JP3095254B2 - 液晶表示装置 - Google Patents
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Description
特に、有機系材料から成るブラックマトリクスを有する
液晶表示装置に関する。
装置は、マトリクス状に配列された複数の画素電極のそ
れぞれに対応して非線形素子(スイッチング素子)を設
けたものである。各画素における液晶は理論的には常時
駆動(デューティ比 1.0)されているので、時分割駆動
方式を採用している、いわゆる単純マトリクス方式と比
べてアクティブ方式はコントラストが良く、特にカラー
液晶表示装置では欠かせない技術となりつつある。スイ
ッチング素子として代表的なものとしては薄膜トランジ
スタ(TFT)がある。
を基準として下部透明ガラス基板上に薄膜トランジス
タ、透明画素電極、薄膜トランジスタの保護膜、液晶分
子の向きを設定するための下部配向膜が順次設けられた
下部基板と、上部透明ガラス基板上にブラックマトリク
ス、カラーフィルタ、カラーフィルタの保護膜、共通透
明画素電極、上部配向膜が順次設けられた上部基板とを
互いの配向膜が向き合うように重ね合わせ、基板の縁周
囲に配置したシール材によって両基板を接着すると共に
両基板の間に液晶を封止する。なお、下部基板側にはバ
ックライトが配置される。
る半導体層に外部光(自然光または室内の螢光灯等の一
般的な照明)やバックライト光が当たると、光照射によ
る導電現象すなわち薄膜トランジスタのオフ特性の劣化
が起こる。この半導体層に光が侵入するのを防止するた
めに遮光膜を設ける。従来は、下部透明ガラス基板側か
らの光を遮光するために、下部透明ガラス基板上にCr
等からなるゲート電極を大きめに設けて遮光膜としての
機能も兼ねさせ、かつ上部透明ガラス基板側からの光を
遮光するために、上部透明ガラス基板上のカラーフィル
タとカラーフィルタとの間にCr等からなるブラックマ
トリクスを設けていた。これらの膜により外部光やバッ
クライト光が半導体層に当たるのを防止できる。また、
ブラックマトリクスにより画素の輪郭が明確になるの
で、液晶表示のコントラストを向上させることができ
る。なお、ブラックマトリクスは、シール材を設けたシ
ール部にも設けられ、シール部において下部透明ガラス
基板側から照射されるバックライトの光が表示画面側に
漏れるのを防止し、表示品質の低下を抑制している。
ィブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、例えば「冗長
構成を採用した12.5型アクティブ・マトリクス方式カラ
ー液晶ディスプレイ」、日経エレクトロニクス、頁193
〜210、1986年12月15日、日経マグロウヒル社発行、で
知られている。
従来の液晶表示装置においては、表示画面側(観察側)
となる上部透明ガラス基板の内面には、Cr等の反射性
の金属材料からなり、表示画面の広い面積を占めるブラ
ックマトリクスが形成されているので、表示画面側の外
部光が表示画面で外側に反射し、画面が見にくく(鏡の
ようになる)、コントラストが低下し、表示品質が低下
する問題がある。
るバックライトの光が上部透明ガラス基板の内面に形成
されたブラックマトリクスで内側に反射し、薄膜トラン
ジスタのチャネル形成領域となる半導体層に光が当り、
光照射による導電現象が生じ、薄膜トランジスタのオフ
特性が劣化する問題がある。
クマトリクスを金属ではなく、黒色の染料や顔料を添加
したアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の有機系材料で作製
することが提案されている。しかし、上述のようにバッ
クライトの光漏れ防止を目的としてシール部にも有機系
材料から成るブラックマトリクスを設ける場合、ブラッ
クマトリクス自体がもろく、また他の材料との密着力が
弱いので、このブラックマトリクスの箇所で透明ガラス
基板が剥がれてしまう問題がある。
れたもので、その目的は、表示品質の低下や光照射によ
る導電現象を抑制することができる液晶表示装置を提供
することにある。
することができる液晶表示装置を提供することにある。
