JP4997013B2 - 電子分光器を備えた電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
2 電子源
3 電子線
4 収束レンズ
5 試料
6 対物レンズ
7 結像レンズ系
8 電子分光器
9 蛍光板
10 磁場セクタ
11,12,13,14 多重極子レンズ
15 撮像装置
16 画像表示装置
17 中央制御装置
18 レンズ調整システム
21 選択ボタン群
22 電子エネルギー損失スペクトル
23 ゼロロススペクトルピーク半値幅調整ボタン
24 励磁電流パラメータ入力図
25 直交表
26 ピーク半値幅算出表示機能
Claims (16)
- 透過型または走査透過型電子顕微鏡と、複数個のレンズを有する電子分光器と、電磁分光器を制御する電子分光器制御装置とを備えた電子線エネルギー損失スペクトル観察装置において、
前記電子分光器制御装置は、前記各レンズの励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値をパラメータとするパラメータ設計手法を用いたシミュレーション手段を有し、前記シミュレーション手段による各レンズ毎のパラメータ変動に対する電子線エネルギー損失スペクトルデータの変動のシミュレーションに基づく算出値により前記複数個の各レンズの条件を制御することを特徴とする電子線エネルギー損失スペクトル観察装置。 - 請求項1に記載された電子線エネルギー損失スペクトル観察装置において、
前記シミュレーション手段は、前記パラメータを直交表に割り付ける工程と、前記直交表に基づく各条件により電子線エネルギー損失スペクトルデータを取得する工程と、前記取得した各条件の電子線エネルギー損失スペクトルデータにより要因効果図を作成する工程と、前記要因効果図より最適パラメータを算出する工程を有することを特徴とする電子線エネルギー損失スペクトル観察装置。 - 複数個のレンズを有し、エネルギー分光を行う電子分光器を備えた電子分光器付き電子顕微鏡であって、前記複数個のレンズを調整するレンズ調整システムを有し、
前記調整システムは、前記各レンズ励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値の変動に対する電子線エネルギー損失スペクトルデータの変動のシミュレーションに基づき前記複数個の各レンズの条件を制御する
ことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項3に記載された電子顕微鏡であって、
前記レンズ調整システムは、励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値をパラメータとし、パラメータ設計手法を用いたシミュレーションにより、前記複数個の各レンズの条件を設定するレンズ調整システムであることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項4に記載された電子顕微鏡であって、
前記レンズ調整システムは、前記パラメータの入力値を読み込むステップと、前記パラメータを直交表に割り付けるステップと、前記直交表に基づく条件のスペクトルデータを取得するステップと、前記取得したスペクトルデータより要因効果図を作成するステップと、前記要因効果図より各レンズの励磁電流の条件を算出するステップと、前記算出された各レンズの励磁電流値に基づき各レンズの励磁電流を制御するステップを有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項4に記載された電子顕微鏡であって、
前記電子顕微鏡はスペクトルデータを表示する画像表示装置を有し、前記画像表示装置上にレンズ条件の調整を開始するレンズ調整ボタンを有し、前記レンズ調整ボタンの指示に従いレンズ調整システムが起動することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項4に記載された電子顕微鏡であって、
前記パラメータの少なくともいずれかが装置の製造時または設置時に固定された固定値であり、かつ少なくともいずれかが調整時に設定される変動値であり、前記レンズ調整システムは前記変動値に対応するレンズを調整することを特徴とする電子顕微鏡。 - 複数個のレンズの最適条件を調整するレンズ調整方法であって、
