DE4223305A1 - Plasmaadressierte fluessigkristallanzeige und verfahren zu ihrer herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige und ein Verfahren zu ihrer Herstel­ lung, insbesondere eine plasmaadressierte Flüssigkristall­ anzeige mit verbesserter Plasmaadressiereinheit und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.

Zu Anzeigen gehören eine Vakuumfluoreszenzanzeige, die einen langsamen Elektronenstrahl verwendet, eine Plasmaan­ zeige, die eine Gasentladung verwendet, eine Elektrolumi­ neszenz-(EL-)Anzeige, die den Elektrolumineszenzeffekt ver­ wendet, eine Flussigkristallanzeige (LCD), die den elek­ trooptischen Effekt verwendet, sowie eine herkömmliche Ka­ thodensstrahlröhre, die einen schnellen Elektronenstrahl verwendet. Die verschiedenen Anzeigen werden ausgewählt entsprechend ihren Eigenschaften adaptiert, da sie unter­ schiedliche Funktionen und Aufbauten haben. Ihr gemeinsamer Zweck ist es, elektrische Bildsignale oder Datensignale sichtbar zu machen.

Eine matrixartige Anzeige, die sich aus einer Plasma­ entladungsvorrichtung und einer elektrooptischen Vorrich­ tung, die eine Art von LCD ist, zusammensetzt, wird in US 48 96 149 beschrieben. Diese Anzeige ist zeilenweise durch Plasmaentladung zu adressieren. Gemäß Fig. 6 ist die Anzeige so aufgebaut, daß ein Flüssigkristallverschluß 10, in welchem eine Anzahl von streifenförmigen Datenelektroden 14 parallel angeordnet ist, über einer Plasmaadressierein­ heit 20 liegt, in welcher eine Anzahl von Einheitsabtastzei­ len 21 in Form von Rillen und in rechtem Winkel zu den streifenförmigen Datenelektroden 14 des Flüssigkristallver­ schlusses 10 angeordnet ist. Ein (nicht gezeigter) Hinter­ grundlichterzeuger, üblicherweise eine EL-Vorrichtung oder Kaltkathoden-Fluoreszenzlampe, ist auf der Rückseite der Plasmaadressiereinheit vorgesehen.

Gemäß Fig. 7 weist der Flüssigkristallverschluß 10 ein erstes und zweites transparentes Substrat 12 und 13 auf, zwischen welchen Flüssigkristall 16 eingefüllt ist. Auf der Innenseite des ersten Substrats 12, welches das Frontsub­ strat ist, sind streifenförmige Datenelektroden 14 ausgebil­ det. Mit einer Dicke von ungefähr 50 µm spielt das zweite Substrat 13 der beiden Substrate eine sehr wichtige Rolle bei der Ausrichtung des Flüssigkristalls. Die Plasmaadres­ siereinheit 20 weist eine Anzahl von Abtastzeilen 21 in Form von Rillen 24 auf, die auf einem dritten Substrat 25 unter rechtem Winkel zu den streifenförmigen Pixelelektroden aus­ gebildet sind. Beiderseits des Bodens einer jeden Rille 24 ist ein Paar von Elektroden 22 und 24 vorgesehen. Bei diesem Aufbau ist das dritte Substrat 25 mit dem zweiten Substrat 13 des Flüssigkristallverschlusses 10 verklebt, so daß eine als eine Abtastzeile 21 dienende Rille einen geschlossenen Entladungsraum ausbildet, in welchen Entladungsgas einge­ füllt ist.

Eine hinsichtlich der Lösung der Herstellungsprobleme einer herkömmlichen Flüssigkristallanzeige verbesserte Flüs­ sigkristallanzeige ist in der älteren Patentanmeldung P 42 11 258.3 beschrieben und schematisch in den Fig. 4 und 5 wiedergegeben.

