DE102006027657B4 - Flüssigkristalldisplay mit einem Gatekontaktfleck und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
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Abstract
Flüssigkristalldisplay mit: – einem Gatekontaktfleck (130, 230, 330, 430) mit einer auf einem Substrat (101, 201, 301, 401) hergestellten ITO-Gateelektrode (115, 215, 315, 415), einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a, 214a, 314a, 414a) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b, 214b, 314b, 414b), die auf einem ersten vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode (115, 215, 315, 415) ausgebildet sind, einer auf der ersten (114a, 214a, 314a, 414a) und der zweiten (114b, 214b, 314b, 414b) unteren Gatekontaktfleckelektrode hergestellten Gateisolierschicht (111, 211, 311, 411), einer auf dieser hergestellten Passivierungsschicht (113, 213, 313, 413) sowie einer auf dieser hergestellten oberen Gatekontaktfleckelektrode (118, 218, 318, 418), und mit mindestens einem Kontaktloch (H1, H2), um die obere Gatekontaktfleckelektrode (118, 218, 318, 418) mit der ITO-Gateelektrode (115, 215, 315, 415) in einem zweiten, vom ersten unterschiedlichen vorbestimmten Bereich zu verbinden, so dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (114a, 214a, 314a, 414a) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b, 214b, 314b,...
Description
- Die Erfindung betrifft ein Flüssigkristalldisplay mit einem Gatekontaktfleck sowie ein Verfahren zu dessen Herstellung.
- In den letzten Jahren wurden zahlreiche Flachtafeldisplays entwickelt, wie insbesondere Flüssigkristalldisplays (LCDs), Plasmadisplays (PDPs) sowie Elektrolumineszenzdisplays (ELDs). In den verschiedensten Geräten werden bereits etliche verschiedene Flachtafeldisplays verwendet.
- Unter Flachtafeldisplays werden LCDs wegen ihres geringen Gewichts, ihres kleinen Aufbaus und ihres niedrigen Energieverbrauchs in mobilen Geräten häufig an Stelle von Kathodenstrahlröhren verwendet. Auch wurden LCDs in verschiedenen Formen beispielsweise als Monitore für Notebookcomputer und zum Fernsehen entwickelt.
- LCDs zeigen Bilder unter Verwendung charakteristischer Eigenschaften von Flüssigkristallen, nämlich der optischen Anisotropie und der Polarisation, an. Da Flüssigkristallmoleküle lang und dünn sind, ist die Anordnung derselben in einem Flüssigkristall gerichtet. Die Ausrichtung der Moleküle kann durch Anlegen eines elektrischen Felds an den Flüssigkristall gesteuert werden.
- Wenn die Ausrichtung der Molekülanordnung in einem Flüssigkristall durch künstliches Anlegen eines elektrischen Felds an ihn gesteuert wird, ändert sich die Molekülanordnung, und die optische Anisotropie ändert die Polarisation des Lichts in der Richtung der Molekülanordnung. Dadurch zeigt das LCD Bilddaten durch Steuern der Ausrichtung der Molekülanordnung im Flüssigkristall an.
- Die
1 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines bekannten Flüssigkristalldisplays. - Wie es aus der
1 erkennbar ist, sind eine Gateleitung4 und eine Datenleitung6 einander kreuzend auf dem ersten Substrat des herkommlichen LCD angeordnet, um ein Pixelgebiet zu bilden, und an der Schnittstelle der beiden ist ein Dunnschichttransistor (TFT) ausgebildet. Auch ist auf dem ersten Substrat ein Gatekontaktfleck30 in Verbindung mit der Gateleitung4 ausgebildet, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck25 in Verbindung mit der Datenleitung6 ausgebildet. - Der TFT verfügt über eine integral mit der Gateleitung
4 ausgebildete Gateelektrode5 , eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht8 , eine integral mit der Datenleitung6 auf der aktiven Schicht8 ausgebildete Sourceelektrode7a sowie eine von dieser um ein vorbestimmtes Stuck entfernte Drainelektrode7b . Die Drainelektrode7b ist über ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode12 verbunden. - Der Datenkontaktfleck
25 liefert dadurch eine Datenspannung an die Datenleitung6 , dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck25 verfügt über eine untere Datenkontaktfleckelektrode26 sowie eine obere Datenkontaktfleckelektrode20 , die durch ein Kontaktloch (H) mit der unteren Datenkontaktfleckelektrode16 verbunden ist. - Der Gatekontaktfleck
30 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung4 , dass er mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck30 verfugt über eine sich ausgehend von der Gateleitung4 erstreckende untere Gatekontaktfleckelektrode14 und eine obere Gatekontaktfleckelektrode18 , die durch mehrere Kontaktlocher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode14 verbunden ist. - Die
2 ist eine Schnittansicht der1 entlang einer Linie A-A'. - Wie es in der
2 dargestellt ist, sind auf einem transparenten Substrat1 eine erste untere Gatekontaktfleckelektrode14a und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode14b ausgebildet, um die untere Gatekontaktfleckelektrode14 zu bilden. Auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode14a und14b ist eine Gateisolierschicht11 ausgebildet, auf der eine Passivierungsschicht13 vorhanden ist. - Am transparenten Substrat
