DE19808768C2 - Transmissionselektronenmikroskop und Verfahren zum Betrachten der Verteilung eines Elements - Google Patents
Transmissionselektronenmikroskop und Verfahren zum Betrachten der Verteilung eines ElementsInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Transmissionselektronenmikroskop,
und spezieller betrifft sie ein solches Transmissionselek
tronenmikroskop, das über ein Energiefilter verfügt, das das
Bild der Verteilung eines Elements in einem kleinen Bereich
dadurch erhalten kann, dass das Bild dadurch erzeugt wird,
dass Elektronen mit spezieller Energie aus einem durch eine
Probe hindurchgestrahlten Elektronenstrahl abgetrennt wer
den, und sie betrifft ein Verfahren zum Betrachten der Ver
teilung eines Elements unter Verwendung eines Transmissions
elektronenmikroskops.
Ein Transmissionselektronenmikroskop ist eine Vorrichtung
zum Vergrößern und Betrachten des Bilds einer Probe unter
Verwendung eines Elektronenstrahls und von Elektronenlinsen,
und es wird dazu verwendet, feine Strukturen einer Probe zu
erkennen. Ein Energiefilter ist eine Vorrichtung zum Entneh
men nur solcher Elektronen, die eine spezielle Energie auf
weisen, durch Zerlegen des Elektronenstrahls in ein Spek
trum. Durch Kombinieren der beiden Vorrichtungen können
Elektronen mit spezieller Energie erhalten werden.
Bei einem Elektronenmikroskop mit einen Energiefilter und
vollzogener Einstellung in der optischen Achse kann ein
Elektronenmikroskopbild, das nur aus elastisch gestreuten
Elektronen (Bild von Elektronen mit den Verlust Null) er
zeugt wird, dadurch erhalten werden, dass ein Energieaus
wahlschlitz in die optische Achse eingesetzt wird. Wenn eine
Betrachtung unter Erhöhung der Beschleunigungsspannung des
einfallenden Elektronenstrahls um ∂V erfolgt, laufen Elek
tronen, die in einer Probe die Energie ∂E = e.∂V verloren haben,
durch das Energiefilter, und dann laufen sie durch den Ener
gieauswahlschlitz. Daher kann ein Energiefilterbild, das
durch Elektronen erzeugt wurde, die die Energie ∂E verloren
haben, dadurch erhalten werden, dass die Energie ∂E erhöht
wird, wenn das Bild aus Elektronen mit den Verlust Null er
zeugt wird.
Elektronen, die durch die Probe hindurchlaufen, verlieren
Energie durch unelastische Streuung, wie Plasmonverluste oder
Energieverluste, und sie zeigen Energiespektren. Unter die
sen Verlusten ist die Kernverlustenergie ein Wert, wie er
einen die Probe aufbauenden Element eigen ist, und ein Bild
von einem Transmissionselektronenmikroskop, wie es durch
Elektronen erhalten wird, die durch einen speziellen Ener
gieverlust beeinflusst sind, zeigt eine zweidimensionale
Verteilung, die dem die Probe aufbauenden Element ent
spricht. Jedoch erstrecken sich Energieverluste durch un
elastische Streuung über einen weiten Bereich, und Informa
tion zu anderen Elementen überlappt damit als Hintergrund.
Ein wahres Bild kann so lange nicht erhalten werden, wie
nicht der Hintergrund abgetrennt und beseitigt wird. Als
Verfahren zum Erhalten eines Bilds zur Verteilung eines spe
ziellen Elements durch Abtrennen und Entfernen des Hinter
grunds sind die folgenden drei vorgeschlagen worden.
Wie es in Fig. 2 dargestellt ist, ist das erste Verfahren
ein solches, das zwei Bilder verwendet, nämlich ein Energie
filterbild (Bild hinter einer Grenze) B, das dadurch erhal
ten wurde, dass ein Energiefenster in einem Bereich ein
schließlich der Kernverlustenergie angebracht wurde, sowie
ein Energiefilterbild (Bild vor einer Grenze) A, das dadurch
erhalten wurde, dass ein Energiefenster unmittelbar vor der
Kernverlustenergie angebracht wurde, um zu verhindern, dass
Kernverlust-Elektronen eintreten. Diese zwei Bilder A, B
werden anfangs unter Verwendung einer Kameravorrichtung, wie
einer Fernsehkamera in einen Computer eingegeben. Dann wird
dadurch, dass das Bild A vor der Grenze als Hintergrund im
Bild B hinter der Grenze angesehen wird und eine Bildsub
traktion dadurch ausgeführt wird und dadurch, dass das Bild A vor der
Grenze vom Bild B hinter der Grenze innerhalb des Computers
abgezogen wird, ein Bild zur zweidimensionalen Verteilung
eines speziellen Elements durch Abtrennen und Entfernen des
Hintergrunds erhalten.
Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, ist das zweite Verfahren
ein solches, das drei Bilder verwendet, nämlich zusätzlich
zu zwei Energiefilterbildern B und C + D, die den Bildern A
bzw. B beim ersten Verfahren entsprechen, ein Energiefilter
bild (Vor-Vor-Grenze-Bild) A, das durch ein Energiefenster
in einem Bereich erhalten wird, der keine Kernverlust-Elek
tronen enthält, wobei es sich um einen Energiebereich han
delt, der verschieden von denen beim ersten Verfahren ist.
Ähnlich wie beim ersten Verfahren werden zunächst diese drei
Bilder A, B und C + D unter Verwendung einer Kameravorrichtung
wie einer Fernsehkamera in einen Computer eingegeben. Eine
Änderung der Hintergrundintensität abhängig von einer Ener
gieänderung wird für alle Pixel aus dem Vor-Grenze-Bild B
und dem Vor-Vor-Grenze-Bild A unter Verwendung des Computers
erhalten, und für alle Pixel über das Bild wird die genaue
Hintergrundintensität C im Hinter-Grenze-Bild (C + D) berechnet.
Durch Abziehen der auf diese Weise erhaltenen Hinter
grundintensität C wird ein zweidimensionales Bild D zur Ver
teilung eines speziellen Elements durch Abtrennen und Ent
fernen des Hintergrunds erhalten.
