NL1008401A1 - Transmissie-elektronenmicroscoop en werkwijze voor het waarnemen van elementverdeling. - Google Patents

Transmissie-elektronenmicroscoop en werkwijze voor het waarnemen van elementverdeling.

Info

Publication number
NL1008401A1
NL1008401A1 NL1008401A NL1008401A NL1008401A1 NL 1008401 A1 NL1008401 A1 NL 1008401A1 NL 1008401 A NL1008401 A NL 1008401A NL 1008401 A NL1008401 A NL 1008401A NL 1008401 A1 NL1008401 A1 NL 1008401A1
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
electron microscope
transmission electron
element distribution
observing element
observing
Prior art date
Application number
NL1008401A
Other languages
English (en)
Other versions
NL1008401C2 (nl
Inventor
Yoshifumi Taniguchi
Shigeto Isakozawa
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL1008401A1 publication Critical patent/NL1008401A1/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL1008401C2 publication Critical patent/NL1008401C2/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/05—Arrangements for energy or mass analysis

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
NL1008401A 1997-03-03 1998-02-24 Transmissie-elektronenmicroscoop en werkwijze voor het waarnemen van elementverdeling. NL1008401C2 (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP04820297A JP3439614B2 (ja) 1997-03-03 1997-03-03 透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法
JP4820297 1997-03-03

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL1008401A1 true NL1008401A1 (nl) 1998-09-07
NL1008401C2 NL1008401C2 (nl) 2002-09-24

Family

ID=12796808

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL1008401A NL1008401C2 (nl) 1997-03-03 1998-02-24 Transmissie-elektronenmicroscoop en werkwijze voor het waarnemen van elementverdeling.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5981948A (nl)
JP (1) JP3439614B2 (nl)
DE (1) DE19808768C2 (nl)
NL (1) NL1008401C2 (nl)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6184524B1 (en) * 1996-08-07 2001-02-06 Gatan, Inc. Automated set up of an energy filtering transmission electron microscope
DE19811395A1 (de) 1998-03-16 1999-09-23 Deutsches Krebsforsch Verfahren zur Kontrastverstärkung für ein Transmissionselektronenmikroskop
US6289235B1 (en) * 1998-03-05 2001-09-11 Wake Forest University Method and system for creating three-dimensional images using tomosynthetic computed tomography
US6744268B2 (en) * 1998-08-27 2004-06-01 The Micromanipulator Company, Inc. High resolution analytical probe station
JP4449573B2 (ja) * 1999-01-04 2010-04-14 株式会社日立製作所 元素マッピング装置，走査透過型電子顕微鏡および元素マッピング方法
WO2000041206A1 (fr) * 1999-01-04 2000-07-13 Hitachi, Ltd. Dispositif de mappage d'elements, microscope electronique a transmission et a balayage, et procede associe
JP3721287B2 (ja) * 1999-09-01 2005-11-30 日本電子株式会社 エネルギ選択スリット幅設定装置
JP4045058B2 (ja) * 1999-11-22 2008-02-13 株式会社日立製作所 多重荷電粒子検出器、及びそれを用いた走査透過電子顕微鏡
JP4006165B2 (ja) * 2000-04-21 2007-11-14 株式会社日立製作所 元素分析装置及び走査透過型電子顕微鏡並びに元素分析方法
WO2003038418A1 (fr) 2001-11-02 2003-05-08 Hitachi, Ltd. Dispositif d'analyses d'elements, microscope electronique a emission par balayage et procede d'analyses d'elements
JP3789104B2 (ja) * 2002-05-13 2006-06-21 株式会社日立ハイテクノロジーズ 元素分布観察方法及び装置
US7157720B2 (en) * 2003-08-01 2007-01-02 Ropintassco Holdings, L.P. Multi-mode charged particle beam device
FR2874124B1 (fr) * 2004-08-04 2006-10-13 Centre Nat Rech Scient Cnrse Dispositif pour l'acquisition d'images et/ou de spectres de pertes d'energie
WO2008099501A1 (ja) * 2007-02-16 2008-08-21 Fujitsu Limited 電子顕微鏡及び観察方法
DE102009055271A1 (de) * 2009-12-23 2011-06-30 Carl Zeiss NTS GmbH, 73447 Verfahren zur Erzeugung einer Darstellung eines Objekts mittels eines Teilchenstrahls sowie Teilchenstrahlgerät zur Durchführung des Verfahrens
JP2012028105A (ja) * 2010-07-22 2012-02-09 Jeol Ltd 分析電子顕微鏡のシャッタ機構
KR101369670B1 (ko) * 2012-06-01 2014-03-06 (주)오로스 테크놀로지 주사 전자 현미경
JP2016091814A (ja) * 2014-11-05 2016-05-23 日本電子株式会社 電子顕微鏡および画像生成方法
US10366862B2 (en) * 2015-09-21 2019-07-30 KLA-Tencor Corporaton Method and system for noise mitigation in a multi-beam scanning electron microscopy system
CN106847659B (zh) * 2016-01-20 2019-10-11 加坦公司 使用直接检测传感器的电子能量损失光谱仪

