DE2635699A1

DE2635699A1 - Elektrischer widerstand und verfahren zur herstellung desselben

Info

Publication number: DE2635699A1
Application number: DE19762635699
Authority: DE
Inventors: Cornelius Yeun-Deun Huang; Kenneth Malcom Merz
Original assignee: TRW Inc
Current assignee: Northrop Grumman Space and Mission Systems Corp
Priority date: 1976-04-02
Filing date: 1976-08-07
Publication date: 1977-10-06
Also published as: DK408776A; JPS5931841B2; SE7607961L; IT1071888B; AU1592076A; FR2346829B1; DE2635699B2; DK143820B; DE2635699C3; FR2346829A1; NL7608461A; AU497489B2; CA1077351A; DK143820C; JPS52120397A; SE410773B

Description

PATENTANWÄLTE ZENZ & HELBER · D 4300 ESSEN 1 ■ AM RUHRSTEIN !_· JEj.-U-(Q2jpiL4126 87 Seite

τ 57

TRW INC., 10880 Wilshire Boulevard, Los Angeles, Californien,V.StA. Elektrischer Widerstand und Verfahren zur Herstellung desselben

Die Erfindung betrifft als Widerstandsmaterial geeignete glasartige Überzugsmaterialien, und zwar befaßt sich die Erfindung insbesondere mit Widerständen, die unter Verwendung solcher Widerstandsmaterialien hergestellt wurden, sowie einem Verfahren zur Herstellung derselben.

Eine Art eines elektrischen Widerstandsmaterials, welches seit neuerem kommerzielle Anwendung gefunden hat, ist ein glasartiges Widerstands-Überzugsmaterial, das aus einem Gemisch einer Glasfritte und Teilchen aus elektrisch leitendem Material in feiner Verteilung besteht. Dieses glasartige Wideretande-Überzugsmaterial wird in einer Schicht auf der Oberfläche eines Substrats aus elektrisch nicht leitendem Material, üblicherweise einem keramischen Körper aufgetragen und dann gebrannt, um die Glasfritte zum Schmelzen zu bringen. Nach der Abkühlung ist eine dünne Glasschicht mit leitenden Teilchen feiner Verteilung entstanden. An der Schicht werden Anschlüsse angebracht, um den hergestellten Widerstand in der vorgesehenen Schaltung anschließen zu können.

— 2 —

709840/0S94

Als Materialien für die leitenden Teilchen wurde im wesentlichen Edelmetalle verwendet. Obgleich unter Verwendung von Edelmetallen glasartige Widerstands-Überzugsmaterialien herstellbar sind, die befriedigende elektrische Eigenschaften zeigen, haben sie den Nachteil, daß sie teuer sind. Deshalb sind die unter Verwendung von glasartigen Widerstands-Überzugsmaterialien mit Edelmetall hergestellten Widerstände ebenfalls in der Herstellung teuer. Es besteht daher ein Bedürfnis nach einem derartigen elektrischen Widerstandsmaterial, bei dem der leitende Materialanteil relativ preiswert ist, so daß auch ein unter Verwendung dieses Materials aufgebauter elektrischer Widerstand preisgünstig hergestellt werden kann. Das leitende Material muß darüber hinaus die Herstellung von Widerstandsmaterial in einem großen Bereich von Widerstandswerten ermöglichen und muß außerdem über den gesamten Bereich der Widerstandswerte relativ stabil sein. Mit "stabil" ist gemeint, daß der Widerstandswert des Widerstandsmaterials sich nicht oder nur in geringem Maße unter Betriebsbedingungen ändert, insbesondere wenn Änderungen der Temperatur auftreten. Die Änderung des Widerstandswertes eines elektrischen Widerstands pro Grad Temperatur wird als "Widerstands-Temperaturkoeffizient" des Widerstands bezeichnet. Je stärker sich der Widerstands-Temperaturkoeffizient dem Wert 0 annähert, um so stabiler ist der Widerstand bezüglich Temperaturänderungen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein neues glasartiges Widerstands-Überzugsmaterial unter Verwendung relativ preiswerter leitender Materialien zu schaffen, um so die Herstellung preiswerter elektrischer Widerstände zu ermöglichen. Die hergestellten Widerstände sollen dabei einen weiten Bereich von Widerstandswerten umfassen und über den gesamten Bereich von Widerstandswerten relativ stabil und dabei preiswert in der Herstellung sein.

