JP2007242490A - 荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置及び光学系 - Google Patents
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【解決手段】本発明による荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置1aは、二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、その収差補正光学装置の物面−像面間の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルター2、2′と、その収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素3aと、を備えている。
【選択図】 図3
Description
一方、下記文献2ないし4に記載の発明では、双極子、四極子に加え、六極子及び八極子の直交する電界、磁界を重畳する事によって、色収差を方向に依存しない丸い形状に整え、かつ三次収差の形状を円形に整える事を可能にしている。
この時、単にフィルターの外に物面位置、像面位置を設定するのでは、軌道の二重対称性が確保できず、 フィルターによって新たに二次の幾何収差を発生させ、収差補正光学装置を入れた光学系全体の軸外収差をかえって増加させてしまう、という問題がある。
軌道の二重対称性を確保するためには、二つの多極子型ウィーン・フィルターを、図1に示されるように、等しく2分割し、物面−像面間(物面位置と像面位置との間)の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置する必要がある。しかし、このような配置にしてもなお、軸外の収差が増大する。
すなわち、H軌道については、角度を持って飛んでいるため、多極子界のないドリフト空間を移動するだけでも集束したり、発散してより軸から離れた状態で多極子界に侵入するためにより強く曲げられる、というように、ただのドリフト空間があるだけでもビームの集束性に影響する。ところが、G軌道は、光軸とは平行に出射するため、多極子界に入るまでは ビームの集束性に影響しない。また、中間結像面で軸に平行な軌道にならない限り、その面での軌道の対称性は確保できない。そのため、H軌道の二重対称性が確保できても、G軌道の二重対称性は確保できず、二次の幾何収差が発生し、収差補正光学装置を組み込んだ光学系全体の軸外収差をかえって増加させてしまう。
本発明の他の目的は、収差補正光学装置の物面−像面間の主としてG軌道にレンズ作用を及ぼすような位置に二方向集束性を有する(すなわち回転対称なレンズ効果を発生させる)光学要素を配置してG軌道へのレンズ効果を補える、荷電粒子線光学系の収差補正光学装置を提供することである。
本発明の別の目的は、このような収差補正光学装置を組み込んだ写像投影光学系及び(又は)走査型光学系を提供することである。
二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、前記収差補正光学装置の物面−像面間の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルターと、
前記収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置が提供される。
また、請求項2に記載の発明によれば、荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、
前記ウィーン・フィルターが同じ大きさであることと、
二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、前記前記収差補正光学装置の物面−像面間の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルターと、
前記各ウィーン・フィルターの荷電粒子線の進行方向両側に各ウィーン・フィルターの中心に対して対称に、中心間の距離が物面位置又は像面位置と中間結像位置との間の距離より小さくなるように配置された二方向集束性を有する複数の光学要素と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置が提供される。
上記収差補正光学装置において、前記光学要素が、回転対称レンズであっても、多極子レンズであっても、ウィーン・フィルターであっても、或いは電磁プリズムであってもよい。
また請求項8に記載の発明によれば、荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を試料面に導く走査型光学系であって、前記走査型光学系の対物レンズ前段の中間結像面に、請求項1ないし6のいずれかに記載の収差補正光学装置を、配置したことを特徴とする走査型光学系が提供される。
