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Die Erfindung betrifft eine großflächige Flüssigkristallanzeige
(LCD, liquid crystal display) und ein Herstellungsverfahren dafür und insbesondere
ein Herstellungsverfahren für
eine hochauflösende,
großflächige LCD
durch Zusammensetzen mehrerer LCD-Paneele und den Aufbau einer durch
dieses Verfahren hergestellten hochauflösenden großflächigen LCD.
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In letzter Zeit ist der Bedarf an
großflächigen Anzeigevorrichtungen
für verschiedene öffentliche
Orte und Einrichtungen (Bahnhöfe,
Flughäfen,
Museen, große
Besprechungsräume
usw.) stark angestiegen. Es wurden daher viele verschiedene Anzeigevorrichtungen
zum Darstellen entsprechender Informationen entwickelt. Zum Beispiel
wurden Anzeigevorrichtungen entwickelt, bei denen die Bildinformationen
auf einen Anzeigebereich projiziert werden, und andere Anzeigevorrichtungen,
bei denen Anordnungen mit einer Mehrzahl von Röhren-Anzeigevorrichtungen verwendet
werden, um diesem Bedarf gerecht zu werden. Es treten jedoch beim
Betrieb dieser Vorrichtungen einige Probleme auf. Es ist z.B. schwierig,
mit diesen Anzeigevorrichtungen eine hohe Auflösung bzw. eine hohe Bildpunktdichte
zu erreichen, und die Anzeigevorrichtungen werden mit steigender
Bildschirmgröße unhandlicher
und schwerer. Deshalb besteht ein Bedarf an lerchteren und weniger unhandlichen
hochauflösenden
Anzeigevorrichtungen mit einer großen Bilddiagonalen.
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Als Folge der Entwicklung von dünnen Flachpaneelanzeigen
wurden in vielen Bereichen verschiedene Flachpaneelanzeigen, wie
Flüssigkristallanzeigen
und Plasmaanzeigen, verwendet. Insbesondere sind Flüssigkristallanzeigen
für großflächige Anzeigevorrichtungen
geeignet, da sie als einzige die gewünschten Eigenschaften aufweisen,
flach und dünn
zu sein, eine hohe Bildqualität
und eine hohe Auflösung
aufzuweisen sowie natürliche
Farben und bewegte Bilder anzeigen zu können.
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Im allgemeinen weisen tragbare Fernsehgeräte und/oder
Notebook-Computer LCD-Bildschirme mit einer Bilddiagonalen von weniger
als 15 Zoll (Bildschirmabmessungen: ca. 4 Zoll × 12 Zoll) auf. Es gibt jedoch Bemühungen,
LCDs mit einer Bilddiagonalen von mehr als 15 Zoll herzustellen.
Die Produktausbeute bei der Herstellung einzelner LCD-Paneele mit
einer Bilddiagonalen von mehr als 20 Zoll auf einem Glassubstrat
ist mit der herkömmlichen
Technik jedoch nicht ausreichend. Deshalb wurden einige Verfahren
entwickelt und verwendet, mit denen großflächige LCDs durch kachelartiges
Zusammensetzen einer Mehrzahl von LCD-Paneelen hergestellt werden.
Diese Herstellungsverfahren weisen eine gute Produktausbeute auf.
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Bei der Herstellung einer einzelnen
LCD mit einer Bilddiagonalen von 28 Zoll (im folgenden 28-Zoll-LCD
genannt) weist die Verwendung nur eines Substrats einige Nachteile
gegenüber
einem Verfahren mit einer guten Produktausbeute auf, bei dem 4-Zoll-LCD-Paneele
zu einem großen
LCD-Paneel zusammengefügt
werden.
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Erstens sind die Signale verzögert, da
die Leitungen zum Übertragen
der Bildinformationen länger sind.
Um dieses Problem der verzögerten
Signale zu lösen,
ist der Widerstand der Leitungen durch eine Verbreiterung oder eine
Verdickung derselben verringert. Die Verdickung der Busleitungen
führt jedoch
zu vielen unvorhersagbaren Problemen beim Betrieb der LCDs. Die
Verbreiterung der Busleitungen führt
außerdem
zu einer verschlechterten Bildqualität, da das Öffnungsverhältnis verringert ist.
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Zweitens ist die Verläßlichkeit
eines jeden Elementes stark verringert, und bei einer Massenherstellung
kann keine ausreichende Ausbeute erzielt werden, wenn 28-Zoll-LCDs
mit den gleichen Spezifikationen wie 14-Zoll-LCDs hergestellt werden
sollen. Wenn große
Bildschirme gemäß den Herstellungsverfahren
nach dem Stand der Technik hergestellt werden; vergrößert sich
die Größe eines
jeden Pixels proportional zur Größe des Bildschirms,
so daß die
Bildqualität
verschlechtert ist. Zum Beispiel ist ein Pixel für eine 10,4-Zoll-LCD mit VGA-Qualität 100 μm breit und
300 μm lang.
Für eine
20-Zoll-LCD ist jedes Pixel 200 μm
breit und 600 μm lang,
und für
eine 28-Zoll-LCD beträgt
die Pixel-Größe 280 μm × 890 μm. Im Fall
von großflächigen LCDs
sind die vergrößerten Pixel
kein so großes
Problem, da der Betrachtungsabstand groß ist. Bei einer großflächigen LCD
ist es jedoch sehr schwierig, mit dieser Technik die Spezifikationen
für eine
Anzeigevorrichtung nach HDTV-Standard (High Definition Television)
zu erreichen.
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Drittens sind die Herstellungskosten
vergrößert, da
es erforderlich ist, größere Werkzeuge
einzusetzen, wenn das Glassubstrat größer ist. Ferner ist es schwierig,
LCDs herzustellen, die eine gewisse Größe übersteigen, da die Größe der Glassubstrate
beschränkt
ist.
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Auf der anderen Seite ist ein Herstellungsverfahren,
bei dem LCDs durch Zusammensetzen mehrerer Paneele hergestellt werden,
kostengünstig,
da es ausreichend ist, dem herkömmlichen
Herstellungsverfahren für
eine LCD einen Schritt hinzuzufügen,
in dem die Paneele zusammengefügt
werden.
