JPH06342150A - プラズマアドレス方式の液晶表示素子とその製造方法 - Google Patents

プラズマアドレス方式の液晶表示素子とその製造方法

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JPH06342150A
JPH06342150A JP4206125A JP20612592A JPH06342150A JP H06342150 A JPH06342150 A JP H06342150A JP 4206125 A JP4206125 A JP 4206125A JP 20612592 A JP20612592 A JP 20612592A JP H06342150 A JPH06342150 A JP H06342150A
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    • H01J17/18Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
    • H01J17/183Seals between parts of vessel

Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶配向に付与する中間(第2)基板の構
造を改善して、安価なプラズマアドレス方式の液晶表示
素子とその製造方法を提供する。 【構成】 液晶配向のための第2基板が複数の素材基
板で形成され、その継目部をプラズマアドレシング部の
バリヤにより支持固定する。そしてこの継目部とバリヤ
とをペーストにより固定し、ペーストをゲル状で存在さ
せることにより第2基板を衡撃を一部吸収することがで
きる構造とすることができる。 【効果】 第2基板を複数の素材基板で構成すること
により第2基板の大型化による価格の高騰を抑制し、ま
た大型画面の構成を可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はプラズマアドレス方式の
液晶表示素子とその製造方法に関し、特にプラズマアド
レシング部の構造が改善されたプラズマアドレス方式の
液晶表示素子とその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来からディスプレイ装置には高速電子
線を利用した伝統的陰極線管、低速電子線を利用した蛍
光表示管、ガス放電を利用したプラズマ表示素子、電界
発光効果を利用したEL表示素子、電界光学的な効果を
利用した液晶表示素子等、様々な種類のものがある。こ
れらのディスプレイ装置はその機能及び構造的特徴に応
じた用途に適用されている。
【0003】このようなディスプレイ装置の共通点は電
気的画像信号またはデータ信号等を視覚化するという点
であり、それぞれ構造的及び機能的改善が行なわれてき
た。
【0004】最近ではプラズマ放電装置と電界光学的素
子、即ち、液晶表示素子を複合的に構成した新しい形態
のマトリックス形ディスプレイ装置がテクトロニックス
(Tektronix)による米国特許第4,896,149号
に開示されている。このディスプレイ装置はプラズマ放
電で1ラインずつアドレシングする方式のもので、図1
に示すように、ストライプ状のデータ電極14が平行に
多数配列された液晶シャッタ部10と、このストライプ
状のデータ電極14に対して直交する方向に溝状の単位
走査ライン21が多数設けられたプラズマアドレシング
部20とが互いに重なる構造を有している。そして、通
常プラズマアドレシング部20の後側にはEL素子また
は冷陰極蛍光ランプからなる背景光発生装置(未図示)
が設けられることとなる。
【0005】また、図2に良く示すように、前記液晶シ
ャッタ部10は、2枚の透明な第1基板12と第2基板
13との間に液晶16が注入され、その前面側の第1基
板12の内面にはストライプ状データ電極14が形成さ
れた構造を有している。これら2個の基板12、13の
うち、第2基板13は約50μm程度の厚さを有し、液
晶の配向に於て重要な役割を果たすことになる。
【0006】プラズマアドレシング部20は、一つの第
3基板25上に上記ストライプ状データ電極14に対し
て直交する方向に走査ライン21を形成する溝(groov
e)が多数平行に形成され、各走査ライン21の底面の
両側に一対の電極22、23が互いに平行に設けられた
