DE19834276A1 - Abgassonde - Google Patents
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Abstract
Zur Verminderung von internen Spannungen und damit bedingter Rißbildung ist bei einer Abgassonde mit zwei durch eine im wesentlichen aus ZrO¶2¶ bestehende dielektrische Schicht getrennten Meßelektroden, einer Leiterbahnschicht zum elektrischen Beheizen der elektrischen Schicht, die über eine erste gasdicht gesinterte Isolationsschicht aus Al¶2¶O¶3¶-haltigem Material mit der dielektrischen Schicht fest verbunden ist, dem Al¶2¶O¶3¶-haltigen Material vor dem Sintern ein Porenbildner zugesetzt.
Description
Die Erfindung betrifft eine Abgassonde mit den
Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.
Derartige Sonden sind als Lambdasonden für Kraft
fahrzeuge allgemein bekannt. Die Funktion dieser
Sonden beruht auf der Messung eines Stroms von Sau
erstoffionen, die durch eine dielektrische Schicht
zwischen zwei Meßelektroden diffundieren. Als Mate
rial fuhr eine solche dielektrische Schicht wird
ZrO2 verwendet. Ein Heizelement in Form einer dün
nen Leiterbahnschicht dient zum Erhitzen der die
lektrischen Schicht auf eine Temperatur von mehre
ren hundert Grad Celsius.
Es hat sich als nicht empfehlenswert erwiesen, den
gesamten Körper der Abgassonde aus Zirkonoxyd auf
zubauen, da dies zu hohen Leckströmen zwischen den
Meßelektroden und der Leiterbahnschicht durch Wan
derung von Sauerstoffionen des ZrO2 führt, durch die
die Lebensdauer der Leiterbahnschicht und damit die
des gesamten Sensors empfindlich beeinträchtigt
wird. Es hat sich als günstig erwiesen, die Leiter
bahnschicht nicht in direktem Kontakt mit dem ZrO2
zu bringen, sondern dazwischen eine im wesentlichen
aus Al2O3 bestehende Schicht vorzusehen, in der kei
ne Sauerstoffionenwanderung auftritt.
Die Fertigung einer Abgassonde durch gemeinsames
Sintern von Schichten aus ZrO2 und Al2O3 wirft je
doch Schwierigkeiten auf, da die Sintertemperaturen
wie auch die Schrumpfungsraten beim Sintern bei
beiden Materialien unterschiedlich sind. Dies führt
zu einer schlechten Reproduzierbarkeit der Ergeb
nisse des Sintervorgangs und infolgedessen zu einer
großen Gefahr, daß Ausschuß produziert wird.
Die unterschiedlichen Schrumpfungsraten von Zir
konoxyd und Aluminiumoxyd haben ferner die Folge,
daß Sensoren mit einer unsymmetrischen
Schichtstruktur dazu neigen, sich zu krümmen, was
ihren Einbau in eine Fassung erschwert. Bei symme
trisch aufgebauten Sensoren stehen die verschiede
nen Materialien unter erheblichen Zug- bzw. Druck
belastungen, was in Verbindung mit den schwankenden
Temperaturen, denen der Sensor im Laufe seiner Be
triebsdauer ausgesetzt ist, zu Rissen in den kera
mischen Schichten und zum Abplatzen von Material
führen kann.
Aus US-A 806 739 ist ein plattenförmiges kerami
sches Heizelement bekannt, das einen Schichtaufbau
aus einem Basissubstrat aus ZrO2, einer mit einem
Siebdruckverfahren aufgetragenen Schicht aus Al2O3,
einer Leiterbahnschicht und einer äußeren Schutz
schicht aus Al2O3 umfaßt, wobei die Al2O3-Schichten
dicht gesintert sind. Um eine Durchwölbung dieses
Heizelements zu vermeiden, wird empfohlen, die ver
zerrende Wirkung einer Aluminiumoxydschicht auf ei
ner Seite des Basissubstrats dadurch zu kompensie
ren, daß eine entsprechende Aiuminiumoxydschicht
auch auf der anderen Seite des Basissubstrats vor
gesehen wird. Auch bei diesem Heizelement unterlie
gen daher die verwendeten Materialien erheblichen
Spannungen.