709840/0594

2635639 _ ^-

•I"

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Widerstandsschicht eine glasartige Überzugsschicht einer Zusammensetzung ist, die in einer Borsilikatgrundmasse Teilchen einer Siliziummetallverbindung in feiner Verteilung mit einem Anteil von 75 $ bis 10 $ (Gewichtsprozent) enthält, wobei diese Siliziummetallverbindung aus einer Gruppe gewählt ist, welche Wolframdisilizid (WSi₂)> Molybdändisilizid (MoSi₂), Vanadiumdisilizid (VSi₂), Titandisilizid (TiSi₂), Zirkondisilizid (ZrSi₂), Chromdisilizid (CrSi₂) und Tantaldisilizid (TaSi₂) sowie deren Reaktionsprodukte mit einem Borsilikatglas umfaßt.

Die Herstellung eines elektrischen Widerstands unter Verwendung des erfindungsgemäßen glasartigen Widerstands-Überzugsmaterials erfolgt erfindungsgemäß so, daß eine Widerstandsmassen—Zusammensetzung aus einer Borsilikatfritte und 75 # bis 10 # (Gewichtsprozent) feinverteilter leitender Teilchen aus einer Siliziummetallverbindung hergestellt wird, die aus einer Gruppe gewählt wird, weiche Wolframdisilizid, Molybdändisilizid, Vanadiumdisilizid, Titandisilizid, Zirkondisilizid, Chromdisilizid und Tantaldisilizid umfaßt, daß die Zusammensetzung in gleichmäßiger Schichtstärke auf einem isolierenden Substrat aufgetragen wird, daß das mit der Schicht versehene Substrat bei einer oberhalb der Schmelztemperatur der leitenden Teilchen liegenden Temperatur im Bereich von etwa 97ObLs 1150° C in einer nicht oxydierenden Atmosphäre gebrannt wird, daß die Schicht zur Bildung einer die leitenden Teilchen in feiner Verteilung enthaltenden glasartigen Grundsubstanz abgekühlt wird, und daß an der so entstandenen glasartigen Überzugsschicht Anschlüsse angebracht werden.

7098A0/0B9A

Die Erfindung ist in der folgenden Beschreibung in Verbindung mit der Zeichnung und anhand mehrerer Ausführungsbeispiele näher erläutert, und zwar zeigt die Zeichnung in Schnittansicht einen erfindungsgemäßen Widerstand in stark vergrößertem Maßstab.

Das erfindungsgemäße glasartige Widerstands-Überzugsmaterial umfaßt im wesentlichen ein Gemisch einer glas- oder emailbildenden Glasfritte sowie feinen Teilchen aus einer Siliziummetallverbindung der Übergangselemente der Gruppen IV, V und VI des periodischen Systems der Elemente. Die Siliziummetallverbindung kann beispielsweise Molybdändisilizid (MoSi₂), Wolframdisilizid (WSi₂), Vanadiumdisilizid (VSi₂) Titandisilizid (TiSi₂), Zirkondisilizid (ZrSi₂), Chromdisilizid (CrSi₂) oder Tantaldisilizid (TaSi₂) sein. Insbesondere besteht das erfindungsgemäße glasartige Widerstands-Überzugsmaterial aus einem Gemisch einer Glasfritte und einer Siliziummetallverbindung der vorstehend angegebenen Gruppe, wobei das Gemisch 25 % bis 10 % Glasfritte und 75 # bis 10 # Metallsilizid enthält.