前記複数個の各レンズの励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値をパラメータとして用い、パラメータ設計手法を用いたシミュレーションを行い、各レンズ毎のパラメータ変動に対する電子線エネルギー損失スペクトルデータの変動のシミュレーションに基づく算出値により前記各レンズの励磁電流の条件を設定することを特徴とするレンズ調整方法。 - 複数個のレンズを有し、エネルギー分光を行う電子分光器を備えた電子分光器付き電子顕微鏡の前記レンズの最適条件を調整するレンズ調整方法であって、
前記複数個の各レンズの励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値をパラメータとして用い、パラメータ設計手法を用いたシミュレーションを行い、各レンズ毎のパラメータ変動に対する電子線エネルギー損失スペクトルデータの変動のシミュレーションに基づく算出値により前記各レンズの励磁電流の条件を設定することを特徴とする電子分光器付き電子顕微鏡のレンズ調整方法。 - 請求項9に記載されたレンズ調整方法において、
前記パラメータ設計手法を用いたシミュレーションは、前記各レンズのパラメータを読み込むステップと、前記パラメータを直交表に割り付けるステップと、前記直交表に基づいた条件によりスペクトルデータを取得するステップと、前記取得したデータより要因効果図を作成するステップと、前記要因効果図より各レンズの励磁電流の条件を算出するステップとを有することを特徴とする電子分光器付き電子顕微鏡のレンズ調整方法。 - 複数個のレンズ群を有する電子分光器のレンズの条件を調整するレンズ調整システムであって、
前記各レンズの励磁電流値または励磁電流値に基づく設定値をパラメータとするパラメータ設計手法を用いたシミュレーション手段を有し、前記複数個のレンズ群は、固定のパラメータが設定されたレンズと、パラメータの固定されていないレンズを有し、レンズ条件調整時に、前記パラメータの固定されていないレンズについて、前記シミュレーション手段による各レンズ毎のパラメータ変動に対する電子線エネルギー損失スペクトルデータの変動のシミュレーションに基づく算出値により前記パラメータの固定されていない各レンズの条件を調整するレンズ調整システム。 - 複数のレンズを有する電子分光器の各レンズの励磁電流値を、各レンズについて少なくとも励磁電流値に基づく3つのパラメータと、シミュレーション回数とを設定し、前記設定値に基づきシミュレーションを行って調整するレンズ調整方法であって、
前記シミュレーションは、前記励磁電流値に基づく3つのパラメータを各レンズのパラメータとして直交表に挿入し、直交表に基づく各条件下でゼロロススペクトルを測定し、測定されたゼロロススペクトルの半値幅を算出し、算出された各条件の半値幅より要因効果図を作成し、要因効果図より各レンズの励磁電流値と半値幅との関係式を取得し、前記関係式より各レンズの励磁電流値を算出する工程よりなり、前記算出された励磁電流値を初期値として、前記シミュレーション回数に応じて前記シミュレーションを繰り返すことを特徴とするレンズの調整方法。 - 複数のレンズを有する電子分光器の各レンズの励磁電流値を調整する電子分光器制御装置であって、
前記制御装置は、各レンズについて設定された少なくとも励磁電流値に基づく3つのパラメータと、シミュレーション回数とに基づき、シミュレーションを行って各レンズの励磁電流値を算出する制御装置であって、
前記シミュレーションは、前記励磁電流値に基づく3つのパラメータを各レンズのパラメータとして直交表に挿入し、直交表に基づく各条件下でゼロロススペクトルを測定し、測定されたゼロロススペクトルの半値幅を算出し、算出された各条件の半値幅より要因効果図を作成し、要因効果図より各レンズの励磁電流値と半値幅との関係式を取得し、前記関係式より各レンズの励磁電流値を算出する工程よりなり、前記算出された励磁電流値を初期値として、前記シミュレーション回数に応じて前記シミュレーションを繰り返すことによりレンズの励磁電流を設定することを特徴とする電子分光器制御装置。 - 請求項13に記載された電子分光器制御装置において、前記励磁電流値の初期値、または前記シミュレーションの結果の励磁電流値の算出値の少なくともいずれかを保存する記憶装置を有することを特徴とする電子分光器制御装置。
- 請求項13又は14の電子分光器制御装置を備えた電子顕微鏡。
- 請求項13又は14の電子分光器制御装置を備えた電子線エネルギー損失スペクトル観察装置。
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