Transparente erste und dritte Substrate 12′ und 25′ sind im Abstand zueinander angeordnet und schützen eine noch zu erwähnende funktionale Schicht, die dazwischen angeordnet ist. Auf dem ersten Substrat 12′ sind eine Anzahl von strei­ fenförmigen transparenten Datenelektroden 14′ ausgebildet. Eine Flüssigkristallschicht 16′ und ein zweites Substrat 13′ schließen aufeinanderfolgend an das erste Substrat an. Das zweite Substrat 13′ hat eine Dicke von 50 µm und eine be­ stimmte Dielektrizitätskonstante. Eine Anzahl von Barrieren 22′ einer bestimmten Höhe und eine streifenförmige zweite Elektrode 23′, die innerhalb der Höhe einer Barriere 22′ angeordnet ist, sind auf der anderen Seite der Flüssigkri­ stallschicht 16′ unter Zwischenlage des zweiten Substrats 13′ vorgesehen. Erste Elektroden 21′ sind parallel zu den zweiten Elektroden zwischen den Barrieren und auf der Innen­ seite des dritten Substrats 25′ vorgesehen. Gemäß Fig. 4 sind die zweiten Elektroden 23′ der beiden Arten von Elek­ troden in die Körper der Barrieren 22′ gelegt. In Fig. 5 sind die zweiten Elektroden 23′ oben auf die Barrieren 22′ angeordnet.

Bei obigem Aufbau liegen die Barrieren 22′ sowie die ersten und zweiten Elektroden 21′ und 23′ senkrecht zu den auf dem ersten Substrat ausgebildeten Datenelektroden. Die ersten Elektroden 21′ sind über den Entladungsraum den Flan­ ken der oben auf die oder in die Mitte der Barrieren 22′ gesetzten und benachbart zu beiden Seiten der ersten Elek­ troden angeordneten zweiten Elektroden 23′ zugekehrt.

Bei der oben beschriebenen Flüssigkristallanzeige spielt, wie erwähnt, das zweite Substrat mit seiner Dicke von ungefähr 50 µm eine sehr wichtige Rolle bei der Ausrich­ tung des Flüssigkristalls. Das Material der zweiten Elek­ trode ist jedoch teuer. Da seine Kosten mit zunehmender geometrischer Ausdehnung steigen, weil die Materialmenge größer wird, werden die Kosten des zweiten Substrats groß, insbesondere bei einer großflächigen Flüssigkristallanzeige, was die Kosten des Endprodukts erhöht. Dies liegt daran, daß das Substrat sehr dünn ist und seine Produktionskosten hoch sind, was die Kommerzialisierung von großflächigen Flüssig­ kristallanzeigen behindert. Die Maximalgröße des zweiten Substrats beträgt gegenwärtig 4′′×10′′ und es ist mit jeder bis heute bekannten Technik unmöglich, eine Flüssigkristall­ anzeige mit größeren Abmessungen als den angegebenen herzu­ stellen.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer plasmaa­ dressierten Flüssigkristallanzeige, welche durch effizientes Ausnützen des Substratmaterials auch bei großer Fläche in ihren Herstellungskosten vermindert ist.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist die Schaffung einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige, bei welcher die Größe ihres Schirms nicht durch die Substratgröße beschränkt ist.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung ist eine Schaffung eines Verfahrens zur Herstellung einer solchen plasmaadres­ sierten Flüssigkristallanzeige.

Die plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige gemäß der Erfindung umfaßt ein erstes Substrat, auf dessen Innenseite streifenförmige Datenelektroden vorgesehen sind, ein zweites Substrat einer bestimmten Dicke, welches zum ersten Substrat einen bestimmten Abstand einhält und mit diesem einen Flüs­ sigkristallraum schafft, ein drittes Substrat, welches zum zweiten Substrat einen bestimmten Abstand einhält, Unter­ teilungsbarrieren einer bestimmten Höhe und Breite, die zwischen dem zweiten und dritten Substrat angeordnet sind und eine Anzahl von parallelen linearen Plasmaentladungs­ räumen abteilen, die linear dem zweiten Substrat ein Poten­ tial zur Aktivierung des Flüssigkristalls im Zusammenwirken mit den Datenelektroden liefern, und erste und zweite Elek­ troden zur Erzeugung einer solchen linearen Entladung in jedem linearen Plasmaentladungsraum, wobei das zweite Sub­ strat aus einer Anzahl von Teilsubstraten zusammengesetzt ist, deren Stoßstellen sich mit den Unterteilungsbarrieren überlappen und auf diesen festgelegt sind.