Wie es in Fig. 4 dargestellt ist, ist das dritte Verfahren
ein solches, das die zwei selben Energiefilterbilder wie das
erste Verfahren verwendet, also das Hinter-Grenze-Bild B und
das Vor-Grenze-Bild A. Es kann angenommen werden, dass in
einem Bereich, in dem das spezielle Element nicht vorhanden
ist, die Bildintensität mit konstanter Rate abnimmt, wenn
die Kernverlustenergie variiert. Jedoch nimmt in einem Be
reich, in dem das spezielle Element existiert, das Verhält
nis der Bildintensitäten des Hinter-Grenze-Bilds und des
Vor-Grenze-Bilds um einen Wert zu, der vorhandenen Kernver
lust-Elektronen entspricht. Daher wird ein Bild zur zweidi
mensionalen Verteilung eines speziellen Elements dadurch er
halten, dass das Verhältnis der Bildintensitäten in jedem
Pixel zu allen Pixeln über das Bild berechnet wird und das
berechnete Verhältnis der Bildintensitäten als zweidimensio
nales Bild angezeigt wird.
Beim vorstehend angegebenen ersten Verfahren existiert eine
Differenz zwischen der zur Berechnung verwendeten Hinter
grundintensität und der tatsächlichen Hintergrundintensität.
Daher ist zwar der Berechnungsprozess einfach, jedoch be
steht ein Problem dahingehend, dass es dem Verfahren an
quantitativer Gültigkeit mangelt.
Andererseits kann beim zweiten Verfahren zwar der tatsächli
che Hintergrund unter Verwendung zweier Bilder genau erhal
ten werden, jedoch ist die Verarbeitungszeit lang, da drei
Bilder erforderlich sind und eine Berechnung für alle Pixel
über die Bilder ausgeführt wird. Es wurde darüber berichtet,
dass die Berechnung minimal ungefähr eine Minute benötigt
(Hiroji Kimoto, Tatsumi Hirano, Katsuhisa Usami, Shigeto
Isakozawa, Toshimutsu Taya: The Electron Microscope Society
of Japan, the 50th Scientific Conference Proceeding (1994)
76). Da die Reihe der Vorgänge viel Zeit benötigt, können
die Verarbeitungsergebnisse nicht während des Versuchs rück
gekoppelt werden.
Bein dritten Verfahren besteht der Vorteil, dass es einfach
ist, da nur zwei Bilder erforderlich sind, wie beim ersten
Verfahren, und dass das Verarbeitungsergebnis nicht durch
einen speziellen Kontrast wie einen Beugungskontrast beein
flusst werden kann, und es sind keine Störsignale aufgrund
einer fehlerhaften Verarbeitung des Hintergrunds vorhanden.
Jedoch existiert ein Problem dahingehend, dass nur eine qua
litative Bewertung möglich ist, da es an quantitativer Gül
tigkeit fehlt.
Obwohl das erste und das dritte Verfahren kurze Berechnungs
zeit im Vergleich zum zweiten Verfahren aufweisen, sind sie
bei einer Probe nur schwierig anzuwenden, bei der sich die
Elementverteilung mit der Zeit kontinuierlich ändert, oder
bei einer Probe, die sich allmählich verformt. Wenn Proben
eigenschaften driften, ist eine Berechnung wie ein Vorgang
des zusätzlichen Ausführens einer Positionierung erforder
lich. Ferner ist es aus Kostengesichtspunkten nachteilig,
einen Hochleistungscomputer verwenden zu müssen.
Die Position und die Breite des Energiefensters sind wesent
liche Faktoren betreffend die Bildqualität des endgültigen
Bilds und die Auswertung der quantitativen Gültigkeit eines
Bilds zur Elementverteilung, und sie müssen während des Ver
suchs auf die optimalen Bedingungen eingestellt werden. Wenn
eine Echtzeitverarbeitung unmöglich ist, kann die Einstel
lung der optimalen Bedingung nur von der Erfahrung der Be
dienperson abhängen, und sie ist schwierig. Ferner existiert
ein Problem dahingehend, das aufgrund von in einem Bild
enthaltenen Störsignalen eine Abweichung zwischen Pixeln
während der Berechnung des Hintergrunds auftritt, was das
S/R-Verhältnis verringert.
Ein Verfahren zum schnellen Anzeigen eines durch das obenge
nannte Verfahren erhaltenen Bilds ist im Dokument DE 195 46 780 A1
vorgeschlagen. Bei diesem Verfahren werden ein Hin
ter-Grenze-Bild und ein Vor-Grenze-Bild abwechselnd synchron
mit dem Bildaufzeichnungssignal einer Kameraeinrichtung wie
einer Fernsehkamera oder einer SSCCD(slow scan CCD)-Kamera
erhalten. Diese Bilder werden periodisch in zwei Vollbild
speicher eingespeichert. Eine Bildberechnung erfolgt für die
zwei Vollbildspeicher für jedes Pixel, jedoch wird das Be
rechnungsergebnis unmittelbar als neues Bildsignal ausgege
ben. Das erste oder das dritte Verfahren können abhängig da
von realisiert werden, dass ein Subtraktions- oder ein Divi
sionsprozess im Berechnungsprozess ausgewählt wird, und das
zweite Verfahren kann dadurch realisiert werden, dass die
Bildintensität mit einer vorbestimmten Konstante multipli
ziert wird und ein Substraktionsprozess ausgeführt wird.
Durch dieses Verfahren kann die zweidimensionale Verteilung
eines speziellen Elements in Echtzeit betrachtet werden, da
die Prozesse periodisch und kontinuierlich ausgeführt werden
können.
