DE2917791A1 - Elektrischer widerstand, der ein metallisches hexaborid enthaelt, sowie verfahren zur herstellung desselben - Google Patents

Elektrischer widerstand, der ein metallisches hexaborid enthaelt, sowie verfahren zur herstellung desselben

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DE2917791A1 DE19792917791 DE2917791A DE2917791A1 DE 2917791 A1 DE2917791 A1 DE 2917791A1 DE 19792917791 DE19792917791 DE 19792917791 DE 2917791 A DE2917791 A DE 2917791A DE 2917791 A1 DE2917791 A1 DE 2917791A1
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Description

Elektrischer Widerstand, der ein metallisches Hexaborid enthält,
sowie Verfahren zur Herstellung desselben
Die Erfindung bezieht sich auf einen elektrischen Widerstand, der beim Erhitzen in nichtoxidierender Atmosphäre stabil ist und ein Gemisch von Glasfritte und metallischen Hexaboriden enthält.
Die Erfindung wird auf dem Gebiet der Mikroelektronik vor allem bei der Herstellung elektrischer Dickschichtschaltungen angewandt, für die zahlreichevtiruckpasten, sei es für Leiterbahnen, Widerstandsschichten oder dielektrische Schichten, entwickelt wurden.
- ^SiekLr
Da u.U. unterschiedlichevdruckpasten auf ein und demselben Substrat angewendet werden müssen, das im allgemeinen aus Aluminiumoxid besteht, hat die Anmelderin ein kompatibles System voTmLrlickpasten entwickelt. Bei einer leitendenfaruckpaste, die in der DE-OS 26 10 303 beschrieben ist, erforderte das Vorhandensein von Kupfer eine Erhitzung in einer "neutralen" , Atmosphäre.
PHF 78-525 V- - 2 -
909846/0695
Eine druckpaste für Widerstände, die ein Gemisch von Glasfritte und metallischen Hexaboriden enthält, ist aus der GB-PS 1 282 023 bekannt. Die in dieser Patentschrift beschriebene Glasphase (vgl. insbesondere die drei aufgeführten Beispiele) enthält aber Blei, wodurch es unmöglich wird, eine Erhitzung in einer neutralen Atmosphäre durchzuführen, weil die metallischen Hexaboride das Glas reduzieren wurden.
Die Erfindung bezweckt, den obengenannten Nachteil zu beheben und für Siebdruck geeignete Druckpasten für Widerstände mit großem Widerstandsbereich zu schaffen, deren Temperaturkoeffizient der des Widerstands zwischen -500C und +1500C möglichst nahe bei Null liegt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das verwendete Glas ein Boroaluminat eines Erdalkalielements ist.
Nach einer weiteren Ausbildung der Erfindung ist das verwendete Glas ein Calciumboraluminat.
Diese Gläser weisen den Vorteil auf, daß sie nicht mit metallischen Hexaboriden reagieren, daß sie während einer Erhitzung in Stickstoff stabil sind und daß sie eine Ionenleitfähigkeit nahezu gleich Null aufweisen.
Nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung enthält der Widerstand ein Gemisch von Hexaboriden zweiwertiger Metalle und mindestens dreiwertiger Metalle.
Tatsächlich weisen die Hexaboride zweiwertiger Metalle halbleitenden Charakter auf, während die Hexaboride der mindestens dreiwertigen Metalle metallischen Charakter haben, wobei durch Mischung dieser beiden Hexaboride ein Widerstand mit einem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes naheaigleich Null erhalten werden kann.
PHF 78-525 909846/069S
Nach einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung enthält der Widerstand eine feste gemischte Lösung von Hexaboriden zweiwertiger Metalle und mindestens dreiwertiger Metalle.
In diesem Falle handelt es sich nicht mehr um das Gemisch zweier Hexaboride in Pulverform, sondern um ein einziges gemischtes Hexaborid.
Nach einer Ausgestaltung der Erfindung ist es aich möglich, das Glas mit im allgemeinen Mengen von weniger als 1 % metallischer Oxide von Übergangsmetallen zu dotieren.