1 sind dort, wo die Passivierungsschicht13 ausgebildet ist, mehrere Kontaktlocher H1 und H2 ausgebildet, und auf diesen ist eine obere Gatekontaktfleckelektrode18 ausgebildet. - Die erste untere Gatekontaktfleckelektrode
14a besteht aus Metall der Aluminiumgruppe, die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode14b besteht aus einem Metall der Molybdan(Mo)gruppe, und die obere Gatekontaktfleckelektrode18 besteht aus einem Metall der ITO-Gruppe. Die obere Gatekontaktfleckelektrode18 besteht aus einem Material, das mit dem der Pixelelektrode12 identisch ist. - Wenn die erste untere Gatekontaktfleckelektrode
14a aus Aluminium auf dem Substrat1 hergestellt wird, korrodiert sie, wenn das Aluminium in Kontakt mit dem Luftsauerstoff gelangt. Um diese Korrosion zu verhindern, wird die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode14b auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode14a hergestellt. - Da die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode
14b aus einem Metall mit hohem Widerstand hergestellt wird, wird sie in Form eines Dunnfilms auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode14a hergestellt. Die erste untere Gatekontaktfleckelektrode14a und die obere Gatekontaktfleckelektrode18 sind über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 verbunden. Da die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode14b aus einem Metall mit hohem Widerstand besteht, wie oben beschrieben, fließt kein Strom durch sie, wenn die obere Gatekontaktfleckelektrode18 mit ihr verbunden wird. - Daher werden die erste untere Gatekontaktfleckelektrode
14a und die obere Gatekontaktfleckelektrode18 über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 verbunden. - Da auf der oberen Gatekontaktfleckelektrode
18 weder eine Gateisolierschicht noch eine Passivierungsschicht ausgebildet sind, ist sie der Luft ausgesetzt. Dadurch dringt Luft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode18 in die erste untere Gatekontaktfleckelektrode14a ein. - Wenn die erste untere Gatekontaktfleckelektrode
14a mit Feuchtigkeit in der Luft in Kontakt gelangt, korrodiert sie, da sie aus Aluminium besteht. Eine derartige korrodierte untere erste Gatekontaktfleckelektrode14a stört ein Scansignal, das vom Gatetreiber an die mit dem Gatekontaktfleck30 verbundene Gateleitung4 zu übertragen ist. Auch kann durch die Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode14a die Gateleitung4 korrodieren, mit der sie integral ausgebildet ist. - Die
US 2005/0263769 A1 - Die
US 6,335,211 B1 beschreibt ein Dünnschichttransistorsubstrat und ein Verfahren zu dessen Herstellung. Hierbei wird ein Gatekontaktfleck dadurch hergestellt, dass eine Gatekontaktfleckelektrode aus einer ersten Schicht aus ITO und einer zweiten Schicht aus einem opaken Metall wie Chrom durch ein Kontaktloch freigelegt wird, wobei zusätzlich die zweite Schicht entfernt ist. Die Gatekontaktfleckelektrode steht mit einer Gateelektrode über eine zusätzliche Gatekontaktfleckelektrode in Verbindung, welche aus dem Material der Datenleitung gebildet ist. Die Gateelektrode ist dabei aus einer unteren Schicht aus Chrom und einer oberen Schicht aus Aluminium aufgebaut. Die zusätzliche Gatekontaktfleckelektrode weist eine Doppelschichtstruktur aus einer unteren Schicht aus Chrom und einer oberen Schicht aus Aluminium auf. - Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Flüssigkristalldisplay und ein Verfahren zum Herstellen desselben zu schaffen, durch die die elektrolytische Korrosion eines Gatekontaktflecks zuverlässig verhindert werden kann.
- Diese Aufgabe ist durch das Flüssigkristalldisplay gemäß dem beigefügten Anspruch 1 und die Verfahren gemäß den beigefügten unabhängigen Ansprüchen 7 und 14 gelöst.
- Die Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren veranschaulichten Ausführungsformen näher erlautert.
-
1 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer einschlagigen Technik; -
2 ist eine Schnittansicht der1 entlang einer Linie A-A'; -
3 ist eine Blockdiagramm zum Veranschaulichen eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer ersten Ausführungsform der Erfindung; -
4 ist eine Schnittansicht der3 entlang einer Linie -
5A bis5E veranschaulichen ein Verfahren zum Herstellen eines Gatekontaktflecks gemäß einer Ausführungsform der Erfindung; -
6 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung; -
7 ist eine Schnittansicht der6 entlang einer Linie C-C'; -
8 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats eines Flüssigkristalldisplays gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung; -
9 ist eine Schnittansicht der8 entlang einer Linie D-D'; -
10 ist eine Draufsicht eines ersten Substrats gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung; und -
11 ist eine Schnittansicht der10 entlang einer Linie E-E'. - Wo immer es möglich ist, sind in der folgenden Beschreibung, wie auch in den Figuren, dieselben Bezugszeichen dazu verwendet, dieselben oder ähnliche Teile zu kennzeichnen.
