DE102006027657A1

DE102006027657A1 - Flüssigkristalldisplay und Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE102006027657A1
Application number: DE102006027657A
Authority: DE
Inventors: Chang Deok Cheongju Lee
Original assignee: LG Philips LCD Co Ltd
Current assignee: LG Display Co Ltd
Priority date: 2005-12-30
Filing date: 2006-06-14
Publication date: 2007-08-16
Anticipated expiration: 2026-06-15
Also published as: FR2895808B1; TWI326127B; JP4495697B2; TW200725904A; US7705954B2; FR2895808A1; GB2433822A; JP2007183539A; DE102006027657B4; GB0611787D0; US20070153148A1; CN100507649C; GB2433822B; KR20070071324A; CN1991449A

Abstract

Es werden ein LCD und ein Verfahren zu dessen Herstellung angegeben. Das LCD ist mit Folgendem versehen: einem Gatekontaktfleck mit einer auf einem Substrat hergestellten ITO-Gateelektrode (115), einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b), die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode ausgebildet sind, einer auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode hergestellten Gateisolierschicht (111), einer auf dieser hergestellten Passivierungsschicht (113) sowie einer auf dieser hergestellten oberen Gatekontaktfleckelektrode und mit mindestens einem Kontaktloch (H1) und einer Flüssigkristalltafel mit einer Gateleitung mit Doppelstruktur, die integral aus der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode aufgebaut ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Flüssigkristalldisplay sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.
In den letzten Jahren wurden zahlreiche Flachtafeldisplays entwickelt, wie insbesondere Flüssigkristalldisplays (LCDs), Plasmadisplays (PDPs) sowie Elektrolumineszenzdisplays (ELDs). In den verschiedensten Geräten werden bereits etliche verschiedene Flachtafeldisplays verwendet.
Unter Flachtafeldisplays werden LCDs wegen ihres geringen Gewichts, ihres kleinen Aufbaus und ihres niedrigen Energieverbrauchs in mobilen Geräten häufig an Stelle von Kathodenstrahlröhren verwendet. Auch wurden LCDs in verschiedenen Formen beispielsweise als Monitore für Notebookcomputer und zum Fernsehen entwickelt.
LCDs zeigen Bilder unter Verwendung charakteristischer Eigenschaften von Flüssigkristallen, nämlich der optischen Anisotropie und der Polarisation, an. Da Flüssigkristallmoleküle lang und dünn sind, ist die Anordnung derselben in einem Flüssigkristall gerichtet. Die Ausrichtung der Moleküle kann durch Anlegen eines elektrischen Felds an den Flüssigkristall gesteuert werden.
Wenn die Ausrichtung der Molekülanordnung in einem Flüssigkristall durch künstliches Anlegen eines elektrischen Felds an ihn gesteuert wird, ändert sich die Molekülanordnung, und die optische Anisotropie ändert die Polarisation des Lichts in der Richtung der Molekülanordnung. Dadurch zeigt das LCD Bilddaten durch Steuern der Ausrichtung der Molekülanordnung im Flüssigkristall an.

Die 1 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines bekannten Flüssigkristalldisplays.

Wie es aus der 1 erkennbar ist, sind eine Gateleitung 4 und eine Datenleitung 6 einander kreuzend auf dem ersten Substrat des herkömmlichen LCD angeordnet, um ein Pixelgebiet zu bilden, und an der Schnittstelle der beiden ist ein Dünnschichttransistor (TFT) ausgebildet. Auch ist auf dem ersten Substrat ein Gatekontaktfleck 30 in Verbindung mit der Gateleitung 4 ausgebildet, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck 25 in Verbindung mit der Datenleitung 6 ausgebildet.

Der TFT verfügt über eine integral mit der Gateleitung 4 ausgebildete Gateelektrode 5, eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht 8, eine integral mit der Datenleitung 6 auf der aktiven Schicht 8 ausgebildete Sourceelektrode 7a sowie eine von dieser um ein vorbestimmtes Stück entfernte Drainelektrode 7b. Die Drainelektrode 7b ist über ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode 12 verbunden.

Der Datenkontaktfleck 25 liefert dadurch eine Datenspannung an die Datenleitung 6, dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck 25 verfügt über eine untere Datenkontaktfleckelektrode 26 sowie eine obere Datenkontaktfleckelektrode 20, die durch ein Kontaktloch (H) mit der unteren Datenkontaktfleckelektrode 16 verbunden ist.

Der Gatekontaktfleck 30 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung 4, dass er mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck 30 verfügt über eine sich ausgehend von der Gateleitung 4 erstreckende untere Gatekontaktfleckelektrode 14 und eine obere Gatekontaktfleckelektrode 18, die durch mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode 14 verbunden ist.