め、本発明は、2枚の透明基板をそれぞれ透明電極を設
けた面が対向するように所定の間隙を隔てて重ね合せ、
前記両基板の縁周囲に設けたシール部により前記両基板
を接着すると共に前記両基板の間に液晶を封止した液晶
表示装置において、前記いずれか一方の透明基板に所定
色の光を透過する複数のカラーフィルタと前記カラーフ
ィルタの周囲を遮光するブラックマトリクスを設け、前
記ブラックマトリクスは有機系材料からなり、前記ブラ
ックマトリクスを前記シール部まで延在し、前記シール
部は前記ブラックマトリクスと重なる部分と、前記ブラ
ックマトリクスと重ならない部分が存在することを特徴
とする。 また、前記液晶表示装置において、前記ブラッ
クマトリクスの端部が前記シール部の領域内に存在する
ことを特徴とする。 また、前記液晶表示装置において、
前記シール部の領域内の前記ブラックマトリクスのパタ
ーンが縞状であることを特徴とする。 また、前記液晶表
示装置において、前記シール部の前記ブラックマトリク
スと重ならない部分を、前記ブラックマトリクスと異な
る遮光膜で遮光したことを特徴とする。 また、前記液晶
表示装置において、前記ブラックマトリクスの厚さが前
記カラーフィルタの厚さよりも、1μm以上厚いことを特
徴とする。 また、2枚の透明基板をそれぞれ透明電極を
設けた面が対向するように所定の間隙を隔てて重ね合
せ、前記両基板の縁周囲に設けたシール部により前記両
基板を接着すると共に前記両基板の間に液晶を封止した
液晶表示装置において、前記いずれか一方の透明基板に
所定色の光を透過する複数のカラーフィルタと前記カラ
ーフィルタの周囲を遮光するブラックマトリクスを設
け、前記ブラックマトリクスはアクリル樹脂またはエポ
キシ樹脂に、染料、顔料あるいはカーボンを添加して黒
色にした有機系材料からなり、前記ブラックマトリクス
を前記シール部まで延在し、前記シール部は前記ブラッ
クマトリクスと重なる部分と、前記ブラックマトリクス
と重ならない部分が存在することを特徴とする。 また、
前記液晶表示装置において、前記シール部の前記ブラッ
クマトリクスと重ならない部分を、前記ブラックマトリ
クスと異なる遮光膜で遮光したことを特徴とする。 ま
た、前記液晶表示装置において、前記ブラックマトリク
スの厚さが前記カラーフィルタの厚さよりも、1μm以上
厚いことを特徴とする。 また、透明な第1及び第2基板
をそれぞれの主面が対向するように所定の間隙を隔てて
重ね合せ、前記第1及び第2基板の縁周囲に設けたシー
ル部により前記第1及び第2基板を接着すると共に前記
第1及び第2基板の間に液晶を封止した液晶表示装置に
おいて、前記第1基板の主面に薄膜トランジスタと画素
電極よりなる画素を複数設け、前記第2基板の主面上で
前記薄膜トランジスタと対向する領域に、前記薄膜トラ
ンジスタを遮光するブラックマトリクスを設け、前記ブ
ラックマトリクスは有機系材料からなり、前記ブラック
マトリクスを前記シール部まで延在し、前記シール部は
前記ブラックマトリクスと重なる部分と、前記ブラック
マトリクスと重ならない部分が存在することを特徴とす
る。 また、前記液晶表示装置において、前記シール部の
前記ブラックマトリクスと重ならない部分を、前記ブラ
ックマトリクスと異なる遮光膜で遮光したことを特徴と
する。 また、前記液晶表示装置において、前記ブラック
マトリクスの厚さが前記カラーフィルタの厚さよりも、
1μm以上厚いことを特徴とする。 また、前記液晶表示装
置において、前記薄膜トランジスタは前記第1基板の主
面に設けられた不透明材からなるゲート電極と、該ゲー
ト電極上に設けられたゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜
上に設けられた半導体層と、該半導体層上に設けられた
ソース及びドレイン電極とよりなり、前記第1基板側か
ら前記液晶に光を照射するバックライトを設けたことを
特徴とする。
スを有機系材料で形成したので、ブラックマトリクスに
起因して外部光が表示画面で外側に反射して表示品質が
低下するという問題を解決することができる。さらに、
基板の剥がれの原因となる有機系材料から成るブラック
マトリクスをシール部において部分的に設けたので、基