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3908124A (en) * 1974-07-01 1975-09-23 Us Energy Phase contrast in high resolution electron microscopy
JP3435949B2 (ja) * 1994-12-16 2003-08-11 株式会社日立製作所 透過型電子顕微鏡及び元素分布観察方法
US5578823A (en) * 1994-12-16 1996-11-26 Hitachi, Ltd. Transmission electron microscope and method of observing element distribution by using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP3439614B2 (ja) 2003-08-25
NL1008401C2 (nl) 2002-09-24
JPH10246709A (ja) 1998-09-14
US5981948A (en) 1999-11-09
DE19808768A1 (de) 1998-09-10
DE19808768C2 (de) 2002-03-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL1008401A1 (nl) Transmissie-elektronenmicroscoop en werkwijze voor het waarnemen van elementverdeling.
NL1003644A1 (nl) Werkwijze en systeem voor het verschaffen van veilige edi over een open netwerk.
NL1009997A1 (nl) Systeem en werkwijze voor het uitvoeren van op beelden gebaseerde diagnose.
NL1001008C2 (nl) Bekleed substraat en werkwijze voor de vorming ervan.
NL1002372A1 (nl) Halfgeleider licht-emitterende inrichting en werkwijze voor het produceren van deze.
NL1013329A1 (nl) Werkwijze en stelsel voor het reguleren van het omschakelen van een verkeerslicht.
NL1009643A1 (nl) Werkwijze voor het wapenen van constructie-elementen.
AU2053900A (en) Soil amendment compositions and methods for using the same
AU4726397A (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
NL1005575A1 (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van polyolefinematerialen.
NL1000317C2 (nl) Werkwijze en inrichting voor het sorteren van batterijen.
NL1004953A1 (nl) Inrichting voor het geleiden van planten.
NL1010428A1 (nl) Werkwijze voor het verwijderen van graffiti.
NL1003345A1 (nl) Kleurenbeeldversterkerinrichting en werkwijze voor het vervaardigen daarvan.
NL1004808A1 (nl) Werkwijze en inrichting voor het verwerken van beelden.
EP1052687A4 (en) SOI SUBSTRATE AND RELATED MANUFACTURING PROCESS
AU4032197A (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
NL1003236A1 (nl) Werkwijze voor het recycleren van asfalt.
ID16858A (id) PROSES PEMBUATAN TERPOLIMER ETILENA SUATU-alpha-OLEFIN DAN DIENA.
NL1000399C2 (nl) Werkwijze en inrichting voor het behandelen van kanalen.
AU8750398A (en) Reagents for testing cleanness and methods for testing cleanness
AU4802199A (en) Semiconductor device and method for manufacturing the same
NL1005021A1 (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van kaarsen en wasachtige stof voor het vervaardigen van kaarsen.
NL1004986A1 (nl) Werkwijze voor het telen van seringen.
ID26230A (id) Turunan-turunan deoksiantrasiantrasiklin-13 dan proses untuk pembuatannya

Legal Events

Date Code Title Description
AD1A A request for search or an international type search has been filed
RD2N Patents in respect of which a decision has been taken or a report has been made (novelty report)

Effective date: 20020723

PD2B A search report has been drawn up
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 20150901