Die 2 ist eine Schnittansicht der 1 entlang einer Linie A-A'.

Wie es in der 2 dargestellt ist, sind auf einem transparenten Substrat 1 eine erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 14b ausgebildet, um die untere Gatekontaktfleckelektrode 14 zu bilden. Auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 14a und 14b ist eine Gateisolierschicht 11 ausgebildet, auf der eine Passivierungsschicht 13 vorhanden ist.

Am transparenten Substrat 1 sind dort, wo die Passivierungsschicht 13 ausgebildet ist, mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 ausgebildet, und auf diesen ist eine obere Gatekontaktfleckelektrode 18 ausgebildet.

Die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a besteht aus Metall der Aluminiumgruppe, die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 14b besteht aus einem Metall der Molybdän(Mo)gruppe, und die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 besteht aus einem Metall der ITO-Gruppe. Die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 besteht aus einem Material, das mit dem der Pixelelektrode 12 identisch ist.

Wenn die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a aus Aluminium auf dem Substrat 1 hergestellt wird, korrodiert sie, wenn das Aluminium in Kontakt mit dem Luftsauerstoff gelangt. Um diese Korrosion zu verhindern, wird die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 14b auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 14a hergestellt.

Da die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 14b aus einem Metall mit hohem Widerstand hergestellt wird, wird sie in Form eines Dünnfilms auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 14a hergestellt. Die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a und die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 sind über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 verbunden. Da die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 14b aus einem Metall mit hohem Widerstand besteht, wie oben beschrieben, fließt kein Strom durch sie, wenn die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 mit ihr verbunden wird.

Daher werden die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a und die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 verbunden.

Da auf der oberen Gatekontaktfleckelektrode 18 weder eine Gateisolierschicht noch eine Passivierungsschicht ausgebildet sind, ist sie der Luft ausgesetzt. Dadurch dringt Luft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode 18 in die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a ein.

Wenn die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 14a mit Feuchtigkeit in der Luft in Kontakt gelangt, korrodiert sie, da sie aus Aluminium besteht. Eine derartige korrodierte untere erste Gatekontaktfleckelektrode 14a stört ein Scansignal, das vom Gatetreiber an die mit dem Gatekontaktfleck 30 verbundene Gateleitung 4 zu übertragen ist. Auch kann durch die Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 14a die Gateleitung 4 korrodieren, mit der sie integral ausgebildet ist.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Flüssigkristalldisplay und ein Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen, durch die die elektrolytische Korrosion eines Gatekontaktflecks zuverlässig verhindert werden kann.