- Wie es aus der
3 erkennbar ist, sind eine Gateleitung104 und eine Datenleitung106 einander schneidend auf einem ersten Substrat angeordnet, um einen Pixelbereich zu bilden, und an der Schnittstelle ist ein TFT vorhanden. Auf dem ersten Substrat ist ein Gatekontaktfleck130 in Verbindung mit der Gateleitung104 ausgebildet, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck125 in Verbindung mit der Datenleitung106 vorhanden. - Der TFT verfügt über eine integral mit der Gateleitung
104 ausgebildete Gateelektrode105 , eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht108 , eine integral mit der Datenleitung106 auf der aktiven Schicht108 ausgebildete Sourceelektrode107a sowie eine von dieser um ein vorbestimmtes Stuck getrennte Drainelektrode107b . Die Drainelektrode107b ist über ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode112 verbunden. - Ein Datenkontaktfleck
125 liefert eine Datenspannung dadurch an die Datenleitung106 , dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck125 besteht aus einer unteren Datenkontaktfleckelektrode116 , die sich ausgehend von der Datenleitung106 erstreckt, und einer oberen Datenkontaktfleckelektrode120 , die über mehrere Kontaktlocher H1 mit der unteren Datenkontaktfleck116 verbunden ist. - Der Gatekontaktfleck
130 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung104 , dass er mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck130 verfugt über eine ITO-Gateelektrode115 aus transparentem, leitendem metallischem ITO, einer unteren Gatekontaktfleckelektrode114 , die sich ausgehend von der Gateleitung104 an der ITO-Gateelektrode115 erstreckt, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode118 , die über mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode114 verbunden ist. Der Gatekontaktfleck130 kann über mindestens zwei Kontaktlocher H1 und H2 verfugen. - Wie es aus den
3 und4 erkennbar ist, wird auf einem transparenten Substrat101 eine erste metallische Schicht aus einem ITO- oder IZO-Material hergestellt. Dann werden eine zweite metallische Schicht aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung sowie eine dritte metallische Schicht aus Molybdan oder eine Molybdanlegierung aufeinanderfolgend auf der ersten metallischen Schicht hergestellt. - Dann werden ein Fotoprozess und ein Strukturierprozess ausgefuhrt, um auf einem Gatekontaktfleckbereich eine ITO-Gateelektrode
115 herzustellen, um erste untere Gatekontaktfleckelektroden114a links und rechts von dieser auszubilden und um zweite untere Gatekontaktfleckelektroden114b auf den ersten unteren Gatekontaktfleckelektroden114a herzustellen. Hierbei wird eine Beugungsbelichtungsmaske oder eine Halbtonmaske verwendet. - Der Fotoprozess und der Strukturierprozess werden in ahnlicher Weise bei einem Prozess zum Herstellen einer Gateelektrode und einer Gateleitung für ein Flüssigkristalldisplay ausgeführt.
- Danach wird auf der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode
114b eine Gateisolierschicht111 hergestellt, und auf dieser wird eine Passivierungsschicht113 hergestellt. - In der Passivierungsschicht
113 werden mehrere Kontaktlocher H1 und H2 ausgebildet, und auf diesen wird eine obere Gatekontaktfleckelektrode118 hergestellt, die durch die mehreren Kontaktlöcher H1 und H2 mit der ITO-Gateelektrode115 verbunden ist. Die ITO-Gateelektrode115 und die obere Gatekontaktfleckelektrode118 werden aus demselben Materiale wie die Pixelelektrode112 herstellt. - Wie oben beschrieben, wird die ITO-Gateelektrode
115 aus einem ITO-Material hergestellt, die erste untere Gatekontaktfleckelektrode114a wird aus einem Aluminiummaterial hergestellt, und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode114b wird aus einem Molybdanmaterial hergestellt, und schließlich wird die obere Gatekontaktfleckelektrode118 aus einem ITO-Material hergestellt. - Anhand der
5A bis5E wird nun ein Verfahren zum Herstellen eines Gatekontaktflecks gemäß einer Ausführungsform der Erfindung erlautert. - Wie es aus der
5A erkennbar ist, wird eine erste metallische Schicht125 aus ITO- oder IZO-Material auf einem transparenten Substrat101 hergestellt. Dann wird auf ihr eine zweite metallische Schicht127 aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt, auf der wiederum eine dritte metallische Schicht129 aus Molybdan oder einer Molybdanlegierung hergestellt wird. - Nach dem kontinuierlichen Herstellen der drei metallischen Schichten wird ein Fotoresist auf das Substrat
101 aufgetragen, und unter Verwendung einer Maske123 wird Ultraviolett(UV)strahlung oder optische Strahlung eingestrahlt. Hierbei verfugt die Maske123 über einen Transmissionsbereich zum Durchlassen von 100% der UV- oder optischen Strahlung, einen halb durchlässigen Bereich zum Durchlassen eines vorbestimmten Anteils der UV- oder der optischen Strahlung sowie einen Abschirmungsbereich zum vollstandigen Ausblenden der UV- oder der optischen Strahlung. - Hierbei kann ein halb durchlassiger Bereich als Beugungsschlitz oder Halbtonmuster ausgebildet sein.