Durch diese Dotierung kann insbesondere der elektrische Charakter des Glases, aber es können auch die optischen Absorptionseigenschaften, wie das Infrarotabsorptionsspektrum verändert werden, wodurch z.B. das Schneiden der Widerstände mit Hilfe eines Laserstrahls erleichtert wird.
Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein Verfahren zum Herstellen eines elektrischen Widerstandes mit einem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes gleis h Null durch Zermahlen der Körner des den genannten Widerstand bildenden Gemisches bis zu einer genügend kleinen Korngröße.
Schließlich bezieht sich die Erfindung auf die zum Siebdrucken anwendbare Druckpaste, die dadurch erhalten wird, daß das Gemisch in einem organischen Trägermaterial dispergiert wird, auf die durch einen Siebdruckvorgang und Erhitzung erhaltene Schicht mit in einer derartigen Schicht enthaltenen elektrisehen Schaltungen.
Die Erfindung wird nachstand anhand einiger Ausführungsbeispiele und der Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Kurve, die die Stabilität des Wertes eines Widerstandes auf Basis von Lanthanhexaborid in
einem Temperaturbereich von -1000C bis zu +1000C
darstellt909846/06 9E
PHF 78-525 - 4 -
Fig. 2 eine Kurve, die die Stabilität des Wertes eines Widerstandes auf Basis eines Gemisches von Lanthan- und Strontiumhexaboriden ebenfalls im Temperaturbereich von -1000C bis zu +1000C darstellt.
Das verwendete Ausgangsmaterial ist ein Glas, das im wesent lichen aus Boroxid (BpO,), Aluminiumoxid (AIpO^) und einem zweiwertigen Oxid der Gruppe H-A des Periodischen Systems der Elemente, und zwar einem Oxid eines Erdalkali elements, vie z.B. CaO, Bao oder SrO, zusammengesetzt ist. Ein vorzugsweise gewähltes Glas ist Calciumboroaluminat, wobei die nachstehenden molaren Mengen eine sehr gute Annäherung des Ausdehnungskoeffzienten an die eines Aluminiumoxidsubstrats ergeben haben:
B2O3 50 %
Al2O3 16,7 % X= 70.10~7 0C"1
oberer Kühlpunkt: 59O°C
CaO 33,3 % . Dichte = 2570 kg/m3 .
Es könnte aber auch ein Glas wie Bariumboroaluminat (2BaO, 5B2O3, Al2O3) mit einem Ausdehnungskoeffzienten λ = 69.10 0C angewendet werden.
Der Zusatz einer kleinen Menge Siliciumoxid (SiO2) beeinträchtigt die Eigenschaften dieser Gläser nicht und ermöglicht es, nötigenfalls z.B. die Viskosität dieser Gläser zu ändern.
Ein derartiges Gemisch wird durch doppeltes Aufschmelzen nach der üblichen Glastechnologie zwischen 13000C und 14OO°C erhalten, wonach dieses Gemisch einer schnellen Härtung unterworfen wird, um durch Zermahlen, z.B. in einer Kugelmühle, eine Fritte zu bilden, mit einer KorngrcT. von 4 bis 5/um.
PHF 78- 525 - 5 -
809846/0695
Anschließend wird ein reines metallisches Hexaborid in Pulverform hinzugefügt, wobei die gründliche Mischung der zwei Pulver z.B. durch ein Ultraschallverfahren in Äthanol erfolgen kann. Schließlich wird das Gemisch nach Äbsiebung und Trocknung in einem organischen Bindemittel, wie einer Lösung von Äthylcellulose in Terpineol, mit Hilfe einer Planetenmühle dispergiert; vorzugsweise soll das Gemisch in Pastenform vorliegen.
Die so erhaltene Druckpaste für Widerstände, deren Viskosität derart beschaffen ist, daß sie für Siebdrucken geeignet ist, enthält im allgemeinen 40 bis 70 Vol.% des genannten . Gemisches und 60 bis 30 Vol.% des organischen Bindemittels. Eine Schicht oder ein Muster wird mit Hilfe eines Druckverfahrens durch eine Siebdruckmaske hindurch auf einem im allgemeinen aus Aluminiumoxid bestehenden Substrat erzeugt. Das Gebilde wird dann in einer neutralen Atmosphäre aus Stickstoff (wobei ein Sauerstoffgehalt von weniger als 10 ppm erwünscht ist) oder in einer durch Zusatz von Wasserstoff leicht reduzierenden Atmosphäre bei Temperaturen zwische η 850°C und 950°C während etwa 10 Minuten erhitzt.