Diese Aufgabe ist durch das Flüssigkristalldisplay gemäß dem beigefügten Anspruch 1 und die Verfahren gemäß den beigefügten unabhängigen Ansprüchen 9, 18 und 37 gelöst.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren veranschaulichten Ausführungsformen näher erläutert.
1 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer einschlägigen Technik;
2 ist eine Schnittansicht der 1 entlang einer Linie A-A';
3 ist eine Blockdiagramm zum Veranschaulichen eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung;
4 ist eine Schnittansicht der 3 entlang einer Linie B-B';
5A bis 5E veranschaulichen ein Verfahren zum Herstellen eines Gatekontaktflecks gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
6 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;
7 ist eine Schnittansicht der 6 entlang einer Linie C-C';
8 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung;
9 ist eine Schnittansicht der 8 entlang einer Linie D-D';
10 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; und
11 ist eine Schnittansicht der 10 entlang einer Linie E-E'.
Wo immer es möglich ist, sind in der folgenden Beschreibung, wie auch in den Figuren, dieselben Bezugszeichen dazu verwendet, dieselben oder ähnliche Teile zu kennzeichnen.
Wie es aus der 3 erkennbar ist, sind eine Gateleitung 104 und eine Datenleitung 106 einander schneidend auf einem ersten Substrat angeordnet, um einen Pixelbereich zu bilden, und an der Schnittstelle ist ein TFT vorhanden. Auf dem ersten Substrat ist ein Gatekontaktfleck 130 in Verbindung mit der Gateleitung 104 ausgebildet, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck 125 in Verbindung mit der Datenleitung 106 vorhanden.
Der TFT verfügt über eine integral mit der Gateleitung 104 ausgebildete Gateelektrode 105, eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht 108, eine integral mit der Datenleitung 106 auf der aktiven Schicht 108 ausgebildete Sourceelektrode 107a sowie eine von dieser um ein vorbestimmtes Stück getrennte Drainelektrode 107b. Die Drainelektrode 107b ist über ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode 112 verbunden.
Ein Datenkontaktfleck 125 liefert eine Datenspannung dadurch an die Datenleitung 106, dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck 125 besteht aus einer unteren Datenkontaktfleckelektrode 116, die sich ausgehend von der Datenleitung 106 erstreckt, und einer oberen Datenkontaktfleckelektrode 120, die über mehrere Kontaktlöcher H1 mit der unteren Datenkontaktfleck 116 verbunden ist.
Der Gatekontaktfleck 130 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung 109, dass er mit einem Gatetreiber (nicht darge stellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck 130 verfügt über eine ITO-Gateelektrode 115 aus transparentem, leitendem metallischem ITO, einer unteren Gatekontaktfleckelektrode 114, die sich ausgehend von der Gateleitung 104 an der ITO-Gateelektrode 115 erstreckt, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode 118, die über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode 114 verbunden ist. Der Gatekontaktfleck 130 kann über mindestens zwei Kontaktlöcher H1 und H2 verfügen.
Wie es aus den 3 und 4 erkennbar ist, wird auf einem transparenten Substrat 101 eine erste metallische Schicht aus einem ITO- oder IZO-Material hergestellt. Dann werden eine zweite metallische Schicht aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung sowie eine dritte metallische Schicht aus Molybdän oder eine Molybdänlegierung aufeinanderfolgend auf der ersten metallischen Schicht hergestellt.
Dann werden ein Fotoprozess und ein Strukturierprozess ausgeführt, um auf einem Gatekontaktfleckbereich eine ITO-Gateelektrode 115 herzustellen, um erste untere Gatekontaktfleckelektroden 114a links und rechts von dieser auszubilden und um zweite untere Gatekontaktfleckelektroden 114b auf den ersten unteren Gatekontaktfleckelektroden 114a herzustellen. Hierbei wird eine Beugungsbelichtungsmaske oder eine Halbtonmaske verwendet.
Der Fotoprozess und der Strukturierprozess werden in ähnlicher Weise bei einem Prozess zum Herstellen einer Gateelektrode und einer Gateleitung für ein Flüssigkristalldisplay ausgeführt.
Danach wird auf der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 114b eine Gateisolierschicht 111 hergestellt, und auf dieser wird eine Passivierungsschicht 113 hergestellt.
In der Passivierungsschicht 113 werden mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 ausgebildet, und auf diesen wird eine obere Gatekon taktfleckelektrode 118 hergestellt, die durch die mehreren Kontaktlöcher H1 und H2 mit der ITO-Gateelektrode 115 verbunden ist. Die ITO-Gateelektrode 115 und die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 werden aus demselben Materiale wie die Pixelelektrode 112 herstellt.
Wie oben beschrieben, wird die ITO-Gateelektrode 115 aus einem ITO-Material hergestellt, die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 114a wird aus einem Aluminiummaterial hergestellt, und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 114b wird aus einem Molybdänmaterial hergestellt, und schließlich wird die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 aus einem ITO-Material hergestellt.
Anhand der 5A bis 5E wird nun ein Verfahren zum Herstellen eines Gatekontaktflecks gemäß einer Ausführungsform der Erfindung erläutert.
Wie es aus der 5A erkennbar ist, wird eine erste metallische Schicht 125 aus ITO- oder IZO-Material auf einem transparenten Substrat 101 hergestellt. Dann wird auf ihr eine zweite metallische Schicht 127 aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt, auf der wiederum eine dritte metallische Schicht 129 aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt wird.
