DE4016268C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Halbleiterbauelement nach dem Ober­ begriff des Patentanspruchs 1, insbesondere ein solches, in welchem die Kapazität eines Speicherelementes möglichst groß ist, sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Mit dem Fortschritt auf dem Gebiet der Halbleiterfertigungs­ technologien und der Expansion des Einsatzes von Halbleitern werden in jüngster Zeit Speicherelemente hoher Kapazität ent­ wickelt und angeboten. Insbesondere DRAMs (dynamische Schreib- Lese-Speicher), die vorteilhaft höchstintegriert (VLSI) ausge­ führt sind wurden in erheblichem Umfang entwickelt.

Ein solches DRAM ist als 4 Megabit DRAM ausführbar, indem hierzu eine dreidimensionale Struktur ausgedacht wurde, die in ihrer Spei­ cherelementstruktur anstelle eines früheren planaren Kondensa­ torelements ein stapelartiges oder ein grabenartiges Kondensa­ torelement aufweist. Es ergeben sich jedoch Schwierigkeiten bei der Verwendung als ein 16 Megabit DRAM. Außerdem tritt beim obigen stapelartigen Kondensatorelement aufgrund einer stapelartig auf einem Transistor liegenden Kondensatorstruktur ein Stufenbe­ deckungsproblem auf, und in dem grabenartigen Kondensatorelement entsteht mit dem Arbeitsprozeß einer maßstäblichen Verkleinerung ein Leckstromproblem zwischen den Gräben. Folglich ist es schwierig, das obenerwähnte DRAM als 64 Megabit DRAM auszuführen.

Um dieses Problem des DRAMs hoher Kapazität zu lösen, ist es bekannt, einen stapel- und grabenartig kombinierten Kondensator mit einer dreidimensionalen Struktur vorzusehen.

Wenn hierbei die die erste Elektrode des Kondensators bildende zweite leitende Schicht direkt entlang der Innenseite des Grabens gebildet ist, verringert sich die Oberfläche des Grabens. Das Aufbringen der dielektrischen Schicht und der dritten lei­ tenden Schicht auf diese kleine Oberfläche, i. e. die innenseitige Oberfläche des Grabens, verursacht das Problem eines Ver­ lustes an Kapazität.

Bei einem aus der DE 39 16 228 A1 bekannten kombinierten sta­ pel- und grabenartigen Kondensator weist die unterste, erste, Kondensatorelektrode einen Grabenteil auf, der durch Ionenim­ plantation des Substrats entlang der Grabeninnenwand gebildet ist. Diese Anordnung entspricht im wesentlichen der Anordnung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Der Grabenteil der unteren Elektrode ist jedoch mit einem darüberliegenden Stapelteil dieser Elektrode durch Aufbringen einer leitenden Verbindungsschicht auf die Grabeninnenwand und auf die Oberseite des Stapelteils der Elektrode leitend verbunden. Auch das Anbringen dieser leitenden Verbindungsschicht engt die innenseitige Oberfläche des Grabens ein.

Um letzteres zu vermeiden, sind aus den nicht vorveröffentlichten Druckschriften DE 40 01 872 A1 und DE 39 27 176 A1 gattungsgemäße Halbleiterbauelemente mit kombinierten stapel- und grabenartigen Kondensatoren bekannt, bei denen der stapelför­ mige Teil der unteren Kondensatorelektrode direkt über den Source- oder Drainbereich mit dem untenliegenden, durch Ionen­ implantation des Substrats an der Grabeninnenwand gebildeten Grabenteil dieser Elektrode in Verbindung steht. Bei diesen Bauelementen sind jedoch keine Maßnahmen offenbart, Fehlstellen innerhalb des Grabens in der oberen Kondensatorelektrode zu vermeiden.

Die Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung eines Halb­ leiterbauelementes mit einem kombinierten stapel- und grabenar­ tigen Kondensator erhöhter Kapazität und hoher Zuverlässigkeit sowie in der Bereitstellung eines Verfahrens, mit dem ein solches Halbleiterbauelement in effektiver Weise herstellbar ist.

Diese Aufgabe wird für ein Halbleiterbauelement mit einem Kon­ densator der eingangs genannten Art durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 sowie durch ein Verfahren zu seiner Herstellung gemäß der kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 8 gelöst.

