DE4001872C2 - - Google Patents

Description

Diese Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterspeicher­ einrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1. Sie bezieht sich auch auf ein Verfahren zu deren Herstellung.

Ein IC-Speicher besteht aus einem Speicherzellenfeld, das aus einer großen Zahl von Speicherelementen und peripheren Ein/Ausgabeschalt­ kreisen besteht. In vielen Fällen sind diese Elemente und peripheren Schaltkreise auf ein und demselben Substrat gebildet.

Fig. 5 stellt ein Blockdiagramm dar, das ein Beispiel eines RAM (Random Access Memory = Speicher mit wahlfreiem Zugriff) zeigt. Bezüglich dieser Figur ist eine Mehrzahl von Wortleitungen und eine Mehrzahl von Bitleitungen sich kreuzend in einem Speicherzellenfeld 1 gebildet. Eine Speicherzelle ist an jedem Kreuzungspunkt zwischen diesen Wort- und Bitleitungen geschaffen. Die Auswahl einer Speicher­ zelle wird erreicht auf der Basis eines Kreuzungspunktes zwischen einer von einem X-Adreßpufferdekoder 2 ausgewählten Wortleitung und einer von einem Y-Adreßpufferdekoder 3 ausgewählten Bitleitung. Daten werden in die ausgewählte Speicherzelle geschrieben oder aus dieser ausgelesen. Daten-Schreib/Lesebefehle werden durch ein von einem Schreib/Lesesteuerschaltkreis 4 zur Verfügung gestelltes Schreib/Lese-(R/W)-Steuersignal erzeugt. Während des Datenschreibens werden Eingabedaten (Din) in die ausgewählte Speicherzelle über den R/W-Steuerschaltkreis eingegeben. Während des Datenlesens werden die in der ausgewählten Speicherzelle gespeicherten Daten von einem Leseverstärker 5 gelesen, verstärkt und über einen Datenausgabe­ puffer 6 als Ausgabedaten (Dout) ausgegeben.

Fig. 6 stellt ein Ersatzschaltbild einer dynamischen Speicherzelle zur Verdeutlichung der Schreib/Leseoperation für eine Speicherzelle dar.

Bezüglich dieser Figur umfaßt die dynamische Speicherzelle einen Satz eines Feldeffekttransistors 7 und eines Kondensators 8. Die Gateelektrode des Feldeffekttransistors 7 ist mit einer Wortleitung 9 verbunden. Die Source/Drain-Elektrode des mit dem Kondensator 8 verbundenen Feldeffekttransistors 7 ist mit einer Bitleitung 10 verbunden. Während des Datenschreibens wird ein vorgewähltes Poten­ tial an die Wortleitung 9 angelegt, so daß der Feldeffekttransistor 7 durchschaltet und die auf die Bitleitung 10 gegebenen Ladungen im Kondensator 8 gespeichert werden. Während des Datenlesens wird andererseits ein vorgewähltes Potential an die Wortleitung 9 ange­ legt. Der Feldeffekttransistor 7 schaltet daher durch und die im Kondensator 8 gespeicherten Ladungen werden über die Bitleitung 10 abgenommen.

Die Fig. 7 stellt eine Draufsicht auf eine Halbleiterspeicherein­ richtung mit einer Speicherzelle vom Grabentyp dar, und Fig. 8 ist ein Querschnitt entlang der Achse VIII-VIII in Fig. 7.

Bezüglich dieser Figuren ist ein isolierender Film 12 zur Element- Element-Isolierung auf der Hauptoberfläche eines Halbleitersub­ strates 11 zur Isolierung aktiver Bereiche 21 gebildet. Eine der Wortleitung 9 entsprechende Gateelektrode 14 ist auf der Hauptober­ fläche des Halbleitersubstrates 11, mit einem Gatefilm 13 dazwischen, geschaffen. Die Gateelektrode 14 ist aus polykristallinem Silizium gebildet. Source/Drain-Bereiche 17 und 18 sind auf beiden Seiten der Gateelektrode 14 in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstra­ tes 11 geschaffen. Ein Graben 15 ist in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates gebildet. Es ist eine Speicherelektrode 16 auf der inneren Wandoberfläche des Grabens 15 gebildet. Die Speicher­ elektrode 16 besteht aus einem elektrisch leitenden Bereich, der durch Einlagern der Störstellenionen und Verteilen dieser in der inneren Wandoberfläche des Grabens 15 geschaffen ist. Der Speicher­ anschluß 16 und die Source/Drain-Bereiche 17 sind miteinander über eine verbindende Störstellendiffusionsschicht 19, die in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet ist, elektrisch verbunden.