- Nach dem vollstandigen Abschließen des Belichtungsprozesses ist auf der dritten metallischen Schicht
129 ein Fotoresistmuster121 mit verschiedenen Dickenbereichen ausgebildet. - Wie es durch die
5C veranschaulicht ist, wird unter Verwendung des Fotoresistmusters121 als Maske ein Atzprozess ausgefuhrt, um eine erste und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode114a und114b links und rechts von der ITO-Gateelektrode115 auszubilden. - Obwohl es in den beigefugten Zeichnungen nicht dargestellt ist, werden in anderen Bereichen als dem Gatekontaktfleckbereich eine Gateleitung und eine Gateelektrode hergestellt.
- Wie es aus der
5D erkennbar ist, wird auf der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode114a und114b eine Gateisolierschicht111 hergestellt, auf der wiederum eine Passivierungsschicht113 hergestellt wird. - Nach dem Herstellen der Gateisolierschicht
111 auf dem Substrat101 werden eine Kanalschicht, eine Schicht für Ohmschen Kontakt, eine Source-/Drainelektrode gleichzeitig oder durch Ausführen mehrerer unabhangiger Prozesse auf einem Gateelektrodenbereich hergestellt. - Nach dem Herstellen der Source-/Drainelektrode wird die Passivierungsschicht
113 auf der gesamten Oberfläche des Substrats101 hergestellt. Da die Kanalschicht, die Schicht für Ohmschen Kontakt und die Source-/Drainelektrode nicht im Gatekontaktfleckbereich hergestellt werden, wird die Passivierungsschicht113 dort direkt auf der Gateisolierschicht111 ausgebildet. - In der Passivierungsschicht
113 werden mehrere Kontaktlocher H1 und H2 ausgebildet, um einen vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode115 frei zu legen, und auf ihnen wird eine obere Gatekontaktfleckelektrode118 hergestellt, wie es aus der5E erkennbar ist. Diese obere Gatekontaktfleckelektrode118 ist mit der ITO-Gateelektrode115 verbunden. - Die obere Gatekontaktfleckelektrode
118 wird dadurch hergestellt, dass in allen Bereichen des Substrats101 ITO abgeschieden wird und diese strukturiert wird, um in einem Pixelbereich eine Pixelelektrode, im Gatekontaktfleckbereich die obere Gatekontaktfleckelektrode118 und im Datenkontaktfleckbereich eine obere Datenkontaktfleckelektrode auszubilden. - Die obere Gatekontaktfleckelektrode
118 ist nicht mit der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode114a und114b verbunden, da die letzteren durch die Gateisolierschicht118 und die Passivierungsschicht113 umgeben sind. - Die der Luft ausgesetzte obere Gatekontaktfleckelektrode
118 ist elektrisch mit der ITO-Gateelektrode115 verbunden, während sie nicht elektrisch mit der ersten und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode114a und114b verbunden ist. Wie oben beschrieben, ist die erste untere Gatekontaktfleckelektrode114a nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode118 verbunden, um zu verhindern, dass die erstere korrodiert wird, da sie aus Aluminium besteht, das leicht durch Feuchtigkeit in der Luft korrodiert. - Um die erste untere Gatekontaktfleckelektrode
114a so herzustellen, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode118 verbunden ist, wird die ITO-Gateelektrode115 auf dem Substrat101 hergestellt und mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode118 verbunden. Hierbei sind die erste und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode114a und114b nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode118 verbunden. - Die obere Gatekontaktfleckelektrode
118 ist der Außenluft ausgesetzt, und Feuchtigkeit in der Luft dringt durch sie hindurch. Diese Feuchtigkeit, die durch die obere Gatekontaktfleckelektrode118 hindurchgedrungen ist, kann mit der ITO-Gateelektrode115 in Kontakt gelangen. Dadurch tritt jedoch kein Korrosionsproblem auf, da die ITO-Gateelektrode115 nicht durch Feuchtigkeit korrodiert wird. - Zum Herstellverfahren für ein Flüssigkristalldisplay gemäß der ersten Ausführungsform gehort das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck ausgebildet wird, um zu verhindern, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode korrodiert.