Die im Anspruch l definierte Abgassonde zeichnet
sich demgegenüber dadurch aus, daß durch Einbringen
einer gesteuerten Porosität in die Schichten aus
aluminiumoxydhaltigem Material deren Elastizität
erhöht und damit die in der Sonde wirksamen Materi
alspannungen auf das Ausmaß vermindert werden kön
nen, welches der mechanischen Stabilität der Abgas
sonde förderlich ist.
Die hierfür erforderliche Menge an Porenbildner
kann von der Führung des Sinterprozesses, der Kör
nung und chemischen Zusammensetzung der zu sintern
den Schichten sowie des verwendeten Porenbildners
abhängen. Für eine gegebene Kombination dieser Ma
terialien ist es jedoch ohne Schwierigkeiten mög
lich, einen geeigneten Anteil an Porenbildner expe
rimentell zu ermitteln.
Eine dichtgesinterte Al2O3-haltige Schicht läßt sich
zuverlässig und reproduzierbar erzeugen, wenn die
Aluminiumoxydkomponente des Materials zu wenigstens
80% aus α-Al2O3 besteht.
Zwischen der Leiterbahnschicht und den Meßelektro
den fließt während des Betriebs des Abgassensors
ein Leckstrom. Dieser beruht in ZrO2 auf der Wande
rung von Sauerstoffionen. Die dichtgesinterte
Schicht aus Al2O3-haltigem Material verhindert den
Zutritt von Sauerstoff zur Leiterbahnschicht. Ein
Leckstrom zwischen der Leiterbahnschicht und einer
der Meßelektroden kann deshalb in ZrO2 zu einer Ab
wanderung von Sauerstoff und infolgedessen zu einer
Schwarzfärbung des ZrO2 führen. Um dies zu vermei
den, ist man bestrebt, den Leckstrom möglichst
klein zu halten. Zu diesem Zweck ist es vorgesehen,
daß das Al2O3-haltige Material weniger als 50ppm Na
trium enthält.
Als Porenbildner kann dem Al2O3-haltigen Material
fein zerteilter Kohlenstoff zugesetzt werden, vor
zugsweise in Form von Glaskohle. Die kompakt ge
formten Teilchen der Glaskohle verbrennen während
des Sintervorgangs und lassen dabei kompakte, mehr
oder weniger sphärische Poren zurück. Um geschlos
sene Poren zu erhalten, verwendet man vorzugsweise
Porenbildner mit einer mittleren Teilchengröße von
maximal 10 µm. Ferner sollte der Gehalt der Al2O3-
haltigen Schichten an Porenbildner vor dem Sintern
nicht mehr als 12% des Feststoffanteils dieser
Schichten betragen.
Zusätzlich kann zur Verringerung von Spannungen dem
Al2O3-haltigen Material bis zu 10% ZrO2 zugesetzt
sein.
Um das Sintern des Al2O3-haltigen Materials zu er
leichtern, kann diesem ein Flußmittel zugesetzt
sein, das vorzugsweise Fluor enthält. Dabei kann es
sich um ein Fluorsalz eines Alkali- oder Erdalkali
metalls, insbesondere eines schweren Metalls wie
Barium, handeln, dessen Ionen in dem gesinterten
Al2O3-haltigen Material nur wenig wandern, um Ammo
niumfluorid oder eine fluororganische Verbindung
handeln. Letztere sind insoweit bevorzugt, als sie
beim Sintern zerfallen, so daß in dem Al2O3-haltigen
Material nur das flußvermittelnde Fluor zurück
bleibt.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben
sich aus den nachfolgenden Beschreibungen von Aus
führungsbeispielen mit Bezug auf die beigefügten
Figuren.
Fig. 1 und 2 zeigen jeweils ein Ausführungsbei
spiel der erfindungsgemäßen Abgassonde schematisch
im Querschnitt.
Die in Fig. 1 gezeigte Sonde umfaßt eine poröse
Schutzschicht 1, die im Betrieb der Sonde mit einem
Abgas in Kontakt kommt, eine darunter liegende
Nernstelektrode 2, eine dielektrische Schicht 3
zwischen der Nernstelektrode 2 und einer Referenze
lektrode 5, eine Referenzluftkanalfolie 4, aus der
unterhalb der Referenzelektrode ein Referenzluftka
nal 6 ausgeschnitten ist, zwei Isolationsschichten
7, 8 oberhalb und unterhalb einer Leiterbahnschicht
9, einen Dichtrahmen 10, der die Isolationsschich
ten 7, 8 nach außen hin dicht umschließt, und eine
Tragerfolie 11. Die elektrischen Zuleitungen der
Leiterbahnschicht 9 ist in der Figur nicht darge
stellt.