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Mit solch einem Verfahren ist es
auch möglich,
LCDs beliebiger Größen herzustellen.
Ferner gibt es kein Problem mit verzögerten Signalen, da jede Signalleitung
auf jedem einzelnen Paneel individuell über eine eigene Verbindung
angesteuert wird. Zusätzlich
ist bei einem Herstellungsverfahren von LCDs durch Zusammenfügen mehrerer
Paneele die Technik für
die Darstellung der Bildinformation auf einem großflächigen Schirm
schon aufgrund der herkömmlichen
Techniken bekannt, wie z.B. aufgrund von Anzeigevorrichtungen mit
einer Anordnung mehrerer Röhren-Anzeigevorrichtungen.
Somit verbleibt als einziges Problem die Herstellung einer zusammengesetzten
Anzeige, bei der die Fugen zwischen den einzelnen Paneelen nicht
sichtbar sind.
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Bevor auf die Lösung dieses Problems eingegangen
wird, werden im folgenden einige Gründe für die Sichtbarkeit der Fugen
zwischen den einzelnen Paneelen diskutiert (s.a. "G.A. Alphonse und
J. Lubin, National Information Display Lab., Psychophysical Requirements
for Seamless Tiled Large-Screen Displays, in '92 SID Digest").
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Ein erster Grund für die Sichtbarkeit
der Fugen liegt in den Grenzlinien zwischen zwei zusammengefügten Paneelen.
Ein zweiter Grund liegt in einer möglichen Falschausrichtung von
Paneelen, die zu nicht richtig zueinander ausgerichteten Teilbildern
führt.
Ein dritter Grund liegt in Helligkeitsunterschieden innerhalb bzw. zwischen
den zusammengefügten
Paneelen. Ein vierter Grund liegt in einer möglichen Nichtgleichmäßigkeit der
Farbe über
die Anzeigefläche
hinweg.
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Die Fehler, die aufgrund des dritten
und des vierten Grundes auftreten, können verringert werden, wenn
die LCD-Paneele gleichzeitig in einer Charge hergestellt werden.
Die Fehler, die aufgrund des ersten und des zweiten Grundes auftreten,
sind jedoch wichtiger, da die Quelle dieser Fehler im Zusammenfügen der Paneele
liegt. Im folgenden werden herkömmliche
Verfahren zum Zusammenfügen
von LCDs diskutiert.
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Gemäß einem ersten herkömmlichen
Verfahren ist ein großflächiges LCD-Paneel
von Magnascreen im Jahr 1993 hergestellt worden. (N. Mazurek, T.
Zamiit, R. Blose and J. Bernkopf, A 51-inch Diagonal Tiled LCD VGR
Monitor, in '93
SID DIGEST). Wie aus den 1A und 1B ersichtlich, handelt es
sich hierbei um ein 51-Zoll-LCD-Paneel 1, das aus 48 LCD-Paneelen 3 mit
einer Bilddiagonalen von jeweils 5 Zoll zusammengesetzt ist. Diese
Vorrichtung weist Pixel mit jeweils drei Farbbildpunkten 7 mit
den jeweiligen Farben rot (R), grün (G) und blau (B) auf, die
jeweils eine Breite Wp von 370 μm und eine
Länge Lp von 1270 μm aufweisen. Zwischen diesen
Farbbildpunkten ist eine 125 μm
breite schwarze Matrix ausgebildet. Bei der Vorrichtung handelt es
sich um ein VGA-LCD-Paneel 1 mit
einer Bilddiagonalen von 51 Zoll und 640 × 480 Pixeln (1920 × 480 einzelne
Farbbildpunkte), das durch Zusammensetzen von 8 × 6 LCD-Paneelen 3 mit
einer Anordnung von jeweils 80 × 80
Pixeln hergestellt ist, wobei zwischen diesen Pixeln jeweils eine
350 um breite schwarze Matrix ausgebildet ist (1B). Bei dieser Vorrichtung ist die Breite
WSE der Fuge gleich der Breite WBM der schwarzen Matrix (350 μm). Die schwarze
Matrix 11a in den Randbereichen weist eine Breite von 125 μm (Breite
WS der Dichtung nach dem Schneiden) auf,
die der Breite der schwarzen Matrix 11 zwischen den Farbbildpunkten entspricht.
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Wie aus 1B ersichtlich, sind die LCD-Paneele
derart zusammengesetzt, daß die Übergangsbereiche
Dh zwischen den einzelnen Paneelen jeweils
50 μm betragen.
Die Abmessungen dieser Vorrichtung sind relativ groß bemessen,
wie auch die Pixel, so daß für das Zusammensetzen
der Paneele keine hochentwickelte Technik erforderlich ist. Dieses
Verfahren wurde recht erfolgreich bei der Herstellung großflächiger Anzeigen eingesetzt,
jedoch können
damit keine hochqualitativen Bilder erzielt werden. Ferner weist
dieses Verfahren einige Probleme beim Verringern von Defekten auf,
die vom Zusammensetzen der Mehrzahl kleinerer Paneele herrühren, und
ferner ein Problem darin , Paneele in gleichbleidender Qualität herzustellen.
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Bezüglich einer zweiten herkömmlichen
Technik wird auf ein Verfahren und eine Vorrichtung Bezug genommen,
die von APEX KOREA im Jahr 1995 vorgestellt wurde. (Zarge Area Liquid
Crystal Display Realized by Tiling of Four Back Paneels, '95 ASIA DISPLAY).
Wie aus den 2A und 2B ersichtlich, handelt es sich
bei dieser Vorrichtung um ein LCD-Paneel mit einer Bilddiagonalen
von 10,4 Zoll, das durch Zusammensetzen von 4 STN (super twisted
nematic) LCD-Paneelen mit einer Bilddiagonalen von 5 Zoll hergestellt
wurde. Das entsprechende Herstellungsverfahren ist sehr hoch entwickelt,
da die Übergangsbereiche
Dh zwischen den Paneelen jeweils nur 5 um
betragen und die Höhenabweichungen
Dv zwischen den Paneelen jeweils lediglich
0,3 μm betragen
(2C). Um dies zu erreichen,
werden die LCD-Paneele 3 erst bearbeitet, nachdem Paraffin
auf die Fugenbereiche aufgebracht wurde, so daß die Bearbeitung sehr präzise ausgeführt werden kann.