- Wie es aus der
6 zur zweiten Ausführungsform der Erfindung erkennbar ist, sind eine Gateleitung204 und eine Datenleitung206 einander schneidend auf einem ersten Substrat angeordnet, um einen Pixelbereich zu bilden, und an der Schnittstelle ist ein TFT ausgebildet. Auf dem ersten Substrat ist ein Gatekontaktfleck230 in Verbindung mit der Gateleitung204 vorhanden, und ebenfalls auf dem ersten Substrat ist ein Datenkontaktfleck225 in Verbindung mit der Datenleitung206 vorhanden. - Der TFT verfugt über eine integral mit der Gateleitung
204 ausgebildete Gateelektrode205 , eine auf dieser ausgebildete aktive Schicht208 , eine Sourceelektrode207a , die integral mit der Datenleitung206 auf der aktiven Schicht208 ausgebildet ist, und eine Drainelektrode207b , die um ein vorbestimmtes Stuck von der Sourceelektrode207a getrennt ist. Die Datenleitung207b ist durch ein Drainkontaktloch H mit einer Pixelelektrode212 verbunden. - Der Datenkontaktfleck
225 liefert dadurch eine Datenspannung an die Datenleitung206 , dass er mit einem Datentreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Datenkontaktfleck225 besteht aus einer sich von der Datenleitung206 aus erstreckenden unteren Datenkontaktfleckelektrode216 und einer oberen Datenkontaktfleckelektrode220 , die über ein einzelnes Kontaktloch H mit der unteren Datenkontaktfleckelektrode216 verbunden ist. - Der Gatekontaktfleck
230 liefert dadurch ein Scansignal an die Gateleitung204 , dass er mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden ist. Der Gatekontaktfleck230 verfugt über eine ITO-Gateelektrode215 aus transparentem, leitendem, metallischem ITO, eine untere Gatekontaktfleckelektrode214 , die sich ausgehend von der Gateleitung204 an der ITO-Gateelektrode215 erstreckt, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode218 , die durch ein Kontaktloch H1 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode214 verbunden ist. - Wie es aus der
7 erkennbar ist, werden die ITO-Gateelektrode215 , eine erste untere Gatekontaktfleckelektrode214a und eine zweite untere Gatekontaktfleckelektrode214b durch die Prozesse hergestellt, wie sie unter Bezugnahme auf die4 und die5A bis5C beschrieben wurden. Die untere Gatekontaktfleckelektrode214 wird auf der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode214a und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode214b ausgebildet. Eine derartige untere Gatekontaktfleckelektrode214 wird an den beiden Rändern der ITO-Gateelektrode215 ausgebildet. - Auf dem Substrat
201 wird dort, wo die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode214b ausgebildet ist, eine Gateisolierschicht211 hergestellt, auf der dann eine Passivierungsschicht213 hergestellt wird. In der Passivierungsschicht213 wird ein Kontaktloch H1 so ausgebildet, dass das Zentrum der ITO-Gateelektrode215 frei gelegt ist. Die obere Gatekontaktfleckelektrode218 wird so hergestellt, dass sie durch das Kontaktloch H1 hindurch mit der ITO-Gateelektrode215 verbunden ist. - Dieser Herstellprozess ist identisch mit dem Herstellverfahren gemäß der ersten Ausführungsform. Daher werden zugehörige Einzelheiten weggelassen.
- Die ITO-Gateelektrode
215 ist mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode218 verbunden, und die auf ihr hergestellte erste untere Gatekontaktfleckelektrode214a wird so strukturiert, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode218 verbunden ist. Die ITO-Gateelektrode215 und die obere Gatekontaktfleckelektrode218 werden aus ITO- oder IZO-Material hergestellt, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode218a wird aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt. Die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode214b wird aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt. - Zwar dringt Feuchtigkeit in der Außenluft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode
218 , da diese nach außen frei liegt, zur ITO-Gateelektrode215 vor, jedoch korrodiert diese dadurch nicht, so dass das herkömmliche Korrosionsproblem nicht existiert. - Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der zweiten Ausführungsform gehort des Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um zu verhindern, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode korrodiert.
- Wie es aus der
8 zur dritten Ausführungsform erkennbar ist, wird ein Pixelbereich dadurch ausgebildet, dass eine Gateleitung304 und eine Datenleitung306 einander schneidend auf einem ersten Substrat hergestellt werden. An der Schnittstelle der Gateleitung304 und der Datenleitung306 wird ein TFT hergestellt. Ein Gatekontaktfleck330 wird auf dem ersten Substrat so hergestellt, dass er mit der Gateleitung304 verbunden ist, und ebenfalls auf dem ersten Substrat wird ein Datenkontaktfleck325 so hergestellt, dass er mit der Datenleitung306 verbunden ist. - Das Flüssigkristalldisplay gemäß der dritten Ausführungsform verfügt über eine ahnliche Konfiguration und viele identische Teile im Vergleich zur zweiten Ausführungsform, weswegen hier eine zugehörige detaillierte Beschreibung weggelassen wird.