Nach dem kontinuierlichen Herstellen der drei metallischen Schichten wird ein Fotoresist auf das Substrat 101 aufgetragen, und unter Verwendung einer Maske 123 wird Ultraviolett(UV)strahlung oder optische Strahlung eingestrahlt. Hierbei verfügt die Maske 123 über einen Transmissionsbereich zum Durchlassen von 100 % der UV- oder optischen Strahlung, einen halb durchlässigen Bereich zum Durchlassen eines vorbestimmten Anteils der UV- oder der optischen Strahlung sowie einen Abschirmungsbereich zum vollständigen Ausblenden der UV- oder der optischen Strahlung.
Hierbei kann ein halb durchlässiger Bereich als Beugungsschlitz oder Halbtonmuster ausgebildet sein.
Nach dem vollständigen Abschließen des Belichtungsprozesses ist auf der dritten metallischen Schicht 129 ein Fotoresistmuster 121 mit verschiedenen Dickenbereichen ausgebildet.
Wie es durch die 5C veranschaulicht ist, wird unter Verwendung des Fotoresistmusters 121 als Maske ein Ätzprozess ausgeführt, um eine erste und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 114a und 114b links und rechts von der ITO-Gateelektrode 115 auszubilden.
Obwohl es in den beigefügten Zeichnungen nicht dargestellt ist, werden in anderen Bereichen als dem Gatekontaktfleckbereich eine Gateleitung und eine Gateelektrode hergestellt.
Wie es aus der 5D erkennbar ist, wird auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 114a und 114b eine Gateisolierschicht 111 hergestellt, auf der wiederum eine Passivierungsschicht 113 hergestellt wird.
Nach dem Herstellen der Gateisolierschicht 111 auf dem Substrat 101 werden eine Kanalschicht, eine Schicht für Ohmschen Kontakt, eine Source-/Drainelektrode gleichzeitig oder durch Ausführen mehrerer unabhängiger Prozesse auf einem Gateelektrodenbereich hergestellt.
Nach dem Herstellen der Source-/Drainelektrode wird die Passivierungsschicht 113 auf der gesamten Oberfläche des Substrats 101 hergestellt. Da die Kanalschicht, die Schicht für Ohmschen Kontakt und die Source-/Drainelektrode nicht im Gatekontaktfleckbereich hergestellt werden, wird die Passivierungsschicht 113 dort direkt auf der Gateisolierschicht 111 ausgebildet.
In der Passivierungsschicht 113 werden mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 ausgebildet, um einen vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode 115 frei zu legen, und auf ihnen wird eine obere Gatekontaktfleckelektrode 118 hergestellt, wie es aus der 5E erkennbar ist. Diese obere Gatekontaktfleckelektrode 118 ist mit der ITO-Gateelektrode 115 verbunden.
Die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 wird dadurch hergestellt, dass in allen Bereichen des Substrats 101 ITO abgeschieden wird und diese strukturiert wird, um in einem Pixelbereich eine Pixelelektrode, im Gatekontaktfleckbereich die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 und im Datenkontaktfleckbereich eine obere Datenkontaktfleckelektrode auszubilden.
Die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 ist nicht mit der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 114a und 114b verbunden, da die letzteren durch die Gateisolierschicht 118 und die Passivierungsschicht 113 umgeben sind.
Die der Luft ausgesetzte obere Gatekontaktfleckelektrode 118 ist elektrisch mit der ITO-Gateelektrode 115 verbunden, während sie nicht elektrisch mit der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 114a und 114b verbunden ist. Wie oben beschrieben, ist die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 114a nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 118 verbunden, um zu verhindern, dass die erstere korrodiert wird, da sie aus Aluminium besteht, das leicht durch Feuchtigkeit in der Luft korrodiert.
Um die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 114a so herzustellen, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 118 verbunden ist, wird die ITO-Gateelektrode 115 auf dem Substrat 101 hergestellt und mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 118 verbunden. Hierbei sind die erste und die zweite untere Gatekon taktfleckelektrode 114a und 114b nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 118 verbunden.
Die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 ist der Außenluft ausgesetzt, und Feuchtigkeit in der Luft dringt durch sie hindurch. Diese Feuchtigkeit, die durch die obere Gatekontaktfleckelektrode 118 hindurchgedrungen ist, kann mit der ITO-Gateelektrode 115 in Kontakt gelangen. Dadurch tritt jedoch kein Korrosionsproblem auf, da die ITO-Gateelektrode 115 nicht durch Feuchtigkeit korrodiert wird.
Zum Herstellverfahren für ein Flüssigkristalldisplay gemäß der ersten Ausführungsform gehört das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck ausgebildet wird, um zu verhindern, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode korrodiert.
Wie es aus der 6 zur zweiten Ausführungsform der Erfindung erkennbar ist, sind eine Gateleitung 204 und eine Datenleitung 206 einander schneidend auf einem ersten Substrat angeordnet, um einen Pixelbereich zu bilden, und an der Schnittstelle ist ein TFT ausgebildet. Auf dem ersten Substrat ist ein Gatekontaktfleck 230 in Verbindung mit der Gateleitung 204 vorhanden, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck 225 in Verbindung mit der Datenleitung 206 vorhanden.