Bei der plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige ist es wünschenswert, daß die Substratverbindungspunkte durch eine Paste festgelegt werden. Insbesondere ist es wünschens­ wert, daß die Paste gebrannt wird und als Gel existiert, so daß sie Elastizität hat und die Haftung und Stabilisierung der Stützstruktur des zweiten Substrats verbessert sind.

Das Verfahren zur Herstellung einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige mit einem ersten Substrat, auf dessen Innenseite streifenförmige Datenelektroden vorgesehen sind, einem zweiten Substrat einer bestimmten Dicke, welches aus einer Anzahl von Teilsubstraten zusammengesetzt ist und einen Abstand zum ersten Substrat einhält und so mit diesem einen mit Flüssigkristall zu füllenden Raum bestimmt, einem dritten Substrat, welches einen Abstand zum zweiten Substrat einhält, Unterteilungsbarrieren einer bestimmten Höhe und Breite, die zwischen dem zweiten und dritten Substrat an­ geordnet sind und eine Anzahl von parallelen linearen Plas­ maentladungsräumen abteilen, die zusammen mit den Datenelek­ troden dem zweiten Substrat linear ein Potential zur Akti­ vierung des Flüssigkristalls verleihen, wobei ein Teil der Barrieren sich mit Verbindungspunkten des Materials des zweiten Substrats überlappt, und ersten und zweiten Elek­ troden zur Erzeugung einer linearen Entladung in jedem li­ nearen Plasmaraum umfaßt die Verfahrensschritte des Ausbil­ dens von Unterteilungsbarrieren in einer bestimmten Höhe zur Abteilung von Entladungszeilen im dritten Substrat, Ausbil­ dens einer Anzahl von Elektroden für eine lineare Entladung auf den Entladungszeilen, des Fixierens des dritten und zweiten Substrats einer bestimmten Dicke mit Paste unter Zwischenlage der Barrieren, und Brennen von drittem und zweitem Substrat, Anschließen des ersten Substrats, auf dem die Datenelektroden vorab ausgebildet wurden, an die Vor­ derseite des zweiten Substrats unter Einhaltung eines Ab­ standes und Einfüllens von Flüssigkristall zwischen erstem und zweitem Substrat und Versiegelung derselben.

Bei obigem Verfahren gemäß der Erfindung werden im Schritt des Ausbildens der Unterteilungsbarrieren einer bestimmten Höhe zur Abteilung von Entladungszeilen auf dem dritten Substrat die Barrieren ausgebildet, indem kanalför­ mige Rillen durch Atzen des dritten Substrats unter Verwen­ dung von Photolithographie ausgebildet werden.

In einer weiteren Ausgestaltung werden beim Ausbilden der Unterteilungsbarrieren einer bestimmten Breite und Höhe Rillen bzw. Entladungszeilen durch die Barrieren durch Druc­ ken von Fritte durch ein wiederholtes Siebdruckverfahren ausgebildet. Dabei werden vor dem Siebdrucken für die Bar­ rieren die ersten und zweiten Elektroden für die lineare Entladung zwischen den Unterteilungsbarrieren ausgebildet. Gemäß einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens zur Aus­ bildung der Barrieren werden nach dem Ausbilden der zwischen den Barrieren liegenden ersten Elektroden beim Siebdrucken der Barrieren die zweiten Elektroden in mittlerer Höhe der Barrieren oder oben auf diesen unter Verwendung leitfähiger Paste aufgeschichtet.

Im Verfahrensschritt des Fixierens von drittem und zweitem Substrat wird nach Ausbilden von Paste in einer bestimmten Dicke oben auf den Barrieren das zweite Substrat darauf aufgelegt und der Aufbau bei einer Temperatur ge­ brannt, wo die Paste als Gel vorliegt.

Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen beschrieben.