Bei diesem Verfahren werden jedoch die oberen Substrate 3a der
Flüssigkristallpaneele
auf dem oberen Substrat 1a des großflächigen Flüssgikristallanzeigepaneels
zusammengesetzt, und die unteren Substrate der LCD-Paneele 3b werden
auf dem unteren Substrat 1b des großflächigen LCD-Paneels zusammengesetzt.
Danach werden das untere Substrat und das obere Substrat des großflächigen LCD-Paneels
unter Verwendung eines Dichtungsmaterial 5 zusammengefügt. Dann
wird Flüssigkristallmaterial
in den Bereich zwischen dem oberen Substrat und dem unteren Substrat
des Paneels eingespritzt. Deshalb ist dieses Verfahren nur dort
von Nutzen, wo eine hochentwickelte Technik des Zusammenfügens ohne
sichtbare Fugenbereiche erforderlich ist.
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Eine gemäß einer dritten herkömmlichen
Technik hergestellte Vorrichtung von SHARP (Japan) wurde auf der
Asia Display im Jahr 1995 vorgestellt. Wie aus 3 ersichtlich, handelt es sich bei dieser
Vorrichtung um ein großflächiges LCD-Paneel
mit einer Bilddiagonalen von 40 Zoll, das durch Zusammenfügen der
Längsseiten
zweier LCD-Paneele 3 hergestellt wurde, die jeweils eine
Bilddiagonale von 28 Zoll aufweisen (22,4 Zoll × 16,8 Zoll). Diese Vorrichtung
wird durch Zusammenfügen
zweier LCD-Paneele
mit einem Übergangsbereich Dh zwischen den beiden LCD-Paneelen von 30 μm hergestellt, nachdem die LCD-Paneele
präzise
bearbeitet wurden.
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Eine gemäß einer vierten herkömmlichen
Technik hergestellte Vorrichtung wurde im Jahr 1995 von Fujitsu
(Japan) vorgestellt (KAWASAKI, LCD Multi-Paneel Display, '95 Asia Display).
Wie aus den 4A und 4B ersichtlich, handelt es
sich bei dieser Vorrichtung um ein großflächiges LCD-Paneel mit einer
Bilddiagonalen von 90 Zoll, das durch Zusammenfügen von 48 Paneelen 3 mit
einer Bilddiagonalen von 10,4 Zoll hergestellt wurde. Bei dieser
Vorrichtung wird eine Projektionstechnik verwendet, um das Problem
der sichtbaren Fugenbereiche zu umgehen, indem var dem LCD-Paneel 3 eine
Binse 15 angeordnet ist, um die Bilder zu vergrößern. Dabei
handelt es sich jedoch um keine neue Technik des Zusammensetzens
direkt betrachtbarer Anzeigevorrichtungen. Vielmehr werden die Bilder
vergrößert erst
auf einem Bildschirm 17 zusammengesetzt. Gemäß diesem
Verfahren können
großflächige Anzeigen
mit einer hohen Bildpunktdichte unter Verwendung einer optischen
Vorrichtung hergestellt werden. Die Paneele müssen jedoch aufgrund der Projektionsvorrichtung
relativ dick sein (die Paneele bei dieser Vorrichtung sind 28 cm
dick), und die Fugen sind leicht sichtbar.
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Bei allen oben beschriebenen herkömmlichen
Techniken wird für
das Schneiden der LCD-Paneele ein mechanisches Verfahren verwendet.
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Die Bearbeitung der Ränder der
einzelnen, zu einer großflächigen Flüssigkristallanzeigevorrichtung zusammenzusetzenden
LCD-Paneele mit Hilfe eines mechanischen Verfahrens führt dazu,
dass die bearbeiteten Ränder
der einzelnen LCD-Paneele nicht die erforderliche Ebenheit aufweisen,
um die Paneele mit einer Fuge kleiner Breite zwischen den Paneelen
zu einer großflächigen Flüssigkristallanzeigevorrichtung
zusammenzufügen.
Daher weisen die gemäß den obigen
Verfahren hergestellten Flüssigkristallanzeigevorrichtungen
jeweils eine Fuge zwischen den einzelnen LCD-Paneelen auf, deren
Breite etwa der schwarzen Matrix zwischen den jeweils drei Farbbildpunkte
(rot, grün
und blau) aufweisenden Pixeln entspricht. Mit diesen Verfahren ist
es daher nicht möglich,
ein einfaches Herstellungsverfahren für eine aus mehreren LCD-Paneelen zusammengefügte großflächige Flüssigkristallanzeige
bereitzustellen, bei der die Fugen zwischen den einzelnen LCD-Paneelen
nicht sichtbar sind.
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Aus
EP 0 555 907 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung
einer großflächigen aktiven
Matrixanordnung für
eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung
bekannt, wobei die Matrixanordnung aus vier Untermatrizen hergestellt
wird, welche jeweils einen aktiven Bereich mit zugehörigen Leiterzeilen
und -spalten aufweisen, wobei jede Untermatrix vor dem Zusammensetzen
der großflächigen Matrix
einzeln getestet werden kann. Hierbei werden die einzelnen Substratabschnitte
mittels einer geeigneten Vorrichtung, wie beispielsweise einer Diamantsäge oder
einem Laserstrahl entfernt, und die Schnittkanten werden anschließend poliert.
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Aus WO 95/31745 ist eine Flüssigkristallanzeigevorrichtung
bekannt, bei der eine Sandwich-artig aus zwei über eine dünne Dichtung aneinandergefügten metallisierten
Substraten gebildete Substratanordnung mittels Schneiden oder Sägen dieser
Substratabschnitte zu einer reduzierten Substratanordnung verkleinert wird,
um die Substratanordnung an die äußeren Abmessungen
der Anzeigefläche
anzupassen.