構造を有している。そして、上記第3基板25が、液晶
シャッタ部10の第2基板13と密着固定されることに
より、前記各溝が密閉された放電空間を形成することと
なり、これに放電ガスが充填されることとなる。
【0007】一方、本願出願人により、従来の液晶表示
素子の製造加工上の問題点を解消するための構造が大韓
民国特許出願番号91−19087により出願されてお
り、図3及び図4にその概略的断面図を示す。
【0008】透明な第1基板12′と第3基板25′と
が所定の間隔で互いに略平行に配置され、両基板間に設
置された後記する機能層を保護するようになっている。
第1基板12′にはストライプ状の透明データ電極1
4′が多数平行に形成され、これに接するように液晶層
16′と第2基板13′とが順番に設けられている。こ
のうち、第2基板13′は、その厚さが約50μmとな
っており、所定の誘電率を有するものである。この第2
基板13′を挾んで液晶層16′の反対側には、ストラ
イプ状の第2電極23′をその胴体の中間に介在させた
バリヤ22′が所定の高さで多数平行に延設され、これ
らのバリヤ間に於ける第3基板25′の内側表面には、
上記第2電極と平行に第1電極21′が設けられてい
る。また、図4に示す形態のものに於ては第2電極2
3′がバリヤ22′の最上段に第2基板13′と接する
ように設けられている。
【0009】以上のような構造に於て、データ電極1
4′に対してバリヤ22′及び第1、第2電極21′、
23′は、直交になるように設けられているが、第1電
極21′はその両側に隣接するバリヤ22′の上若しく
は中央に設置された第2電極23′の縁部と放電空間を
通して直接対向するようになっている。
【0010】以上のような液晶表示素子に於て、第2基
板は前記したようにその厚さが約50μm程度と薄く、
液晶の配向に於ける重要な役割を果たしているが、その
素材が高価であると云う問題がある。特に、素材の面積
が広い程その価格が幾何級数的に高騰化することから、
特に大画面用の液晶表示素子の場合、第2基板が高価で
あることによる製品全体の価格が高騰化することにな
る。これは上記第2基板が極めて薄く、その製造原価が
高いからであり、大型化傾向にある液晶表示素子を広く
普及するのに大きな障害となり、その改善が望まれてい
た。尚、第2基板として用いられる基板は現在4”×1
0”の大きさが最大であり、これ以上の大きさを有する
液晶表示素子の製作は現在まで知られた技術では事実上
不可能である。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来技術の問
題点に鑑み、本発明の目的は、素材基板の効率的な使用
により大型化してもその製造原価が高騰化することのな
いプラズマアドレス方式の液晶表示素子を提供すること
にある。
【0012】また、本発明の別の目的は画面の大きさが
素材基板の大きさに制限されないプラズマアドレス方式
の液晶表示素子を提供することにある。
【0013】加えて本発明は、上記目的を達成するプラ
ズマアドレス方式の液晶表示素子を製造するのに適した
製造方法を提供することをも目的としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明のプラズマアドレス方式の液晶表示素子は、内面
にストライプ状のデータ電極が設けられた第1基板と、
前記第1基板と所定の間隔を維持して液晶が充填される
空間を隔成するための所定の厚さの第2基板と、前記第
2基板と所定の間隔を維持する第3基板と、前記第2基
板と前記第3基板との間に設けられ、かつ前記データ電
極と共働して前記液晶を励起するための電位を前記第2
基板に線状で付与する多数の平行な線状のプラズマ放電
空間を区画する所定の高さ及び所定の幅の区画バリヤ
と、前記線状のプラズマ放電空間毎の線状の放電のため
に設けられた第1電極及び第2電極とを備えたプラズマ
アドレス方式の液晶表示素子に於て、前記第2基板が、
複数枚の素材基板を組合せたものからなり、該各素材基
板同士の継目部分は前記各区画バリヤの上端面に重なる
ように配置されて、固定結合されていることにその特徴
がある。特に前記素材基板の継目部分が、ペーストによ
りその下部の前記バリヤに固定され、前記ペーストが、
所定の弾性を有するゲル状態で存在すると良い。また、
本発明の液晶表示素子の製造方法は、内面にストライプ
状のデータ電極が設けられた第1基板と、前記第1基板