Auf diesen ist bzw. sind

Fig. 1 eine schematische Schnittansicht einer ersten Ausführungsform der plasmaadressierten Flüssigkristallanzei­ ge gemäß der Erfindung,

Fig. 2 eine schematische Schnittansichte einer zweiten Ausführungsform der plasmaadressierten Flüssigkristallanzei­ ge gemaß der Erfindung,

Fig. 3 eine schematische Schnittansicht einer dritten Ausführungsform der plasmaadressierten Flüssigkristallanzei­ ge gemäß der Erfindung,

Fig. 4 und 5 schematische Schnittansichten einer plas­ maadressierten Flüssigkristallanzeige gemäß einem älteren Vorschlag,

Fig. 6 eine schematische perspektivische Explosions­ ansicht einer herkömmlichen plasmaadressierten Flüssigkri­ stallanzeige, und

Fig. 7 eine vergrößerte Teil-Schnittansicht der in Fig. 6 gezeigten Anzeige.

Gemaß den Fig. 1, 2 und 3 setzt sich eine plasmaadres­ sierte LCD aus einem Flüssigkristallverschluß 100 und einer Plasmaadressiereinheit 200 zusammen.

Gemaß Fig. 1 enthält der Flüssigkristallverschluß 100 ein erstes und zweites transparentes Substrat 120 und 130, zwischen welchen Flüssigkristall 160 eingefüllt ist. Strei­ fenförmige Datenelektroden 140 sind auf der Innenseite des ersten Substrats 120 ausgebildet, welches das Frontsubstrat darstellt. Mit einer Dicke von ungefähr 50 µm spielt das zweite Substrat 130 der beiden Substrate eine sehr wichtige Rolle bei der Ausrichtung des Flüssigkristalls und besteht aus einer Anzahl von Substratmaterialien bzw. Substratele­ menten. Deren Stoßstellen bzw. Anschlußstellen 131 überlap­ pen sich mit der Oberseite von noch zu erwähnenden Barrieren und sind mit Paste 132 festgeklebt. Die Paste kann fest oder ein Gel sein, welches Stöße absorbiert und damit der gerin­ gen Festigkeit des zweiten Substrats 130 Rechnung trägt. Der Gelzustand ist daher wünschenswert.

Die Plasmaadressiereinheit 200 weist eine Anzahl von Abtastzeilen 210 auf, gebildet durch Rillen 240 und Barrie­ ren 241 einer bestimmten Höhe auf einem dritten Substrat 250 unter rechtem Winkel zu den Datenelektroden 140. Ein Paar von Elektroden 220 und 230 ist parallel beiderseits des Bodens einer jeden Rille 240 vorgesehen. Bei diesem Aufbau ist das dritte Substrat 250 an das zweite Substrat 130 des Flüssigkristallverschlusses 110 angeklebt, so daß die Rillen 240 einen geschlossenen Entladungsraum bilden, in welchen Entladungsgas eingefüllt ist.

Gemäß Fig. 2 sind ein transparentes erstes und drittes Substrat 120 und 250′ in einem Abstand voneinander angeord­ net und schützen einen später noch zu erwähnenden Flüssig­ kristallverschluß 100 und eine Plasmaadressiereinheit 200.