板の剥がれを抑制することができる。 また、シール部の
ブラックマトリクスと重ならない部分を、ブラックマト
リクスと異なる遮光膜で遮光することにより、シール部
のブラックマトリクスが無い部分での光漏れを無くすこ
とが出来る。 また、ブラックマトリクスの厚さをカラー
フィルタの厚さよりも1μm以上厚くすることにより、ブ
ラックマトリクス部分で液晶動作が行われない未動作部
分が発生するので、未動作部分の液晶が液晶セル内で発
生する散乱光に対し壁として働くようになる。 特に、ブ
ラックマトリクスがアクリル樹脂またはエポキシ樹脂
に、染料、顔料あるいはカーボンを添加して黒色にした
有機材料からなる場合には、ブラックマトリクス自体が
もろく、また他の材料との密着力が弱いので、ブラック
マトリクスをシール部において部分的に設けることによ
る、基板の剥がれを抑制する効果が大である。 また、透
明な第1基板に薄膜トランジスタと画素電極を設けて成
る液晶表示装置では、ブラックマトリクスを有機系材料
で形成したので、第1基板側から照射されるバックライ
トの光が第2基板の内側に形成されたブラックマトリク
スで内側に反射し、薄膜トランジスタのチャネル形成領
域となる半導体層に光が当たり、光照射による導電現象
が生じ、薄膜トランジスタのオフ特性が劣化するという
問題を抑制することができる。
リクス方式のカラー液晶表示装置を説明する。
において、同一機能を有するものは同一符号を付け、そ
の繰り返しの説明は省略する。
・マトリクス方式のカラー液晶表示装置に本発明を適用
した実施例とともに説明する。
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。
マトリクス方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の断
面図(後述の図2の1−1切断線における断面とシール
部付近の断面を示す図)である。
す平面図であり、図3は、図2の3−3切断線における
断面図である。また、図4(要部平面図)には、図2に
示す画素を複数配置したときの平面図を示す。
に、液晶LCを基準に下部透明ガラス基板SUB1側に
は薄膜トランジスタTFTおよび透明画素電極ITO1
が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側にはカラー
フィルタFIL、遮光用ブラックマトリクスパターンを
形成する遮光膜BMが形成されている。下部透明ガラス
基板SUB1は例えば 1.1[mm]程度の厚さで構成され
ている。また、透明ガラス基板SUB1、SUB2の両
面にはディップ処理等によって形成された酸化シリコン
膜SIOが設けられている。このため、透明ガラス基板
SUB1、SUB2の表面に鋭い傷があったとしても、
鋭い傷を酸化シリコン膜SIOで覆うことができるの
で、走査信号線GL、カラーフィルタFILが損傷する
のを有効に防止することができる。
いるが、左側は透明ガラス基板SUB1、SUB2の左
側縁部分で外部引出配線の存在する部分の断面を示して
おり、右側は透明ガラス基板SUB1、SUB2の右側
縁部分で外部引出配線の存在しない部分の断面を示して
いる。
材SLは透明ガラス基板SUB1とSUB2とを接着す
ると共に液晶LCを封止するように構成されており、液
晶封入口(図示していない)を除く透明ガラス基板SU
B1、SUB2の縁周囲全体に沿って形成されている。
シール材SLは例えばエポキシ樹脂で形成されている。
画素電極ITO2は、少なくとも一個所において、銀ペ
ースト材SILによって下部透明ガラス基板SUB1側
に形成された外部引出配線に接続されている。この外部
引出配線はゲート電極GT、ソース電極SD1、ドレイ
ン電極SD2のそれぞれと同一製造工程で形成される。
ITO1、共通透明画素電極ITO2、保護膜PSV
1、PSV2、絶縁膜GIのそれぞれの層は、シール材
SLの内側に形成される。偏光板POL1、POL2は
それぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透明ガラス
基板SUB2の外側の表面に形成されている。