Die Technik hinsichtlich einer schnellen Anzeige der Ele
mentverteilung ist eine der Verfahren zum überwinden der
obengenannten Probleme, jedoch ist es erforderlich, eine
Einrichtung zum Variieren der Bildintensität mit konstantem
Verhältnis einzubeziehen. Ferner wird die Bildverarbeitung
auch für ausgelesene Störsignale ausgeführt werden, wobei
für alle Bilder eine gemeinsame mittlere Intensität vorlie
gen muss, was ein Grund für die Erzeugung von Bildstörungen
ist. Die ausgelesenen Störsignale weisen beim Aufnehmen
eines Bilds weder abhängig von der Helligkeit eines Bilds
noch von der Belichtungszeit einen konstanten Störsignalpe
gel auf. Daher verbleibt ein Störsignalpegel, der bei der
Zwischenbildberechnung beseitigt werden muss, insbesondere
dann, wenn eine Subtraktion zwischen Bildern ausgeführt
wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und
eine Vorrichtung zum Betrachten des Bilds der Verteilung
eines speziellen Elements unter Verwendung eines Transmissi
onselektronenmikroskops mit Energiefilter zu schaffen.
Diese Aufgabe ist hinsichtlich des Verfahrens durch Anspruch
1 und hinsichtlich der Vorrichtung durch die unabhängigen
Ansprüche 4 und 5 gelöst.
Gemäß der Erfindung kann die vorstehend genannte Aufgabe da
durch gelöst werden, dass für die folgenden Maßnahmen ge
sorgt wird:
- 1. Die Belichtungszeit wird geändert, wenn ein Hinter-Gren ze-Bild und ein Vor-Grenze-Bild aufgenommen werden. Die Be lichtungszeit wird so bestimmt, dass die Intensität des Vor- Grenze-Bilds und die Intensität des Hintergrundbilds im Hin ter-Grenze-Bild dasselbe Niveau aufweisen. Durch diese Vor gehensweise wird das Vor-Grenze-Bild das Hintergrundbild des Hinter-Grenze-Bilds, und demgemäß kann ein Bild zur quanti tativen Elementverteilung dadurch erhalten werden, dass nur eine Subtraktion zwischen Bildern ausgeführt wird. Ferner ist eine Differenz ausgelesener Störsignale zwischen den Bildern beseitigt, da die Hintergrundberechnung auf Grundla ge des obengenannten zweiten Verfahrens im Schritt des Er haltens der Bilder bereits abgeschlossen ist.
- 2. Das Hinter-Grenze-Bild und das Vor-Grenze-Bild werden wiederholt aufgenommen, während die Belichtungszeit perio disch geändert wird, und die durch Subtrahieren des Vor- Grenze-Bilds vom Hinter-Grenze-Bild erhaltene Intensität wird als Bildsignal ausgegeben. Durch diese Vorgehensweise können im zeitlichen Verlauf Bilder zur Elementverteilung erhalten werden, und die Elementverteilung kann selbst dann betrachtet werden, wenn sie sich kontinuierlich ändert oder zeitlich driftet. Da die Position und die Breite des Ener giefensters wie auch die Position einer Probe eingestellt werden, während das Bild der Elementverteilung im zeitlichen Verlauf betrachtet wird, können die Position und die Breite des Energiefensters leicht auf die optimalen Bedingungen eingestellt werden. Daher kann der obengenannte Vorgang so wohl im Fall des einzelnen Ausgebens der erhaltenen Bildsi gnale als auch im Fall des Ausgebens der Bilder mit jeweils einen bestimmten Intervall erzielt werden.
Unter Verwendung des erfindungsgemäßen Transmissionselektro
nenmikroskops kann so eine zweidimensionale Verteilung eines
speziellen Elements ohne Hintergrund erhalten werden.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von durch Figuren ver
anschaulichten Ausführungsbeispielen näher beschrieben.
Fig. 1 ist ein Blockdiagramm eines erfindungsgemäßen Trans
missionselektronenmikroskops.
Fig. 2, 3 und 4 sind Ansichten zum Erläutern eines Berech
nungsverfahrens für ein Bild zur Verteilung eines speziellen
Elements gemäß einem ersten, zweiten bzw. dritten Verfahren.
Fig. 5 ist ein Blockdiagramm eines Transmissionselektronen
mikroskops zum Ausführen einer Betrachtung in Echtzeit.
Fig. 6 ist ein zeitbezogenes Diagramm, das den Prozessablauf
für Betrachtung in Echtzeit zeigt.
Das in Fig. 1 durch Blöcke veranschaulichte erfindungsgemäße
Transmissionselektronenmikroskop 1 verfügt über ein Energie
filter. Ein von einer Elektronenkanone 2 emittierter Elek
tronenstrahl wird durch eine in einer Hochspannungs-Erzeu
gungseinrichtung 16 erzeugte Hochspannung beschleunigt und
durch ein elektronenoptisches Bestrahlungssystem 3 auf eine
Probe 4 gestrahlt. Der größte Teil des Elektronenstrahls
läuft ohne Energieverlust durch die Probe 4, jedoch wird ein
Teil des Elektronenstrahls, der Energie durch unelastische
Streuung an einem die Probe auf bauenden Element verloren
hat, durch ein Energiefilter 6 abgetrennt, nachdem ein opti
sches Bilderzeugungssystem 5 durchlaufen wurde, um ein Ener
giespektrum auf einem Energieauswahlschlitz 17 auszubilden.
Durch Einstellen des Transmissionselektronenmikroskops 1 in
solcher Weise, dass durch den Energieauswahlschlitz 17 nur
Elektronen laufen können, die den Verlust Null aufweisen,
kann durch ein abschließendes Bilderzeugungssystem 7 ein
Bild aus Elektronen mit dem Verlust Null erzeugt und durch
eine Kameravorrichtung 8, wie eine Fernsehkamera betrachtet
werden.
Wenn die Beschleunigungsspannung unter Verwendung einer Be
schleunigungsspannungs-Steuereinheit 13 um ∂V erhöht wird,
durchlaufen Elektronen, die in der Probe 4 die Energie ∂E
verloren haben, durch den Energieauswahlschlitz 17, nachdem
eine energiemäßige Abtrennung durch das Energiefilter 6 er
folgte. Daher kann in der Kameraeinheit 8 ein Energiefilter
bild betrachtet werden, das aus Elektronen erhalten wurde,
die die Energie ∂E verloren haben.