Die zur Herstellung des erfindungsgemäßen Widerstandsmaterials verwendete Glasfritte kann eine beliebige bekannte Zusammensetzung haben, deren Schmelztemperatur unterhalb der schwerer schmelzenden Metallsilizide bzw. Metalle liegt. Als Glasfritte wird vorzugsweise eine Borsilikatfritte verwendet, beispielsweise eine Blei-Borsilikatfritte, eine Wismut-, Cadmium-, Barium-, Kalzium- oder andere Erdalkalid-Borsilikatfritte. Die Aufbereitung solcher Glasfritten ist bekannt und erfolgt beispielsweise so, daß die Bestandteile des Glases in Form ihrer Oxyde zusammengeschmolzen werden, worauf die geschmolzene Zusammensetzung zur Bildung der Fritte im Wasser abgeschreckt wird. Die Bestandteile der Massen können natürlich in jeder Verbindung vorliegen, welche unter den üblichen Bedingungen der Frittennersteilung zu den gewünschten Oxyden führt. So wird Boroxyd beispielsweise

709840/0B94

aus Borsäure erhalten, während Siliziumdioxyd aus Flint erzeugt wird. Bariumoxyd wird aus Bariumkarbonat hergestellt usw. Die grobe Fritte wird vorzugsweise in einer Kugelmühle unter Vorhandensein von Wasser weitervermahlen, um die Teilchengröße der Fritte zu verringern und im wesentlichen gleichförmige Teilchengröße zu erhalten.

Zur Herstellung des erfindungsgemäßen Widerstandsmaterials werden die Glasfritte und das wärmebeständige Metallsilizid und ein wärmebeständiges Metall beispielsweise durch KugelVermahlung auf eine im wesentlichen gleichförmige Teilchengröße vermählen. Eine mittlere Teilchengröße zwischen 1 bis 2 Um wurde als zu bevorzugende Teilchengröße ermittelt. Die Glasfritte, das wärmebeständige Metalldisilizidpulver und das wärmebeständige Metallpulver werden beispielsweise durch Kugelvermahlung in Wasser oder einem organischen Medium, beispielsweise Butylcarbitolazetat oder einem Gemisch von Butylcarbitolazetat und Toluol sorgfältig gemischt. Dieses Gemisch wird dann auf die geeignete Viskosität für die vorgesehene Auftragungsweise des Widerstandsmaterials auf dem Substrat eingestellt, indem dem Material entweder Flüssigkeit zugeführt oder entzogen wird.

Zur Herstellung eines Widerstands unter Verwendung des erfindungsgemäßen Widerstandsmaterials, wird das Widerstandsmaterial in gleichmäßiger Dicke auf der Oberfläche eines Substrats aufgetragen. Das Substrat kann ein Körper aus einem beliebigen Material sein, welches der Brenntemperatur der Widerstandsmaterial-Zusammensetzung widersteht. Üblicherweise ist das Substrat ein keramischer Körper, beispielsweise Glas, Porzellan, Schamotte, Bariumtitanat oder dergleichen. Das Widerstandsmaterial kann durch Aufbürsten, Tauchen, Sprühen oder im Siebdruckverfahren aufgebracht werden. Das mit dem Widerstandsmaterial beschichtete Substrat wird dann in einem üblichen Ofen bei einer Temperatur gebrannt, bei welcher die Glasfritte schmelzflüssig wird. Bei den erfindungsgemäßen Widerstandsmaterialien mit den oben erwähnten

Metallsiliziden wurde gefunden, daß mit Ausnahme von Molybdändisilizid das beschichtete Substrat vorzugsweise in einer inerten Atmosphäre, beispielsweise in Argon, Helium, Stickstoff oder einem Gemisch von Stickstoff und Wasserstoff gebrannt werden sollte, um eine bessere Stabilität des Widerstands zu erzielen, Bei einem unter Verwendung von Molybdändisilizid als Metallsilizid hergestellten erfindungsgemäßen Widerstandsmaterial wurde jedoch gefunden, daß beim Brennen des Widerstands in Luft bessere Stabilität erzielt wird. Bei der Abkühlung des beschichteten Substrats härtet die glasartige Überzugsschicht und bindet das Widerstandsmaterial auf dem Substrat.