- Der Gatekontaktfleck
330 ist mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden, und er liefert ein Scansignal an die Gateleitung304 . Der Gatekontaktfleck330 verfugt über eine ITO-Gateelektrode315 aus einem transparenten, leitenden, metallischen Material wie ITO, eine untere Gatekontaktfleckelektrode314 , die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode315 , mit Erstreckung ausgehend von der Gateleitung304 , ausgebildet ist, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode318 , die durch ein Kontaktloch H1 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode314 verbunden ist. - Wie es aus der
9 erkennbar ist, ist die untere Gatekontaktfleckelektrode314 an einer Seite der ITO-Gateelektrode315 ausgebildet, was von dem verschieden ist, was in der7 dargestellt ist. Die untere Gatekontaktfleckelektrode314 besteht aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode314a und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode314b . - Andere Prozesse zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der dritten Ausführungsform sind identisch mit denen bei der ersten Ausführungsform, wie sie unter Bezugnahme auf die
4 sowie5A bis5C beschrieben wurden. Daher wird eine zugehörige detaillierte Beschreibung hier weggelassen. - Eine Gateisolierschicht
311 wird auf einem Substrat301 dort hergestellt, wo die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode314b herzustellen ist, und dort, wo die Gateisolierschicht311 hergestellt wurde, wird eine Passivierungsschicht313 auf dem Substrat313 hergestellt. In der Passivierungsschicht313 wird ein Kontaktloch H1 so hergestellt, dass das Zentrum der ITO-Gateelektrode315 frei gelegt ist. Auf dem Kontaktloch H1 wird eine obere Gatekontaktfleckelektrode314 hergestellt, die dann durch das Kontaktloch mit der ITO-Gateelektrode315 verbunden ist. - Die ITO-Gateelektrode
315 ist mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode318 verbunden, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode314a auf der ITO-Gateelektrode315 wird so strukturiert, dass sie nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode318 verbunden ist. - Die obere Gatekontaktfleckelektrode
318 und die ITO-Gateelektrode315 werden aus einem metallischen Material wie ITO oder IZO hergestellt, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode314a wird aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt. Die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode314 wird aus Molybdan oder einer Molybdänlegierung hergestellt. - Zwar dringt Feuchtigkeit in der Außenluft durch die obere Gatekontaktfleckelektrode
318 , die nach außen frei liegt, zur ITO-Gateelektrode315 vor, die dadurch jedoch nicht korrodiert, weswegen das herkommliche Korrosionsproblem beseitigt ist. - Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der dritten Ausführungsform gehört das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um eine Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode zu verhindern.
- Wie es aus der
10 zur vierten Ausführungsform der Erfindung erkennbar ist, wird ein Pixelbereich durch einander schneidendes Anordnung einer Gateleitung404 und einer Datenleitung406 auf einem ersten Substrat ausgebildet, und an der Schnittstelle wird ein TFT hergestellt. Auch wird ein Gatekontaktfleck430 so auf dem ersten Substrat hergestellt, dass er mit der Gateleitung404 verbunden ist, und ein Datenkontaktfleck425 wird ebenfalls auf dem ersten Substrat so hergestellt, dass er mit der Datenleitung406 verbunden ist. - Das Flüssigkristalldisplay gemäß der vierten Ausführungsform verfugt über eine ahnliche Konfiguration und identische Elemente wie die dritte Ausführungsform, weswegen eine zugehörige detaillierte Beschreibung weggelassen wird.
- Der Gatekontaktfleck
430 ist mit einem Gatetreiber (nicht dargestellt) verbunden, und er liefert ein Scansignal an die Gateleitung404 . Der Gatekontaktfleck430 verfugt über eine ITO-Gateelektrode415 , die aus transparentem, leitendem, metallischem ITO besteht, eine untere Gatekontaktfleckelektrode114 , die auf einem vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode415 , mit Erstreckung ausgehend von der Gateleitung104 , ausgebildet ist, und eine obere Gatekontaktfleckelektrode418 , die durch mehrere Kontaktlöcher H1 und H2 mit der unteren Gatekontaktfleckelektrode414 verbunden ist. Hierbei kann der Gatekontaktfleck430 über mindestens zwei Kontaktlocher H1 und H2 verfugen. - Wie es aus der
11 erkennbar ist, wird eine untere Gatekontaktfleckelektrode414 in einem Seitenbereich der ITO-Gateelektrode415 hergestellt, was ein Unterschied gegenüber der7 ist. Hierbei besteht die untere Gatekontaktfleckelektrode414 aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode414a und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode414b . - Andere Prozesse zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der vierten Ausführungsform sind identisch mit solchen bei der ersten Ausführungsform, wie sie unter Bezugnahme auf die
4 sowie5A bis5C beschrieben wurden. Daher wird eine zugehörige detaillierte Beschreibung hier weggelassen. - Auf der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode
114a werden eine Gateisolierschicht411 und eine Passivierungsschicht413 sequenziell hergestellt. In der Passivierungsschicht413 werden mehrere Kontaktlocher H1 und H2 ausgebildet, auf denen eine obere Gatekontaktfleckelektrode418 hergestellt wird. - Die ITO-Gateelektrode
415 ist elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode418 verbunden, und die erste untere Gatekontaktfleckelektrode414a ist nicht elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode418 verbunden. - Zwar dringt Feuchtigkeit durch die obere Gatekontaktfleckelektrode
418 zur ITO-Gateelektrode415 vor, jedoch kommt es zu keinem Korrosionsproblem wie bei einem herkömmlichen LCD, da die ITO-Gateelektrode415 nicht durch Luft und Feuchtigkeit korrodiert. - Zum Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der vierten Ausführungsform gehort das Herstellen der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode ohne Verbindung mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode durch Herstellen der ITO-Gateelektrode auf dem Substrat, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um eine Korrosion der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode zu verhindern.