Bei dem neuen Kondensatorelement steht die gesamte Oberfläche des Grabens zur Bildung der ersten Kondensatorelektrode zur Verfügung. Zur Verbesserung der Zuverlässigkeit und der elek­ trischen Eigenschaften des Kondensators sind u. a. eine Ätz­ sperrschicht und eine vierte leitende Schicht auf die als obere Kondensatorelektrode dienende dritte leitende Schicht aufge­ bracht.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in den Zeich­ nungen dargestellt und wird nachfolgend unter Bezugnahme auf diese beschrieben.

Fig. 1 zeigt einen Querschnitt eines bekannten Halbleiterbauelements mit einem kombinierten stapel- und grabenartigen Kondensator und die

Fig. 2A bis 2K zeigt Querschnitte eines Halbleiterbauelements in aufeinanderfolgenden Fertigungsstufen zur Herstellung des Halbleiterbauelements der Fig. 1.

Der kombinierte stapel- und grabenartige Kondensator, der in Fig. 1 dargestellt ist, ist derart hergestellt, daß zunächst eine Feldoxidschicht (101) selektiv zur Festlegung eines aktiven Bereiches auf einem Halbleitersubstrat (100) mit einem ersten Ladungsträgertyp aufgebracht ist. Auf obigem aktivem Bereich ist durch eine Gateoxidschicht (1) getrennt eine Gateelektrode (2) angeordnet. Source- und Drain-Bereiche (3, 4) eines zweiten Ladungsträgertyps sind an der Oberfläche des Halbleitersubstrats an beiden Seiten der Gateelektrode (2) ge­ bildet. Eine erste leitende Schicht (5) ist auf einem bestimm­ ten, frei wählbaren Abschnitt der Feldoxidschicht (101) so an­ geordnet, daß sie mit der Gateelektrode einer benachbarten Speicherzelle verbunden ist. Durch den Source-Bereich (3) hin­ durch ist ein Graben (10) in das Halbleitersubstrat eingebracht. An der Oberfläche des Grabens (10) ist ein fremdatomdotierter Bereich des zweiten Ladungsträgertyps geschaffen, um den (durch den Graben geteilten) Source-Bereich zu verbinden. Auf die Gateelektrode (2) und die erste leitende Schicht (5) ist eine erste Isolationsschicht (6) aufgebracht. Eine zweite polykristalline Siliziumschicht (12b), die mit Fremdatomen des zweiten Ladungsträgertyps dotiert ist, ist zur Verbindung mit einem fremdatomdotierten Bereich (13) über einen Teil des Source-Bereichs auf die erste Isolationsschicht (6) im Bereich oberhalb der Gateelektrode (2) und oberhalb der ersten leitenden Schicht (5) aufgebracht. Eine dünne dielektrische Schicht (14) befindet sich auf der zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12b) und auf dem die Innenseite des Grabens bildenden, mit Fremdatomen dotierten Bereich (13). Auf der dielektrischen Schicht (14) ist eine planierte dritte leitende Schicht (15) angeordnet, die eine Ätzsperrschicht (16) und eine vierte leitende Schicht (17) trägt. Eine fünfte leitende Schicht (18) ist auf die gesamte Oberfläche der obenerwähnten Struktur aufgebracht und vervoll­ ständigt die Herstellung des erfindungsgemäßen Halbleiterbau­ elements mit kombiniertem stapel- und grabenartigen Kondensator.

Die Fig. 2A bis 2K zeigen im Querschnitt nacheinander die Ver­ fahrensschritte bei einem Ausführungsbeispiel eines erfindungs­ gemäßen Verfahrens zum Herstellen des kombinierten stapel- und grabenartigen Kondensators.