Wie in der Zeichnung gezeigt ist, ist der erfindungsgemäße Widerstand in seiner Gesamtheit mit 10 bezeichnet. Der Widerstand 10 weist ein keramisches Substrat 12 auf, auf welchei eine Schicht 1^ des erfindungsgemäßen Widerstandsmaterials haftend aufgetragen ist. Die Widerstandsmaterialschicht Ik besteht aus Glas 16 und Teilchen 18 aus Metallsilizid, die innerhalb des Glases 16 eingebettet und gleich mäßig verteilt sind.

Beispiel 1

Ss wurde ein erfindungsgemäßes Widerstandsmaterial hergestellt, bei dem als leitendes Material Molybdändisilizid in den in Tabelle X angegebenen unterschiedlichen Mengen verwendet wurde, während die Glasfritte ein Barium- Titan-Aluminium-Bor silikatglas war. In allen Fällen wurde das Widerstandsmaterial durch Mischung der Glasfritte und der Molybdändisilizidteilchen in einer Kugelmühle in Butylkarbitolazetat hergestellt. Aus den so hergestellten Widerstandsmaterialien wurden Widerstände hergestellt, indem

709840/0594

zylindrische Keramikkörper mit dem Widerstandsmaterial beschichtet und die beschichteten keramischen Körper in einen Durchlaufofen etwa 30 Minuten lang bei einer Temperatur und in einer Atmosphäre gebrannt wurden, die in Tabelle X angegeben sind. Aus jeder Zusammensetzung wurden eine Reihe von Widerständen hergestellt, und die mittleren Widerstandswerte und Widerstandstemperatur— koeffizienten der erzeugten Widerstände jeder Gruppe sind in Tabelle X angegeben.

	Tabelle	°C-Luft	I	Widerstands-Temperatur- koeffizient (# pro °C)_ft +25⁰C bis 150 C +25°Cbis -55°C	0,0080	+	0,0053
Molybdän— disilizid (Gew.-#)	Temperatur und Brenn— atmosphäre	°C-Luft	Widerstand (Q /Qudrat)	+	0,0109	+	0,0094
15	1020	°C-Luft	1.900	+	0,0217	+	0,0222
20	1020	°C-Luft	490	+	0,1420	+	0,1465
25	1020	°C-Luft	70	+	0,1O38	+	0,1038
50	970	⁰C-N₂	6	+	0,0214	-	0,0346
6o	970	⁰C-N₂ *	25	-	0,0066	-	0,0119
10	1050	⁰C-N₂	8.900	+	0,0120	+	0,0066
15	1100	⁰C-N₂	1.300	+	0,1117	+	0,1166
25	1020		500	+	0,1196	+	0,1222
50	970	5	+
60	970	4,3

20 Minuten lang gebrannt

Beispiel 2

Es wurde ein Vielzahl von erfindungsgemäßen Widerstandsmaterialien hergestellt, bei denen das leitend· Material Wolframdieilizid in den in Tabelle II angegebenen verschiedenen Mengen war, während die Glasf ritte ein Barium- Titan-AluminiumB»rsilikatglas war. Jedes der Widerstandsmaterialien

709840/0594 _ _g _

wurde entsprechend den Widerstandsmaterialien des Beispiels 1 hergestellt, und die Widerstände wurden ebenfalls in der in Verbindung mit Beispiel 1 beschriebenen Weise hergestellt. Die Widerstände wurden bei einer Temperatur von tO5O° in der in der Tabelle II angegebenen Atmosphäre gebrannt. Die mittleren Widerstandswerte und die Widerstands-Temperaturkoeifizienten jeder Gruppe der so erzeugten Widerstände sind in Tabelle II zusammengestellt.

