성함에 있어서, 통상의 실크 인쇄법이 적용될 수 있어서 그 제조 경비가 저렴한 장점을 가진다. 이러한 장점은 결과적을 화면의 대형화를 용이하게 하는 효과를 낳는다.

Claims (11)

1. 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터 전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되어 그 내면 전체에 평면형공통 제1전극과 이 상부의 유전체층이 마련된 제3기판의 기판이 유전체층과 상기 제2기판 사이에 상기 데이터 점극에 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽에 의해 형성된 상기 제2격벽과 제3격벽과 사이의 방전공간에 상기 격벽과 같은 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제2전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
2. 제1항에 있어서, 상기 제2전극은 상기 격벽을 사이의 상기 유전체층의 상부에 위치되는 것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
3. 제2항에 있어서, 상기 제2전극의 표면에 선상(線狀)의 소재로 이루어지는 것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
4. 제3항에 있어서, 상기 제2전극의 표면에 유전물질이 코팅되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
5. 제1항에 있어서, 상기 제2전극은 상기 격벽의 단층구조에 포함되어 그 가장자리가 격벽들 사이의 방전 공간으로 노출된 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
6. 제5항에 있어서, 상기 제2전극은 일측 가장자리만이 상기 방전 공간으로 노출되도록 된것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
7. 그 사이에 액정이 개입되는 제1기판 및 제2기판과, 상기 제1기판의 내면에 다수 나란하게 형성되는 스트라이프상 데이터 전극과, 상기 제2기판의 외측면과 마주대하도록 위치되며 그 내면 전체에 평면형고통 제1전극과 이 상부의 유전층이 마련된 제3기판과, 상기 제3기판의 유전체층과 상기 제2기판 사이에 상기 데이터 전극에 직교되는 방향으로 다수 나란하게 마련되는 소정 높이의 격벽과, 상기 격벽에 의해 형성된 상기 제2격벽과 제3격벽 사이의 방전공간에 상기 격벽과, 같은 방향으로 다수 나란하게 마련되는 스트라이프상 제2전극을 구비하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 제3기판에 제1전극을 전면적으로 형성하는 단계와, 상기 제1전극의 표면 전체에 유전체층을 도포형성하는 단계와, 상기 유전체층의 상부에 소정 높이를 가지는 소정 폭의 격벽과, 상기 제1전극과 대향되는 제2전극을 형성하는 단계와, 상기 제3기판과 소정 두께의 제2기판을 상기 격벽을 사이에 둔채 상호 고정하는 단계와, 상기 제2기판의 전방에 데이터 전극이 미리 형성된 제1기판을 소정 간격으로 결합하는 단계와, 상기 제1기판과 제2기판의 사이에 액정을 주입한 후 밀봉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
8. 제7항에 있어서, 상기 격벽과 제2전극의 형성단계는 , 격벽을 위한 프릿트 인쇄 단계와 도전성 페이스트를 도포하는 단계를 포함하되, 상기 격벽과 제2전극이 같은 단층구조내에 위치되도록 스크린 인쇄가 같이 병형되도록 하는 것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
9. 제7항에 있어서, 상기 격벽과 제2전극의 형성단계는 , 격벽을 위한 프릿트 인쇄 단계와 도전성 페이스트를 도포하는 단계를 포함하되, 상기 격벽들의 사이에 노출된 상기 유전체층이 표면에 소정폭을 가지도록 도전성 페이스트로 먼저 제2전극을 형성한 후 이들 사이에 소정 높이의 격벽을 플릿트로 형성하도록 하는 것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
10. 제7항에 있어서, 상기 격벽과 제2전극을 평성하는 단계가, 상기 유전체층에 격벽을 먼저 형성한후, 이들의 사이에 선상의 금속선을 배치하여 제2전극을 구성하도록 하는 것을 그 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.
11. 제10항에 있어서, 상기 제2전극을 상기 격벽들의 사이에 배치하기 이전에 그 표면에 유전체층을 코팅하도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 어드레스 방식의 액정표시소자.