Die dielektrische Schicht 3, die Referenzluftkanal
folie 4 und die Trägerfolie 11 werden hergestellt
durch Gießen von Folien aus einer Aufschlämmung von
ZrO2 mit einem polymeren Bindemittel. Durch Trock
nen erhält man Folien, die weiterverarbeitet werden
können. Diese werden zugeschnitten, im Falle der
Referenzluftkanalfolie 4 wird der Referenzluftkanal
6 ausgestanzt.
Auf die Tragerfolie 11 werden mit einem Siebdruck-
oder Spachtelverfahren nacheinander die Isolations
schicht 8, die Leiterbahnschicht 9 und dann die
Isolationsschicht 7 aufgetragen. Die Isolations
schichten 7, 8 bestehen aus im wesentlichen reinem
α-Al2O3 (Qualität AKP53 der Fa. Sumitomo) mit einer
mittleren Teilchengröße von ca. 0.3 µm. Weitere Be
standteile sind ein Bindemittel und ein Porenbild
ner. Als Porenbildner wird Kohlenstoff, nämlich
Glaskohle mit einer Teilchengröße von unter 10 µm
in einem Anteil von bis zu 25% der Masse der ge
trockneten Isolationsschichten verwendet. Die Lei
terbahnschicht 9 wird z. B. durch Siebdrucken einer
Aufschlämmung von Platinschwamm in Form eines Mäan
derbandes auf die Isolationsschicht 8 erzeugt.
Die dielektrische Schicht 3 mit den Elektroden 2
und 5, die Referenzluftkanalfolie 4 und die Träger
folie 11 mit den Isolationsschichten 7, 8 und der
Leiterbahnschicht 9 darauf werden zu einem Stapel
laminiert, wobei rings um die Isolationsschichten
57, 8 ein Dichtrahmen 10 angebracht wird, der wie
die dielektrische Schicht 3, die Referenzluftkanal
folie 4 und die Trägerfolie im wesentlichen aus
ZrO2 besteht.
Der fertige Stapel mit der Schutzschicht 1 darauf
wird daraufhin wärmebehandelt. Dabei verbrennt der
polymere Binder der Schichten 3, 4, 11, und bei ei
ner Temperatur von ca. 1000°C beginnt das ZrO2 zu
sintern. Eine Sinterung des Aluminiumoxyds setzt
bei ca. 1200°C ein. Während des Sinter- und Abküh
lungsvorgangs schrumpfen die ZrO2-haltigen Schich
ten und die Al2O3-haltigen Isolationsschichten in
unterschiedlichem Maße. Die durch diese unter
schiedliche Schrumpfung hervorgerufenen Spannungs
kräfte werden reduziert durch die Porosität der
Isolationsschichten 7,8, die sich durch das Ver
brennen des Kohlenstoffs während des Sinterns er
gibt. Bei einem hohen Kohlenstoffgehalt von bis zu
25% in dem Material der Isolationsschichten kennen
zum Teil offene Poren entstehen. Um einen Gasaus
tausch mit der Umgebung des Sensors über diese Po
ren zu verhindern, sind die Isolationsschichten 7,
8 ringsum durch den Dichtrahmen 10 aus dichtgesin
tertem ZrO2 umgeben.
Das Auftreten von Wölbungen wird bei der Abgassonde
aus Fig. 1 zusätzlich dadurch vermieden, daß die
Isolationsschichten 7, 8 auf beiden Seiten von
ZrO2-Schichten umgeben sind, so daß die an gegen
überliegenden Seiten der Isolationsschichten 7, 8
wirksamen Spannungskräfte einander gegenseitig kom
pensieren.