Ein Kondensatorisolierfilm 20 ist geschaffen, um die innere Wand­ oberfläche des Grabens 15 zu bedecken. Ein Ende des Kondensatoriso­ lierfilmes 20 ist verlängert, um den Isolierfilm 12 zur Element- Element-Isolierung zu überdecken. Es ist eine den Kondensatoriso­ lierfilm 20 bedeckende Zellenelektrode 20 geschaffen. Die Zellen­ elektrode 22 ist teilweise im Graben versenkt.

Ein Zwischenschichtisolierfilm 23 ist auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 einschließlich der Gateelektrode 14 und der Zellenelektrode 22 gebildet. Es ist ein Kontaktloch 24 im Zwischenschichtisolierfilm 23 vorgesehen. Eine Bitleitung 25 ist mit dem Source/Drain-Bereich 18 über dieses Kontaktloch 24 verbunden.

Bei der oben beschriebenen Halbleiterspeichereinrichtung wird die Wortleitung 9 ausgewählt und ein vorgewähltes Potential an die Gateelektrode 14 angelegt, um den Strompfad zwischen den Source/Drain-Bereichen 17 und 18 leitend zu machen und eine Lese/Schreib­ operation auszuführen.

Das Verfahren zum Herstellen der oben beschriebenen Halbleiterspei­ chereinrichtung mit einem Kondensator vom Grabentyp wird im folgenden dargelegt.

Gemäß Fig. 9A wird der Isolierfilm 12 für die Element-Element-Abtrennung auf der Hauptoberfläche des Halbleitersub­ strates 11 geschaffen, um aktive Bereiche auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 voneinander zu isolieren und zu trennen. Der Gateoxidfilm 13, die Gateelektrode 14 und ein Oxidfilm 26 des Feldeffekttransistors werden dann auf dem Substrat 11 gebildet.

Diese Filme können durch aufeinanderfolgendes Bilden eines thermi­ schen Oxidfilmes, einer polykristallinen Siliziumschicht und eines CVD-SiO₂-Filmes (CVD = Chemical Vapour Deposition) auf dem Substrat 11 und Trockenätzung dieser dünnen Schichten mittels eines Photo­ lithographieverfahrens geschaffen werden.

Gemäß Fig. 9B werden dann Störstellenionen 27 vom N-Typ in einer selbstausrichtenden Weise in die Hauptoberfläche des Substrates 11 eingebracht. Nun werden erste Störstellendiffusions­ bereiche 28 auf beiden Seiten der Gateelektrode 14 auf der Haupt­ oberfläche des Halbleitersubstrates 11 geschaffen.

Gemäß Fig. 9C wird dann eine Seitenwand 29 an der Seite der Gateelektrode 14 gebildet.

In Fig. 9D wird ein Photolack 30 zum Ätzen auf die gesamte Ober­ fläche des Halbleitersubstrates 11 aufgebracht. Dem Photolack 30 wird nun mittels eines Photolithographieverfahrens ein Muster aufgeprägt, um ein Loch mit gewünschter Form über demjenigen Bereich zu bilden, in dem der Graben geschaffen werden soll. Unter Verwendung des gemusterten Photolackes als Maske wird die Haupt­ oberfläche des Halbleitersubstrates 11 einem selektiven Ätzprozeß unterworfen, um den Graben 15 in der Hauptoberfläche des Halblei­ tersubstrates 11 zu bilden. Dieses selektive Ätzen erfolgt durch reaktive Ionenätzung unter den Bedingungen für die gewünschte Ätzselektivität. Der Photolack 30 wird anschließend entfernt.