と所定の間隔を維持して液晶が充填される空間を隔成す
るための複数枚の素材基板からなる所定の厚さの第2基
板と、前記第2基板と所定間隔を維持する第3基板と、
前記第2基板と第3基板との間に設けられ、かつ前記デ
ータ電極と共働して前記液晶を励起するための電位を前
記第2基板に線状で付与する多数の平行な線状のプラズ
マ放電空間を区画し、そのうちの一部が前記第2基板の
素材基板の継目部と重なるようにされた所定の高さ及び
所定の幅の区画バリヤと、前記線状のプラズマ放電空間
毎の線状の放電のために設けられる第1電極及び第2電
極とを備えたプラズマアドレス方式の液晶表示素子の製
造方法に於て、前記第3基板に放電ラインを区画するた
めの前記区画バリヤを所定の高さで形成する過程と、前
記放電ラインに線状の放電のため多数の電極を形成する
過程と、前記第3基板と所定の厚さの前記第2基板と
を、前記バリヤを間に置いたままペーストで相互に固定
し焼成する過程と、前記第2基板の前方にデータ電極が
既に形成された前記第1基板を所定の間隔で結合する過
程と、前記第1基板と前記第2基板との間に液晶を注入
した後、密封する過程とを含むことを特徴とする。
【0015】以上のような本発明の構成に於て、前記第
3基板に放電ラインを区画するための前記区画バリヤを
所定の高さに形成する過程は前記第3基板に対するフォ
トリソグラフィ法を利用したエッチング作業でチャネル
形の溝を形成することにより前記区画バリヤを形成する
過程を有すると良い。
【0016】また、他類型に於ては、区画バリヤを形成
する過程が、多重のスクリーン印刷法でフリットグラス
を印刷することにより所定の幅及び所定の高さを有する
バリヤにより溝、即ち、放電ラインを形成するようにす
ると良い。このとき、前記バリヤを形成する前に互いに
隣接する前記バリヤ間に線状放電のための第1電極と第
2電極とを形成し、または、互いに隣接する前記バリヤ
間に置かれる第1電極を形成した後、前記バリヤをスク
リーン印刷する過程で、該バリヤの中間または最上段に
導電性ペーストを利用した第2電極と共に積層形成する
こともできる。
【0017】更に、前記第3基板に対して第2基板を固
定する過程が、前記バリヤの最上段にペーストを所定の
厚さで形成した後、これに第2基板を載せ、前記ペース
トを結晶化温度で焼成処理し、望ましくは前記ペースト
がゲル状態で存在する温度のまま焼成する過程を有する
と良い。
【0018】
【作用】本発明によるプラズマアドレス方式の液晶表示
素子によれば、第2基板が比較的安価な複数の素材基板
から構成されることにより第2基板を大型化しても価格
が高騰化せず、また、容易に大型画面の構成が可能とな
る。
【0019】
【実施例】図5〜図7に液晶シャッタ部100とプラズ
マアドレシング部200とに区分される本発明によるプ
ラズマアドレス方式の液晶表示素子の模式的断面図を示
す。
【0020】図5に示す液晶表示素子では、液晶シャッ
タ部100は、2枚の透明な第1の基板120及び第2
基板130の間に液晶160が注入され、その前面側の
第1基板120の内面にストライプ状データ電極140
が形成された構造となっている。これら基板120、1
30のうち、第2基板130は、その厚さが約50μm
程度であり、本発明の特徴により多数枚の素材基板から
なり、その継目部131は後述するバリヤの上端部に重
ね合わされペースト132により固定されている。この
ペースト132は完全に結晶化した固体状態でもゲル状
態でも存在できるが、第2基板130の強度を考慮する
と衡撃吸収が可能なゲル状態で存在させることが望まし
い。
【0021】プラズマアドレシング部200は、第3基
板250上にストライプ状データ電極140に対して直
交する方向に溝状の走査ライン210が多数平行に形成
されると共に所定の高さのバリヤ241が設けられ、ま
た各走査ライン210の底面の両側に一対の電極22
0、230が互いに平行に設けられた構造となってい
る。そして、上記第3基板250が、液晶シャッタ部1
00の第2基板130と密着固定されることにより各走
査ライン210が密閉された放電空間を形成し、これに
放電ガスが充填されるようになる。
【0022】一方、図6に示す液晶表示素子に於ては、
透明な第1基板120と第3基板250′とが所定の間
隔で互いに平行配置され、両基板間に設置された液晶シ
ャッタ部100とプラズマアドレシング部200とを保
護するようになっている。第1基板120にはストライ