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Bei diesen bekannten Verfahren ist
somit ebenfalls eine weitgehend mechanische Bearbeitung der Randbereiche
der LCD-Paneele
erforderlich, wodurch jedoch die erforderliche Ebenheit der bearbeiteten
Ränder
nicht erreichbar ist. Im Falle einer zusätzlichen Laserstrahlbearbeitung
wird darüber
hinaus der Herstellungsaufwand signifikant vergrößert.
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Der vorliegenden Erfindung liegt
daher die Aufgabe zugrunde, ein einfaches Herstellungsverfahren
für eine
aus mehreren LCD-Paneelen zusammengesetzte großflächige Flüssigkristallanzeigevorrichtung
bereitzustellen, mit dem die Ränder
der einzelnen LCD-Paneele derart präzise bearbeitet werden können, dass
diese zu einer großflächigen Flüssigkristallanzeigevorrichtung
ohne sichtbare Fugen zusammenfügbar
sind.
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Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren
zum Herstellen einer großflächigen Flüssigkristallanzeigevorrichtung
aus einer Mehrzahl von LCD-Paneelen, wobei jedes LCD-Paneel ein
oberes Substrat, das eine Mehrzahl von Farbfiltern und einen eine
schwarze Matrix aufweisenden Lichtabschirmbereich aufweist, ein
unteres Substrat, das eine Mehrzahl von den Farbfiltern jeweils
zugeordneten Pixel-Elektroden und eine Mehrzahl von diese antreibenden
Schaltelementen aufweist, zwischen dem oberen und dem unteren Substrat
eingebrachtes Flüssigkristallmaterial,
und eine im Randbereich des LCD-Paneels
zwischen den beiden Substraten eingebrachte Dichtung aufweist, wobei
der Lichtabschirmbereich einen inneren Lichtabschirmbereich zwischen
den jeweiligen Farbfiltern und einen entlang des Randes des LCD-Paneels
angeordneten Rand-Lichtabschirmbereich
aufweist, wird der Rand eines jeden LCD-Paneels einschließlich einer Teilbreite der
Dichtung mit Hilfe eines Ätzverfahrens
unter Belassen wenigstens einer Teilbreite des Rand-Lichtabschirmbereichs
selektiv entfernt, und die LCD-Paneele werden unter Ausbildung der
großflächigen Flüssigkristallanzeigevorrichtung
entlang ihrer Ränder
kachelartig zusammengefügt.
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Die Zeichnung zeigt bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung und dient zusammen mit der folgenden Beschreibung
zur näheren
Erläuterung
der Prinzipien der Erfindung.
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In der Zeichnung zeigen:
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1A eine
Draufsicht auf eine herkömmliche
großflächige Flüssigkristallanzeige;
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1B eine
vergrößerte Draufsicht
auf die herkömmliche
großflächige Flüssigkristallanzeige
aus 1A;
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2A eine
Draufsicht auf eine andere herkömmliche
großflächige Flüssigkristallanzeige;
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2B einen
Schnitt der herkömmlichen
großflächigen Flüssigkristallanzeige
aus 2A;
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2C einen
vergrößerten Schnitt
der herkömmlichen
großflächigen Flüssigkristallanzeige
aus 2A, aus dem das
Zusammensetzen dieser herkömmlichen
Flüssigkristallanzeige
ersichtlich ist;
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3 eine
Draufsicht auf eine andere herkömmliche
großflächige Flüssigkristallanzeige;
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4A eine
Draufsicht auf noch eine andere herkömmliche großflächige Flüssigkristallanzeige;
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4B einen
Schnitt der herkömmlichen
großflächigen Flüssigkristallanzeige
aus 4A;
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5A eine
Draufsicht auf die Struktur einer hochauflösenden großflächigen Flüssigkristallanzeige gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung;
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5B eine
vergrößerte Draufsicht
auf die hochauflösende
großflächige Flüssigkristallanzeige
aus 5A;
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6A einen
vergrößerten Schnitt
einer hochauflösenden
Flüssigkristallanzeige
gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung, aus der die Struktur der Flüssigkristallanzeige in den
Fugenbereichen ersichtlich
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6B eine
vergrößerte Draufsicht
auf die hochauflösende
Flüssigkristallanzeige
aus 6A;
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7A einen
vergrößerten Schnitt
einer hochauflösenden
großflächigen Flüssigkristallanzeige
gemäß einer
anderen bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung, aus dem die Struktur der Flüssigkristallanzeige in den
Fugenbereichen ersichtlich
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7B eine
vergrößerte Draufsicht
auf die hochauflösende
großflächige Flüssigkristallanzeige
aus 7A;
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8A einen
vergrößerten Schnitt,
der den Randbereich eines Paneels einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung nach dem Schneiden zeigt;
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8B einen
vergrößerten Schnitt,
der den Randbereich eines Paneels einer Flüssigkristallanzeige gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung nach dem Abschleifen zeigt;
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8C einen
vergrößerten Schnitt,
der zusammengefügte
Paneele einer Flüssigkristallanzeige
gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung nach der Bearbeitung der Paneele zeigt;
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9A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein erstes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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9B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein erstes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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10A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein zweites bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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10B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein zweites bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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11A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein drittes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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11B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein drittes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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12A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein viertes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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12B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein viertes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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13A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein fünftes
bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche ersichtlich
ist;
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13B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein fünftes
bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche ersichtlich
ist;
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14A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein sechstes, alternatives, nicht beanspruchtes Verfahren
zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen
Fugenbereiche ersichtlich ist;
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14B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein sechstes, alternatives, nicht beanspruchtes Verfahren
zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen
Fugenbereiche ersichtlich ist;
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15A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein siebtes, alternatives, nicht beanspruchtes Verfahren zum
Schneiden der aus 6A ersichtlichen
Fugenbereiche ersichtlich ist;
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15B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein siebtes, alternatives, nicht beanspruchtes Verfahren zum
Schneiden der aus 7A ersichtlichen
Fugenbereiche ersichtlich ist;
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16A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein achtes, bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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16B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein achtes, bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist;
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17A einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein neuntes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 6A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist; und
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17B einen
vergrößerten Schnitt,
aus dem ein neuntes bevorzugtes Verfahren zum Schneiden der aus 7A ersichtlichen Fugenbereiche
ersichtlich ist.