Eine Kamerasteuerung 12 kann die Belichtungszeit t der Kame
ravorrichtung 8 steuern. Die Steuerung der Belichtungszeit t
kann unter Verwendung einer Elektronenstrahlblende 18 oder
durch direktes Steuern der Ladungssammelzeit der Kamera aus
geführt werden. Ein von der Kameravorrichtung 8 erhaltenes
Bildsignal 9 wird in einen Speicher eines Steuerungscompu
ters 20 eingespeichert. Dieser Steuerungscomputer 20 über
trägt über die Kamerasteuerung 12 ein Vollbildsignal 19 an
die Beschleunigungsspannungs-Steuereinheit 13, um die Ver
lustenergie einzustellen. Es werden ein Hinter-Grenze-Bild,
das Elektronen mit Kernverlusten gemäß dem zu ermittelnden
Element enthält, und ein Vor-Grenze-Bild, unmittelbar vor
der Kernverlustenergie, aufgenommen, und durch den Steue
rungscomputer 20 wird eine Bildberechnung ausgeführt, und
dann wird auf einem CRT-Monitor 15 ein Bild zur Elementver
teilung angezeigt.
Die Anzeige des Bilds der Verteilung des zu betrachtenden
Elements erfolgt gemäß den folgenden Schritten. Die Kernver
lustenergie eines Zielelements sei mit Ec bezeichnet, und
die Breite des Energieauswahlschlitzes sei ΔE; dann kann
durch Erhöhen der Beschleunigungsspannung um Vc ein Hinter-
Grenze-Bild erhalten werden, das Elektronen mit Kernverlus
ten enthält. Auf ähnliche Weise kann ein Vor-Grenze-Bild da
durch erhalten werden, dass die Beschleunigungsspannung um
Vc - ΔV = (Ec - ΔE)/e erhöht wird, und ein Vor-Vor-Grenze-Bild kann da
durch erhalten werden, dass die Beschleunigungsspannung um
Vc - 2ΔV = (Ec - 2ΔE)/e erhöht wird.
Zunächst werden ein Vor-Grenze-Bild und ein Vor-Vor-Grenze-
Bild mit derselben Belichtungszeit aufgenommen, und es wird
das Intensitätsverhältnis R des Vor-Grenze-Bilds zum Vor-
Vor-Grenze-Bild berechnet. Da das Vor-Vor-Grenze-Bild im
allgemeinen heller als das Vor-Grenze-Bild ist, gilt R < 1.
Als nächstes wird ein Hinter-Grenze-Bild mit einer Belich
tungszeit tpre aufgenommen, und ein Vor-Grenze-Bild wird mit
der Belichtungszeit R × tpre aufgenommen. Die Intensität des
auf diese Weise erhaltenen Vor-Grenze-Bilds ist der Intensi
tät des Hintergrunds im Hinter-Grenze-Bild gleich. Daher
kann das Bild zur Verteilung des Zielements dadurch erhalten
werden, dass einfach eine Bildsubtraktion des Vor-Grenze-
Bilds vom Hinter-Grenze-Bild ausgeführt wird.
Dieses Verfahren kann zum schnellen Erhalten eines Bilds der
Elementverteilung angewandt werden. Beim obengenannten, in
Dokument DE 195 46 780 A1 offenbarten Verfahren wird die Bild
intensität des Vor-Grenze-Bilds unter Verwendung einer elek
trischen Schaltung geschwächt. Da jedoch derselbe Effekt
durch Steuerung der Belichtungszeit gemäß der Erfindung er
zielt werden kann, kann das erfindungsgemäße Verfahren
leicht bei einer Betrachtung in Echtzeit angewandt werden.
Fig. 5 ist ein Blockdiagramm, das ein Echtzeit-Betrachtungs
verfahren dieses Typs veranschaulicht. In Fig. 5 sind die
selben Funktionsteile wie in Fig. 1 durch dieselben Bezugs
zeichen wie dort gekennzeichnet, und hier wird eine zugehö
rige detaillierte Erläuterung weggelassen. Unter Verwendung
eines Synchronisiersignals, wie es in einem Steuersignal
oder einem Bildsignal 9 von der Kameravorrichtung 8 enthal
ten ist, können Bilder vollbildweise durch eine Vollbild
speicher-Auswähleinrichtung 10 abgeteilt werden. Die abge
teilten Energiefilterbilder werden auf Grundlage von Voll
bildern sequentiell in mehrere Vollbildspeicher 11a, im
eingespeichert. Obwohl in Fig. 5 zwei Vollbildspeicher dar
gestellt sind, können drei oder noch mehr Vollbildspeicher
vorhanden sein. Eine Vollbildspeicher-Auswähleinrichtung
wählt periodisch ein Vollbild aus den Vollbildspeichern 11a,
11b mit mehreren Vollbildern unter Verwendung des obenge
nannten Synchronisiersignals aus, um ein Energiefilterbild
einzuspeichern.
Ferner steuert die Vollbildspeicher-Auswähleinrichtung
auch die Kamerasteuerung bzw. Belichtungszeit-Steuereinheit 12 und die Beschleu
nigungsspannungs-Steuereinheit 13, und sie erhöht die Be
schleunigungsspannung um ΔV1, und sie stellt die Belichtungszeit
auf t1 ein, wenn der Vollbildspeicher 11a ausge
wählt wird. Dagegen erhöht sie die Beschleunigungsspannung
um ∂V2, und sie stellt die Belichtungszeit auf t2 ein, wenn
der Vollbildspeicher 11b ausgewählt wird. Daher werden in
den Vollbildspeicher 11a Filterbilder entsprechend einem
Energieverlust von ∂E1 eingegeben, während in den Vollbild
speicher 11b Filterbilder entsprechend einem Energieverlust
von ∂E2 eingegeben werden. Da die Bildintensität proportio
nal zur Belichtungszeit ist, kann das Intensitätsverhältnis
der beiden Bilder dadurch auf einen beliebigen Wert einge
stellt werden, dass die Belichtungszeiten t1 und t2 geeignet
eingestellt werden. Eine Hochgeschwindigkeitseinstellung der
Beschleunigungsspannung sowie eine Hochgeschwindigkeitsein
stellung der Belichtungszeit können unter Verwendung wohlbe
kannter Einstelleinrichtungen ausgeführt werden. Die Ein
stellung der Belichtungszeit kann dadurch vorgenommen wer
den, dass die Verschlussgeschwindigkeit des Elektronen
strahlverschlusses 18 des Transmissionselektronenmikroskops
1 variiert wird, oder sie kann dadurch ausgeführt werden,
dass die Bilderfassungszeit der Kameravorrichtung 8 variiert
wird. Der Bildsubtrahierer 14 gibt kontinuierlich das Be
rechnungsergebnis aus der Subtraktion eines Bilds aus dem
Bildspeicher 11b von einem Bild aus dem Bildspeicher 11a an
den Monitor 15 aus.