Fig. 2 zeigt ein zweites Ausführungsbeispiel der
Erfindung, das aufgrund seines einfachen Aufbaus
besonders bevorzugt ist. Diese Ausgestaltung unter
scheidet sich von der in Fig. 1 gezeigten im we
sentlichen dadurch, daß die Trägerfolie 11 und der
Dichtrahmen 10 entfallen sind, so daß die Isolati
onsschicht 8 eine freie Oberfläche der Abgassonde
bildet. Bei diesem Ausführungsbeispiel liegt der
Gehalt der Isolationsschichten 7 und 8 an Glaskohle
vor dem Sintern zwischen 1 und 10%, vorzugsweise
bei 5% des Feststoffanteils der Al2O3-haltigen Iso
lationsschichten vor dem Sintern. Durch die Wahl
eines Anteils von nicht mehr als 10% ist sicherge
stellt, daß die sich beim Sintern bildenden Poren
geschlossen bleiben, so daß Gaszutritt von außen
zur Leiterbahnschicht 9 wirksam unterbunden ist. In
diesem Fall ist es nicht aus der Gründen der Halt
barkeit der Abgassonde notwendig, diese mit einem
Dichtrahmen und einer Tragerfolie aus dichtem ZrO2
zu umfangen. Durch Verwendung von hinreichend rei
nem Al2O3 wie der genannten Sorte AKP53 lassen sich
Leckströme zwischen der Leiterbahnschicht 9 und den
Elektroden 2, 5 mit einem Wert von ca. 1 µA redu
zieren. Zum Vergleich: bei Verwendung einer anderen
zur Herstellung von Abgassonden gebräuchlichen Sor
te Aluminiumoxyd, der Qualität CR85 der Fa. Bai
kowski (mit 3% SiO2 und 5% BaCO3 als Flußmittel)
werden bei einer entsprechend konstruierten Abgas
sonde typischerweise Leckströme von 12-13 µA beob
achtet. Bei diesen herkömmlichen hohen Leckströmen
war es erforderlich, frischem Sauerstoff, z. B. von
einem Referenzluftkanal, den Zutritt zur Leiter
bahnschicht zu ermöglichen, um zu verhindern, daß
der in den ZrO2-Schichten durch Sauerstoffionenwan
derung vermittelte Leckstrom zu Sauerstoffverlusten
und damit zu einer Schwarzfärbung von Teilen des
ZrO2 führte, was meist eine Beeinträchtigung der
Lebensdauer der Abgassonde zur Folge hatte. Bei der
erfindungsgemäßen Abgassonde hingegen sind die
Leckströme so gering, daß auf diesen Sauerstoffzu
tritt verzichtet werden kann. Deswegen darf und
soll das Aluminiumoxyd der Isolationsschichten 7, 8
bei der vorliegenden Ausgestaltung zu einer dichten
Schicht gesintert werden, die die Leiterbahnschicht
9 gegen Sauerstoff abschließt.
Eine solche dichtgesinterte Schicht läßt sich mit
Aluminiumoxyd der obengenannten Sorte AKP53 erzeu
gen, welches zu über 80% aus α-Al2O3 besteht. Zu
der Verringerung des Leckstroms trägt vermutlich
bei, daß die Al2O3-haltigen Schichten gemäß der Er
findung einen sehr geringen Na-Gehalt von unter
50ppm aufweisen, während die bekannten Schichten
vermutlich durch den BaCO3-Anteil mit Na verunrei
nigt sind, und daß die erfindungsgemäßen Schichten
keine Glasphase aus SiO2 enthalten.
Wie man sieht, hat also die Verwendung von genügend
reinem, vor allem natrium-armem Aluminiumoxyd, das
vorwiegend in Form von α-Aluminiumoxyd vorliegt,
den doppelten Vorteil, daß es sehr geringe Leck
ströme zwischen der Leiterbahnschicht und den
Meßeelektroden ermöglicht, daß deshalb auf die Mög
lichkeit des Sauerstoffzutritts zur Leiterbahn
schicht 9 nicht geachtet werden muß, und daß des
halb die Leiterbahnschicht 9 in dichtgesinterte
Isolationsschichten 7,8 eingeschlossen sein darf,
die sich wiederum in günstiger Weise aus α-
Aluminiumoxyd erzeugen lassen.
Da bei der Ausgestaltung aus Fig. 2 die Trägerfo
lie aus ZrO2 entfallen ist, könnte hier das Problem
auftreten, daß unterschiedliche Schrumpfungsraten
der ZrO2-haltigen Schichten und der Al2O3-haltigen
Schichten beim Sintern trotz deren Porosität zu ei
ner Restwölbung der fertigen Sonde führen. Diesem
Problem kann in unterschiedlicher Weise entgegenge
wirkt werden. Eine erste Lösung besteht darin, die
Isolationsschichten 7,8 aus einem Gemisch zu sin
tern, das Al2O3 und bis zu 10% ZrO2 enthält. Dies
fährt zu einer Angleichung des Sinterverhaltens der
verschiedenen Schichten.