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Die in den oben genannten Figuren
gezeigten einzelnen LCD-Paneele,
die zu großflächigen LCD-Paneelen
zusammensetzbar sind, sind jeweils in ihrem Zustand vor dem Schneiden
gezeigt.
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Im folgenden wird auf die bevorzugten
Ausführungsformen
der Erfindung eingegangen, Beispiele derer aus den Zeichnungen ersichtlich
sind.
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Das Herstellungsverfahren gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung weist folgende Schritte auf: Ausbilden eines ersten
Substrats und eines zweiten Substrats mit verschiedenen Elementen
eines LCD-Paneels; Aufdrucken einer Dichtung am Rand des ersten
Substrats öder
am Rand des zweiten Substrats, wobei die Dichtung ein Loch für das Einspritzen
von Flüssigkristall
aufweist; Zusammenfügen
des ersten Substrats mit dem zweiten Substrat durch Erhitzen und
Aushärten
lassen der Dichtung; Einspritzen von Flüssigkristall; Abdichten des
Lochs; und Entfernen sowie Bearbeiten eines Teils des Randes der
jeweiligen Substrate, d.h. des Einzelpaneels.
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Wie aus den 5A und 5B ersichtlich,
erscheint bei den fertig zusammengesetzten LCD-Paneelen 103 der
gesamte Bildschirm aufgrund der Ränder mit den Dichtungsbereichen 105 der
Paneele und der schwarzen Matrix 111a an den Rändern (6A und 7A) aus einer Mehrzahl von Einzelpaneelen
zusammengesetzt. Deshalb ist es sehr wichtig, den Fugenbereich zwischen
jeweils zwei LCD-Paneelen so schmal herzustellen, daß er für einen
Betrachter nicht erkennbar ist. Das Herstellungsverfahren für ein hochauflösendes, großflächiges LCD-Paneel
wird im folgenden erläutert.
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In 5B und
den folgenden Figuren gelten folgende Bezeichnungen: NWS ist
die Breite der Dichtung nach dem Schneiden; NWSE ist
die Breite des Fugenbereichs; NWP ist die
Breite des Farbbildpunktes; NWBMD ist die
Breite der schwarzen Matrix über
den Datenbusleitungen; NWBMG ist die Breite
der schwarzen Matrix über
den Gate-Busleitungen; NWE ist die Breite
der schwarzen Matrix in den Randbereichen; NLP ist
die Länge der
Farbbildpunkte (entspricht der Länge
der Pixel); und NDh ist die Breite des Übergangsbereichs.
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Wie aus 5A ersichtlich, ist ein hochauflösendes,
großflächiges LCD-Paneel 101 durch
Zusammensetzen von 4 LCD-Paneelen 103 hergestellt.
Aus 5B ist eine vergrößerte Draufsicht
auf die Randbereiche der Paneele ersichtlich, an denen dieselben
zusammengesetzt sind. Bei der Erfindung werden typische VGA-LCD-Paneele
zusammengesetzt. Der Gesamtaufbau eines VGA-LCD-Paneels ist wie
folgt.
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Auf einem LCD-Paneel sind Farbbildpunkte 107 in
einer Matrixanordnung von 1920 × 400
Farbbildpunkten (640 × 400
Pixel) in horizontaler bzw. vertikaler Richtung (im VGA-Modus) angeordnet.
Jeder Farbbildpunkt weist die Form eines Rechtecks auf. In einer
Ecke eines jeden Farbbildpunktes ist ein Dünnschichttransistor 125 derart
ausgebildet, daß er
mit einer Farbbildpunkt-Elektrode 127 verbunden ist und
der Flüssigkristall
des Pixels mit Hilfe des Dünnschichttransistors 125 ansteuerbar
ist. Farbfilter 123 sind entsprechend den Pixel-Elektroden 127 angeordnet. Über jedem
Farbbildpunkt ist ein Farbfilter mit einer der Farben Rot, Grün und Blau
ausgebildet. Wenn ein Farbbildpunkt einen roten Lichtfilter aufweist,
weist der nächste
Farbbildpunkt einen grünen
Lichtfilter auf und nach dem Farbbildpunkt mit dem grünen Filter
folgt ein Farbbildpunkt mit einem blauen Farbfilter.
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Zwischen diesen Farbfiltern ist eine
schwarze Matrix 111 ausgebildet, die von anderen Farbbildpunkten
kommendes Licht abschirmt. Die schwarze Matrix 111 weist über den
Datenbusleitungen eine Breite NWHMD von
1/4 – 1/3
der Breite NWP eines jeden Farbbildpunktes 107 und über den
Gate-Busleitungen eine Breite NWHMC von
etwa 1/3 – 2/3
der Breite NWP eines jeden Farbbildpunktes
auf. Deshalb kann der Fugenbereich so ausgebildet werden, daß er nicht
erkennbar ist, falls die Fugenbreite NWSE der
zusammengesetzten LCDs ähnlich
der Breite NwSMD oder NWBMG der
schwarzen Matrix 111 ausgebildet ist. Um dies durchzuführen, muß die Breite
NWS des Dichtungsbereichs im zusammengefügten Zustand
und die Breite NWE der schwarzen Matrix
im Randbereich je nach ihrer Richtung (Verlauf über der Datenbusleitung oder
Verlauf über
der Gate-Busleitung) bevorzugt höchstens
die Hälfte
der Breiten NWBMD bzw. NWBMG der
schwarzen Matrix zwischen den einzelnen Farbbildpunkten aufweisen.
Um dies zu erleichtern, wird die Dichtung innerhalb der Ränder der
schwarzen Matrix ausgebildet.
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Aus Tabelle 1 ist ersichtlich, wie
das oben beschriebene Verfahren auf eine großflächige LCD angewendet wird,
die durch Zusammensetzen von Paneelen mit einer Bildschirmdiagonalen
von 10 Zoll bzw. 14 Zoll hergestellt ist. In Tabelle 1 sind die
Abmessungen typischer LCD-Paneele angegeben.