Gemäß Fig. 9E werden Störstellenionen 27 vom N-Typ in die innere Wandoberfläche des Grabens 15, einschließlich der Seiten- und Bodenflächen, durch Schrägionenimplantation eingelagert. Nach der Ionenimplantation wird eine Wärmebehandlung durchgeführt, um einen zweiten Störstellendiffusionsbereich 31, der sich an den ersten Störstellenbereich 28 anschließt, in der inneren Wandober­ fläche des Grabens 15 zu schaffen.

In der Fig. 9F wird ein Nitridfilm 32 auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11, einschließlich der inneren Wandober­ fläche des Grabens 15 gebildet. Nach thermischer Oxidation des Nitridfilmes 32 wird ein polykristalliner Siliziumfilm 33 auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11, einschließlich der inneren Oberfläche des Grabens 15, gebildet. Dann wird eine Photo­ lackschicht 34 zum Ätzen auf dem polykristallinen Film 33 geschaffen. Dem Photolack 34 wird nun eine gewünschte Form aufgeprägt. Anschließend wird dem Nitridfilm 32 und dem polykristallinen Siliziumfilm 33 durch selektives Ätzen unter Verwendung dieses gemusterten Photolackes 34 als Maske ein Muster aufgeprägt. Hier­ durch werden ein Kondensatorisolierfilm und eine Zellenelektrode gebildet.

Gemäß Fig. 9G wird der Zwischenschichtisolier­ film 23 durch CVD (Chemical Vapour Deposition) auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 abgeschieden. Dann wird das Kontaktloch 24 im Zwischenschichtisolierfilm 23 gebildet und die Bitleitung 10 wird durch dieses Kontaktloch mit dem ersten Stör­ stellendiffusionsbereich 28 verbunden, um die in Fig. 8 gezeigte Halbleiterspeichereinrichtung zu erzeugen.

Die Speicherkapazität der oben beschriebenen Halbleiterspeicher­ einrichtung mit dem Kondensator vom Grabentyp kann erhöht werden, indem die Tiefe des Grabens 15 (s. Fig. 8) vergrößert wird.

Als alternatives Verfahren zum Erhöhen der Speicherkapazität der Halbleiterspeichereinrichtung ist in Fachkreisen eine Halbleiter­ speichereinrichtung vorgeschlagen worden, die sowohl den Kondensator vom Grabentyp als auch den Stapelkondensator aufweist.

Die Fig. 10 stellt einen Querschnitt einer Halbleiterspeicherein­ richtung dar, die den Kondensator vom Grabentyp und den Stapelkon­ densator aufweist, wie in der JP-OS 1 90 868/1987 beschrieben.

Bezüglich dieser Figur ist ein Graben 15 in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet. Ein Source-Bereich 35 und ein Drain-Bereich 36 sind neben dem Graben 15 in der Nähe der Halbleiter­ substratoberfläche geschaffen. Eine Gateelektrode 37 ist zwischen dem Source-Bereich 35 und dem Drain-Bereich 36 gebildet. Eine Störstellendiffusionsschicht 38 befindet sich auf der inneren Wandoberfläche des Grabens 15 und ist mit dem Source-Bereich 35 verbunden. Es ist eine erste elektrisch leitende Schicht 40 über einem isolierenden Film 39 gebildet, um die innere Oberfläche des Grabens 15 zu bedecken. Eine zweite elektrisch leitende Schicht 42 ist auf der ersten leitenden Schicht mit einer Isolierschicht 41 dazwischen geschaffen.

Bei der beschriebenen Halbleiterspeichereinrichtung wird der Konden­ sator vom Grabentyp vom Source-Bereich 35, der Störstellendiffusions­ schicht 38, der ersten elektrisch leitenden Schicht 40, die als Zellenelektrode wirkt, und dem Isolierfilm 39 gebildet. Auf diesem Kondensator vom Grabentyp ist der Stapelkondensator gebildet, der aus der zweiten elektrisch leitenden Schicht 42, dem Isolierfilm 41 und der ersten elektrisch leitenden Schicht 40 besteht. Der Konden­ sator vom Grabentyp und der Stapelkondensator sind in Reihe geschaltet, um die Kapazität der Speicherzelle zu erhöhen. Die Halb­ leiterspeichereinrichtung mit sowohl dem Kondensator vom Grabentyp als auch dem Stapelkondensator ist auch in den JP-OS 2 48 248/1987, JP-OS 65 559/1985, JP-OS 37 962/1987 und JP-OS 7 153/1987 beschrieben.