Die so erhaltenen Dickschichten bilden einen Widerstand, dessen metallischer oder halbleitender Charakter von der Art des Glases und der verwendeten Hexaboride sowie von deren anteiligen Mengen abhängig ist. Das Vorzeichen und der Wert des Temperaturkoeffizienten des Widerstandes (TKn) lassen Rückschlüsse auf die Eigenschaften des Widerstandes zu; danach weist ein Widerstand mit metallischem Charakter einen positiven TK« auf, während ein Widerstand mit halbleitendem Charakter einen negativen TIC, aufweist.
.Beispiel 1
Erfindungsgemäße Widerstände werden dadurch erhalten, daß ein Glas aus CaBAl, dessen Zusammensetzung oben ange-
PHF 78-525 - 6 -
809846/069S
geben ist, mit einem Lanthanhexaborid in unterschiedlichen Mengen gemischt wird. Die nach etwa 15-stündigem Mahlen dieser Gemische und Erhitzung erzielten Meßwerte sind in der nachstehenden Tabelle (i) aufgeführt:
- Tabelle I -
L anth anh exab ο r i d CaBAl- Flächen TKR in ppm bei
in Vol.% Glas Vol.?; widerstand
Ohm		 -500C 00C +1000C
60 40 20 +180 +180 +180
50 50 75 +230 +200 +160
45 55 2 500 -450 -500 -500
40 60 170 000 -9000 -6000 -5000
30 70 108 weniger als -10 000
Beispiel 2
Erfindunggemäße Widerstände werden dadurch erhalten, daß ein Glas aus CaBAl, das dem vorgenannten Glas gleich ist, mit einem Strontiumhexaborid in unterschiedlichen Mengen gemischt wird, wobei die Meßwerte nach Mahlen und Erhitzen in der nachstehenden Tabelle (II) aufgeführt sind:
- Tabelle II -
Strontiumhexaborid CaBAl- Flächen TKR in ppm bei +1000C
in Vol.Si Glas Vol.96 widerstand
Ohm		 -50°C O0C -2100
70 30 100 000 -2600 -2400 - 700
60 40 20 000 -1200 -1000 -1500
50 50 50 000 -2000 -2000 -15000
40 60 2 χ 106 -12000 -12000 -24000
30 70 2 χ 108 -12000 -12000
PHF 78- 525
903848/069B
COPY
Nach einer Ausführungsform der Erfindung kann das Material ein Gemisch mehrerer metallischer Hexaboride enthalten. Um einen Widerstand zu erhalten, dessen Temperaturkoeffizient des Widerstandes möglichst niedrig ist, ist es zu bevorzugen, ein Hexaborid zweiwertiger Metalle, wie Calcium, Strontium, Barium, Europium usw. mit halbleitendem Charakter mit einem Hexaborid mindestens dreiwertiger Metalle, wie Lanthan, Samarium, Thorium usw. mit metallischem Charakter zu mischen.
Ein ternäres System, wie LaBg-SrBg-CaBAl-Glas, weist bei _ einer vorgegebenen Glaskonzentration einen von den anteiligen Mengen Lanthan und Strontium abhängigen Charakter auf; so weist ein Gemisch von 40 Vol.% Glas und 60 VoI.^ an Hexaboriden, wenn χ die Menge an SrBg der anwendbaren Hexaboride und somit 1-x die Menge an LaBg darstellt, für Werte von χ zwischen 1 und 0,8 einen halbleitenden Charakter auf, während das Gemisch bei Werten von χ unter 0,75 einen metallischen Charakter aufweist, wobei die Kurve für Werte von χ in der NaT. 0,78 umgekehrt wird. Es stellt sich heraus, daß in einem derartigen Material, in dem der Einfluß des Glases auf elektriscl· Vierte vernachlässigbar ist, durch passende Wahl der Zusammensetzungen für jedes ternäre System ein Gemisch mit einem möglichst niedrigen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes erhalten werden kann.