図3において、本発明による荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置の一実施形態が全体を1aで示されている。同図において、2、2′は大きさ及び強度が同じの複数(本実施形態では二つ)の多極子型ウィーン・フィルターである。ここで、大きさ及び強度が同じとは、二つの多極子型ウィーン・フィルターの寸法或いはサイズが同じで、それらに対する電圧、電流の印加条件が同じであることを言う。二つの多極子型ウィーン・フィルター2、2′は、その中心が、実質的に収差補正光学装置1aの光軸O−O上でかつその収差補正光学装置1aの物面−像面間の1/4面位置(本件において、1/4面位置とは、該当する収差補正光学装置の物面位置Cから物面−像面間の距離L2の1/4の距離の位置を言う)Aと、3/4面位置(本件において、3/4面位置とは、該当する収差補正光学装置の物面位置Cから物面−像面間の距離L2の3/4の距離の位置を言う)Bとに配置されている。この実施形態で使用されている多極子型ウィーン・フィルターの構造及び機能は従来一般的に使用されているものと同じであるから、構造及び機能についての詳細な説明は省略する。
収差補正光学装置1aの物面位置C、1/2面(中間像面)位置(本件において、1/2面位置とは、該当する収差補正光学装置の物面位置から物面−像面間の距離L2の1/2の距離の位置を言う)D、及び像面位置Eにはユニポテンシャルレンズ3aがそれぞれ配置されている。これらのユニポテンシャルレンズ3aは、二方向集束性を有する光学要素を構成しており、自身の中心が実質的に光軸O−O上でかつ上記位置CないしEになるように配置されている。ここで、三つのユニポテンシャルレンズのうち物面位置Cと像面位置Eに配置されるユニポテンシャルレンズは大きさ(寸法)及びレンズ強度が同じであるが、中間像面位置Dに配置されるユニポテンシャルレンズは前者のユニポテンシャルレンズと大きさが同じでもレンズ強度は異ならせる(大きくする)ようになっている。なお、上記多極子型ウィーン・フィルター2、2′及びユニポテンシャルレンズ3aの中心とは光学的中心を言う。それぞれのユニポテンシャルレンズ3aは、多極子構造にして双極子界又は四極子界を重畳し、軸調整及び倍率隔差補正の働きを兼ねても良い。このユニポテンシャルレンズ3aの代わりに、回転対称電磁レンズや多極子構造の電磁レンズを用いても構わないが、像の回転効果を考えると静電型の方が望ましい。
一方、本発明の収差補正光学装置に於いては、視野の範囲内で像ボケが補正されている。この例で用いた写像投影光学系の対物レンズの収差は、軸上色収差が支配的であり、この補正光学装置と併用する事によって、光学系全体の分解能の向上を図る事が出来る。また、従来と同等の分解能を維持しながら開口角を大きく出来るので、ビーム透過率を大きくでき、従来の写像投影光学系を用いた欠陥検査装置に比して、照明電流を増やさずに信号量を増やす事でスループットの向上に寄与する事もできる。
これにより、G軌道が本発明第一の実施形態よりも理想的な二重対称性を持つことができる。また、この構成では中間結像面に偏向器を配置する事が出来るので、本発明第一例よりも電源の負担を減らす事ができる。
なお、この実施形態においても、ユニポテンシャルレンズ3bは、多極子構造にして双極子界又は四極子界を重畳し、軸調整及び倍率隔差補正の働きを兼ねても良い。また、このユニポテンシャルレンズ3aの代わりに、回転対称電磁レンズや多極子構造の電磁レンズを用いても構わないが、像の回転効果を考えると静電型の方が望ましい。前記実施形態と同様に、全てのユニポテンシャルレンズは、回転対称レンズである必要はなく、二方向集束性を持つ光学要素であれば、ウィーン・フィルターや電磁プリズムでも構わない。
同図において、比較のため、左側の(A)に収差補正光学装置を備えていない従来の一般的な写像投影光学系10が模式図で、右側の(B)に収差補正光学装置1bを備えた写像投影光学系10aが模式図で示されている。同図において、WSは試料面を、11は第1の対物レンズを、12は開口絞りを、13は第2の対物レンズを、IP1は第1の結像面を、14は第1の中間レンズを、15は第2のクロスオーバーレンズを、16は第2の中間レンズを、IP2は第2の結像面を、17は投影レンズを、18は第3のクロスオーバーレンズを、IP3は最終結像面をそれぞれ示す。
図7(A)及び(B)の比較からわかるよう、収差補正光学装置1bは、従来の写像投影光学系10の第1の結像面IP1の位置で光学系を切り離し、その間に収差補正光学装置1bが、その物面位置Cが第1の結像面IP1の位置に一致しかつ収差補正光学装置の像面位置Eが第2の結像面IP2′の位置、すなわち従来の写像投影光学系10に於ける第1結像面IP1の位置に一致するようにして、挿入されている。収差補正光学装置自体は等倍結像であり、倍率もビームの開き角も変化させないため、従来の写像投影光学系の方は、全く結像条件等を変更する必要はない。なお、従来の写像投影光学系の第2の結像面IP2は、本発明の写像投影光学系では第3の結像面IP3となる。
試料面WSから出射された二次電子を結像する際の写像投影光学系の光学収差は、そのエネルギーの広がりに起因する対物レンズの軸上色収差が支配的であり、収差補正光学装置については、対物レンズにて発生する軸上色収差をキャンセルさせるような等量異符号の軸上色収差を発生させるような条件にする。