Bei der obigen Halbleiterspeichereinrichtung mit dem in Fig. 8 gezeigten Grabenkondensator muß die Tiefe des Grabens 15 vergrößert werden, um die Kapazität des Kondensators zu erhöhen. Die Vergrö­ ßerung der Tiefe des Grabens 15 kann jedoch zu einem Problem bei der Massenproduktion führen.

Andererseits muß bei der in Fig. 10 gezeigten Halbleiterspeicher­ einrichtung mit sowohl dem Grabenkondensator als auch dem Stapel­ kondensator der Stapelkondensator auf dem vorher gebildeten Kondensator vom Grabentyp geschaffen werden, so daß das hohe Maß an Registrierungsgenauigkeit oder Positionierungsübereinstimmung zwischen den zwei Typen von Kondensatoren notwendigerweise zu einem Problem im Hinblick auf den Herstellungsprozeß führt.

Eine Halbleiterspeichereinrichtung der eingangs beschriebenen Art und ein Herstellungsverfahren der eingangs beschriebenen Art sind aus der EP 01 76 254 A2 bekannt. Bei dem bekannten Gegenstand erstreckt sich der leitende Teil von gegenüberliegenden Seiten der Substratoberfläche von der zweiten Störstellendiffusions­ schicht in den Graben hinein. Dabei bleibt der leitende Teil von der ersten Störstellendiffusionsschicht durch eine Isolierschicht getrennt. Diese Anordnung erfordert ein aufwendiges Herstellungs­ verfahren. Zuerst muß mit einer Maske der Graben selbst gebildet werden. Nach der Bildung der ersten Störstellendiffusionsschicht wird die Isolierschicht in den Graben gebracht, dann muß ein Loch in die Isolierschicht eingebracht werden und das leitende Teil aufgebracht werden. Danach wird wiederum zwischen den sich in das Loch erstreckenden Teilen des leitenden Teiles ein Loch geätzt, woraufhin wieder isolierendes Material eingebracht werden muß und schließlich die Zellenplattenelektrode eingebracht werden kann. Dabei ist eine Vielzahl von Masken notwendig, die sorgfältig aus­ gerichtet werden müssen.

Bei der oben erwähnten JP-OS 37 962/1987 erstreckt sich ebenfalls das leitende Teil von der zweiten Störstellendiffusionsschicht in den Graben hinein. Es ist jedoch keine zweite Störstellendiffusions­ schicht vorhanden, sondern das leitende Teil ist von dem Substrat nur durch eine Isolationsschicht getrennt. Daher wird die Fläche, die zur Ladungsspeicherung dienen kann, verringert und damit wie­ derum die Kapazität des Kondensators beschränkt.

Aus der EP 03 76 685 A1 ist eine Halbleiterspeichereinrichtung mit einem Halbleitersubstrat und einer Rille bekannt, wobei ein Transistor vorgesehen ist. Der eine Störstellenbereich des Tran­ sistors ist gleichzeitig der Bereich, der den Graben füllt. In den Graben hinein erstrecken sich zwei durch eine Isolierschicht getrennte Kondensatorelektroden. Dieses Einbringen der Kondensa­ torelektroden hat wiederum den Nachteil, daß viele Verfahrens­ schritte zur Herstellung nötig sind.

Daher liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Halbleiter­ speichereinrichtung zu schaffen, die einen Kondensator dem Graben­ typ mit erhöhter Speicherkapazität aufweist und einfach herzu­ stellen ist. Es ist ebenfalls Aufgabe, dafür ein Herstellungsver­ fahren bereitzustellen.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Halbleiterspeichereinrichtung der eingangs beschriebenen Art, die durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gekennzeichnet ist. Die Aufgabe wird ebenfalls durch ein Herstellungsverfahren gelöst, das durch die Merkmale des Patentanspruches 5 gekennzeichnet ist.