Fig. 2A stellt das Verfahren zur Schaffung eines Transistors und eines ersten Fotolackmusters (PR1) auf dem Halbleitersub­ strat (100) dar. Im Verfahrensablauf der Fig. 2A wird zualler­ erst zur Festlegung eines aktiven Bereiches die Feldoxidschicht (101) durch einen selektiven Oxidationsprozeß auf das Halblei­ tersubstrat (100) eines ersten Ladungsträgertyps, z. B. eines p- Typs, aufgewachsen. Auf den aktiven Bereich wird die Gateoxid­ schicht (1) mit einer Dicke von ungefähr 10 mm bis 20 n aufge­ bracht. Anschließend wird die erste leitende Schicht, z. B. eine mit Fremdatomen dotierte erste polykristalline Siliziumschicht, welche die Gateelektrode (2) des Transistors bildet, auf der Gateoxidschicht (1) geschaffen und gleichzeitig die erste lei­ tende Schicht (5) auf einem beliebigen, vorgewählten Teil der Feldoxidschicht (101) dergestalt erzeugt, daß sie mit der Gate­ elektrode eines benachbarten Speicherelements verbunden ist. Dann wird durch Ionenimplantation mit Fremdatomen eines zweiten (n⁺)Ladungsträgertyps der Sourcebereich (3) und der Drainbereich (4) auf der Oberfläche des Halbleitersubstrats (100) an beiden Seiten der Gateelektrode (2) geschaffen, gefolgt vom Aufbringen der ersten Isolationsschicht (6) auf die gesamte Oberfläche der obigen Struktur. Anschließend wird das erste Fotolackmuster (PR1) erzeugt, um über weitere auf die erste Isolationsschicht (6) einwirkende Prozesse wie Fotolackbeschichtung, Maskenbe­ lichtung, Entwicklung, etc. einen Teil des Sourcebereiches freizulegen.

Fig. 2B stellt die Erzeugung einer Öffnung (20) durch einen Ätzprozeß dar. Im Verfahrensschritt der Fig. 2B wird unter Ver­ wendung des ersten Fotolackmusters (PR1) die erste Isolations­ schicht (6) über dem Sourcebereich mittels eines Naß- oder ei­ nes kombinierten Naß-Trocken-Ätzprozesses geätzt und so ein Teil des Sourcebereiches (3) freigelegt. Infolge des Auftretens einer horizontalen Ätzung während dieses Ätzprozesses wird die erste Isolationsschicht (6) zur Innenseite hin im Vergleich zur tatsächlichen Ausdehnung des ersten Fotolackmusters (PR1) über­ ätzt, wodurch die Öffnung (20) die in Fig. 3B gezeigte Gestalt erhält.

Fig. 2C stellt den Verfahrensschritt zum Schaffen einer die er­ ste Elektrode des Kondensators bildenden zweiten polykristallinen Siliziumschicht und eines zweiten Fotolackmusters (PR2) dar. Nach Entfernen des ersten Fotolackmusters erfolgt gemäß Fig. 2C die Abscheidung der zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12) sowohl auf der ersten Isolationsschicht (6) als auch auf der gesamten Oberfläche des freigelegten Substrats. Durch die an­ schließenden Prozesse, wie Fotolackbeschichtung, Maskenbelich­ tung, Entwicklung, etc. wird auf der zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12) das zweite Fotolackmuster (PR2) so erzeugt, daß es sich von oberhalb eines Teils der Gateelektrode (2) bis oberhalb eines Teils der ersten leitenden Schicht (5) erstreckt.

Der Verfahrensschritt zum Schaffen einer ersten Elektroden­ struktur (12a), einer zweiten Isolationsschicht (OX) und einem dritten Fotolackmuster (PR3) ist in Fig. 2D dargestellt. Im Verfahrensablauf der Fig. 2D wird unter Verwendung des zweiten Fotolackmusters (PR2) die erste Elektrodenstruktur (12a) des Kondensators durch Ätzen der zweiten polykristallinen Silizium­ schicht (12) geschaffen und sodann die zweite Isolationsschicht (OX), beispielsweise eine LTO-(Niedertemperaturoxid-)Schicht oder eine HTO- (Hochtemperaturoxid-)Schicht, abgeschieden, um das erste Elektrodenmuster (12a) abzudecken. Anschließend wird durch Prozesse wie Fotolackbeschichtung, Maskenbelichtung, Ent­ wicklung, etc. auf der zweiten Isolationsschicht (OX) das dritte Fotolackmuster (PR3) erzeugt, um die zweite Isolations­ schicht (OX) über dem Sourcebereich (3) zu belichten. Dazu ist die Ausdehnung des dritten Fotolackmusters (PR3) so gewählt, daß sie gleich groß oder kleiner als die kritische Ausdehnung des ersten Fotolackmusters (PR1) ist.