Tabelle II

Wolfram- disilizid (Gew.-#)	Brenn- Widerstand atmosphäre (Cl /Quadrat)	5.000	Widers tands-Temperatur- koeffizient (j£ pro °c) +25⁰C bis 150° +25⁰C bis -55°C	+ 0,0984
ti	Luft	2.300	+0,1346	+ 0,0810
15	Luft	600	+ 0,0547	+ 0,0957
20	Luft	219	+ 0,0670	+ 0,1074
25	Luft	75	+ 0,1073	+ 0,1286
30	Luft	875.000	+ 0,1307	- 0,1458
ti	^N2	2.500	- 0,1010	- 0,0077
15	^N2	5.000	- 0,0063	- 0,0069
20	^N2	2.000	- 0,0025	- 0,0039
25	^N2	1 .500	+ 0,0055	+ 0,0123
30	^N2	36	+ 0,0162	+ O,O67O
50	^N2	21	+ 0,0638	+ 0,0688
6o	^N2	Beispiel 3	+ 0,0685

Es wurde ein Vielzahl von erfindungsgemäßen Widerstandsmaterialien hergestellt, bei denen das leitende Material aus Zirkondisilizid in den in Tabelle III angegebenen Mengen bestand, während die Glasfritte ein Barium- Titan- Aluminium-Be rsilikatglas war. Die verschiedenen Widerstandsmaterialien

709840/059*

wurden in gleicher Weise wie das in Beispiel 1 erläuterte Widerstandsmaterial hergestellt, ebenso wie die Widerstände selbst. Die Widerstände wurden bei 97O°C jeweils in der in Tabelle III angegebenen Atmosphäre gebrannt. Die mittleren Widerstandswerte sowie die Widerstands-Temperaturkoeffizienten jeder Gruppe der erzeugten Widerstände sind in Tabelle III zusammengestellt.

Tabelle III

Zirkondisilizid Brenn- Widerstand Widerstands-Temperatur-(Gew.-9&) atmosphäre (Q /Quadrat) koeffizient

(# pro °C)

+25 C bis 150 C + 25 C big

15 N₂ 6.300 + 0,0021 + 0,0035

20 N₂ 475 + 0,0225 + 0,0232

25 N₂ 104 + 0,0262 + 0,0278

30 N₂ 44 + 0,0265 + 0,0277

15 Luft 3.0.00 + 0,0130 + 0,0127

20 Luft 610 + 0,0184 + 0,0178

25 Luft 238 + 0,0285 + 0,0257

30 Luft 112 + 0,0334 + 0,0344

Beispiel 4

Die Tabelle IV zeigt die Widerstandswerte und die Widerstands-Temperaturkoeffizienten einer Anzahl von erfindungsgemäßen Widerständen, bei deren Herstellung Widerstandsmaterialien unter Verwendung verschiedener nach Art und Menge in Tabelle IV angegebener Metalle und Suizide in Verbindung mit einer Barium- Titan- . Bo.rsilikatglasfritte hergestellt wurden. Die Widerstandsmaterialien und die aus ihnen hergestellten Widerstände wurden in gleicher Weise hergestellt, wie dies

- 10 -

709840/0594

in Zusammenhang mit Beispiel 1 beschrieben wurde. Die Widerstände wurden bei etwa 1.00O⁰C in einer Stickstoffatmosphäre gebrannt.

Tabelle IV

Leitendes (Gew.-"/o) Widerstand Widerstands-Temperaturkoeffizient Material (Q /Quadrat) (# pro c)

+25⁰C bis 150⁰C +25⁰C bis -55°C

TiSi₂	15	124	+ 0,0163	+ 0,0161
TiSi₂	25	63	+ 0,0166	+ 0,0181
TiSi₂	30	41	+ 0,0143	+ 0,0154
VSi₂	20	1.300	+ 0,0222	+ 0,0108
VSi₂	25	275	+ 0,0298	+ 0,0355
VSi₂	30	42	+ O,O411	+ 0,0495
CrSi₂	20	275	+ 0,0184	+ 0,0235
CrSi₂	30	99	+ 0,0568	+ 0,0780
TaSi₂	50	81	+ 0,0319	+ 0,0303
		Beispiel 5