Der TFT verfügt über eine integral mit der Gateleitung 204 ausgebildete Gateelektrode 205, eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht 208, eine Sourceelektrode 207a, die integral mit der Datenleitung 206 auf der aktiven Schicht 208 ausgebildet ist, und eine Drainelektrode 207b, die um ein vorbestimmtes Stück von der Sourceelektrode 207a getrennt ist. Die Datenleitung 207b ist durch ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode 212 verbunden.
Der Datenkontaktfleck 225 liefert dadurch eine Datenspannung an die Datenleitung 206, dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck 225 besteht aus einer sich von der Datenleitung 206 aus erstreckenden unteren Datenkontaktfleckelektrode 216 und einer oberen Datenkontaktfleckelektrode 220, die über ein einzelnes Kontaktloch H mit der unteren Datenkontaktfleckelektrode 216 verbunden ist.
Der Gatekontaktfleck 230 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung 204, dass er mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck 230 verfügt über eine ITO-Gateelektrode 215 aus transparentem, leitendem, metallischem ITO, eine untere Gatekontaktfleckelektrode 214, die sich ausgehend von der Gateleitung 204 an der ITO-Gateelektrode 215 erstreckt, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode 218, die durch ein Kontaktloch H1 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode 214 verbunden ist.
Wie es aus der 7 erkennbar ist, werden die ITO-Gateelektrode 215, eine erste untere Gatekontaktfleckelektrode 214a und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 214b durch die Prozesse hergestellt, wie sie unter Bezugnahme auf die 4 und die 5A bis 5C beschrieben wurden. Die untere Gatekontaktfleckelektrode 214 wird auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 214a und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 214b ausgebildet. Eine derartige untere Gatekontaktfleckelektrode 219 wird an den beiden Rändern der ITO-Gateelektrode 215 ausgebildet.
Auf dem Substrat 201 wird dort, wo die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 214b ausgebildet ist, eine Gateisolierschicht 211 hergestellt, auf der dann eine Passivierungsschicht 213 her gestellt wird. In der Passivierungsschicht 213 wird ein Kontaktloch H1 so ausgebildet, dass das Zentrum der ITO-Gateelektrode 215 frei gelegt ist. Die obere Gatekontaktfleckelektrode 218 wird so hergestellt, dass sie durch das Kontaktloch H1 hindurch mit der ITO-Gateelektrode 215 verbunden ist.
Dieser Herstellprozess ist identisch mit dem Herstellverfahren gemäß der ersten Ausführungsform. Daher werden zugehörige Einzelheiten weggelassen.
Die ITO-Gateelektrode 215 ist mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 218 verbunden, und die auf ihr hergestellte erste untere Gatekontaktfleckelektrode 214a wird so strukturiert, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 218 verbunden ist. Die ITO-Gateelektrode 215 und die obere Gatekontaktfleckelektrode 218 werden aus ITO- oder IZO-Material hergestellt, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 218a wird aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt. Die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 214b wird aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt.
Zwar dringt Feuchtigkeit in der Außenluft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode 218, da diese nach außen frei liegt, zur ITo-Gateelektrode 215 vor, jedoch korrodiert diese dadurch nicht, so dass das herkömmliche Korrosionsproblem nicht existiert.
Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der zweiten Ausführungsform gehört das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um zu verhindern, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode korrodiert.
Wie es aus der 8 zur dritten Ausführungsform erkennbar ist, wird ein Pixelbereich dadurch ausgebildet, dass eine Gateleitung 304 und eine Datenleitung 306 einander schneidend auf einem ersten Substrat hergestellt werden. An der Schnittstelle der Gateleitung 304 und der Datenleitung 306 wird ein TFT hergestellt. Ein Gatekontaktfleck 330 wird auf dem ersten Substrat so hergestellt, dass er mit der Gateleitung 304 verbunden ist, und ebenfalls auf dem ersten Substrat wird ein Datenkontaktfleck 325 so hergestellt, dass er mit der Datenleitung 306 verbunden ist.
Das Flüssigkristalldisplay gemäß der dritten Ausführungsform verfügt über eine ähnliche Konfiguration und viele identische Teile im Vergleich zur zweiten Ausführungsform, weswegen hier eine zugehörige detaillierte Beschreibung weggelassen wird.
Der Gatekontaktfleck 330 ist mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden, und er liefert ein Scansignal an die Gateleitung 304. Der Gatekontaktfleck 330 verfügt über eine ITO-Gateelektrode 315 aus einem transparenten, leitenden, metallischen Material wie ITO, eine untere Gatekontaktfleckelektrode 314, die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode 315, mit Erstreckung ausgehend von der Gateleitung 304, ausgebildet ist, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode 318, die durch ein Kontaktloch H1 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode 314 verbunden ist.
Wie es aus der 9 erkennbar ist, ist die untere Gatekontaktfleckelektrode 314 an einer Seite der ITO-Gateelektrode 315 ausgebildet, was von dem verschieden ist, was in der 7 dargestellt ist. Die untere Gatekontaktfleckelektrode 314 besteht aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 314a und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 314b.
