JP4474473B2 - 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 電子源
3 電子線
4 収束レンズ
5 試料
6 対物レンズ
7 結像レンズ系
8 電子分光器
9 蛍光板
10 磁場セクタ
11,12 多重極子レンズ
13 画像検出器
14 画像表示装置
15 スペクトル補正システム
16 中央制御装置
17 視野制限スリット
18 データ記憶装置
21 選択ボタン群
22 スペクトル相違点計算ボタン
23 スペクトル補正ボタン
24 スペクトル像
25 スペクトル選択領域ツール
26 相違点計算領域ツール
27 スペクトル取り込み開始ボタン
28 パラメータ入力図
29 スペクトル
41 基板
42 多層膜
Claims (8)
- 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法であって、
エネルギー損失量の軸と位置情報の軸で形成される二次元の基準スペクトル像を取得し、
前記基準スペクトル像内の基準位置のスペクトルと、基準位置と位置情報の異なる測定位置のスペクトルを比較し、前記スペクトル間の相違点に基づき補正情報を算出し、
分析対象の試料の電子エネルギー損失スペクトル像を取得し、
前記分析対象の試料の電子エネルギー損失スペクトル像の各位置情報ごとのスペクトルを前記各位置情報ごとに算出された補正情報に応じて補正することを特徴とする電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法。 - 請求項1に記載の電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法において、
前記基準スペクトル像は、ゼロロススペクトル像、または一種の組成よりなる参照試料より得られた電子エネルギー損失スペクトル像の少なくともいずれかであることを特徴とする電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法。 - 請求項1に記載の電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法において、
前記算出された補正情報を記憶装置に記憶させ、
前記記憶された補正情報に応じて電子エネルギー損失スペクトル像の各位置情報ごとのスペクトルを補正することを特徴とする電子エネルギー損失スペクトル像の補正方法。 - 少なくとも試料上の二領域の電子エネルギー損失スペクトルをそれぞれ補正する方法であって、
前記二の領域のそれぞれのゼロロススペクトル、または、前記二の領域で同じ組成を有する参照試料の電子エネルギー損失スペクトルを基準スペクトルとして取得し、
前記取得された二の基準スペクトルを比較して各領域のスペクトルを補正する補正情報を算出し、
分析対象試料について、前記二の領域のうちの少なくともいずれかの領域の電子エネルギー損失スペクトルを取得し、
前記各領域の補正情報に基き前記分析対象試料の電子エネルギー損失スペクトルを補正することを特徴とする電子エネルギー損失スペクトル補正方法。 - 電子線を放射する電子銃と、前記電子銃から放射された電子線を収束させる収束レンズ群と、試料を透過した電子線を結像させる結像レンズ群と、結像させた画像を検出する画像検出器と、前記画像検出器により検出された画像を表示する画像表示装置と、前記試料の観察範囲を選択する視野制限スリットと、前記試料を透過した電子線を該電子線の有するエネルギー量により分光する電子分光器と、を備えた透過型電子顕微鏡において、
該電子分光器は、エネルギー分散方向およびエネルギー分散方向と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力する電子分光器であり、
前記透過型電子顕微鏡は、スペクトル補正システムと、補正されたスペクトルを記憶するデータ記憶装置とを有し、
前記スペクトル補正システムは、前記透過型電子顕微鏡で取得した基準スペクトル像内の基準位置のスペクトルと基準位置以外の各測定位置より得られるスペクトルの相違点を算出し、前記算出された相違点に基き前記透過型電子顕微鏡で取得した分析対象試料のスペクトル像の各測定位置より得られるスペクトルを補正することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項5に記載の透過型電子顕微鏡において、
前記基準スペクトル像は、ゼロロススペクトル像または一種の組成よりなる参照試料より得られた電子エネルギー損失スペクトル像であることを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項5に記載された透過型電子顕微鏡であって、
前記透過型電子顕微鏡は、前記スペクトル補正システムによる分析対象試料のスペクトルの補正を開始するスペクトル相違点計算ボタンを有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項5に記載された透過型電子顕微鏡であって、
前記基準スペクトル像内の基準位置を任意に設定可能なスペクトル領域選択ツールを有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。
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