Die Fig. 2E stellt den Verfahrensschritt zur Schaffung einer Maske OXM zum Zwecke der Erzeugung des Grabens (10) dar. Im Prozeßschritt der Fig. 2E wird unter Verwendung des dritten Fotolackmusters (PR3) die zweite Isolationsschicht (OX) geätzt und die für die Bildung des Grabens benutzte Maske OXM durch Entfernen des dritten Fotolackmusters (PR3) hergestellt.

Den Verfahrensschritt zur Erzeugung des Grabens illustriert die Fig. 2F. Im Verfahrensschritt der Fig. 2F wird der Graben (10) in dem Halbleitersubstrat (100) durch den Source-Bereich (3) hindurch unter Verwendung der Maske OXM der zweiten Isolations­ schicht (OX) erzeugt.

Der Verfahrensschritt zur Erzeugung einer hilfsweisen Oxid­ schicht (11) ist in Fig. 2G dargestellt. Im Verfahrensschritt der Fig. 3G wird die Hilfsoxidschicht (11) durch thermische Oxidation in einer Dicke von ungefähr 10 nm bis 30 nm sowohl an der Seite der ersten Elektrodenstruktur (12a) als auch an der Innenseite des Grabens (10) zur Abrundung der scharfen Eckbe­ reiche des Grabens (10) geschaffen, wozu die im Verfahrens­ schritt der Grabenbildung als Maske (OXM) dienende zweite Iso­ lationsschicht (OX) benutzt wird. Die zweite (Masken-) Isola­ tionsschicht (OXM) wird hierbei als Keim für die Schaffung der Hilfsoxidschicht (11) benutzt. Durch die Erzeugung der Hilfs­ oxidschicht (11) kann auch eine Oberflächenbeschädigung des Halbleitersubstrats (100) beseitigt werden, die während der Bildung des Grabens (10) entsteht.

Der Verfahrensschritt für eine Fremdatomdotierung ist in Fig. 2H illustriert. Im Verfahrensstand der Fig. 2H werden nach Entfernen der obigen Maske (OXM) und der Hilfsoxidschicht (11) mittels der BOE-Technik (gepuffertes Oxidätzen) Fremdatome vom zweiten La­ dungsträgertyp (n⁺-Typ), wie z. B. POCl₃, P, As, etc. in die zweite polykristalline Siliziumschicht (12a) der ersten Elek­ trodenstruktur und in das Halbleitersubstrat (100) auf der In­ nenseite des Grabens (10) mittels Fremdatomdiffusion oder Io­ nenimplantation eindotiert. Dank einer direkten Verbindung der fremdatomdotierten zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12b) mit dem fremdatomdotierten Bereich (13) an der Oberfläche des Grabens (10) über einen Teil des n⁺-Sourcebereichs (3), die durch das Überätzen der ersten Isolationsschicht (6) gemäß Fig. 2B entsteht, dient die obige fremdatomdotierte zweite polykri­ stalline Siliziumschicht (12b) zusammen mit dem obigen fremd­ atomdotierten Bereich (13) als erste Kondensatorelektrode.

Der Verfahrensschritt zur Bildung der dielektrischen Schicht (14) ist in Fig. 2I dargestellt. Im Prozeßschritt der Fig. 2I erfolgt die Abscheidung einer ersten Oxidschicht, z. B. einer HTO-Schicht oder einer LTO-Schicht, mit einer Dicke von unge­ fähr 1 nm bis 6 nm sowohl auf der fremdatomdotierten zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12b) als auch auf der Innen­ seite des Grabens (10) einschließlich des fremdatomdotierten Bereiches (13). Anschließend wird unter einem Fluß von NH₃-Gas mittels der LPCVD-Technik (chemische Niederdruckgasphasenab­ scheidung) eine Nitridschicht mit einer Dicke von ungefähr 5 nm bis 15 nm auf die erste Oxidschicht aufgebracht und anschließend die dielektrische Schicht (14) in einer ONO-, i. e. Oxidschicht/ Nitridschicht/Oxidschicht-, Struktur durch Aufwachsen einer zweiten Oxidschicht in einer Dicke von ungefähr 1 nm bis 6 nm auf die Nitridschicht erzeugt. Indem eine HTO- oder eine LTO- Schicht als untenliegende Oxidschicht der dielektrischen Schicht (14) mit ONO-Struktur verwendet wird, kann eine einheitliche Oxidschicht erhalten werden, die nicht vom Dotierungsgrad und der Art des Substrats beeinflußt ist, auf das die Oxidschicht aufgebracht ist. Mit anderen Worten, es kann durch Abscheidung der Oxidschicht in Form einer HTO- oder einer LTO-Schicht eine einheitliche Oxidschicht gleichzeitig sowohl auf der fremdatom­ dotierten zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12b) als auch auf der Innenseite des Grabens (10) einschließlich des fremdatomdotierten Bereiches (13) erhalten werden. Die Eigen­ schaften der dielektrischen Schicht (14) sind auch durch das Vorsehen der Nitridschicht verbessert, wodurch die dielektri­ sche Schicht (14) eine Mehrschichtstruktur in Form einer ONO- Struktur erhält.