Nachfolgend wird unter Bezugnahme auf Fig. 5 und das in Fig.
6 dargestellte Zeitdiagramm ein Ablauf zum Betrachten der
Verteilung eines eine Probe aufbauenden Elements mit der
Kernverlustenergie ΔE erläutert. Hierbei ist angenommen,
dass als Kameravorrichtung eine Fernsehkamera vom NTSC-Typ
verwendet wird und die Bilderfassungszeit dadurch einge
stellt wird, dass die Öffnungszeit des Elektronenstrahlver
schlusses 18 eingestellt wird.
- 1. Die Belichtungszeit-Steuereinheit 12 stellt die Bilderfassungszeiten t1 und t2 der Kameravorrichtung 8 periodisch dadurch ein, dass sie den Elektronenstrahlverschluss 18 ein stellt. Die Vollbildspeicher-Auswähleinrichtung 10 teilt die von der Kameravorrichtung 8 kontinuierlich ausgegebenen Bildsignale 9 in jeweilige Vollbilder ab, und sie erzeugt ein Signal, das in einem geradzahligen Halbbild hohen Pegel aufweist. Dieses Signal wird als Halbbildsignal bezeichnet.
- 2. Die Breite des durch den Energieauswahlschlitz 17 einge stellten Energiefensters wird auf ΔE eingestellt. In diesem Schritt läuft ein Elektronenstrahl mit Energieverlusten von 0 (null) bis ΔE durch den Energieauswahlschlitz 17, und es kann ein Bild aus Elektronen mit dem Verlust Null betrachtet werden.
- 3. Die Beschleunigungsspannung wird synchron mit den Abfal len des Halbbildsignals moduliert. Die modulierten Spannun gen sind ∂V - ΔV und ∂V - 2ΔV. Diese Modulationen der Be schleunigungsspannung entsprechen ausgewählten Energiefens tern, entsprechend B (Vor-Grenze-Bild) und A (Vor-Vor-Gren ze-Bild), wie beim Betrachtungsverfahren zur Elementvertei lung gemäß dem zweiten bekannten Verfahren erläutert. Da je doch zwischen diesen Bildern eine Zeitverzögerung entspre chend der Ansammlungszeit liegt, wird die Modulation für je weils zwei Vollbilder ausgeführt.
- 4. Die Blöcke der Bilddaten der Bildsignale 9 werden ab wechselnd unter Verwendung der Vollbildspeicher-Auswählein richtung auf den ersten Vollbildspeicher 11a und den zweiten Vollbildspeicher 11b verteilt. In jeden der Speicher werden ein Vollbild unmittelbar nach dem Beenden des Ausfüh rens der Modulation für die Beschleunigungsspannung sowie Bilddaten für das folgende, zweite Vollbild eingegeben. Bil der für Energieverluste von ∂E - ΔE bis ∂E (Vor-Grenze-Bil der) werden in den ersten Vollbildspeicher 11a eingegeben, und Bilder zu Energieverlusten von ∂E - 2ΔE bis ∂E - ΔE (Vor-Vor-Grenze-Bilder) werden in den zweiten Vollbildspei cher 11b eingegeben.
- 5. Da zwischen dem Vor-Grenze-Bild und dem Vor-Vor-Grenze- Bild eine Intensitätsdifferenz besteht, verbleibt im vom Bildsubtrahierer 14 ausgegebenen Subtraktionsbild (B-A) ein Kontrast, der der Intensitätsdifferenz zwischen ihnen ent spricht. Die Belichtungszeit-Steuereinheit 12 steuert die Öffnungszeit des Elektronenstrahlverschlusses 18, und sie bestimmt die Bilderfassungszeiten t1 und t2, um den Kontrast zu beseitigen. Die zeitliche Einstellung des Öffnungs- und des Schließvorgangs des Elektronenstrahlverschlusses 18 wird so ausgeführt, wie es in Fig. 6 dargestellt ist. Durch die sen Vorgang wird die Intensität des Vor-Vor-Grenze-Bilds entsprechend dem Verhältnis R einer Vollbildrate (1/30 Se kunde) zur Öffnungszeit des Elektronenstrahlverschlusses ge schwächt, und die Änderung des Hintergrunds aufgrund der Energiedifferenz kann korrigiert werden. Der Wert des Ver hältnisses R kann wahlfrei zwischen 0 (null) und 1 (eins) eingestellt werden. Wenn R = 1 gilt, wird die Intensität des Vor-Vor-Grenze-Bilds nicht geschwächt.
- 6. Nachdem die Bilderfassungszeiten t1 und t2 auf diese Weise bestimmt wurden, wird die Beschleunigungsspannung des Elektronenmikroskops insgesamt um ΔV erhöht. Dann werden Bilder zu Energieverlusten ∂E bis ∂E + ΔE (Hinter-Grenze- Bilder) in den Vollbildspeicher 11a eingegeben, und Bilder zu Energieverlusten von ∂E - ΔE bis ∂E (Vor-Grenze-Bilder) werden in den Vollbildspeicher 11b eingegeben. Das Hinter- Grenze-Bild entspricht dem Bild (C + D) von Fig. 3. Da die Einstellung der Belichtungszeit durch den Elektronenstrahl verschluss 18 abgeschlossen ist, wird das in der Bildinten sität geschwächte Verlustbild B ein Bild, das dem genauen Hintergrund C des Verlustbilds (C + D) entspricht. Daher ist das vom Bildsubtrahierer 14 ausgegebene Subtraktionsbild (C + D - B) das Bild D der zweidimensionalen Verteilung des Zielelements gemäß dem obenbeschriebenen zweiten Verfahren.