Bevorzugte Weiterbildung der Erfindung sind in den Unteransprü­ chen gekennzeichnet.

Die Halbleiterspeichereinrichtung umfaßt einen ersten Kondensator mit einem auf der inneren Wand eines Grabens gebildeten elektrisch leitenden Bereich, einem Kondensatorisolierfilm und der Zellenelektrode, und einen zweiten Kondensator mit einer am Rand des Grabens gebildeten elektrisch leitenden Schicht, einem Kondensatorisolierfilm und der Zellenelek­ trode. Daher wird die Speicherkapazität der Halbleiterspeicherein­ richtung um einen der Speicherkapazität des zweiten Kondensators entsprechenden Betrag vergrößert. Andererseits wird der Integra­ tionsgrad nicht vermindert, da die elektrisch leitende Schicht am Rand des Grabens gebildet ist.

Beim Verfahren zur Herstellung der Halbleiter­ speichereinrichtung wird unter Verwendung der elektrisch leitenden Schicht als Maske ein Bereich der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates in einer selbstausrichtenden Weise geätzt, um den Graben auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates zu bilden. Daher ist eine Übereinstimmung der Masken mit hoher Genauig­ keit zur Bildung des Grabens auf der Hauptoberfläche nicht erforder­ lich, und damit kann die Massenproduzierbarkeit der Halbleiter­ speichereinrichtung verbessert werden.

Es folgt eine Erläuterung der Erfindung anhand der Figuren. Von den Figuren zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Ausführungsform der Halbleiterspeichereinrichtung mit einer Speicherzelle mit einem Kondensator vom Graben­ typ;

Fig. 2 einen Querschnitt entlang der Achse II-II in Fig. 1;

Fig. 3A-4 Querschnitte einer Ausführungsform des Herstellungsprozesses für eine Halbleiterspeichereinrichtung;

Fig. 5 ein Blockdiagramm eines herkömmlichen RAM;

Fig. 6 ein Ersatzschaltbild einer dynamischen Speicherzelle zur Darstellung der Schreib/Leseoperation einer Speicherzelle;

Fig. 7 eine Draufsicht auf eine herkömmliche Halbleiterspeicher­ einrichtung mit einem Kondensator vom Grabentyp;

Fig. 8 einen Querschnitt entlang der Achse VIII-VIII in Fig. 7;

Fig. 9A-9G Querschnitte eines Herstellungsprozesses der in Fig. 8 gezeigten Halbleiterspeichereinrichtung; und

Fig. 10 einen Querschnitt einer herkömmlichen Halbleiterspeicher­ einrichtung mit sowohl einem Kondensator vom Grabentyp als auch einem Stapelkondensator.

Gemäß der Fig. 1 und 2 ist ein Isolierfilm 12 zur Element- Element-Isolation auf der Haupt- oder planaren Oberfläche des Halb­ leitersubstrates 11 für die Trennung aktiver Bereiche 21 geschaffen. Eine einer Wortleitung 9 entsprechende Gateelektrode 14 ist auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 mit einem Gateoxidfilm 13 dazwischen gebildet. Die Gateelektrode 14 besteht z.B. aus poly­ kristallinem Silizium. Es sind Source/Drain-Bereiche 17, 18 auf beiden Seiten der Gateelektrode 14 in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet. Ein Graben 15 ist in der Haupt­ oberfläche des Halbleitersubstrates 11 geschaffen. Eine Speicher­ elektrode 16 ist auf der inneren Wandoberfläche des Grabens 15 gebildet. Die Speicherelektrode 16 und der Source/Drain-Bereich 17 sind mit­ einander über eine Störstellendiffusionsschicht 19, die in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet ist, verbunden. Eine elektrisch leitende Schicht 43 ist um den Graben 15 geschaffen. Die elektrisch leitende Schicht 43 steht in Kontakt mit dem Source/Drain-Bereich und der verbindenden Störstellendiffusionsschicht 19. Der äußere Teil 43a der elektrisch leitenden Schicht 43 erstreckt sich bis an eine Stelle, die über der Gateelektrode 14 und dem Gateoxidfilm 13 liegt. Das innere Ende 43b der elektrisch leitenden Schicht 43 befindet sich in der gleichen Ebene wie die innere Wandoberfläche des Grabens 15. Diese elektrisch leitende Schicht 43 besteht z.B. aus Polysilizium. Ein Kondensatorisolierfilm 20 ist kontinuierlich gebildet, um die freiliegende Oberfläche der elek­ trisch leitenden Schicht 43 und die innere Wandoberfläche des Grabens 15 zu bedecken. Es ist eine Zellenelektrode 22 geschaffen, um den Kondensatorisolierfilm 20 zu bedecken. Ein Zwischenschicht­ isolierfilm 23 ist auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersub­ strates 11 gebildet. Es ist ein Kontaktloch 24 im Zwischenschicht­ isolierfilm 23 geschaffen und eine Bitleitung 25 ist über dieses Kontaktloch 24 mit dem Source/Drain-Bereich 18 verbunden.