Fig. 2J illustriert den Verfahrensschritt zur Schaffung der dritten leitenden Schicht (15), der Ätzsperrschicht (16) und der vierten leitenden Schicht (17). Im Verfahrensstand der Fig. 2J ist das Innere des Grabens (10) mit der dritten leitenden Schicht (15) aufgefüllt, die als erste Schicht für die zweite Elektrode des Kondensators auf der dielektrischen Schicht (14) benutzt wird und z. B. eine mit Fremdatomen dotierte dritte po­ lykristalline Siliziumschicht ist. Nach Abscheidung der dünnen Ätzsperrschicht (16) in Form einer LTO- oder HTO- Schicht auf der dritten leitenden Schicht (15), um Defekte zu entfernen, die im Inneren des Grabens (10) während des Auffüllprozesses Fehlstellen erzeugen, werden diese produzierten Fehlstellen im Innern des Grabens (10) durch die im weiteren erfolgende Bil­ dung der vierten leitenden Schicht (17), z. B. einer mit Fremd­ atomen dotierten vierten polykristallinen Siliziumschicht, be­ seitigt.

Die Fig. 2K schließlich illustriert den Verfahrensschritt zur Bildung der fünften leitenden Schicht (18) nach Planierung der Oberfläche der durch die oben beschriebenen Prozeßschritte er­ haltenen Bauelements. Im Prozeßschritt der Fig. 2K wird zur Planie­ rung der Oberfläche nach Aufbringen der vierten leitenden Schicht (17) ein Zurückätzprozeß durchgeführt, bis ein Teil der Ätzsperrschicht (16) freiliegt, und es wird dieser durch den Ätzprozeß freigelegte Teil der Ätzschicht (16) mittels BOE- Technik entfernt. Anschließend erfolgt durch Abscheidung der fünften leitenden Schicht (18), welche die zweite Schicht der zweiten Kondensatorelektrode bildet und beispielsweise als fünfte mit Fremdatomen dotierte polykristalline Siliziumschicht ausgeführt ist, die Fertigstellung des kombinierten stapel- und grabenförmigen Kondensators.

Gemäß der vorliegenden, wie oben beschriebenen Erfindung ist eine größere Elektrodenfläche des Kondensators erreicht als bei einer Kondensatorelektrode, die in der bekannten Weise dadurch entsteht, daß hierfür eine an der Innenseite des Grabens (10) aufgebrachte leitende Schicht dient; hierzu sieht nämlich die Erfindung vor, daß sowohl die fremdatomdotierte polykristalline Siliziumschicht (12b) des oberen Teils des Transistors als auch die Innenseite des Grabens (10) einschließlich eines fremdatom­ dotierten Bereiches (13) gleichzeitig als erste Elektrode für den Kondensator dienen, wodurch die hohe Kapazität dieses Kon­ densators erreicht wird.

Außerdem werden Durchbrucheffekte der dielektrischen Schicht (14) durch Verwendung einer HTO- oder LTO-Schicht als untere Oxidschicht für die dielektrische Schicht (14) mit ONO-Struk­ tur verhindert, die sonst aufgrund des lokalen elektrischen Feldes an der Grenzschicht von polykristallinem zu einkristal­ linem Silizium und aufgrund einer uneinheitlichen dielektri­ schen Schicht wegen jeweils unterschiedlichem Dickenwachstum der Oxidschicht auf polykristallinem bzw. einkristallinem Silizium auftreten.

