JP5836171B2 - 透過型電子顕微鏡の調整方法 - Google Patents
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Description
前記モノクロメータは、電子線を運動エネルギーに応じて分散させる第1のエネルギーフィルタと、エネルギー分散面上に配置されたエネルギー選択スリットと、前記エネルギー選択スリットを透過した電子線のエネルギー分散をキャンセルする第2のエネルギーフィルタとを含み、
前記モノクロメータの後段側に設けられた絞りによって形成される電子線の干渉縞を含む透過電子顕微鏡像を取得する干渉縞画像取得手順と、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面と色消し面とを一致させる調整を行う調整手順とを含む。
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータの前段に設けられた静電レンズの強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行ってもよい。
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記第1及び第2のエネルギーフィルタの少なくとも一方の電磁場の強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の色消し面を収束面に一致させる調整を行ってもよい。
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータにおいて発生させる非点を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行ってもよい。
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータの前段に設けられた磁界型レンズの強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行ってもよい。
前記絞りは、集束レンズ絞りであってもよい。
図1に、本実施形態に係る電子顕微鏡の構成の一例を示す。ここでは、電子顕微鏡が、透過型電子顕微鏡(TEM)の構成を有する場合について説明するが、電子顕微鏡は、走査透過型電子顕微鏡(STEM)の構成を有していてもよい。なお本実施形態の、電子顕微鏡は図1の構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。
本実施形態の電子顕微鏡の調整方法では、集束レンズ絞り35によって形成される電子線の干渉縞を含む透過電子顕微鏡像を取得し、取得した透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布を観察することで、モノクロメータ20を出射した電子線の収束面と色消し面(アクロマティック面)とを一致させる調整を行う。なお、干渉縞を形成させる絞りは集束レンズ絞り35に限られず、モノクロメータ20の後段側に設けられた絞りであればよい。
なお、本発明は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (6)
- 電子線を単色化するモノクロメータを備えた透過型電子顕微鏡の調整方法であって、
前記モノクロメータは、電子線を運動エネルギーに応じて分散させる第1のエネルギーフィルタと、エネルギー分散面上に配置されたエネルギー選択スリットと、前記エネルギー選択スリットを透過した電子線のエネルギー分散をキャンセルする第2のエネルギーフィルタとを含み、
前記モノクロメータの後段側に設けられた絞りによって形成される電子線の干渉縞を含む透過電子顕微鏡像を取得する干渉縞画像取得手順と、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面と色消し面とを一致させる調整を行う調整手順とを含む、透過型電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項1において、
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータの前段に設けられた静電レンズの強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行う、透過型電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項1において、
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記第1及び第2のエネルギーフィルタの少なくとも一方の電磁場の強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の色消し面を収束面に一致させる調整を行う、透過型電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項1において、
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータにおいて発生させる非点を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行う、透過型電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項1において、
前記調整手順では、
前記透過電子顕微鏡像上の干渉縞の強度分布に基づいて、前記モノクロメータの前段に設けられた磁界型レンズの強度を調整することで、前記モノクロメータを出射した電子線の収束面を色消し面に一致させる調整を行う、透過型電子顕微鏡の調整方法。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記絞りは、集束レンズ絞りである、透過型電子顕微鏡の調整方法。
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