Da alle 2 (zwei) Vollbildraten (2/30 Sekunden) Bilder in die
Vollbildspeicher 11a und 11b eingegeben werden, werden die
Subtraktionsbilder alle 2/30 Sekunden auf dem Monitor 15
ausgegeben, und so kann die zweidimensionale Verteilung des
Zielelements in Echtzeit betrachtet werden. Daher kann die
ses Betrachtungsverfahren bei der Betrachtung einer Probe
angewandt werden, bei der sich die Elementverteilung zeit
lich dauernd ändert, oder bei einer Probe, die sich allmäh
lich verformt. Selbst wenn Probeneigenschaften driften, ist
es nicht erforderlich, bei diesem Prozess eine zusätzliche
Positionierung auszuführen.
Eine Slow-scan-CCD-Kamera verfügt über mehr Pixel als eine
übliche Fernsehkamera, und sie weist einen großen Dynamik
bereich auf. Wenn eine Slow-scan-CCD-Kamera als Kameravor
richtung 8 gewählt wird, ist dies zur Betrachtung mittels
eines Elektronenmikroskops und zur digitalen Bildverarbei
tung wirkungsvoll. Die Belichtungszeit des Kameraelements
kann von einen Bruchteil einer Sekunde bis zu mehreren Se
kunden frei ausgewählt werden. Wenn bei der Erfindung eine
Slow-scan-CCD-Kamera verwendet wird, kann keine Echtzeitbe
trachtung wie in Fall der Verwendung einer üblichen Fernseh
kamera ausgeführt werden, jedoch ist die Verarbeitung inner
halb maximal einiger Sekunden abgeschlossen. Durch Verwenden
sowohl einer üblichen Fernsehkamera als auch einer Slow-
scan-CCD-Kamera ist es möglich, eine Einstellung, einen Pro
bensuchvorgang und ein Einstellen der optimalen Bedingungen
durch die übliche Fernsehkamera auszuführen, während Daten
zum Einspeichern durch die Slow-scan-CCD-Kamera erfolgt.
In Fall der Verwendung einer CCD als Kameravorrichtung 8
hängt die Wirkung der Verwendung nicht vom CCD-Typ ab.
D. h., dass sowohl im Fall eines CCD vom Zeilensprungtyp als
auch im Fall eines CCD vom Typ mit Vollbildübertragung die
selbe Wirkung erzielt werden kann. Dasselbe lässt sich dann
sagen, wenn als Kameravorrichtung eine Bildaufnahmeplatte
oder ein hochempfindlicher Photofilm verwendet wird. Die
Bildaufnahmeplatte eignet sich für Bildverarbeitung, da di
gitale Daten unmittelbar durch Bildaufnahme unter Verwendung
dieser Platte erhalten werden. Wenn Bilder unter Verwendung
von Photofilmen aufgenommen werden, können die Daten zur
Bildverarbeitung dadurch genutzt werden, dass sie mittels
eines Scanners digitalisiert werden.
Ferner werden beim Ausführungsbeispiel von Fig. 5 zwei Voll
bildspeicher 11a, 11b verwendet. Jedoch ist es nicht erfor
derlich, zwei Vollbildspeicher zu verwenden, sondern die
Erfindung kann unter Verwendung eines Speichers ausgeführt
werden. In diesem Fall wird eines der zwei zu vergleichenden
Bilder über den Vollbildspeicher in den Bildsubtrahierer 14
eingegeben, während das andere Bild unmittelbar von der Ka
meravorrichtung 8 in ihn eingegeben wird.
Das bei diesen Ausführungsbeispiel dargestellte Energiefil
ter 6 ist vom innerhalb der Säule befindlichen Typ, liegt
also innerhalb der Säule des Transmissionselektronenmikro
skops 1. Jedoch kann die Erfindung in einem Fall angewandt
werden, in dem ein Energiefilter verwendet wird, das an
einem Ort stromabwärts bezüglich der endgültigen Bildebene
des Transmissionselektronenmikroskops liegt.
Wie oben beschrieben, können durch die Erfindung die folgen
den Wirkungen erzielt werden:
- 1. In der Vergangenheit wurde ein Bild zu einer Elementver teilung durch Aufnehmen von drei Bildern erhalten, jedoch kann ein Bild zur quantitativen Verteilung eines Elements dadurch erhalten werden, dass nur eine Subtraktion zweier Bilder ausgeführt wird.
- 2. Da die Berechnung des Hintergrunds auf Grundlage des zweiten Verfahrens im Schritt des Erhaltens der Bilder voll zogen wird, ist eine Differenz ausgelesener Störsignale zwi schen Bildern beseitigt.
- 3. Die Erfindung kann bei Echtzeitbetrachtung angewandt werden, und Bilder zur Elementverteilung können im zeitli chen Verlauf erhalten werden. Daher kann die Elementvertei lung selbst dann klargestellt werden, wenn sie sich zeitlich kontinuierlich ändert oder driftet.
- 4. Da die Position und die Breite des Energiefensters ein gestellt werden können, während das Bild einer Energiever teilung betrachtet wird, ist es leicht, die optimalen Bedin gungen einzustellen.
Claims (8)
1. Verfahren zum Betrachten der Verteilung eines Elements,
um das Bild der Verteilung eines speziellen Elements zu er
halten, wozu eine Subtraktion zwischen Bildern ausgeführt
wird, nämlich einen Bild für einen Energiebereich, der Elek
tronen mit Kernverlusten enthält, und einem Bild für einen
Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten ent
hält, wie durch ein Transmissionselektronenmikroskop (1) mit
einem Energiefilter (6) aufgenommen, dadurch gekennzeichnet,
dass die Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich
ohne Elektronen mit Kernverlusten auf einen Wert eingestellt
wird, der kürzer ist als die Belichtungszeit für das Bild
für den Energiebereich, der Elektronen mit Kernverlusten
enthält.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
das Verhältnis der Belichtungszeit für das Bild für den
Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten ent
hält, zur Belichtungszeit für das Bild für den Energiebe
reich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, ungefähr
dem Kehrwert des Intensitätsverhältnisses der Intensität des
Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kern
verlusten enthält, zur Intensität des Bilds für den Energie
bereich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, ent
spricht.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
die Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich, der
Elektronen mit Kernverlusten enthält, ungefähr einem Wert
entspricht, der dadurch erhalten wird, dass die Belichtungs
zeit für das Bild für den Energiebereich, der keine Elektro
nen mit Kernverlusten enthält, mit dem Verhältnis der Inten
sität des Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen
mit Kernverlusten enthält, zur Intensität eines Bilds für
einen Energieverlustbereich unter dem Energiebereich, der
keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, multipliziert
wird.