Eine zweite Lösung ist die, daß man die Isolations
schichten 7, 8 aus Aluminiumoxyd, wie etwa dem ge
nannten Aluminiumoxyd AKP53 herstellt, dem ein
Flußmittel, z. B. 0,1 bis 0,5% LiF
(Lithiumfluorid), ca. 0,1% BaF2 (Bariumfluorid),
NH4F (Ammoniumfluorid) oder organisch gebundenes
Fluor wie etwa ein Fluoramin zusetzt.
Es wurden Sinterversuche mit auf einer Folie aus
polymer gebundenem ZrO2 gedruckten, Al2O3-Schichten
mit Zusätzen von Lithiumfluorid bzw. Bariumfluorid
mit den genannten Konzentrationen als Flußmittel
durchgeführt. Diese Proben zeigten nicht die für
Proben ohne Flußmittelzusatz typische Wölbung.
Ein Abgassensor mit der in Fig. 2 gezeigten Struk
tur wurde unter Verwendung von mit Bariumfluorid
versetztem Aluminiumoxyd für die Isolationsschich
ten 7, 8 hergestellt. Dabei zeigte sich, daß der Ba
riumfluoridzusatz keine Erhöhung des Leckstroms be
wirkt. Es wurde im Mittel ein Leckstrom von ca. 1
µA gemessen.
Bariumfluorid ist unter den Alkali- und Erdalkalif
luoriden als Flußmittel bevorzugt, da seine relativ
großen und schweren Ionen eine geringe Beweglich
keit in den Isolationsschichten aufweisen und des
halb keinen nennenswerten Leckstrom beitragen. Die
Verwendung von Ammoniumfluorid oder organischen
Fluorverbindungen als Flußmittel ist ebenfalls
zweckmäßig, da diese beim Sintern keine Ionen in
der Isolationsschicht zurücklassen.
Die Verwendung von Flußmitteln bzw. die Beimengung
von ZRO2 in den Isolationsschichten 7, 8 ist selbst
verständlich auch bei der Ausgestaltung aus Fig. 1
zur Verringerung von internen Spannungen wirksam.
Claims (11)
1. Abgassonde mit zwei durch eine im wesentlichen
aus ZrO2 bestehende dielektrische Schicht (3) ge
trennten Meßelektroden (2; 5), einer Leiterbahn
schicht (9) zum elektrischen Heizen der dielektri
schen Schichen (3), die über eine erste dichtgesin
terte Schicht (7) aus Al2O3-haltigem Material mit
der dielektrischen Schicht (3) fest verbunden ist;
dadurch gekennzeichnet, daß dem Al2O3-haltigen Mate
rial vor dem Sintern ein Porenbildner zugesetzt
wurde.
2. Abgassonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich
net, daß die Al2O3-Komponente des Al2O3-haltigen Ma
terials zu wenigstens 80% aus α-Al2O3 besteht.
3. Abgassonde nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß das Al2O3-haltige
Material weniger als 50ppm Natrium enthält.
4. Abgassonde nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Teil
chengröße des Al2O3-haltigen Materials ca. 0,3 µm
beträgt.
5. Abgassonde nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß der Porenbildner
fein zerteilter Kohlenstoff ist.
6. Abgassonde nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich
net, daß der feinzerteilte Kohlenstoff Glaskohle
ist.
7. Abgassonde nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß die mittlere Teil
chengröße des Porenbildners ca. 1 bis 10 µm be
trägt.
8. Abgassonde nach einem der Ansprüche 6 und 7, da
durch gekennzeichnet, daß der Gehalt an Kohlenstoff
bis zu 10% des Feststoffanteils der Al2O3-haltigen
Schichten (7, 8) beträgt.
9. Abgassonde nach einem der vorhergehenden Ansprü
che, dadurch gekennzeichnet, daß das Al2O3-haltige
Material bis zu 10% ZrO2 enthält.
10. Abgassonde nach einem der vorhergehenden An
sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß dem Al2O3
haltigen Material ein Flußmittel zugesetzt ist.
11. Abgassonde nach Anspruch 10, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Flußmittel Bariumfluorid, Lithi
umfluorid. Ammoniumfluorid oder eine organische
Fluorverbindung ist.
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