Fig. 2 zeigt die Stabilität des Wertes des Widerstandes für die Zusammensetzung (in Vol.^):
CaBAl-Glas 40 %
LaB6 12, 6
SrB6 47, 4
( χ = 0,79) .
Nach einer zweiten Ausführungsform der Erfindung enthält das Material eine feste gemischte Lösung von Hexaboriden zweiwertiger Metalle und von Hexaboriden dreiwertiger Metalle
PHF 78- 525 - 8 -
909846/063S
BADQRIGtNAt
OÖPY
A&
So konnte aufgrund der Tatsache, daß die Werte der Ionena^
radien der La^ - und Sr -Ionen nahe beieinander liegen, leicht eine feste gemischte Lösung vom Typ La Sr1 B^ erhalten werden.
Die Tabelle IH zeigt den Verlauf des Temperaturkoeffizienten des gemischten Hexaborids als Funktion von x, der den Übergang von dem metallischen Charakter zu dem halbleitenden Charakter angibt.
- Tabelle III -
Wert von χ (LaB6) ,8 (SrB6) TKR in ppm 0C-1
1 ,6 + 5 000
0 ,4 + 1 240
0 ,2 + 1 080
0 + 730
0 + 390
0 - 1 280
Es hat sich gezeigt, daß der Temperaturkoeffizient der festen Lösung durch die relativen Mengen an La^ und Sr bestimmt wird und auf leicht positive Werte eingestellt werden kann, was für die Herstellung von Druckpasten für Widerstände wünschenswert ist.
Zu ähnlichen Ergebnissen gelangt J.P. Mercurio (Bordeaux,1974), "der· einen Einbau von Europium in Hexaborid beschreibt, das
im Gegensatz zu
SrB6 oder CaBg oder BaBg ein
PHF 78-525
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kostspieliges Material ist. Das Vorhandensein einer derartigen festen gemischten Lösung in einem Gemisch aus Hexaborid und Glas der oben, beschriebenen Art weist noch weitere, nicht auf der Hand liegende Vorteile auf. Einmal kann der Temperaturkoeffzient des Widerstandes durch passende Wahl der Bestandteile möglichst niedrig eingestellt werden; ein weiterer Vorteil ist, daß der Wärmeausdehnungskoeffizient dieses Materials in der Nähe der Wärmeausdehnungskoeffizienten des Aluminiumoxidsubstrats und des Glases liegt, was für die Kompatibilität dieser Materialien erforderlich ist, wobei die genannten dicken Schichten mit einem Temperaturkoeffizienten des Widerstandes nahezu gleich Null eine auffallende Stabilität pro Zeiteinheit aufweisen (z.B. Änderungen von weniger als +0,25 % in 1000 Stunden bei 125°C).
Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist das verwendete Glas - ein Boroaluminat eines Erdalkalielements mit metallischen Oxiden von Übergangsmetallen aus den Gruppen V-A, VI-A, VII-A, VIII und I-B des Periodischen Systems der Elemente dotiert. Diese Gläser werdei auf gleiche Weise wie die gewöhnlichen Gläser verarbeitet, derart, daß das Oxid in verhältnismäßig kleinen Mengen, meistens weniger als 1 Vol. % entweder beim ersten oder beim zweiten Homogenisierungsschmelzvorgang, z.B. als Eisenoxalat, eingeführt wird, damit
2+
die Oxidation der Fe -Ionen verringert wird.
Diese Oxide wurden systematisch untersucht, insbesondere die nachstehenden Oxide:
V2Oc, Cr2O,, Fe2O,, CuO, NiO, CoO, FeO aus dem Oxalat (FeC2Oλ.2H2O) und außerdem Nd2O,; die Einführung vonDotierungsionen ermöglicht es, den elektrischen Charakter des Glases und auch die optischen Äbsorptionseigenschaften, wie das Infrarotabsorptionsspektrum, zu ändern.
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Tatsächlich enthalten die so erhaltenen dicken Schichten etwa 50 % Glas oder mehr, wobei das reine Glas praktisch die Infrarotstrahlung von 1,06/um nicht absorbiert; es ist also schwierig den Widerstand durch Schneiden mittels eines Laserstrahls einzustellen, wenn der verwendete Laser ein YAG-Laser (Yttrium-Aluminium-Granat) ist, der eine Neodymdotierung enthält und einen kohärenten Lichtstrahl mit einer Wellenlänge von 1,06/um liefert. Durch die Dotierung
2+
des Glases mit Fe -Ionen kann insbesondere die Absorption von Strahlung dieser Wellenlänge bis zu maximal 50 % erreicht werden.