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Andererseits verbreitert sich die
Dichtung um den Faktor 2 bis 4 gegenüber ihrer ursprünglichen
Breite nach dem Aufdrucken, wenn das obere Substrat
103a und
das untere Substrat
103b zusammengefügt werden. Deshalb beträgt die Dichtungsbreite
etwa 100 bis 400 μm
nachdem Substrate mit einer ursprünglichen Dichtungsbreite von
50 bis 100 μm
gemäß einem
herkömmlichen
Verfahren zusammengefügt
wurden. Da die Form des Verlaufs der Dichtung in einem weiten Bereich
variiert, treten darüber
hinaus Abstände
von bis zu 100 μm
zwischen der Dichtung und dem inneren Rand der schwarzen Matrix
111a in
den Randbereichen auf. Im folgenden werden die Prinzipien des Herstellungsverfahrens
für LCD-Paneele
mit dem erfindungsgemäßen Aufbau
anhand von bevorzugten
Tabelle
1: Abmessungen typischer LCD-Paneele
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Ausführungsformen erläutert:
Aus
den 6A und 6B ist eine erste Ausführungsform
der erfindungsgemäßen hochauflösenden,
großflächigen Flüssigkristallanzeige
ersichtlich. Dargestellt ist jeweils der Fugenbereich eines LCD-Paneels.
Wie aus 6A ersichtlich,
sind ein oberes Substrat 103a und ein unteres Substrat 103b mittels
einer Dichtung 105 zusammengefügt. Das obere Substrat 103a weist
ein lichtabschirmendes Material einschließlich einer schwarzen Matrix 111 und
einer schwarzen Matrix 111a in den Randbereichen auf. Das
obere Substrat 103a weist ferner einen Farbfilter 123 auf.
Das untere Substrat 103b weist eine Pixel-Elektrode 127 und
einen Dünnschichttransistor 125 auf.
Linien, an denen ein Schnitt durchgeführt wird, sind mit den Bezugszeichen 121 bzw. 121a versehen.
Aus 6B ist eine vergrößerte Draufsicht
auf die hochauflösende
Flüssigkristallanzeige
aus 6A ersichtlich.
Aus dieser vergrößerten Draufsicht
sind die Breite NWE der schwarzen Matrix
in den Randbereichen, die Breite NWBMD der
schwarzen Matrix über
den Datenbusleitungen, die zusammengefügte Dichtung und ein Teil eines
Pixels ersichtlich.
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Aus den 7A und 7B ist
eine zweite Ausführungsform
der hochauflösenden,
großflächigen Flüssigkristallanzeige
der Erfindung in den Fugenbereichen ersichtlich. Die zweite Ausführungsform
ist im wesentlichen gleich der ersten, aus den 6A und 6B ersichtlichen
Ausführungsform,
abgesehen davon, daß die schwarze
Matrix 111a in den Randbereichen nicht über die Schnittlinie 121 hinausragt.
Es ist bevorzugt, daß die
schwarze Matrix 111a in den Randbereichen eine Breite aufweist,
die in etwa der Hälfte
der Breite der schwarzen Matrix 111 entspricht.
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Um die Erfindung weiter zu erläutern, wird
auf LCDs mit im folgenden beschriebenen Spezifikationen Bezug genommen.
Die Erfindung ist jedoch nicht auf LCDs mit solchen Spezifikationen
beschränkt.
Wie aus den 5A und 5B ersichtlich, werden für die Erfindung
LCDs mit einem Öffnungsverhältnis von
30 für VGA-Qualität und LCDs
mit einem Öffnungsverhältnis von
25 % für
SVGA-Qualität
verwendet. Das Aufdrucken der Dichtungen wird mit einer Breite von
70 μm mit
einer Toleranz von 5 μm
durchgeführt.
Dementsprechend beträgt
die Breite der Dichtung im zusammengefügten Zustand zwischen 210 μm bis 250 μm. Um die
Dichtungsbreite NWSE des Fugenbereichs zu
verringern, wird der Dichtungsbereich so eingestellt, daß er fast
exakt mit dem inneren Rand der schwarzen Matrix in den Randbereichen übereinstimmt.
Deshalb beträgt
die Breite der schwarzen Matrix zwischen 35 μm und 50 μm, und die Dichtung 105 verläuft von
dem inneren Rand der schwarzen Matrix 111a in den Randbereichen
(siehe z.B. 6A) bis
zu deren Außenseite
und weist eine Breite zwischen 210 μm und 250 μm auf.
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Um die LCD-Paneele zusammenzusetzen,
werden die Randbereiche der LCD-Paneele bearbeitet, indem sie derart
geschnitten werden, daß die
Breite NWS der Dichtung im zusammengefügten Zustand
oder die Breite NWE der schwarzen Matrix
in den Randbereichen, die im wesentlichen der Breite NWS der
verbleibenden Dichtung entspricht, 20 bis 30 μm beträgt. Mit anderen Worten wird
ein LCD-Paneel entlang der Linie geschnitten, die die Offset-Position
von dem äußeren Rand
der Dichtung zum inneren Rand der Dichtung hin mit einem Abstand
von etwa 200 μm
zwischen den beiden Schnittlinien 121 und 121a markiert.
Dann werden die so hergestellten LCD-Paneele 103 unter
Verwendung z.B. der APEX-Technik mit einem Abstand voneinander von
weniger als 5 μm
zusammengesetzt, so daß die
Fugenbreite zwischen 50 μm
und 70 μm
beträgt,
was gerade dem einfachen oder dem 1 1/2-fachen der Breite der über den 1 Datenbusleitungen ausgebildeten schwarzen
Matrix entspricht (siehe 6A und 6B).
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Wie aus den 8A bis 8C ersichtlich,
kann es sein, dass die Ränder
der Fugenbereiche grob und ungleichförmig sind, obwohl sie präzise geschnitten
wurden (8A). Der Randbereich
wird dann einem Präzisionsabschleifen
unterzogen, so daß eine
Ebenheit von ungefähr
5 μm erzielt
wird (8B). Diese LCD-Paneele
werden durch Auffüllen
der Fuge zwischen den Paneelen mit einem Füllmaterial 135 mit
einem Brechungsindex ähnlich
dem von Glas, wie z. B. SOG (Spin On Glas), oder einem schwarzen
Dichtungsmaterial zusammengefügt
(8C).