Eine Vielzahl von erfindungsgemäßen Widerstandsmaterialien, bei denen das leitende Material ein in Tabelle V angegebenes Metallsilizid und die Glasfritte ein Barium- Titan- Bor^ silikatglas war, wurde hergestellt. Das Widerstandsmaterial sowie der mit ihm hergestellte Widerstand wurden in der in Verbindung mit Beispiel 1 beschriebenen Weise hergestellt. Die Widerstände wurden 30 Minuten lang in einer StAckstoffatmosphäre bei in der Tabelle T angegebenen Temperaturen gebrannt. Dabei wurden die der Tabelle V entnehmbaren mittleren Widerstandswerte und Widerstands-Temperaturkoeffizienten ermittelt.

- 11 -

7098A0/0594

Tabelle V

Leitendes Brenn- Widerstand Widerstands-Temperaturkoeffizient

Material tempera- (ht. /Quadrat) ($ P^ro C)

(Gew.-96) tür +25⁰C bis I50 G +25⁰C bis -55°C

WSi₂	5 *	II50	°c	9K	-0,0148	- 0,0220
MoSi₂	6 ia	1100	⁰C	925	+0,0257	+ 0,0215
MoSi₂	Q λ/ O γθ	1100	⁰C	560	+0,0327	+ 0,0304
MoSi₂	10 "/a	1100	°c	413	+ 0,0372	+ 0,0360
WSi₂	12 56	1100	°c	269	+0,0268	+ 0,0297
WSi₂	15 #	1100	°c	179	+ 0,0294	+ 0,0294
				Beispiel 6

Unter Verwendung von 30 Gew.-% der in Tabelle VI zusammengestellten Silizide und 70 Gew.-# einer Barium- Titan- Aluminium-

Borsilikatfritte wurde ein Vielzahl von erfindungsgemäßen Widerstandsmaterialien hergestellt. Die Widerstandsmaterialien wurden ebenso wie die aus ihnen hergestellten Wi-derstände in der in Verbindung mit Fig. 1 beschriebenen Weise hergestellt. Die Widerstände wurden 30 Minuten lang in einer Stickstoffatmosphäre bei den der Tabelle VI entnehmbaren Temperaturen gebrannt. Die mittleren Widerstandswerte, die Widerstands-Temperaturkoeffizienten der erzeugten Widerstände und die Reaktionsprodukte der erzeugten Widerstands-Glasschicht sind in Tabelle VI zusammengestellt. Die Reaktionsprodukte der Widerstands-Glasschicht wurden durch Auswertung von Röntgenstrahl-Beugungsbildern bestimmt. Die ermittelten Produkte sind in abnehmender Reihenfolge der Stärke ihrer Beugungsmus ter-Linien angegeben.

- 12 -

709840/0594

2635693 - te -

Tabelle VI

Metall- Brenn- Widerstand ¥iderstands-Tempera- Reaktionsprosilizid temperatur (Q/Quadrat) turkoeff. dukte

f. (# pro °C)

+25 c-150 c +25⁰C -

-55°C

WSi₂	1	100°C
MoSi₂	1	100°C
VSi₂	1	100°C
CrSi₂	1	100°C
TaSi₂	1	100°C
TaSi₂	1	150⁰C *
TiSi₂	1	100⁰C
ZnSi₂	1	100⁰C

1K +0,0206 +0,0209

13 +0,1092 +0,1010 MoSi₂,

Mo₂B₅

33 +0,0931 +0,1042 VSi₂,

BaSi₂O₅

21 +0,0960 +0,1266 CrSi₉,__Q._n

CrB₂? ^BaSii⁾5

Nichtkond.

80 +0,0340 +0,0187 TaSi₂,

TaB₂?

9 +0,0464 +0,0303 TiSi₂,TiB_p

BaSiJo₃,TIO₂

9 +0,0526 +0,0485 ZrSi₂, ZrB₂

* 50 Gew.-96 TaSi₂ 20 Minuten in Stickstoffatmosphäre gebrannt.