Hier sei bemerkt, daß diese Dotierungsionen nicht als beschränkendes Beispiel gegeben sind und daß ihre Wahl von der Betriebswellenlänge des verwendeten Lasers abhängt.
Weiter bezweckt die Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstandes zu schaffen, dessen Temperaturkoeffizient des Widerstandes möglichst niedrig ist. Um dies zu erreichen, wird eine Glasfritte mit einer mittleren Korngröße zwischen 4 und 5 /um,ausgehend von einem Calciumboroaluminatglas, durch eine geeignete Wärmebehandlung hergestellt; dann wird diese Glasfritte mit renem Lanthanborid in Pulverform gemischt, wobei die Mengen in Vol.% des Glases und des Hexaborids zwischen 50/55 und 55/45 liegen, vorzugsweise gleich 51/49 sind. Schließlich wird das genannte Gemisch einem Mahl Vorgang, z.B. in einer Planetenmühle, unterworfen, die die Glaskörner bis zu Abmessungen von we&ger als 100 mn pulverisiert. Die Mahlzeit ist verhältnismäßig lang und beträgt 10 bis 15 Stunden, um Körner mit diesen Abmessungen zu erhalten. Überraschenderweise wurde gefunden, daß der Temperaturkoeffizient des Widerstandes mit der Größe der Glasteilchen abnimmt, wie in der nachstehenden Tabelle IV dargestellt ist.
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Tabelle IV -
Dauer des Mahlvorganges mittlere Korngröße TKR bei 00C
gemessen im Elektronen in ppm/ 0C
mikroskop
O Stunde 5/um + 500
4 Stunden + 250
10 Stunden —.— + 50
15 Stunden 0,1 / um - 50
Damit steht ein besonderer Weg zur Verfügung, um den Temperaturkoeffizienten des Widerstandes auf möglichst niedrige Werte einzustellen. Ausgehend von einem Gemisch aus Lanthanhexaborid und CaBAl-Glas in Mengen in Vol.?£ von 49/51 mit einem anfänglichen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes von 500.10" 0C wurde am Ende eines 14-Stündigen Mahlvorganges ein Temperaturkoeffizient des Widerstandes zwischen +10.10 0C ind -10.10"^0C"1 zwischen -500Cund +200C und + 25.10" zwischen -100 und +1000C gemessen. Fig. 1 zeigt die Änderung des Temperaturkoeffizienten des Widerstandes als Funktion der Temperatur zwischen -1500C und+1000C bei einem Laborversuch entsprechend den oben angegebenen Daten.
Die Erfindung wird auf dem Gebiet der Mikroelektronik, insbesondere bei der Herstellung von Dickschichtschaltungen durch Siebdrucken in entsprechenden Siebdruckpasten angewendet.
Es wurde ein ganzes System kompatibelar Siebdruckpasten entwickelt; die Siebdruckpaste für Widerstandsschichten gemäß der vorliegenden Anmeldung ist kompatibel mit der Siebdruckpaste für Leiterbahnen gemäß DE-OS 26 10 303 und der Siebdruckpaste für dielektrische Schichten gemäß DE-OS 27 55 935. Die Kompatibilität der Siebdruckpaste gemäß der vorliegenden
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PHF 78-525
- 12 -
mit der leitenden Siebdruckpaste auf Basis von Kupfer gemäß DE-OS 26 10 303 ist vollkommen, weil es kein Kupferborid gibt und wreil außerdem die Erhitzungsbedingungen identisch sind=
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Claims (9)

  1. N.V. Philips' GloeÜampeniabr'efen, Eindhoven
    Elektrischer Widerstands, der in einer nichtoxidierenden Atmosphäre stabil ist und der ein Gemisch von Glasfritten und metallischen Hexaboriden enthält, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Glas ein Boroaluminat eines Erdalkalielements ist.
  2. 2. Elektrischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Glas ein Calciumboroaluminat -ist.