同図において、比較のため、左側の(A)に収差補正光学装置を備えていない従来の一般的な走査型光学系20が模式図で、右側の(B)に収差補正光学装置1bを備えた走査型光学系20aが模式図で示されている。同図において、21は電子銃を、22はコンデンサレンズを、IP5は第1の結像面を、23は中間レンズを、IP6は第2の結像面を、24は対物レンズを、WSは試料面をそれぞれ示す。
図8(A)及び(B)の比較からわかるよう、収差補正光学装置1bは、対物レンズ前段の中間結像面、すなわち図中の第2の結像面の位置IP5で光学系を切り離し、その間に収差補正光学装置1bを、その物面位置Cが第2の結像面IP5に一致し、収差補正光学装置の像面位置Eが第3の結像面IP7、すなわち従来の走査型光学系に於ける第2の結像面IP6に一致するように、挿入される。収差補正光学装置自体は等倍結像であり、倍率もビームの開き角も変化させないため、従来の走査型光学系の方は全く結像条件等を変更する必要はない。
走査型光学系の光学収差は、対物レンズの球面収差、軸上色収差、そして回折収差が支配的であり、収差の補正を行う収差補正光学装置については、対物レンズにて発生する球面収差と軸上色収差をキャンセルさせるような等量異符号の球面収差と軸上色収差を発生させるような条件にする。また、これによって、走査側光学系の条件を、従来よりも回折収差は小さいが球面収差や軸上色収差が大きい条件にする事によって、補正光学装置も含めた光学収差をさらに改善する事も可能である。
ちなみに、走査型光学系は、細く絞った荷電粒子ビームを試料面上で二次元的に走査させるが、走査用の偏向部分は、収差補正光学装置を載置した光学系において、収差補正光学装置の像面以降対物レンズの主面以前の光路中に配置する事になる。
2、2′ 多極子型ウィーン・フィルター
3a、3b ユニポテンシャルレンズ
4a、4b 補正光学装置
10a 写像投影光学系
20a 走査型光学系
Claims (8)
- 荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、
二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、前記収差補正光学装置の物面−像面間の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルターと、
前記収差補正光学装置の物面位置、中間結像面位置及び像面位置に配置された二方向集束性を有する光学要素と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置。 - 荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、
前記ウィーン・フィルターが同じ大きさであることと、
二つの同じ大きさの多極子型ウィーン・フィルターであって、前記前記収差補正光学装置の物面−像面間の1/4面位置と3/4面位置にそれぞれの中心が一致するように配置された多極子型ウィーン・フィルターと、
前記各ウィーン・フィルターの荷電粒子線の進行方向両側に各ウィーン・フィルターの中心に対して対称に、中心間の距離が物面位置又は像面位置と中間結像位置との間の距離より小さくなるように配置された二方向集束性を有する複数の光学要素と、
を備えたことを特徴とする荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置。 - 請求項1又は2に記載の荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、前記光学要素が、回転対称レンズである事を特徴とする収差補正光学装置。
- 請求項1又は2に記載の荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、前記光学要素が、多極子レンズである事を特徴とする収差補正光学装置。
- 請求項1又は2に記載の荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、前記光学要素が、ウィーン・フィルターである事を特徴とする収差補正光学装置。
- 請求項1又は2に記載の荷電粒子線光学系用の収差補正光学装置において、前記光学要素が、電磁プリズムである事を特徴とする収差補正光学装置。
- 試料面から放出された荷電粒子線を最終結像面に導く写像投影光学系であって、前記写像投影光学系の対物レンズと中間レンズとの間の第1の結像面に、その第1の結像面と前記収差補正光学装置の像面位置とが一致するようにして、請求項1ないし6のいずれかに記載の収差補正光学装置を、配置したことを特徴とする写像投影光学系。
- 荷電粒子線源から放出された荷電粒子線を試料面に導く走査型光学系であって、前記走査型光学系の対物レンズ前段の中間結像面に、請求項1ないし6のいずれかに記載の収差補正光学装置を、配置したことを特徴とする走査型光学系。
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