Indem nacheinander die Ätzsperrschicht (16) und die vierte leitende Schicht (17) auf die als erste Schicht für die zweite Elektrode des Kondensators dienende dritte leitende Schicht (15) aufgebracht werden, werden Fehlstellen entfernt, die wäh­ rend der Schaffung der dritten leitenden Schicht (15) innerhalb des Grabens (10) entstehen. Somit sind die Zuverlässigkeit und die elektrischen Eigenschaften des Kondensators verbessert.

Claims (20)

1. Halbleiterbauelement mit:

• - einer selektiv erzeugten Feldoxidschicht (101) zur Festlegung eines aktiven Bereiches auf einem Halbleitersubstrat (100) eines ersten Leitfähigkeittyps,
• - einer von dem aktiven Bereich elektrisch isolierten, als Teil einer ersten leitenden Schicht (2, 5) gebildeten Gateelektrode (2),
• - einem Source- (3) und einem Drainbereich (4) eines zweiten Leitfähigkeitstyps in der Oberfläche des Halbleitersubstrats und an beiden Seiten der Gateelektrode,
• - einem in das Halbleitersubstrat eingebrachten, durch den Sourcebereich (3) hindurchführenden Graben (10),
• - einer ersten Isolationsschicht (6) über der ersten leitenden Schicht (2, 5) und dem Source- (3) und Drainbereich (4),
• - einer zweiten leitenden Schicht (12b) auf der ersten Iso­ lationsschicht,
• - einer dielektrischen Schicht (14) auf der zweiten leitenden Schicht
• - einer dritten leitenden Schicht (15) auf der dielektrischen Schicht,
• - einem mit Fremdatomen dotierten Bereich (13) des zweiten Leitfähigkeitstyps an der Oberfläche des Grabens (10) mit einer Verbindung mit dem Sourcebereich (3), wobei
• - die zweite leitende Schicht (12b) so gestaltet ist, daß sie mit dem fremdatomdotierten Bereich (13) über einen Teil des Sourcebereiches (3) verbunden ist, und
• - einer im Inneren des Grabens (10) auf den fremdatomdotierten Bereich (13) aufgebrachten dielektrischen Schicht 14),

dadurch gekennzeichnet, daß

• - eine dritte leitende Schicht (15) eine Ätzsperrschicht (16) und eine vierte leitende Schicht (17) zur Planarisierung des Bereiches oberhalb der dielektrischen Schicht (14) trägt und
• - eine fünfte leitende Schicht (18) aufgebracht ist, um die dritte leitende Schicht (15) und die vierte leitende Schicht (17) zu bedecken.

2. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die erste, zweite, dritte, vierte und fünfte lei­ tende Schicht (2, 12b, 15, 17, 18) jeweils als eine mit Fremd­ atomen dotierte polykristalline Siliziumschicht gestaltet ist.

3. Halbleiterbauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Fremdatome der zweiten leitenden Schicht (12b) und des fremdatomdotierten Bereiches (13) P- oder As-Atome oder die Verbindung POCl₃ beinhalten.

4. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die dielektrische Schicht (14) die Struktur Oxidschicht/Nitridschicht/Oxidschicht aufweist.

5. Halbleiterbauelement nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die untenliegende Oxidschicht der dielektrischen Schicht (14) als Hochtemperaturoxid oder Niedertemperaturoxid- Schicht gefertigt ist.

6. Halbleiterbauelement nach Anspruch 5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die untenliegende Oxidschicht eine Dicke von 1 nm bis 6 nm aufweist.

7. Halbleiterbauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzsperrschicht (16) aus einer Hochtemperaturoxid- oder einer Niedertemperaturoxid-Schicht gefertigt ist.

8. Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

• - Aufwachsen der Feldoxidschicht (101) auf das Halbleiter­ substrat (100) des ersten Leitfähigkeitstyps zur Festle­ gung des aktiven Bereiches (erster Schritt);
• - Aufbringen der ersten Isolationsschicht (6) auf die nach Schaffung der von der ersten leitenden Schicht gebildeten Gateelektrode (2), des Sourcebereiches (3) und des Drain­ bereiches (4) auf dem aktiven Bereich erhaltene Anordnung (zweiter Schritt) ;
• - Schaffen einer Öffnung (20) zur Freilegung eines Teils des Sourcebereiches (3) (dritter Schritt);
• - Erzeugen einer ersten Elektrodenstruktur (12a) durch Ab­ scheiden einer zweiten polykristallinen Siliziumschicht (12) auf der ersten Isolationsschicht (6) und der gesamten Oberfläche des freigelegten Teils des Substrats (vierter Schritt);
• - Erzeugung einer Maske (OXM) durch Abscheiden einer zweiten Isolationsschicht (OX) auf die erste Elektrodenstruktur (12a) (fünfter Schritt);
• - Schaffen des Grabens (10) im Halbleitersubstrat (100) durch den Sourcebereich (3) hindurch unter Verwendung der Maske (OXM) (sechster Schritt);
• - Fremdatomdotieren der ersten Elektrodenstruktur (12a) und des Halbleitersubstrats (100) im Inneren des Grabens (10) (siebenter Schritt) nach Entfernen der Maske (OXM);
• - Erzeugen der dielektrischen Schicht (14) auf der fremdatomdotierten ersten Elektrodenstruktur (12b) und der Innenseite des Grabens (10) einschließlich des fremdatomdotierten Bereiches (13) (achter Schritt);
• - Abscheiden der dritten leitenden Schicht (15), der Ätz­ sperrschicht (16) und der vierten leitenden Schicht (17) nacheinander auf die dielektrische Schicht (14) (neunter Schritt) und
• - Auftragen der fünften leitenden Schicht (18) nach Planari­ sierung der durch die vorigen Verfahrensschritte erhaltenen Anordnung (zehnter Schritt).

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnung (20) im dritten Verfahrensschritt durch Ätzen der ersten Isolationsschicht (6) mittels eines Naß- oder eines kom­ binierten Naß-Trocken-Ätzprozesses erzeugt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Isolationsschicht (6) bis zu einer Ausdehnung über­ ätzt wird, die größer als diejenige eines für die Bildung der Öffnung (20) verwendeten Fotolackmusters (PR1) ist.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Isolationsschicht (OX) im fünf­ ten Verfahrensschritt durch eine Niedertemperaturoxid oder eine Hochtemperatur-Schicht hergestellt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausdehnung der Maske (OXM) im fünften Verfahrensschritt gleich groß oder kleiner ist als die kriti­ sche Ausdehnung des für die Schaffung der Öffnung (20) im drit­ ten Verfahrensschritt verwendeten Fotolackmusters (PR1).

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß nach Schaffung des Grabens (10) im sechsten Verfahrensschritt die Maske (OXM) des fünften Verfahrensschrit­ tes als Keim zum Aufwachsen einer Hilfsoxidschicht (11) benutzt wird, um die scharfen Eckbereiche des Grabens (10) abzurunden.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Fremdatomdotierung im siebenten Verfah­ rensschritt mittels einer Diffusionstechnik oder Ionenimplanta­ tion erfolgt.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Herstellung der dielektrischen Schicht (14) im achten Verfahrensschritt folgende Prozesse enthält:

• - Erzeugen einer ersten Oxidschicht auf der zweiten leiten­ den Schicht (12b) und auf der Innenseite des Grabens (10) einschließlich des fremdatomdotierten Bereiches (13),
• - Erzeugen einer Nitridschicht auf der ersten Oxidschicht und
• - Erzeugen einer zweiten Oxidschicht auf der Nitridschicht.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Oxidschicht aus einer Hochtemperaturoxid- oder einer Niedertemperaturoxid-Schicht besteht.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzsperrschicht (16) des neunten Ver­ fahrensschrittes aus einer Niedertemperaturoxid- oder einer Hochtemperaturoxid-Schicht besteht.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Planarisierung im zehnten Verfahrens­ schritt mittels einer Zurückätztechnik erfolgt.

19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß der bei dem Prozeß der Planarisierung freigelegte Teil der Ätz­ sperrschicht (16) mittels gepuffertem Oxidätzen entfernt wird.