プ状の透明データ電極140が多数平行に形成され、こ
れに接するように液晶層160と第2基板130とが順
番に設けられている。このうち、第2基板130は、そ
の厚さが約50μmとなっており、所定の誘電率を有す
るものである。この第2基板130もまた液晶の配向に
於てとても重要な役割をすることになるが、本発明の特
徴により多数枚の素材基板からなり、その継目部131
は後述するバリヤの上端部に重ね合わされペースト13
2により固定されている。このペースト132も固体状
態及びゲル状態で存在できるが、ゲル状態で存在そせる
ことが望ましい。そして前記第2基板130を挟んで前
記液晶層160の反対側には、ストライプ状第2電極2
30′をその胴体の中間に介在させたバリヤ241′が
所定の高さで多数平行に延設され、互いに隣接する各バ
リヤ間に於ける第3基板250′の内側表面には、上記
第2電極230′と平行に第1電極220が設けられて
いる。尚、上記各電極のうち、第2電極230はバリヤ
241′の中間でその両側の縁が全て露出する構造とな
っているが、実際にはその一方の側の縁だけが露出して
いても良い。
【0023】図7に示す液晶表示素子に於ては、図2と
同様に第3基板250″にバリヤ241″が積層形成さ
れたことにその特徴があるが、各バリヤにより形成され
た放電ライン状の第1電極220″と第2電極230″
とが互いに隣接するバリヤ241″間に於ける第3基板
250″の内側表面に互いに平行に形成されている。
【0024】以上のような構造に於て、第1基板120
に形成されたデータ電極140に対して各実施例に於け
るバリヤ241、241′、241″、第1電極22
0、220′、220″及び第2電極230、23
0′、230″は直交するように設けられている。各バ
リヤ241、241′、241″は、第2基板130と
第3基板250との間隔を一定に維持するためのスペー
サとしての役割をし、この間隙に放電ガスが導入できる
空間が郭成されるようになっている。そして、中間の第
2基板130は液晶層160と放電空間とを隔離し、か
つ所定の誘電性を有することにより放電時にチャージさ
れて液晶を配向される電極の役割をすることになる。
【0025】上記各構造によれば、第2基板が、改善さ
れた固定構造により比較的安価な多数の素材基板から形
成されていることから、製品全体の製造単価を抑えるこ
とができ、また素材基板の大きさに関係なく所望の大き
さの画面を構成することができることになる。そして第
2基板の各素材基板を固定するのに、これらの継目部が
ペーストにより連結され、第3基板上のバリヤにより支
持されるが、ゲル状のペーストにより支持されることか
らの衡撃に対して耐性を有することになり、また、バリ
ヤとの接触部分での特に狭いギャップも無くなることか
ら放電ライン間のクロストーク(cross talk)を効果的
に防止できる。尚、このLCDは上記したように第2基
板の固定構造にその特徴があるものであり、バリヤの構
造や電極の配置構造等の周辺構造に制限を受けるもので
はない。
【0026】以下に、本発明による液晶表示素子の製造
方法を説明する。
【0027】まず、第3基板にストライプ状第1、2電
極及びバリヤを形成する。このとき、図5に示す液晶表
示素子の場合、まず第3基板をフォトリソグラフィ法に
よるエッチング法により多数平行な方向にチャネル形溝
を形成し、所定の高さのバリヤを形成し、その後、各溝
の底面に第1、2電極を平行に形成する。
【0028】また、図6に示す液晶表示素子の場合、第
1電極を第3基板に形成した後、バリヤをこれらの間に
所定の高さで形成するが、このとき、その層の中間また
はその最上段に第2電極を形成する。
【0029】更に、図7に示す液晶表示素子の場合、多
数対の第1電極と第2電極とを第3基板に形成した後、
各対の間に所定の幅であって、かつ所定の高さのバリヤ
を形成する。
【0030】以上のように、第3基板に対する電極及び
バリヤの形成が完了したら、このバリヤの最上段にペー
ストを所定の厚さで形成した後、これに所定の厚さの第
2基板の素材基板を多数枚載せる。このときに素材基板
の継目部が上記バリヤの上部に位置するように重ね合わ
せた後、これを若干加圧し、密着させる。その後、この
結合体を上記ペーストの凝固温度またはペーストがゲル
状になる温度で加熱し、前記ペーストを完全に固化、ま
たはゲル状にする。このとき、使用されるペーストてし