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Im allgemeinen ist es schwierig,
den Rand einer LCD genau zu schneiden, die durch Zusammenfügen eines
oberen Substrats und eines unteren Substrats und Einspritzen von
Flüssigkristall
zwischen die Substrate gebildet ist. Um dies zu vereinfachen, wird
die schwarze Matrix 111a in den Randbereichen derart ausgebildet, daß ihre Breite
die Hälfte
der Breite der anderen Bereiche der schwarzen Matrix 111 beträgt. Da nur
die schwarze Matrix undurchsichtig ist, wohingegen das Glas und
die Dichtung transparent sind, wird das Schneiden einfach, wenn
der äußere Rand
der schwarzen Matrix in den Randbereichen .als Bezugslinie für das Schneiden
verwendet wird (siehe 7A und 7B). Dies ist das bevorzugte
Verfahren, und es ist mit diesem Verfahren möglich, selbst nach reinem Augenmaß präzise zu
schneiden (8A). Der
Randbereich wird einem Präzisionsabschleifen
unter Verwendung eines ultrafeinen Abschleifverfahrens unterzogen,
um eine Ebenheit von etwa 5 μm
zu erzielen (siehe 8B),
wie bei den oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsformen. Diese LCD-Paneele
werden durch Auffüllen
der Fuge zwischen den Paneelen mit einem Füllmaterial 135 mit
einem Brechungsindex ähnlich
dem von Glas, wie z. B. SOG (Spin On Glas), oder einem schwarzen
Dichtungsmaterial hergestellt (8C).
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Es ist jedoch schwierig, zu bestimmen,
welches Verfahren das beste ist, um die LCD-Paneele präzise zu
schneiden. Das herkömmliche
Schneideverfahren ist lediglich zum Schneiden von Glassubstraten
geeignet. Die LCD-Paneele weisen jedoch auch aus einem Epoxidharz
gebildete Dichtungsbereiche auf. Diese Dichtungsbereiche sind durch
Ausheizen gehärtet.
Aus diesem Grund werden bei der Erfindung verschiedene Schneideverfahren
zum präzisen
Schneiden der LCD-Paneele verwendet. Bei den folgenden, bevorzugten Verfahren
werden verschiedene Schneideverfahren für die LCD-Paneele detailliert
erläutert.
Insbesondere werden die bevorzugten Schneideverfahren unter Bezugnahme
auf die aus den 6A und 7A ersichtlichen, bevorzugten
Ausführungsformen
erläutert.
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Wie aus den 9A und 9B ersichtlich,
werden ausgehend von den jeweils aus den 6A und 7A ersichtlichen
Ausführungsformen Ätzschutzmaterialien 131 auf
beiden Seiten der Paneele bis hin zur Schnittlinie 121 aufgebracht.
Um ein präziseres Ätzprofil
zu erreichen, wird der Ätzschutz 131 bis
hin zum äußeren Rand
der Dichtung 105 aufgebracht, wie aus den 10A und 10B ersichtlich.
Wenn ein Naßätzverfahren
zum Schneiden verwendet wird, wird das Ätzmittel bevorzugt aus einer
Gruppe ausgewählt,
die aufweist: HF, NH4F, und BOE (buffered
oxide etchant, gepuffertes Oxid-Ätzmittel).
Auf der anderen Seite wird, wenn ein Trockenätzverfahren verwendet wird,
das Ätzmittel
bevorzugt aus einer Gruppe ausgewählt, die aufweist: (CF4+O2) , (SF6+O2) und (CF4+SF6+O2)
. Bei dem Ätzverfahren
werden die Glassubstrate selektiv abgeätzt, der Ätzschutz 131 und die
Dichtung 105 verbleiben jedoch. Das verbleibende Material
kann leicht durch Abschleifen entfernt werden. Das Ätzschutzmaterial 131 weist
organische Materialien auf, die von dem Ätzmittel nicht angegriffen
werden. Insbesondere können
Polarisationsplatten als Ätzschutz
verwendet werden, um die Anzahl der Herstellungsschritte zu verringern.
Epoxidharz und Metalle (Cr, ITO – Indiumzinnoxid) können ebenfalls
verwendet werden. Die Beschichtungsdicke variiert jedoch in Abhängigkeit
der Dichte des Ätzmittels
und der Ätzrate,
da das Ätzmittel
Epoxidharz und Metalle angreift.
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Eine andere bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung ist aus den 11A und 11B ersichtlich. Dieses Verfahren
ist effizienter als das zuvor beschriebene Verfahren. Insbesondere
wird der Ätzschutz 131 auf beiden
Seiten des LCD-Paneels 103A und 103B aufgebracht
und eine Kerbe (oder ein V-förmiger
Schnitt) wird wenigstens auf einer Seite und bevorzugt auf beiden
Seiten entsprechend der Schnittlinie 121 ausgebildet. Das Paneel
wird durch selektives Abätzen
entlang der Schnittlinie 121 geschnitten. Dieses Verfahren wird
in kürzerer
Zeit durchgeführt,
da die Menge des abzuätzenden
Substrates geringer ist als beim selektiven Abätzen ohne Kerbe. Zum Beispiel
beträgt
die Ätzzeit 15 Minuten
um ein 0,5 t-Glassubstrat
unter Verwendung einer 25-prozentigen HF-Ätzlösung selektiv abzuätzen.
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Eine andere bevorzugte Ausführungsform
der Erfindung ist aus den 12A und 12B ersichtlich. Dieses Verfahren
führt zu
einem besseren Ätzprofil
als das zuvor beschriebene Verfahren. Bei diesem Verfahren wird
der äußere Rand
der Dichtung 105 so eingestellt, daß er mit der ersten Schnittlinie 121a bündig ist
(siehe 6A und 7A). Die über die erste Schnittlinie 121a hervorstehenden
Glasbereiche können
mit herkömmlichen
Schneideverfahren entfernt werden. Nach deren Entfernung ist der
Rand jedoch nicht glatt, da die Grenzfläche der Dichtung nicht glatt
ist. Deshalb wird der Rand unter Verwendung eines chemischen oder
eines mechanischen Polierverfahrens geglättet. Dann wird der Ätzschutz 131 jeweils
auf der Außenseite
der Substrate 103a und 103b aufgebracht und das
Paneel wird durch selektives Abätzen
geschnitten.