Eine Anzahl von streifenförmigen transparenten Datenelek­ troden 140 ist parallel auf dem ersten Substrat 120 ausge­ bildet. Eine Flüssigkristallschicht 160 und ein zweites Substrat 130 schließen aufeinanderfolgend an das erste Sub­ strat an. Mit einer Dicke von 50 µm und einer bestimmten Dielektrizitatskonstanten spielt das zweite Substrat 130 eine sehr wichtige Rolle bei der Ausrichtung des Flüssig­ kristalls und besteht aus einer Anzahl von Substratmateria­ lien bzw. -elementen. Ihre Stoßstelle bzw. ihre Stoßstellen 131 liegt bzw. liegen oben auf den noch zu erwähnenden Bar­ rieren und ist bzw. sind mit Paste 132 angeklebt. Die Paste kann fest oder ein Gel sein, welches Stöße absorbiert und damit der geringen Festigkeit des zweiten Substrats 130 Rechnung trägt. Aus diesem Grund ist der Gelzustand wün­ schenswert. Eine Anzahl von Barrieren 241′ mit einer be­ stimmten Höhe und einer streifenförmigen zweiten Elektrode 230′, die innerhalb des Barrierenkörpers angeordnet ist, sind auf der anderen Seite der Flüssigkristallschicht 160 unter Zwischenlage des zweiten Substrats 130 vorgesehen. Erste Elektroden 220 sind parallel zu zweiten Elektroden 230′ zwischen den Barrieren und auf der Innenseite des drit­ ten Substrats 250′ vorgesehen. Die zweiten Elektroden 230′ der beiden Elektroden liegen mit ihren beidseitigen Flanken vollständig zwischen Barrieren 241′ frei, können aber auch mit nur einer Seite freiliegen.

Die LCD der Fig. 3 ist dadurch bestimmt, daß Barrieren 241′′ auf einem dritten Substrat 250′′ aufgeschichtet sind. Erste und zweite Elektroden 220′′ und 230′′ sind auf der Innenseite des dritten Substrats 250′ zwischen den Barrieren 241′′ angeordnet.

Bei obigen Aufbauten verlaufen Barrieren 241, 241′ und 241′′, erste Elektroden 220, 220′ und 220′′ und zweite Elek­ troden 230, 230′ und 230′′ senkrecht zu den auf dem ersten Substrat ausgebildeten Datenelektroden. Barrieren 241, 241′ und 241′′ wirken als Abstandshalter für einen bestimmten Abstand zwischen zweitem und drittem Substrat 130 und 250, zwischen welchen Entladungsgas eingefüllt ist. Das zentrale zweite Substrat trennt die Flüssigkristallschicht 160 vom Entladungsraum und richtet den Flüssigkristall aus, indem sie während der Entladung infolge der Dielektrizitätskon­ stanten aufgeladen wird.

Gemäß der Erfindung lassen sich, da das kostspielige zweite Substrat aus einer Mehrzahl von verhältnismäßig bil­ ligen Substratmaterialien bzw. -elementen mittels des ver­ besserten Fixierungsaufbaus ausgebildet werden kann, die Kosten des Endprodukts vermindern, so daß ein Bildschirm gewünschter Größe unabhängig von der Größe der zur Verfügung stehenden Substratelemente hergestellt werden kann. Beim Fixieren des Materials des zweiten Substrats, d. h. der Teile in der Größe, in der sie verfügbar sind, werden deren Stöße durch Paste angeschlossen und durch die auf dem dritten Substrat stehenden Barrieren abgestützt. Da die Stoßpunkte durch Paste im Gelzustand abgestützt werden, zeigt das zwei­ te Substrat Widerstandsfähigkeit gegenüber äußeren Stößen und ferner existieren keine feinen Zwischenräume am Berühr­ punkt mit den Barrieren. Dieses Fehlen von Zwischenräumen an den Berrührpunkten der Barrieren verhindert wirkungsvoll ein Übersprechen zwischen den Entladungszeilen. Da die erfin­ dungsgemäße LCD auf der Befestigungsstruktur für das zweite Substrats beruht, ist sie durch die periphere Struktur oder die Elektrodenanordnung nicht beschränkt.

Im folgenden wird nun ein Herstellungsverfahren für die erfindungsgemäße Flüssigkristallanzeige beschrieben.

Zunächst werden streifenförmige transparente erste und zweite Elektroden und Barrieren auf dem dritten Substrat ausgebildet. Bei der LCD der Fig. 1 wird das dritte Substrat photolithographisch geätzt und so eine Anzahl von parallelen kanalförmigen in Längsrichtung verlaufenden Rillen ausgebil­ det, die gleichzeitig auch Barrieren einer bestimmten Höhe bilden. Danach werden die ersten und zweiten Elektroden parallel zueinander am Boden der Rillen ausgebildet.

