JP2017143060A - 直接検出センサを用いる電子エネルギー損失分光器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】直接検出センサ205と、高速シャッタ202と、センサプロセッサとを有し、センサプロセッサは個々のセンサ出力からの画像を結合し、センサからの2次元画像を1次元スペクトルに変換し、1次元スペクトルはコンピュータ207に出力され、高速シャッタの動作はセンサを画像化するタイミングと統合される。個々のセンサ出力に対応する画像の露光量の削減を可能にするように、シャッタは制御される。可能な最大露光量よりも少ない撮像により複数の画像は露光され、複数の画像は結合されて合成画像を形成する。異なる露光時間でセンサを露光することにより生成される画像により、複数の画像は構成されることができる。
【選択図】図2
Description
(1秒当たりのスペクトルに関する合計フレームレートの制限)
(線量率の制限)
(線量効率)
(2重EELS)
(複合露光モード制御部)
Claims (17)
- 電子スペクトルへの直接露光、及び、前記電子スペクトルの2次元画像への変換のために設けられる直接検出センサと、
センサプロセッサとを備え、
前記センサプロセッサは、前記2次元画像を1次元スペクトルに変換し、
前記1次元スペクトルはホストコンピュータに出力される
電子エネルギー損失分光器。 - 高速シャッタと
カメラ制御部とを更に備え、
前記高速シャッタの動作は、前記直接検出センサの読み出しタイミングと統合される
請求項1記載の電子エネルギー損失分光器。 - 個々の画像に関して、前記高速シャッタにより制御される露光量で前記電子スペクトルに前記直接検出センサにさらすことにより複数の画像を得るために前記カメラ制御部が設けられ、前記複数の画像は、合成画像を形成するために結合される
請求項2記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記複数の画像が、第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の画像と、前記第1露光時間とは異なる第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の追加の画像とを備えるように、前記複数の画像を取得するために、前記前記カメラ制御部が設けられる
請求項3記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記複数の画像を結合して1次元スペクトルを形成するために設けられたカメラプロセッサを更に備える
請求項4記載の電子エネルギー損失分光器。 - ドリフト管電圧を有するドリフト管を更に備え、
前記ドリフト管電圧の制御を、前記直接検出センサの前記読み出しタイミングと統合するために、前記カメラ制御部が設けられる
請求項2記載の電子エネルギー損失分光器。 - 前記高速シャッタの制御を、前記ドリフト管電圧の制御と統合するために、前記カメラ制御部が設けられる
請求項6記載の電子エネルギー損失分光器。 - 第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第1画像と、前記第1露光時間とは異なる第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第2画像とを備える、複数の画像を第1ドリフト管電圧で取得し、
前記第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第3画像と、前記第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第4画像とを備える、複数の画像を第2ドリフト管電圧で取得するために、
前記カメラ制御部が設けられる
請求項7記載の電子エネルギー損失分光器。 - 画素予告信号により制御される走査制御電子装置を更に備え、
前記画素予告信号の制御を前記直接検出センサの前記読み出しタイミングと統合するために、前記カメラ制御部が設けられる
請求項6記載の電子エネルギー損失分光器。 - 直接検出センサを電子スペクトルにさらし、
前記電子スペクトルを2次元画像に変換し、
前記2次元画像を1次元スペクトルに変換し、
前記1次元スペクトルをホストコンピュータに伝達する
電子エネルギー損失スペクトルを取得する方法。 - 更に、直接検出センサの読み出しタイミングを高速シャッタによる前記さらすことの制御と統合する
請求項10記載の方法。 - 更に、前記高速シャッタにより各露光量が制御されるように、前記電子スペクトルに前記直接検出センサをさらすことにより複数の画像を取得し、
前記複数の画像を結合して合成画像を形成する
請求項11記載の方法。 - 前記複数の画像が、第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の画像と、前記第1露光時間とは異なる第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の追加の画像とを備えるように、前記複数の画像が取得される
請求項12記載の方法。 - 更に、ドリフト管電圧の制御と前記直接検出センサの前記読み出しタイミングとを統合する
請求項11記載の方法。 - 更に、前記高速シャッタの制御と前記ドリフト管電圧の制御とを統合する
請求項14記載の方法。 - 更に、第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第1画像と、前記第1露光時間とは異なる第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第2画像とを備える、複数の画像を第1ドリフト管電圧で取得し、
前記第1露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第3画像と、前記第2露光時間で前記直接検出センサを露光することにより生成された少なくとも1枚の第4画像とを備える、複数の画像を第2ドリフト管電圧で取得する
請求項15記載の方法。 - 更に、画素予告信号の制御と、前記直接検出センサの前記読み出しタイミングとを統合する
請求項11記載の方法。
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