4. Transmissionselektronenmikroskop (1) mit einer Elektro
nenkanone (2); einem elektronenoptischen Bestrahlungssystem
(3) zum Aufstrahlen eines von der Elektronenkanone emittier
ten Elektronenstrahls auf eine Probe (4); einem optischen
Bilderzeugungssystem (5) zur Erzeugung des Bilds des durch
die Probe gestrahlten Elektronenstrahls; einem Energiefilter
(6) zum Zerlegen des Elektronenstrahls nach dem Durchstrah
len der Probe in ein Energiespektrum; einer Einrichtung
(17) zum Auswählen eines Elektronenstrahls mit einer spe
ziellen Energie im Energiespektrum des Elektronenstrahls;
einer Kameraeinrichtung (8) zum Aufnehmen des Bilds des Elek
tronenstrahls mit ausgewählter Energie; und einer Kamera
steuereinrichtung (12) zum Steuern der Belichtungszeit
der Kameraeinrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die
Kamerasteuereinrichtung die Belichtungszeit für ein Bild für
einen Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten
enthält, auf einen Wert einstellt, der kürzer als die Be
lichtungszeit für ein Bild für einen Energiebereich ist, der
Elektronen mit Kernverlusten enthält.
5. Transmissionselektronenmikroskop (1) mit einer Elektro
nenkanone (2); einem elektronenoptischen Bestrahlungssystem
(3) zum Aufstrahlen eines von der Elektronenkanone emittier
ten Elektronenstrahls auf eine Probe (4); einem optischen
Bilderzeugungssystem (5) zur Erzeugung des Bilds des durch
die Probe gestrahlten Elektronenstrahls; einem Energiefilter
(6) zum Zerlegen des Elektronenstrahls nach dem Durchstrah
len der Probe in ein Energiespektrum; einer Einrichtung
(17) zum Auswählen eines Elektronenstrahls mit einer spe
ziellen Energie im Energiespektrum des Elektronenstrahls;
einer Kameraeinrichtung (8) zum Aufnehmen des Bilds des Elektronenstrahls
mit ausgewählter Energie; und einer Kamera
steuereinrichtung (12) zum Steuern der Belichtungszeit
der Kameraeinrichtung, gekennzeichnet durch:
mehrere Speicherbereiche (11a, 11b) zum Einspeichern von hinsichtlich der Energie ausgewählten, von der Kameraein richtung aufgenommenen Bildern;
eine Speicherbereich-Auswähleinrichtung zum periodi schen Auswählen der mehreren Speicherbereiche und zum Ein speichern von durch die Kameraeinrichtung (8) aufgenommenen Bil dern in die ausgewählten Speicherbereiche;
eine Beschleunigungsspannungs-Steuereinrichtung (13) zum Ändern der Beschleunigungsspannung des Elektronenstrahls synchron mit dem Auswählen der Speicherbereiche durch die Speicherbereich-Auswahleinrichtung;
eine Kamerasteuereinrichtung (12) zum Ändern der Belichtungszeit der Kameraeinrichtung (8) synchron mit dem Auswählen der Speicherbereiche durch die Speicherbereich- Auswähleinrichtung; und
einer Ausgabeeinrichtung zum vergleichenden Berechnen der in jedem der Bildbereiche abgespeicherten Bilder für jedes entsprechende Pixel und zum Ausgeben der Differenzen der Bildintensitäten als Bildsignal.
mehrere Speicherbereiche (11a, 11b) zum Einspeichern von hinsichtlich der Energie ausgewählten, von der Kameraein richtung aufgenommenen Bildern;
eine Speicherbereich-Auswähleinrichtung zum periodi schen Auswählen der mehreren Speicherbereiche und zum Ein speichern von durch die Kameraeinrichtung (8) aufgenommenen Bil dern in die ausgewählten Speicherbereiche;
eine Beschleunigungsspannungs-Steuereinrichtung (13) zum Ändern der Beschleunigungsspannung des Elektronenstrahls synchron mit dem Auswählen der Speicherbereiche durch die Speicherbereich-Auswahleinrichtung;
eine Kamerasteuereinrichtung (12) zum Ändern der Belichtungszeit der Kameraeinrichtung (8) synchron mit dem Auswählen der Speicherbereiche durch die Speicherbereich- Auswähleinrichtung; und
einer Ausgabeeinrichtung zum vergleichenden Berechnen der in jedem der Bildbereiche abgespeicherten Bilder für jedes entsprechende Pixel und zum Ausgeben der Differenzen der Bildintensitäten als Bildsignal.
6. Transmissionselektronenmikroskop nach Anspruch 5, da
durch gekennzeichnet, dass das von der Ausgabeeinrichtung
ausgegebene Bildsignal dem Bild der zweidimensionalen Ver
teilung eines speziellen Elements entspricht, aus dem der
Hintergrund entfernt ist.
7. Transmissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprü
che 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass
die in den mehreren Speicherbereichen (11a, 11b) gespei cherten Bilder solche eines Energiebereichs ohne Elektronen mit Kernverlusten sowie solche eines Energiebereichs mit Elektronen mit Kernverlusten sind; und
die Kamerasteuereinrichtung (12) das Verhält nis aus der Belichtungszeit für das Bild für den Energiebe reich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, zur Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, ungefähr auf den Kehr wert des Intensitätsverhältnisses der Intensität des Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlus ten enthält, zur Intensität des Bilds für den Energiebe reich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, einstellt.
die in den mehreren Speicherbereichen (11a, 11b) gespei cherten Bilder solche eines Energiebereichs ohne Elektronen mit Kernverlusten sowie solche eines Energiebereichs mit Elektronen mit Kernverlusten sind; und
die Kamerasteuereinrichtung (12) das Verhält nis aus der Belichtungszeit für das Bild für den Energiebe reich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, zur Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, ungefähr auf den Kehr wert des Intensitätsverhältnisses der Intensität des Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlus ten enthält, zur Intensität des Bilds für den Energiebe reich, der Elektronen mit Kernverlusten enthält, einstellt.