て、例えばESL社の商品#D−4057や#D−40
58を用いた場合、約480℃付近でゲル状になるので
加熱温度を480℃にするとゲル状で存在することにな
り、それ以上になると完全に固化することになるが、望
ましくはゲル状になる温度で加熱し、ペーストにする。
このようにゲル状になると上記ペーストはある程度の弾
力を有する緩衝層の役割をするので薄い第2基板を支持
するのに適している。
【0031】このようにした後に第2基板の前方に、デ
ータ電極が既に形成された第1基板を所定の間隔で結合
した後、これらの間に液晶を充填し、密封することによ
り目的とする液晶表示素子が概ね完成し、後の通常の仕
上げ段階を経て製品が完成する。
【0032】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、第2電極
とバリヤとのギャップの発生による問題、特に第2基板
の高騰化により製造単価の上昇する問題が改善されるこ
とになる。特に、その画面の大きさが第2基板の素材に
制約を受けないので大型画面の構成が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のプラズマアドレス方式の液晶表示素子の
模式的分解斜視図である。
【図2】図1に示すディスプレイ装置の部分拡大断面図
である。
【図3】本発明者により以前提案された従来の液晶表示
素子の模式的断面図である。
【図4】本発明者により以前提案された従来の液晶表示
素子の模式的断面図である。
【図5】本発明によるプラズマアドレス方式の液晶表示
素子の模式的断面図である。
【図6】本発明によるプラズマアドレス方式の液晶表示
素子の模式的断面図である。
【図7】本発明によるプラズマアドレス方式の液晶表示
素子の模式的断面図である。
【符号の説明】
120 第1基板 130 第2基板 131 継目部 132 ペースト 140 データ電極 220 第1電極 230 第2電極 241 バリヤ 250 第3基板

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 内面にストライプ状のデータ電極が設
    けられた第1基板と、前記第1基板と所定の間隔を維持
    して液晶が充填される空間を隔成するための所定の厚さ
    の第2基板と、前記第2基板と所定の間隔を維持する第
    3基板と、前記第2基板と前記第3基板との間に設けら
    れ、かつ前記データ電極と共働して前記液晶を励起する
    ための電位を前記第2基板に線状で付与する多数の平行
    な線状のプラズマ放電空間を区画する所定の高さ及び所
    定の幅の区画バリヤと、前記線状のプラズマ放電空間毎
    の線状の放電のために設けられた第1電極及び第2電極
    とを備えたプラズマアドレス方式の液晶表示素子に於
    て、 前記第2基板が、複数枚の素材基板を組合せたものから
    なり、該各素材基板同士の継目部分は前記各区画バリヤ
    の上端面に重なるように配置されて、固定結合されてい
    ることを特徴とするプラズマアドレス方式の液晶表示素
    子。
  2. 【請求項2】 前記素材基板の継目部分が、ペースト
    によりその下部の前記バリヤに固定されたことを特徴と
    する請求項1に記載のプラズマアドレス方式の表示素
    子。
  3. 【請求項3】 前記ペーストが、所定の弾性を有する
    ゲル状態で存在することを特徴とする請求項2に記載の
    プラズマアドレス方式の液晶表示素子。
  4. 【請求項4】 前記第1電極から互いに隣接するバリ
    ヤ間の第3基板の底面に形成され、かつ前記第2電極が
    前記バリヤの一部をなすように形成されたことを特徴と
    する請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のプラズマ
    アドレス方式の液晶表示素子。
  5. 【請求項5】 前記第2電極が、前記ペーストと前記
    バリヤとの間に設けられたことを特徴とする請求項4に
    記載のプラズマアドレス方式の液晶表示素子。
  6. 【請求項6】 前記第2電極が、前記バリヤの中間に
    設けられたことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ
    アドレス方式の液晶表示素子。
  7. 【請求項7】 前記第1電極と前記第2電極とが互い