Die Analyse der Daten der Beugungsmuster der Widerstands-Glas schicht en nach Tabelle VI zeigt, daß das Silizium des Metallsilizids während des Brennens des Widerstandsmaterials das starke Bestreben hat, mit dem Glas zu reagieren. Die verbleibenden Metalle des Suizides treten dann unter Bildung von Borid mit Bor aus dem Glas oder unter Bildung eines Mischoxyds mit Barium zusammen. Die beim Brennen des Widerstandsmaterials gebildeten Leiter enthalten also sowohl Metallsilizide als auch ihre Boride.

Es ist darauf hinzuweisen, daß die in den Tabellen I bis VI angegebenen erfindungsgemäßen Widerstände und Widerstandsmaterialien lediglich zur Veranschaulichung bestimmter Details der Erfindung und nicht in beschränkendem Sinne angegeben sind.

- 13 -

709840/0S94

Die Erfindung kann im Rahmen des Erfindungsgedankens auch in anderer spezieller Weise ausgeführt oder abgewandelt werden.

709840/0594

•ft

Leerseite

Claims

Patentansprüche

1. Elektrischer Widerstand bestehend aus einem keramischen Körper, auf dessen Oberfläche eine Widerstandsschicht aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht eine glasartige Überzugsschicht (i4) einer Zusammensetzung ist, die in einer Borsilikat-Grundmasse (16) in feiner Verteilung Teilchen (18) einer Siliziummetallverbindung mit einem Anteil von 75 bis 10 Gew.-% enthält, wobei die Siliziummetallverbindung aus der Wolframdisilizid, Molybdändisilizid, Vanadiumdisilizid, Titandisilizid, Zirkondisilizid, Chromdisilizid und Tantaldisilizid umfassenden Gruppe sowie deren Reaktionsprodukten mit einem Borsilikatglas gewählt ist.

2. Elektrischer Widerstand nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Überzugsschicht (i4) eine aus einer Borsilikat-Fritte und den Teilchen (18) aus der Siliziummetallverbindung bei einer oberhalb der Schmelztemperatur der Fritte und unterhalb der Schmelztemperatur der leitenden Teilchen liegenden"Temperatur von etwa 970 bis 1150°C in nicht oxydierender Atmosphäre gebrannte glasartige Schicht ist, an der elektrische Anschlüsse vorgesehen sind.

3. Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Widerstands durch Aufbringen einer glasartigen Widerstands-Überzugsschicht auf einem Substrat, dadurch gekennzeichnet, daß eine WiderStandsmassen-Zusammensetzung aus einer Borsilikatfritte und 75 bis 10 Gew.-% feinverteilten leitenden Teilchen aus einer Siliziummetallverbindung hergestellt wird, die aus einer Gruppe gewählt wird, welche Wolframdisilizid, Molybdändisilizid, Vanadiumdisilizid, Titandisilizid, Zirkondisilizid, Chromdisilizid und Tantaldisilizid umfaßt, daß die Zusammensetzung in

7098Α0/059Λ

ORiGJNAL INSPECTED

gleichmäßiger Schichtstärke auf dem isolierenden Substrat aufgetragen wird, daß das mit der Schichtversehene Substrat bei einer oberhalb der Schmelztemperatur der Borsilikatfritte und unterhalb der Schmelztemperatur der leitenden Teilchen liegenden Temperatur im Bereich von etwa 970 bis 1150 C in einer nicht oxydierenden Atmosphäre gebrannt wird, daß die Schicht zur Bildung einer die leitenden Teilchen in gleichmäßiger Verteilung enthaltenden glasartigen Grundsubstanz abgekühlt wird, und daß an der so entstandenen glasartigen Überzugsschicht Anschlüsse angebracht werden.

K. Verfahren nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das beschichtete Substrat in einer Stickstoffatmosphäre gebrannt wird.

709840/0594