  3. 3. Elektrischer Widerstand nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß er ein Gemisch von Hexaboriden zweiwertiger Metalle und mindestens dreiwertiger Metalle enthält.
  4. 4. Elektrischer'Widerstand nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,, daß er eine feste gemischte Lösurg von Hexaboriden zweiwertiger Metalle und mindestens dreiwertiger Metalle enthält.
  5. 5. Elektrischer Widerstand nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das verwendete Glas in Mengen unterhalb 1 Vol.% mit metallischen Oxiden von Übergangsmetallen aus den Gruppen V-A, VI-A, VII-A, VIII und I-B des Periodischen Systems der Elemente dotiert ist.
  6. 6. Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstandes mit einem Temperaturkoeffizienten nahezu gleich Null nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß Glasfrittenmit einer Korngröße zwischen 4 und 5/um mit Lanthanhexaborid gemischt wird in Mengen in Vol.% von Glas zu Hexaborid zwischen 50/50 und 55/45» daß das Gemisch in einer Planetenmühle gemahlen wird zu einer Korngröße von
    PHF 78-525 909846/0695 "2"
    weniger als 100 nm und die Mischung zu einer Paste verarbeitet wird ,auf einen Träger durch Siebdruck angebracht und ausgeheizt wird.
  7. 7. Beim Siebdrucken anwendbares Pigment, das in einer dicken Schicht auf einem z.B. aus Aluminiumoxid bestehenden Substrat abgelagert werden soll und das dadurch erhalten wird, daß ein Gemisch nach einem der Ansprüche 1 bis 5 in einem organischen Träger dispergiert wird, der z.B. aus einer Lösung von Äthylcellulose in Terpineol besteht.
  8. 8. Durch Siebdrucken gebildete Schicht, die durch Ausheizung eines Pigments nach Anspruch 7 in einer neutralen Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 8000C und 10000C erhalten ist.
  9. 9. Elektrische Schaltungen mit mindestens einer durch Siebdrucken gebildeten Schicht nach Anspruch 8.
    PHF 78-525
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DE19792917791 1978-05-11 1979-05-03 Elektrischer widerstand, der ein metallisches hexaborid enthaelt, sowie verfahren zur herstellung desselben Ceased DE2917791A1 (de)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4585580A (en) * 1978-08-16 1986-04-29 E. I. Du Pont De Nemours And Company Thick film copper compatible resistors based on hexaboride conductors and nonreducible glasses
FR2490210A1 (fr) 1980-09-15 1982-03-19 Labo Electronique Physique Melange de depart pour une composition fortement resistante, encre serigraphiable constituee avec et circuits electriques ainsi realises
US4512917A (en) * 1983-08-22 1985-04-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Hexaboride resistor composition
US4597897A (en) * 1985-06-24 1986-07-01 E. I. Du Pont De Nemours And Company Hexaboride resistor composition
US4985176A (en) * 1987-12-04 1991-01-15 Murata Manufacturing Co., Ltd. Resistive paste
JPH0738325B2 (ja) * 1988-10-21 1995-04-26 株式会社日立製作所 厚膜抵抗体組成物及びその用途
JPH0736361B2 (ja) * 1989-03-22 1995-04-19 株式会社村田製作所 抵抗材料、その製造方法およびそれを用いた抵抗ペースト
JPH03246901A (ja) * 1990-02-23 1991-11-05 Hitachi Ltd 厚膜抵抗組成物、該組成物を用いたハイブリッドｉｃおよびその製法
JP2529030B2 (ja) * 1991-02-22 1996-08-28 株式会社日立製作所 厚膜抵抗組成物、該組成物を用いたハイブリッドｉｃおよびその製法
US6399230B1 (en) * 1997-03-06 2002-06-04 Sarnoff Corporation Multilayer ceramic circuit boards with embedded resistors
CN115954134B (zh) * 2023-02-16 2023-09-26 苏州三环科技有限公司 一种电阻浆料及其制备方法

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GB2021093A (en) 1979-11-28
GB2021093B (en) 1982-09-08
FR2397704A1 (fr) 1979-02-09
FR2397704B1 (de) 1981-10-16
JPS596481B2 (ja) 1984-02-13

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