    に隣接する前記バリヤ間の前記第3基板の表面に形成さ
    れたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか
    に記載のプラズマアドレス方式の液晶表示素子。
  8. 【請求項8】 前記バリヤが前記第3基板と一体的に
    形成されたことを特徴とする請求項7に記載のプラズマ
    アドレス方式の液晶表示素子。
  9. 【請求項9】 前記バリヤが、フリットグラスをスク
    リーン印刷法によっり前記第3基板に対して所定高さで
    積層することにより形成されたことを特徴とする請求項
    7に記載のプラズマアドレス方式の液晶表示素子。
  10. 【請求項10】 内面にストライプ状のデータ電極が
    設けられた第1基板と、前記第1基板と所定の間隔を維
    持して液晶が充填される空間を隔成するための複数枚の
    素材基板からなる所定の厚さの第2基板と、前記第2基
    板と所定間隔を維持する第3基板と、前記第2基板と第
    3基板との間に設けられ、かつ前記データ電極と共働し
    て前記液晶を励起するための電位を前記第2基板に線状
    で付与する多数の平行な線状のプラズマ放電空間を区画
    し、そのうちの一部が前記第2基板の素材基板の継目部
    と重なるようにされた所定の高さ及び所定の幅の区画バ
    リヤと、前記線状のプラズマ放電空間毎の線状の放電の
    ために設けられる第1電極及び第2電極とを備えたプラ
    ズマアドレス方式の液晶表示素子の製造方法に於て、 前記第3基板に放電ラインを区画するための前記区画バ
    リヤを所定の高さで形成する過程と、 前記放電ラインに線状の放電のため多数の電極を形成す
    る過程と、 前記第3基板と所定の厚さの前記第2基板とを、前記バ
    リヤを間に置いたままペーストで相互に固定し焼成する
    過程と、 前記第2基板の前方にデータ電極が既に形成された前記
    第1基板を所定の間隔で結合する過程と、 前記第1基板と前記第2基板との間に液晶を注入した
    後、密封する過程とを含むことを特徴とするプラズマア
    ドレス方式の液晶表示素子の製造方法。
  11. 【請求項11】 前記第3基板に放電ラインを区画す
    るため前記区画バリヤを所定の高さで形成する過程が、
    前記第3基板に対するフォトリソグラフィ法を利用した
    エッチング作業でチャネル形溝を形成することにより前
    記区画バリヤを形成する過程を有することを特徴とする
    請求項10に記載のプラズマアドレス方式の液晶表示素
    子の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記第3基板に放電ラインを区画す
    るための区画バリヤを形成する過程が、多重スクリーン
    印刷法をもってフリットグラスを印刷することにより所
    定の幅及び高さを有する前記区画バリヤを形成する過程
    を有することを特徴とする請求項10に記載のプラズマ
    アドレス方式の液晶表示素子の製造方法。
  13. 【請求項13】 前記バリヤのためのスクリーン印刷
    法を行なう前に互いに隣接する前記区画バリヤ間に置か
    れる第1電極と第2電極とを第3基板に形成することを
    特徴とする請求項12に記載のプラズマアドレス方式の
    液晶表示素子の製造方法。
  14. 【請求項14】 前記バリヤを形成する過程が、互い
    に隣接する前記バリヤ間に置かれる第1電極を形成した
    後、前記バリヤをスクリーン印刷し、その際、該バリヤ
    の中間または最上段に導電性ペーストを利用した前記第
    2電極を共に積層形成することを特徴とする請求項12
    に記載のプラズマアドレス方式の液晶表示素子の製造方
    法。
  15. 【請求項15】 前記第3基板に対して前記第2基板
    を固定する過程が、前記バリヤの最上段に前記ペースト
    を所定の厚さで形成した後、これに前記第2基板を載
    せ、前記ペーストがゲル状態で存在する温度のまま焼成
    する過程を有することを特徴とする請求項10に記載の
    プラズマアドレス方式の液晶表示素子の製造方法。
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