8. Transmissionselektronenmikroskop nach einem der Ansprü
che 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass
die in den mehreren Speicherbereichen (11a, 11b) gespei cherten Bilder solche eines Energiebereichs ohne Elektronen mit Kernverlusten sowie solche eines Energiebereichs mit Elektronen mit Kernverlusten sind; und
die Kamerasteuereinrichtung (12), die Belich tungszeit für das Bild für den Energiebereich, der Elektro nen mit Kernverlusten enthält, ungefähr auf einen Wert ein stellt, der dadurch erhalten wird, dass die Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, mit dem Verhältnis aus der Inten sität des Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, zur Intensität eines Bilds für einen Energieverlustbereich unter dem Energiebereich, der keine Elektronen mit Energieverlusten enthält, multipli ziert wird.
die in den mehreren Speicherbereichen (11a, 11b) gespei cherten Bilder solche eines Energiebereichs ohne Elektronen mit Kernverlusten sowie solche eines Energiebereichs mit Elektronen mit Kernverlusten sind; und
die Kamerasteuereinrichtung (12), die Belich tungszeit für das Bild für den Energiebereich, der Elektro nen mit Kernverlusten enthält, ungefähr auf einen Wert ein stellt, der dadurch erhalten wird, dass die Belichtungszeit für das Bild für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, mit dem Verhältnis aus der Inten sität des Bilds für den Energiebereich, der keine Elektronen mit Kernverlusten enthält, zur Intensität eines Bilds für einen Energieverlustbereich unter dem Energiebereich, der keine Elektronen mit Energieverlusten enthält, multipli ziert wird.
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DE19811395A1 (de) | 1998-03-16 | 1999-09-23 | Deutsches Krebsforsch | Verfahren zur Kontrastverstärkung für ein Transmissionselektronenmikroskop |
US6289235B1 (en) * | 1998-03-05 | 2001-09-11 | Wake Forest University | Method and system for creating three-dimensional images using tomosynthetic computed tomography |
US6744268B2 (en) * | 1998-08-27 | 2004-06-01 | The Micromanipulator Company, Inc. | High resolution analytical probe station |
JP4449573B2 (ja) * | 1999-01-04 | 2010-04-14 | 株式会社日立製作所 | 元素マッピング装置,走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法 |
JP3687541B2 (ja) * | 1999-01-04 | 2005-08-24 | 株式会社日立製作所 | 元素マッピング装置、走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法 |
JP3721287B2 (ja) * | 1999-09-01 | 2005-11-30 | 日本電子株式会社 | エネルギ選択スリット幅設定装置 |
JP4045058B2 (ja) * | 1999-11-22 | 2008-02-13 | 株式会社日立製作所 | 多重荷電粒子検出器、及びそれを用いた走査透過電子顕微鏡 |
JP4006165B2 (ja) * | 2000-04-21 | 2007-11-14 | 株式会社日立製作所 | 元素分析装置及び走査透過型電子顕微鏡並びに元素分析方法 |
WO2003038418A1 (fr) | 2001-11-02 | 2003-05-08 | Hitachi, Ltd. | Dispositif d'analyses d'elements, microscope electronique a emission par balayage et procede d'analyses d'elements |
JP3789104B2 (ja) * | 2002-05-13 | 2006-06-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 元素分布観察方法及び装置 |
US7157720B2 (en) * | 2003-08-01 | 2007-01-02 | Ropintassco Holdings, L.P. | Multi-mode charged particle beam device |
FR2874124B1 (fr) * | 2004-08-04 | 2006-10-13 | Centre Nat Rech Scient Cnrse | Dispositif pour l'acquisition d'images et/ou de spectres de pertes d'energie |
WO2008099501A1 (ja) * | 2007-02-16 | 2008-08-21 | Fujitsu Limited | 電子顕微鏡及び観察方法 |
DE102009055271A1 (de) * | 2009-12-23 | 2011-06-30 | Carl Zeiss NTS GmbH, 73447 | Verfahren zur Erzeugung einer Darstellung eines Objekts mittels eines Teilchenstrahls sowie Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens |
JP2012028105A (ja) * | 2010-07-22 | 2012-02-09 | Jeol Ltd | 分析電子顕微鏡のシャッタ機構 |
KR101369670B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2014-03-06 | (주)오로스 테크놀로지 | 주사 전자 현미경 |
JP2016091814A (ja) * | 2014-11-05 | 2016-05-23 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡および画像生成方法 |
US10366862B2 (en) * | 2015-09-21 | 2019-07-30 | KLA-Tencor Corporaton | Method and system for noise mitigation in a multi-beam scanning electron microscopy system |
JP2017143060A (ja) * | 2016-01-20 | 2017-08-17 | ガタン インコーポレイテッドGatan,Inc. | 直接検出センサを用いる電子エネルギー損失分光器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19546780A1 (de) * | 1994-12-16 | 1996-06-27 | Hitachi Ltd | Transmissionselektronenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Elementeverteilung unter Verwendung desselben |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3908124A (en) * | 1974-07-01 | 1975-09-23 | Us Energy | Phase contrast in high resolution electron microscopy |
JP3435949B2 (ja) * | 1994-12-16 | 2003-08-11 | 株式会社日立製作所 | 透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法 |
-
1997
- 1997-03-03 JP JP04820297A patent/JP3439614B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-02-24 NL NL1008401A patent/NL1008401C2/nl not_active IP Right Cessation
- 1998-02-25 US US09/030,477 patent/US5981948A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-03-02 DE DE19808768A patent/DE19808768C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19546780A1 (de) * | 1994-12-16 | 1996-06-27 | Hitachi Ltd | Transmissionselektronenmikroskop und Verfahren zum Untersuchen einer Elementeverteilung unter Verwendung desselben |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
The Electron Microscope Society of Japan - 50th Scient. Conference Proceed. (1994) S. 76 (Kimoto, H. et al) * |
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NL1008401C2 (nl) | 2002-09-24 |
US5981948A (en) | 1999-11-09 |
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