Andere Prozesse zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der dritten Ausführungsform sind identisch mit denen bei der ersten Ausführungsform, wie sie unter Bezugnahme auf die 4 sowie 5A bis 5C beschrieben wurden. Daher wird eine zugehörige detaillierte Beschreibung hier weggelassen.
Eine Gateisolierschicht 311 wird auf einem Substrat 301 dort hergestellt, wo die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 314b herzustellen ist, und dort, wo die Gateisolierschicht 311 hergestellt wurde, wird eine Passivierungsschicht 313 auf dem Substrat 313 hergestellt. In der Passivierungsschicht 313 wird ein Kontaktloch H1 so hergestellt, dass das Zentrum der ITO-Gateelektrode 315 frei gelegt ist. Auf dem Kontaktloch H1 wird eine obere Gatekontaktfleckelektrode 314 hergestellt, die dann durch das Kontaktloch mit der ITO-Gateelektrode 315 verbunden ist.
Die ITO-Gateelektrode 315 ist mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 318 verbunden, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 314a auf der ITO-Gateelektrode 315 wird so strukturiert, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 318 verbunden ist.
Die obere Gatekontaktfleckelektrode 318 und die ITO-Gateelektrode 315 werden aus einem metallischen Material wie ITO oder IZO hergestellt, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 314a wird aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt. Die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode 314 wird aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt.
Zwar dringt Feuchtigkeit in der Außenluft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode 318, die nach außen frei liegt, zur ITO-Gateelektrode 315 vor, die dadurch jedoch nicht korrodiert, weswegen das herkömmliche Korrosionsproblem beseitigt ist.
Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der dritten Ausführungsform gehört das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um eine Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode zu verhindern.
Wie es aus der 10 zur vierten Ausführungsform der Erfindung erkennbar ist, wird ein Pixelbereich durch einander schneidendes Anordnung einer Gateleitung 404 und einer Datenleitung 406 auf einem ersten Substrat ausgebildet, und an der Schnittstelle wird ein TFT hergestellt. Auch wird ein Gatekontaktfleck 430 so auf dem ersten Substrat hergestellt, dass er mit der Gateleitung 404 verbunden ist, und ein Datenkontaktfleck 425 wird ebenfalls auf dem ersten Substrat so hergestellt, dass er mit der Datenleitung 406 verbunden ist.
Das Flüssigkristalldisplay gemäß der vierten Ausführungsform verfügt über eine ähnliche Konfiguration und identische Elemente wie die dritte Ausführungsform, weswegen eine zugehörige detaillierte Beschreibung weggelassen wird.
Der Gatekontaktfleck 430 ist mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden, und er liefert ein Scansignal an die Gateleitung 404. Der Gatekontaktfleck 430 verfügt über eine ITO-Gateelektrode 415, die aus transparentem, leitendem, metallischem ITO besteht, eine untere Gatekontaktfleckelektrode 114, die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode 415, mit Erstreckung ausgehend von der Gateleitung 104, ausgebildet ist, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode 418, die durch mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode 414 verbunden ist. Hierbei kann der Gatekontaktfleck 430 über mindestens zwei Kontaktlöcher H1 und H2 verfügen.
Wie es aus der 11 erkennbar ist, wird eine untere Gatekontaktfleckelektrode 414 in einem Seitenbereich der ITO-Gateelektrode 415 hergestellt, was ein Unterschied gegenüber der 7 ist. Hierbei besteht die untere Gatekontaktfleckelektrode 414 aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode 414a und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 414b.
Andere Prozesse zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der vierten Ausführungsform sind identisch mit solchen bei der ersten Ausführungsform, wie sie unter Bezugnahme auf die 4 sowie 5A bis 5C beschrieben wurden. Daher wird eine zugehörige detaillierte Beschreibung hier weggelassen.
Auf der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode 114a werden eine Gateisolierschicht 411 und eine Passivierungsschicht 413 sequenziell hergestellt. In der Passivierungsschicht 413 werden mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 ausgebildet, auf denen eine obere Gatekontaktfleckelektrode 418 hergestellt wird.
Die ITO-Gateelektrode 415 ist elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 418 verbunden, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode 414a ist nicht elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode 418 verbunden.
Zwar dringt Feuchtigkeit durch die obere Gatekontaktfleckelektrode 418 zur ITO-Gateelektrode 415 vor, jedoch kommt es zu keinem Korrosionsproblem wie bei einem herkömmlichen LCD, da die ITO-Gateelektrode 415 nicht durch Luft und Feuchtigkeit korrodiert.
Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der vierten Ausführungsform gehört das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um eine Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode zu verhindern.
Wie oben beschrieben, wird beim Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der Erfindung eine ITO-Gateelektrode auf dem Substrat hergestellt, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um die ITO-Gateelektrode und die obere Gatekontaktfleckelektrode zu verbinden. Dadurch wird Korrosion des Gatekontaktflecks vermieden, wodurch das Flüssigkristalldisplay und das Verfahren zu seiner Herstellung gemäß der Erfindung für erhöhte Zuverlässigkeit des Gatekontaktflecks sorgen.