Bei der beschriebenen Halbleiterspeichereinrichtung bestehen ein erster Kondensator vom Grabentyp aus der auf der inneren Wandober­ fläche des Grabens 15 gebildeten Speicherelektrode 16, dem Konden­ satorisolierfilm 20 und der Zellenelektrode 22, und ein zweiter Kondensator aus der elektrisch leitenden Schicht 43, die am Rand des Grabens 15 gebildet ist, dem Kondensatorisolierfilm 20 und der Zellenelektrode 22. Der erste und der zweite Kondensator weisen den Kondensatorisolierfilm 20 und die Zellenelektrode 22 gemeinsam auf und sind daher parallel geschaltet.

Im folgenden wird das Herstellungsverfahren für die in Fig. 2 gezeigte Halbleiterspeichereinrichtung erläutert.

In Fig. 3A wird der isolierende Film 12 zur Element-Element- Isolierung oder -Trennung auf der Hauptoberfläche des Halbleiter­ substrates 11 geschaffen, um einen aktiven Bereich vom anderen zu trennen. Der Gateoxidfilm 13, die Gateelektrode 14 und der Oxidfilm 26 des Feldeffekttransistors werden dann auf dem Halbleitersubstrat 11 durch aufeinanderfolgendes Bilden eines thermischen Oxidfilmes, eines polykristallinen Siliziumfilmes und eines SiO₂-Filmes auf dem Halbleitersubstrat 11 und Trockenätzen dieser Filme mittels eines Photolithographieverfahrens geschaffen. Der SiO₂-Film wird durch chemische Dampfabscheidung (chemical vapour deposition = CVD) erzeugt.

Bezüglich der Fig. 3B werden dann Störstellenionen 27 vom N-Typ in einer selbstausrichtenden Weise in die Hauptoberfläche des Halblei­ tersubstrates 11 eingelagert. Ein erster Störstellendiffusions­ bereich 18, 28 wird durch Wärmebehandlung auf einer Seite der Gateelek­ trode 14 auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet.

In Fig. 3C wird anschließend eine Seitenwand 29 an der Seite der Gateelektrode 14 geschaffen. In Fig. 3D wird polykristallines Silizium auf der Hauptoberfläche des Siliziumsubstrates 11 zum Erzeugen des elektrisch leitenden Teiles 43 abgeschieden.

Bezüglich der Fig. 3E wird ein Photolack 30 auf der gesamten Ober­ fläche gebildet. Dem Photolack 30 wird anschließend eine gewünschte Form aufgeprägt, um eine Öffnung 44 wenigstens über dem Bereich, in dem der Kondensator vom Grabentyp geschaffen werden soll, zu bilden. Anschließend wird das elektrisch leitende Teil 43 unter Verwendung des Photolackes 30 selektivem Ätzen unterworfen, um eine Öffnung 45 in der elektrisch leitenden Schicht 43 zu bilden. Dieses selektive Ätzen erfolgt durch reaktive Ionenätzung unter Bedingungen, die für die gewünschte Ätzselektivität ausgewählt worden sind. Das äußere Ende der elektrisch leitenden Schicht 43 wird ebenfalls in die gewünschte Form gebracht. Der Photolack 30 wird nun entfernt.