- Wie oben beschrieben, wird beim Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays gemäß der Erfindung eine ITO-Gateelektrode auf dem Substrat hergestellt, wenn der Gatekontaktfleck hergestellt wird, um die ITO-Gateelektrode und die obere Gatekontaktfleckelektrode zu verbinden. Dadurch wird Korrosion des Gatekontaktflecks vermieden, wodurch das Flüssigkristalldisplay und das Verfahren zu seiner Herstellung gemäß der Erfindung für erhöhte Zuverlassigkeit des Gatekontaktflecks sorgen.
Claims (31)
- Flüssigkristalldisplay mit: – einem Gatekontaktfleck (
130 ,230 ,330 ,430 ) mit einer auf einem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ) hergestellten ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ), einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ), die auf einem ersten vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) ausgebildet sind, einer auf der ersten (114a ,214a ,314a ,414a ) und der zweiten (114b ,214b ,314b ,414b ) unteren Gatekontaktfleckelektrode hergestellten Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ), einer auf dieser hergestellten Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) sowie einer auf dieser hergestellten oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ), und mit mindestens einem Kontaktloch (H1, H2), um die obere Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) mit der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) in einem zweiten, vom ersten unterschiedlichen vorbestimmten Bereich zu verbinden, so dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) verbunden sind; und – einer Flüssigkristalltafel mit einer Gateleitung (104 ,204 ,304 ,404 ) mit Doppelstruktur, die integral aus der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) aufgebaut ist. - Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Gatekontaktfleckelektrode (
118 ,218 ,318 ,418 ) aus demselben Material wie die ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) besteht. - Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) aus einem Material der Aluminiumgruppe besteht und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) aus einem Material der Molybdängruppe besteht. - Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) durch die Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und die Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) umgeben sind. - Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode an den beiden Rändern der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) ausgebildet sind und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet ist. - Flüssigkristalldisplay nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode an einer Seite der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) ausgebildet sind und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet ist. - Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays, das Folgendes beinhaltet: – Herstellen einer ITO-Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ) auf einem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ); – Herstellen eines ersten Gatemetalls (127 ) und eines zweiten Gatemetalls (129 ) auf der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ); – Herstellen einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) auf einem ersten vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ); – Herstellen einer Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und einer Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) auf der ersten (114a ,214a ,314a ,414a ) und der zweiten (114b ,214b ,314b ,414b ) unteren Gatekontaktfleckelektrode; – Ätzen eines vorbestimmten Bereichs der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) zum Freilegen eines zweiten vorbestimmten Bereichs der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ), um mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) zu bilden; und – Herstellen einer oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) auf der freigelegten Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ), um die ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) elektrisch mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) in dem zweiten vorbestimmten Bereich zu verbinden, so dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) verbunden werden. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) auf einem ersten vorbestimmten Bereich der ITO-Gateelektrode Folgendes beinhaltet: – Auftragen eines Fotoresists auf das erste Gatemetall (127 ) und das zweite Gatemetall (129 ); und – Strukturieren des ersten Gatemetalls (127 ) und des zweiten Gatemetalls (129 ). - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ) aus demselben Material wie die obere Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) aus einem Material der Aluminiumgruppe hergestellt wird und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) aus einem Material aus der Molybdängruppe hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) durch die Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und die Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) umgeben werden. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode an beiden Rändern der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt werden und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet wird. - Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode auf einer Seite der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt werden und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet wird. - Verfahren zum Herstellen eines Flüssigkristalldisplays, das Folgendes beinhaltet: – aufeinanderfolgendes Herstellen einer ersten metallischen Schicht (