Bei der LCD der Fig. 2 werden nach Ausbildung der er­ sten Elektroden auf dem dritten Substrat zwischen diesen die Barrieren in einer bestimmten Höhe ausgebildet. Die zweiten Elektroden werden in der Mitte der Barrieren oder oben auf den Barrieren ausgebildet.

Bei der LCD der Fig. 3 werden nach Ausbildung einer Anzahl von ersten und zweiten Elektroden auf dem dritten Substrat Barrieren einer bestimmten Breite und Höhe zwischen den einzelnen Paaren aus ersten und zweiten Elektroden aus­ gebildet. Nach Ausbildung der Elektroden und Barrieren auf dem dritten Substrat wird die Oberseite der Barrieren in einer bestimmten Dicke mit Paste beschichtet und werden Substratelemente des zweiten Substrats der bestimmten Dicke auf der Paste angeordnet. Ein Stoßpunkt von zwei Substrat­ elementen wird oben auf einer Barriere angeordnet und kann zum Ankleben leicht angepreßt werden. Der zusammenhängende Körper wird bei einer Temperatur unterhalb des Erstarrungs­ punkts der Paste, d. h. bei einer Temperatur, wo die Paste als Gel existiert, erwärmt. Als Paste kommen in Frage #D- 4057 und #D-4058 der Firma ESL, die bei ungefähr 480°C ge­ lieren. Wenn daher die Erwärmungstemperatur 480°C beträgt, wird die Paste zum Gel, während bei einer darüberliegenden Temperatur die Paste verfestigt. Da es wünschenswert ist, daß die Paste in einem Gelzustand vorliegt, wird die Paste vorzugsweise bei einer Temperatur erhitzt, bei der die Paste geliert. Die im Gelzustand vorliegende Paste wirkt als ela­ stische Pufferschicht, die geeignet ist, das dünne zweite Substrat abzustützen.

Danach wird das erste Substrat, auf dem die Datenelek­ trode vorab ausgebildet worden ist, unter Einhaltung eines Abstands von der Oberseite des zweiten Substrats angeschlos­ sen und der Raum mit Flüssigkristall gefüllt und versiegelt. Dies stellt eine vorläufige Fertigstellung dar, die aber noch nachfolgende übliche Endverarbeitungsschritte erfor­ dert.

Die vorliegende Erfindung löst das Problem des Spalts zwischen der zweiten Elektrode und der Barriere und insbe­ sondere das Kostenproblem als Folge des teueren zweiten Sub­ strats. Da ferner die Bildschirmgröße nicht mehr durch das zur Verfügung stehende Material für das zweite Substrat beschränkt ist, lassen sich mit der Erfindung großflächige Bildschirme realisieren.

Claims (15)

1. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige mit
einem ersten Substrat (120), auf dessen Innenseite streifenförmige Datenelektroden (140) vorgesehen sind,
einem zweiten Substrat (130) einer bestimmten Dicke, welches einen Abstand zum ersten Substrat einhält und mit diesem einen Flüssigkristallraum bestimmt,
einem dritten Substrat (250), welches einen Abstand zum zweiten Substrat einhält,
Unterteilungsbarrieren (241) bestimmter Höhe und Brei­ te, welche zwischen dem zweiten und dritten Substrat ange­ ordnet sind und eine Anzahl von parallelen linearen Plasma­ entladungsräumen abteilen, die im Zusammenwirken mit den Datenelektroden dem zweiten Substrat ein Potential zur Akti­ vierung des Flüssigkristalls (160) verleihen, und
ersten und zweiten Elektroden (220, 230) zur Erzeugung einer linearen Entladung in jedem linearen Plasmaentladungs­ raum,
wobei das zweite Substrat aus einer Anzahl von Teilsub­ straten zusammengesetzt ist, deren Anschlußstellen (131) über den Barrieren (241) liegen und oben auf diesen fixiert sind.

2. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußstellen (131) durch Paste (132) auf den darunterliegenden Barrieren (241) fixiert sind.

3. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Paste (132) als Elastizität aufweisendes Gel vorliegt.

4. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach ir­ gendeinem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Elektroden (220) auf dem dritten Substrat (250′) zwischen den Barrieren (241′) und die zweiten Elektroden (230′) als Teil der Barrieren (241′) ausgebildet sind.

5. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Elektroden zwischen der Paste und den Barrieren angeordnet sind.

6. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode (230′) in der Mitte der Barriere (241′) angeordnet ist.

7. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach ir­ gendeinem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten Elektroden (220, 230; 220′′, 230′′) auf dem dritten Substrat (250, 250′′) zwischen den Barrieren (241, 241′′) ausgebildet sind.

8. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieren (241) einstückig mit dem dritten Substrat (250) ausgebildet sind.

9. Plasmaadressierte Flüssigkristallanzeige nach An­ spruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Barrieren aus Fritte ausgebildet sind, die in einer bestimmten Höhe auf dem dritten Substrat nach einem Siebdruckverfahren aufge­ bracht wird.

10. Verfahren zur Herstellung einer plasmaadressierten Flüssigkristallanzeige mit einem ersten Substrat (120), auf dessen Innenseite streifenförmige Datenelektroden (140) vorgesehen sind, einem zweiten Substrat (130) bestimmter Dicke, welches zum ersten Substrat einen Abstand einhält und mit diesem einen Flüssigkristallraum bestimmt, einem dritten Substrat (250), welches zum zweiten Substrat einen Abstand einhält, Unterteilungsbarrieren (241) einer bestimmten Höhe und Breite, die zwischen dem zweiten und dritten Substrat angeordnet sind und eine Anzahl von parallelen linearen Plasmaentladungsräumen abteilen, die dem zweiten Substrat im Zusammenwirken mit den Datenelektroden ein Potential zur Aktivierung des Flüssigkristalls verleihen, wobei ein Teil der Barrieren mit den Anschlußstellen (131) von Teilstücken des zweiten Substrats in Überlapp gebracht wird, und ersten und zweiten Elektroden (220, 230) zur Erzeugung einer linea­ ren Entladung in jedem linearen Plasmaentladungsraum, wobei das Verfahren die Schritte des
Ausbildens der Unterteilungsbarrieren mit einer be­ stimmten Höhe zur Abteilung von Entladungszeilen auf dem dritten Substrat,
Ausbildens einer Anzahl von Elektroden für eine lineare Entladung auf den Entladungszeilen,
Fixierens des dritten Substrats und zweiten Substrats einer bestimmten Dicke mit Paste unter Zwischenlage der Barrieren und Brennens des zweiten und dritten Substrats,
Anschließens des ersten Substrats, auf dem die Daten­ elektroden vorab ausgebildet worden sind, an der Vorderseite des zweiten Substrats unter Einhaltung eines Abstands, und
Einfüllens von Flüssigkristall zwischen erstem und zweitem Substrat und Versiegelns derselben.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt des Ausbildens der Unterteilungsbarrieren die Unterteilungsbarrieren (241) durch Ausbilden von kanalförmi­ gen Rillen (240) durch Ätzen des dritten Substrats (250) unter Verwendung von Photolithographie ausgebildet werden.

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt des Ausbildens der Unterteilungsbarrieren diese durch Drucken von Fritte nach einem wiederholten Sieb­ druckverfahren ausgebildet werden.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Siebdrucken der Barrieren (241′′) die zwischen den Barrieren liegenden ersten und zweiten Elektroden (220′′, 230′′) auf dem dritten Substrat (250′′) ausgebildet werden.

14. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt des Ausbildens der Barrieren nach dem Aus­ bilden der ersten Elektroden (220) zwischen den Barrieren (241′) beim Siebdrucken der Barrieren die zweiten Elektroden (230′) in der Mitte der oder oben auf den Barrieren unter Verwendung leitfähiger Paste aufgeschichtet werden.

15. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß im Schritt des Fixierens von drittem und zweitem Sub­ strat nach Ausbilden von Paste (132) in einer bestimmten Dicke oben auf den Barrieren das zweite Substrat aufgesetzt, und bei einer Temperatur, bei der die Paste als Gel vor­ liegt, gebrannt wird.