In Fig. 3F wird ein Ätzphotolack 46 auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 geschaffen. Dem Photolack 46 wird ein Muster aufgeprägt, um eine Öffnung 47 einer gewünschten Gestalt über dem Bereich, in dem der Kondensator vom Grabentyp gebildet werden soll, zu schaffen. Dem Photoloack 46 wird mittels einer Maske ein Muster aufgeprägt, eine genaue Maskenausrichtung ist zu diesem Zeitpunkt jedoch nicht erforderlich. Damit muß die Endfläche der Öffnung 47 nicht mit der Oberfläche der Öffnung 45 zur Deckung gebracht werden. Da die Maskenausrichtung mit größerer Toleranz erfolgen kann, steigt die Produktionsausbeute signifikant an.

Das Halbleitersubstrat 11 wird dann in einer selbstausrichtenden Weise geätzt, um den Graben 15 auf der Hauptoberfläche des Halb­ leitersubstrates 11 unter hochselektiven Ätzbedingungen zu bilden, so daß das Halbleitersubstrat 11 und nicht die elektrisch leitende Schicht 43 geätzt wird. Da das Ätzen zu diesem Zeitpunkt in einer selbstausrichtenden Weise erfolgt, werden die Endfläche 43b der Öffnung der elektrisch leitenden Schicht 43 und die innere Wandober­ fläche des Grabens 15 auf demselben Niveau erzeugt. Der Photolack 46 wird dann entfernt.

In Fig. 3G werden Störstellenionen 27 vom N-Typ durch Schrägionen­ implantation in die Seitenwand- und Bodenoberflächen des Grabens 15 eingelagert. Nach der Ionenimplantation wird ein zweiter Stör­ stellendiffusionsbereich 16 zusätzlich zu dem von dem Graben 15 unterteilten ersten Störstellen­ diffusionsbereich 17, 18, 19 durch Wärmebehandlung der Seitenwand- und Bodenoberfläche des Grabens 15 gebildet.

Gemäß Fig. 3H wird ein Nitridfilm 50 auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates 11 zum Bedecken der freiliegenden Ober­ fläche der elektrisch leitenden Schicht 43 und der inneren Ober­ fläche des Grabens 15 geschaffen. Dieser Nitridfilm wird dann einer thermischen Oxidation unterworfen.

In Fig. 3I wird ein polykristalliner Siliziumfilm 48 auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 gebildet, um den Nitridfilm 50 zu bedecken. Ein Ätzphotolack 49 wird nun auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 geschaffen. Anschließend wird dem Ätzphotolack 49 ein gewünschtes Muster auf­ geprägt.

Gemäß Fig. 3I und 3J wird dem polykristallinen Siliziumfilm 48 und dem Nitridfilm 50 ein Muster zum Erzeugen des Kondensator­ isolierfilmes 20 und der Zellenelektrode 22 der gewünschten Form aufgeprägt.

In Fig. 4 wird der Zwischenschichtfilm 23 durch CVD auf der gesamten Oberfläche des Halbleitersubstrates 11 abgelagert. Zu diesem Zeitpunkt tritt ein Teil des Zwischenschichtisolierfilmes 23 in das Innere des Grabens 15 ein. Dann wird das Kontaktloch 24 im Zwischenschichtisolierfilm 23 gebildet und die Bitleitung 10 über dieses Kontaktloch 24 mit der ersten Störstellendiffusions­ schicht 18 verbunden, um die in Fig. 2 gezeigte Halbleiterspeicher­ einrichtung zu vervollständigen.

Bei der obigen Ausführung wird der Kondensatorisolierfilm 20 durch einen thermisch oxidierten Nitridfilm erzeugt. Bei Verwendung eines konstanten hochdielektrischen Filmes, wie z.B. eines Ta₂O₅-Filmes oder eines Mehrschichtisolierfilmes, der einen Nitridfilm und einen Ta₂O₅-Film umfaßt, kann eine Halbleiterspeichereinrichtung mit einer größeren Kapazität geschaffen werden.