125 ), einer zweiten metallischen Schicht (127 ) und einer dritten metallischen Schicht (129 ) auf einem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ); – Herstellen einer Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) aus der ersten metallischen Schicht (125 ), einer Gateleitung (104 ,204 ,304 ,404 ) und eines Gatekontaktflecks (130 ,230 ,330 ,430 ) auf dem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ), wobei der Gatekontaktfleck (130 ,230 ,330 ,430 ) zumindest eine untere Gatekontaktfleckelektrode (114 ,214 ,314 ,414 ) aus der zweiten (127 ) und dritten (129 ) metallischen Schicht aufweist; – Herstellen einer Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) dort auf dem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ), wo die Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) ausgebildet ist; – Ausbilden mindestens eines Kontaktlochs (H1, H2) in der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) in einem vorbestimmten Bereich der Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ), der unterschiedlich zu dem Bereich der unteren Gatekontaktfleckelektrode (114 ,214 ,314 ,414 ) ist, – Ausbilden einer oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) auf der Passivierungsschicht (113 ,214 ,314 ,414 ) im Bereich des Gatekontaktflecks (130 ,230 ,330 ,430 ), um die Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) zu verbinden, so dass die untere Gatekontaktfleckelektrode (114 ,214 ,314 ,414 ) nicht mit der oberen Gatekontakfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) verbunden ist; und – Ausbilden einer Pixeleelektrode (112 ,212 ,312 ,412 ) in einem Pixelbereich. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Passivierungsschicht (
113 ,213 ,313 ,413 ) in einem Pixelbereich und des Herstellens einer oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) im Gatekontaktfleckbereich (130 ,230 ,330 ,430 ) das Herstellen einer transparenten Metallschicht auf der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) und das Ätzen der sich ergebenden Struktur beinhaltet. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die erste metallische Schicht (
125 ) aus ITO oder IZO hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die zweite metallische Schicht (
127 ) aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die dritte metallische Schicht (
129 ) aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ), einer Gateleitung (104 ,204 ,304 ,404 ) und eines Gatekontaktflecks (130 ,230 ,330 ,430 ) auf dem Substrat (101 ,201 ,301 ,401 ) einen Fotoprozess und einen Strukturierprozess beinhaltet. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Schritt des Herstellens einer Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ), einer Gateleitung (104 ,204 ,304 ,404 ) und eines Gatekontaktflecks (130 ,230 ,330 ,430 ) einen Maskenprozess beinhaltet, wobei die bei diesem verwendete Maske (123 ) eine Beugungsbelichtungsmaske oder eine Halbtonmaske ist, von denen jede einen durchlässigen Bereich, einen Abschirmungsbereich und einen halbdurchlässigen Bereich aufweist. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Gatekontaktfleck (
130 ,230 ,330 ,430 ) Folgendes aufweist: eine aus der ersten metallischen Schicht (125 ) bestehende ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) sowie eine doppelschichtige Elektrode (114 ,214 ,314 ,414 ) aus einer ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und einer zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ), die aus der zweiten (125 ) bzw. dritten (127 ) metallischen Schicht, die auf der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) ausgebildet sind, besteht. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass eine oder mehrere der doppelschichtigen Elektroden (
114 ,214 ,314 ,414 ) aus der ersten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114a ,214a ,314a ,414a ) und der zweiten unteren Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) auf der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt wird/werden. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die obere Gatekontaktfleckelektrode (
118 ,218 ,318 ,418 ) aus demselben Material wie die ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die ITO-Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ) mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) über das mindestens eine Kontaktloch (H1, H2) verbunden wird. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) nicht mit der oberen Gatekontaktfleckelektrode (118 ,218 ,318 ,418 ) verbunden werden. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die erste untere Gatekontaktfleckelektrode (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite untere Gatekontaktfleckelektrode (114b ,214b ,314b ,414b ) durch die Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) und die Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) umgeben werden. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode an beiden Rändern der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt werden und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet wird. - Verfahren nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass die erste (
114a ,214a ,314a ,414a ) und die zweite (114b ,214b ,314b ,414b ) untere Gatekontaktfleckelektrode auf einer Seite der ITO-Gateelektrode (115 ,215 ,315 ,415 ) hergestellt werden und mindestens ein Kontaktloch (H1, H2) in der Passivierungsschicht (113 ,213 ,313 ,413 ) ausgebildet wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ) ferner eine Gateisolierschicht (111 ,211 ,311 ,411 ) hergestellt wird. - Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Herstellen der Gateelektrode (
115 ,215 ,315 ,415 ) ferner eine Kanalschicht und eine Sourceelektrode (107a ,207a ,307a ,407a ) sowie eine Drainelektrode (107b ,207b ,307b ,407b ) hergestellt werden. - Verfahren nach Anspruch 30, dadurch gekennzeichnet, dass die Kanalschicht sowie die Sourceelektrode (
107a ,207a ,307a ,407a ) und die Drainelektrode (107b ,207b ,307b ,407b ,207b ,307b ,407b ) gleichzeitig oder durch Ausführen mehrerer unabhängiger Prozesse hergestellt werden.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
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Owner name: LG DISPLAY CO., LTD., SEOUL, KR |
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