Claims

Flüssigkristalldisplay mit: einem Gatekontaktfleck mit einer auf einem Substrat hergestellten ITO-Gateelektrode, einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode, die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode ausgebildet sind, einer auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode hergestellten Gateisolierschicht, einer auf dieser hergestellten Passivierungsschicht sowie einer auf dieser hergestellten oberen Gatekontaktfleckelektrode, und mit mindestens einem Kontaktloch; und einer Flüssigkristalltafel mit einer Gateleitung mit Doppelstruktur, die integral aus der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode aufgebaut ist.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Gatekontaktfleckelektrode aus demselben Material wie die ITO-Gateelektrode besteht.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Gateelektrode durch das mindestens eine Kontaktloch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode verbunden ist.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode aus einem Material der Aluminiumgruppe besteht und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode aus einem Material der Molybdängruppe besteht.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode verbunden sind.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode durch die Gateisolierschicht und die Passivierungsschicht umgeben sind.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode an den beiden Rändern der ITO-Gateelektrode ausgebildet ist und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet ist.
Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode an einer Seite der ITO-Gateelektrode ausgebildet ist und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet ist.
Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays, das Folgendes beinhaltet: Herstellen einer ITO-Gateelektrode auf einem Substrat; Herstellen eines ersten Gatemetalls und eines zweiten Gatemetalls auf der ITO-Gateelektrode; Herstellen einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode auf einem ersten vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode; Herstellen einer Gateisolierschicht und einer Passivierungsschicht auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode; Ätzen eines vorbestimmten Bereichs der Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht zum Freilegen eines zweiten vorbestimmten Bereichs der ITO-Gateelektrode; und Herstellen einer oberen Gatekontaktfleckelektrode auf der frei gelegten Gateisolierschicht und der Passivierungsschicht.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode Folgendes beinhaltet: Auftragen eines Fotoresists auf das erste Gatemetall und das zweite Gatemetall; und Strukturieren des ersten Gatemetalls und des zweiten Gatemetalls.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Gateelektrode aus demselben Material wie die obere Gatekontaktfleckelektrode hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode aus einem Material der Aluminiumgruppe hergestellt wird und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode aus einem Material aus der Molybdängruppe hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet wird, um die ITO-Gateelektrode elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode zu verbinden.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode verbunden werden.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode durch die Gateisolierschicht und die Passivierungsschicht umgeben werden.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode an beiden Rändern der ITO-Gateelektrode hergestellt wird und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode auf einer Seite der ITO-Gateelektrode hergestellt wird und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet wird.
Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays, das Folgendes beinhaltet: aufeinanderfolgendes Herstellen einer ersten metallischen Schicht, einer zweiten metallischen Schicht und einer dritten metallischen Schicht auf einem Substrat; Herstellen einer Gateelektrode, einer Gateleitung und eines Gatekontaktflecks auf dem Substrat; Herstellen einer Passivierungsschicht dort auf dem Substrat, wo die Gateelektrode ausgebildet ist; Ausbilden mindestens eines Kontaktlochs und Herstellen einer Pixelelektrode in einem Pixelbereich und Herstellen einer oberen Gatekontaktfleckelektrode im Gatekontaktfleckbereich.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Passivierungsschicht in einem Pixelbereich und des Herstellens einer oberen Gatekontaktfleckelektrode im Gatekontaktfleckbereich das Herstellen einer transparenten Metallschicht auf der Pixelelektrode und das Ätzen der sich ergebenden Struktur beinhaltet.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die erste metallische Schicht aus ITO oder IZO hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite metallische Schicht aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte metallische Schicht aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Gateelektrode, einer Gateleitung und eines Gatekontaktflecks auf dem Substrat einen Fotoprozess und einen Strukturierprozess beinhaltet.
Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, dass der Fotoprozess und der Strukturierprozess gleichzeitig ausgeführt werden.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Gateelektrode, einer Gateleitung und eines Gatekontaktflecks auf der dritten metallischen Schicht einen Maskenprozess beinhaltet, wobei die bei diesem verwendete Maske eine Beugungsbelichtungsmaske oder eine Halbtonmaske ist, von denen jede einen durchlässigen Bereich, einen Abschirmungsbereich und einen halb durchlässigen Bereich aufweist.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Gatekontaktfleck Folgendes aufweist: eine aus der ersten metallischen Schicht bestehende ITO-Gateelektrode sowie eine doppelschichtige Elektrode aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode, die aus der zweiten bzw. dritten metallischen Schicht, die auf der ITO-Gateelektrode ausgebildet sind, besteht.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere der doppelschichtigen Elektroden aus der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode auf der ITO-Gateelektrode hergestellt wird/werden.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Gatekontaktfleckelektrode aus demselben Material wie die ITO-Gateelektrode hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Gateelektrode mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode über das mindestens eine Kontaktloch verbunden wird.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode verbunden werden.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode durch die Gateisolierschicht und die Passivierungsschicht umgeben werden.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode an beiden Rändern der ITO-Gateelektrode hergestellt wird und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Gatekontaktfleckelektrode auf einer Seite der ITO-Gateelektrode hergestellt wird und mindestens ein Kontaktloch in der Passivierungsschicht ausgebildet wird.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Gateelektrode ferner eine Gateisolierschicht hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Gateelektrode ferner eine Kanalschicht und eine Sourceelektrode sowie eine Drainelektrode hergestellt werden.
Verfahren nach Anspruch 35, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanalschicht sowie die Sourceelektrode und die Drainelektrode gleichzeitig oder durch Ausführen mehrerer unabhängiger Prozesse hergestellt werden.
Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays, das Folgendes beinhaltet: aufeinanderfolgendes Herstellen einer ersten metallischen Schicht, einer zweiten metallischen Schicht und einer dritten metallischen Schicht auf einem Substrat; Herstellen einer Datenelektrode, einer Datenleitung und eines Datenkontaktflecks auf dem Substrat; Herstellen einer Passivierungsschicht dort auf dem Substrat, wo die Datenelektrode ausgebildet ist; Ausbilden mindestens eines Kontaktlochs und Herstellen einer Pixelelektrode in einem Pixelbereich und Herstellen einer oberen Datenkontaktfleckelektrode im Datenkontaktfleckbereich.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Passivierungsschicht in einem Pixelbereich und des Herstellens einer oberen Datenkontaktfleckelektrode im Datenkontaktfleckbereich das Herstellen einer transparenten Metallschicht auf der Pixelelektrode und das Ätzen der sich ergebenden Struktur beinhaltet.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass die erste metallische Schicht aus ITO oder IZO hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite metallische Schicht aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte metallische Schicht aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Datenelektrode, einer Datenleitung und eines Datenkontaktflecks auf dem Substrat einen Fotoprozess und einen Strukturierprozess beinhaltet.
Verfahren nach Anspruch 42, dadurch gekennzeichnet, dass der Fotoprozess und der Strukturierprozess gleichzeitig ausgeführt werden.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Datenelektrode, einer Datenleitung und eines Datenkontaktflecks auf der dritten metallischen Schicht einen Maskenprozess beinhaltet, wobei die bei diesem verwendete Maske eine Beugungsbelichtungsmaske oder eine Halbtonmaske ist, von denen jede einen durchlässigen Bereich, einen Abschirmungsbereich und einen halb durchlässigen Bereich aufweist.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass der Datenkontaktfleck Folgendes aufweist: eine aus der ersten metallischen Schicht bestehende ITO-Datenelektrode sowie eine doppelschichtige Elektrode aus einer ersten unteren Datenkontaktfleckelektrode und einer zweiten unteren Datenkontaktfleckelektrode, die aus der zweiten bzw. dritten metallischen Schicht, die auf der ITO-Datenelektrode ausgebildet sind, besteht.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere der doppelschichtigen Elektroden aus der ersten unteren Datenkontaktfleckelektrode und der zweiten unteren Datenkontaktfleckelektrode auf der ITO-Datenelektrode hergestellt wird/werden.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Datenkontaktfleckelektrode aus demselben Material wie die ITO-Datenelektrode hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Datenelektrode mit der oberen Datenkontaktfleckelektrode über das mindestens eine Kontaktloch verbunden wird.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Datenkontaktfleckelektrode und die zweite untere Datenkontaktfleckelektrode nicht mit der oberen Datenkontaktfleckelektrode verbunden werden.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Datenkontaktfleckelektrode und die zweite untere Datenkontaktfleckelektrode durch die Datenisolierschicht und die Passivierungsschicht umgeben werden.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Datenkontaktfleckelektrode an beiden Rändern der ITO-Datenelektrode hergestellt wird und mindestens zwei Kontaktlöcher in der Passivierungsschicht ausgebildet werden.
Verfahren nach Anspruch 45, dadurch gekennzeichnet, dass die untere Datenkontaktfleckelektrode auf einer Seite der ITO- Datenelektrode hergestellt wird und mindestens zwei Kontaktlöcher in der Passivierungsschicht ausgebildet werden.
Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Datenelektrode ferner eine Datenisolierschicht hergestellt wird.
Verfahren nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Datenelektrode ferner eine Kanalschicht und eine Sourceelektrode sowie eine Drainelektrode hergestellt werden.
Verfahren nach Anspruch 37, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanalschicht sowie die Sourceelektrode und die Drainelektrode gleichzeitig oder durch Ausführen mehrerer unabhängiger Prozesse hergestellt werden.