Obwohl die Zellenelektrode 22 derart ausgebildet ist, daß sie sich entlang der inneren Wandoberfläche des Grabens 15 erstreckt, kann auch der Graben 15 vollständig mit polykristallinem Silizium gefüllt sein.

Claims (6)

1. Halbleiterspeichereinrichtung mit:
einem Halbleitersubstrat (11) mit einer Hauptoberfläche und einem in der Hauptoberfläche gebildeten und durch eine Seitenwwandober­ fläche und eine Bodenoberfläche abgegrenzten Graben (15);
einem Transistor mit einer auf dem Halbleitersubstrat (11) vorge­ sehenen Gateelektrode (14) und in der Hauptoberfläche des Halblei­ tersubstrates (11) an gegenüberliegenden Seiten der Gateelektrode (14) gebildeten Source- und Drainbereichen (17, 18);
einer in der Seitenwandoberfläche und der Bodenoberfläche des Gra­ bens (15) vorgesehenen ersten Störstellendiffusionsschicht (16);
einer in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11) vorge­ sehenen und mit der ersten Störstellendiffusionsschicht (16) und dem Sourcebereich oder dem Drainbereich (17) elektrisch verbun­ denen zweiten Störstellendiffusionsschicht (19);
einem auf dem Halbleitersubstrat (11) vorgesehenen, mit der zwei­ ten Störstellendiffusionsschicht (19) in Kontakt stehenden und eine Öffnung (45) aufweisenden leitenden Teil (43),
wobei ein Kondensatorisolierfilm (20) auf der Seitenwandoberfläche und der Bodenoberfläche des Grabens (15), auf der die Öffnung (45) des leitenden Teiles (43) abgrenzenden Wandoberfläche (43b) und auf dem leitenden Teil (43) gebildet ist; und
einer den Kondensatorisolierfilm (20) bedeckenden Zellplattenelek­ trode (22);
dadurch gekennzeichnet, daß die die Öffnung (45) begrenzende Wand­ oberfläche (43b) des leitenden Teiles (43) in einer Ebene mit der Seitenwandoberfläche des Grabens (15) liegt.

2. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein äußeres Ende (43a) des elektrisch leiten­ den Teiles (43) sich bis zu einer Position über der Gateelektrode (14) erstreckt.

3. Halbleiterspeichereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, da­ durch gekennzeichnet, daß ein Oxidfilm (12) zum Trennen der Ele­ mente voneinander auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11) gebildet ist, und ein anderes äußeres Ende (43a) des elek­ trisch leitenden Teiles (43) sich bis zu einer Position über dem Oxidfilm (12) erstreckt.

4. Halbleiterspeichereinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch leitende Teil (43) aus polykristallinem Silizium besteht.

5. Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterspeicherein­ richtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch die Schritte:
Bilden der Gateelektrode (14) auf der Hauptoberfläche des Halblei­ tersubstrates (11), Bilden der Source- und Drainbereiche (18, 28) auf beiden Seiten der Gateelektrode (14) in der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11), Abscheiden einer elektrisch leiten­ den Schicht (43) auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11) nach der Bildung der Source- und Drainbereiche (18, 28), Bil­ den einer Öffnung (45) in der leitenden Schicht (43) wenigstens in einem Teil desjenigen Bereiches, in dem ein Kondensator vom Gra­ bentyp gebildet werden soll, selektives Ätzen des durch die Bil­ dung der Öffnung (45) freigelegten Bereiches der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11) zum Bilden des Grabens des Kon­ densators vom Grabentyp, Bilden der ersten Störstellendiffusions­ schicht (16), Bilden eines Kondensatorisolierfilmes (20) auf der Hauptoberfläche des Halbleitersubstrates (11) zum Bedecken der freiliegenden Oberfläche der elektrisch leitenden Schicht (43) und der inneren Oberfläche des Grabens (15), und Bilden einer Zellen­ elektrode (22) auf dem Kondensatorisolierfilm (20).

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Graben (15) des Kondensators vom Grabentyp unter hochselekti­ ven Ätzbedingungen gebildet wird, dergestalt, daß das Halbleiter­ substrat und nicht die elektrisch leitende Schicht (43) geätzt wird.