JP5934517B2 - 色収差補正装置及び色収差補正装置の制御方法 - Google Patents
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Description
四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f−Δ1、2f、f−Δ2であり、且つ、f>Δ1+Δ2>0である。
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、Δ=Δ1+Δ2が、次式
四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズと、補助レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、前記第1及び第2の伝達レンズが、前記補助レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記補助レンズ間の距離と、前記補助レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f、f、f、f−ΔSであり、且つ、f>ΔS>0である。
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、ΔSが、次式
前記色収差補正装置が、四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズと、補助レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、前記第1及び第2の伝達レンズが、前記補助レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記補助レンズ間の距離と、前記補助レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f、f、f、f−ΔSであり、
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、
前記補助レンズの励起強度を制御して、次式の条件を満たすように前記補助レンズの焦点距離fAを変更する。
図1に、第1の実施の形態に係る色収差補正装置の構成の一例を示す。ここでは、本実施形態の色収差補正装置を、透過型電子顕微鏡の結像系に用いた場合について説明する。
図2に、第2の実施の形態に係る色収差補正装置の構成の一例を示す。なお、図2において、図1に示した構成と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
Claims (4)
- 電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行う色収差補正装置であって、
四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f−Δ1、2f、f−Δ2であり、且つ、f>Δ1+Δ2>0であり、
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、Δ=Δ 1 +Δ 2 が、次式
- 電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行う色収差補正装置であって、
四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズと、補助レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、前記第1及び第2の伝達レンズが、前記補助レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記補助レンズ間の距離と、前記補助レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f、f、f、f−ΔSであり、且つ、f>ΔS>0である、色収差補正装置。 - 電子顕微鏡の電子光学系の色収差補正を行う色収差補正装置の制御方法であって、
前記色収差補正装置が、四極場を発生する第1及び第2の多極子レンズと、焦点距離fを有する第1及び第2の伝達レンズと、補助レンズとを備え、
前記第1及び第2の多極子レンズが、前記第1及び第2の伝達レンズを挟んで配置され、前記第1及び第2の伝達レンズが、前記補助レンズを挟んで配置され、
前記第1の多極子レンズと前記第1の伝達レンズ間の距離と、前記第1の伝達レンズと前記補助レンズ間の距離と、前記補助レンズと前記第2の伝達レンズ間の距離と、前記第2の伝達レンズと前記第2の多極子レンズ間の距離が、それぞれ、f、f、f、f−ΔSであり、
前記第1及び第2の多極子レンズの光軸方向の長さをZとし、前記第1及び第2の多極子レンズの励起強度をCとすると、
前記補助レンズの励起強度を制御して、次式の条件を満たすように前記補助レンズの焦点距離fAを変更する、色収差補正装置の制御方法。
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