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Zusätzlich überdeckt der Ätzschutz 131 die
Substrate bis zum äußeren Rand
der Dichtung 105 hin, wenn der Ätzschutz 131, wie
aus 10A ersichtlich,
aufgebracht ist. In diesem Fall wird der Ätzschutz 131 auf der
ganzen Oberfläche
des Glassubstrates aufgebracht, wie aus den 13A und 13B ersichtlich.
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Eine alternative, nicht beanspruchte
Ausführungsform
ist aus den 14A und 14B ersichtlich. Bei dieser
Ausführungsform
werden die Substrate entlang der Schneidelinie 121 mittels
eines einen sehr kleinen Querschnitt aufweisenden Laserstrahls geschnitten.
Hier ist kein Ätzschutz 131 erforderlich.
Falls der Querschnitt des Laserstrahls jedoch nicht so gering ist
wie gewünscht,
kann auf eines der Substrate ein Laserstrahrschutz 133 mit
einer Kerbe mit dem gewünschten
Querschnitt am Ort der Schneidelinie aufgebracht werden. Dann werden
die Substrate durch Einstrahlen des Laserstrahls 139 in
die Kerbe geschnitten, wie aus den 15A und 15B ersichtlich. Hier weist
der Laserstrahlschutz 133 ein Metall, wie Cr, auf, das den
Laserstrahl 139 reflektiert. Die Wellenlänge des
Laserstrahls liegt bevorzugt zwischen 100 nm und 400 nm.
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Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist
aus 16 ersichtlich.
Bei dieser Ausführungsform wird,
nachdem der Laserstrahlschutz 133 mit einer Dicke von mehr
als 2000 Ä mit Öffnungsbereichen
(Kerben) aufgebracht wurde, ein Laserstrahlschutzbereich in der
Mitte der Öffnungsbereiche
gebildet (16). Wenn der
Laserstrahl 139, wie aus 16 ersichtlich,
eingestrahlt wird, härten
die bestrahlten Bereiche aus, während
die nichtbestrahlten Bereich nicht aushärten. Daraus folgt, daß die Glassubstrate
Bereiche 141 mit Phasendifferenzen aufweisen. Dann werden
die Paneele entlang dieser Bereiche durch selektives Abätzen geschnitten.
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Eine andere Ausführungsform der Erfindung ist
aus den 17A und 17B ersichtlich. Bei dieser
Ausführungsform
werden, wenn das Schneiden mit Hilfe mechanischer Mittel oder mittels
eines Laserstrahls durchgeführt
wurde, vorgeschnittene Bereiche verwendet, die durch Entfernen eines
Bereichs des Substrates entlang der Schneidelinie gebildet wurden.
Um die vorgeschnittenen Bereiche 143 präzise auszubilden, wird ein Ätzschutz 131 mit
einer Öffnung
(Kerbe) am Ort der Schneidelinie auf das Substrat aufgebracht. Dann
wird das Substrat am Ort der Öffnung
selektiv abgeätzt,
um die vorgeschnittenen Bereiche 143 zu bilden. Um die vorgeschnittenen
Bereiche 143 in einer V-Form zu bilden, sind Trockenätzverfahren
gegenüber
Naßätzverfahren
bevorzugt.
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Dementsprechend ist es erfindungsgemäß möglich, LCD-Paneele
mit einer Bilddiagonalen zwischen z.B. 10 und 14 Zoll, die zu klein
sind, um sie durch Zusammensetzen gemäß herkömmlicher Verfahren herzustellen,
durch Zusammensetzen herzustellen. Die Erfindung kann aufgrund des
Zusammensetzens von LCD-Paneelen mit einer Bildschirmdiagonalen
zwischen z.B. 16 und 22 Zoll einfach auf die Herstellung hochauflösender,
großflächiger LCD-Paneele
mit einer Bildschirmdiagonalen zwischen 38 und 44 Zoll angewendet werden.
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Ferner werden erfindungsgemäß durch
Zusammensetzen mehrerer LCD-Paneele in der gleichen Ebene ohne sichtbare
oder erkennbare Fugenbereiche unter Verwendung von Verfahren zum
präzisen
Ausbilden der Randbereiche der zusammenzusetzenden Paneele Anzeigen
mit einer höheren
Anzeigequalität
bereitgestellt. Da für
die Erfindung herkömmliche
LCD-Paneele verwendet werden können,
ist die Erfindung einfach auf die Herstellung von HDTV-Vorrichtungen
anwendbar. Zum Beispiel kann erfindungsgemäß ein 20-Zoll-SVGA-LCD-Paneel
mit 1,2 Millionen Farbbildpunkten durch Zusammensetzen von vier 10-Zoll-VGA-LCD-Paneelen mit jeweils
300000 Farbbildpunkten hergestellt werden. Außerdem kann ein hochauflösendes,
großflächiges LCD-Paneel
durch Zusammensetzen von vier SVGA-LCD-Paneelen mit jeweils 480000
Farbbildpunkten, hergestellt werden, das die HDTV-Anforderungen, (1,9
Millionen Farbbildpunkte) erfüllt.
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Dementsprechend ermöglicht die
Erfindung eine hochauflösende
Anzeige bei einer großflächigen LCD.
Verglichen z.B. mit dem Fall der Herstellung eines 20-Zoll-LCD-Paneels
mit 1,2 Millionen Farbbildpunkten ist die Produktionsausbeute bei
der Erfindung stark verbessert, während die Produktionskosten
deutlich reduziert sind.
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Ein wesentlicher Unterschied der
Erfindung verglichen mit dem Stand der Technik liegt in der Art,
wie die Ränder
der Paneele entfernt werden. Während
bei den herkömmlichen
Verfahren mechanische Schneideverfahren verwendet werden, z.B. Einkerben
der Paneele und anschließendes
Abbrechen durch Anwenden einer Kraft, werden bei der Erfindung Naßätzverfahren
bzw.
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Trockenätzverfahren, gegenebenfalls
in Verbindung mit Laserstrahlen für ein präzieses Schneiden der Randbereiche
verwendet.