配向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間に封入さ
れ、シール部SLによってシールされている。
SUB1側の保護膜PSV1の上部に形成される。
LC側)の表面には、遮光膜BM、カラーフィルタFI
L、保護膜PSV2、共通透明画素電極ITO2(CO
M)および上部配向膜ORI2が順次積層して設けられ
ている。
UB1側、上部透明ガラス基板SUB2側のそれぞれの
層を別々に形成し、その後上下透明ガラス基板SUB
1、SUB2を重ね合わせ、両者間に液晶LCを封入す
ることによって組み立てられる。
2側には、外部光(図1では上方からの光)がチャネル
形成領域として使用されるi型半導体層ASに入射され
ないように、遮光膜BMが設けられ、遮光膜BMは図7
のハッチングに示すようなパターンとされている。な
お、図7は図2におけるITO膜から成る第3導電膜d
3、カラーフィルタFILおよび遮光膜BMのみを描い
た平面図である。遮光膜BMは、例えば黒色の染料、顔
料あるいはカーボンを添加したアクリル樹脂やエポキシ
樹脂等の有機系材料で形成されている。遮光膜BMは、
図2、図7および図1から明らかなように、反射性不透
明材から成るゲート電極GTとオーバーラップし、かつ
面積も大である。
T2のi型半導体層ASは上下にある遮光膜BMおよび
大き目のゲート電極GTによってサンドイッチにされ、
その部分は外部の外部光やバックライト光が当たらなく
なる。遮光膜BMは図7のハッチング部分で示すよう
に、画素の周囲に形成され、つまり遮光膜BMは格子状
に形成され(ブラックマトリクス)、この格子で1画素
の有効表示領域が仕切られている。従って、各画素の輪
郭が遮光膜BMによってはっきりとし、コントラストが
向上する。つまり、遮光膜BMはi型半導体層ASに対
する遮光とブラックマトリクスとの2つの機能をもつ。
向の根本側のエッジ部に対向する部分(図2右下部分)
が遮光膜BMによって遮光されているから、上記部分に
ドメインが発生したとしても、ドメインが見えないの
で、表示特性が劣化することはない。
UB2上に有機系材料からなるブラックマトリクスBM
が選択的に形成され、このブラックマトリクスBMの間
にカラーフィルタFIL(R)、(G)、(B)
((B)は図示省略)が形成され、保護膜PSV2、共
通透明画素電極ITO2、上部配向膜ORI2がそれぞ
れ表面の凹凸に沿って形成されている。ブラックマトリ
クスBMの厚さはカラーフィルタFILよりも厚く形成
されている。
系材料で形成したので、ブラックマトリクスに起因して
外部光が表示画面で外側に反射して、画面が見にくい
(鏡のようになる)という問題を解決することができ
る。また、下部透明ガラス基板SUB1側から照射され
るバックライトBLの光がブラックマトリクスで内側に
反射し、薄膜トランジスタTFTのチャネル形成領域と
なる半導体層ASに光が当り、光照射による導電現象が
生じ、薄膜トランジスタのオフ特性が劣化するという問
題を抑制することができる。また、有機系材料は従来用
いた金属等より光透過率が高いが、カラーフィルタFI
Lよりも例えば1μm程厚く(例えばFILを1.5μ
m、BMを2.5μm程度に)形成するので遮光効果は
十分であり、ブラックマトリクスとしての機能を十分果
たす。さらに、カラーフィルタFILよりも厚いブラッ
クマトリクスBMにより、光の選択性が向上し、明瞭な
表示が得られ、隣接画素の駆動による影響を低減するこ
とができる。
れた画素部よりも、ブラックマトリクスBM部の方が高
さが高く、下部透明ガラス基板SUB1と組み合わせた
ときの両部のセルギャップが異なる。従って、画素部に
おいて正規のセルギャップを設定することにより、カラ
ーフィルタFILより厚さが1μmも厚いブラックマト
リクスBM部では設計どおりの液晶動作が行なわれな
い。従って、このようにすれば、セル内で散乱光が生じ
たとしても、ブラックマトリクスBM部の未動作の液晶
LCがこの散乱光に対する壁として働き、光照射による
導電現象を抑制することができる。
ス基板SUB1側から照射されるバックライトBLの光
が漏れると、表示品質が低下するので、このシール部S
LにもバックライトBLの光を遮光するためにブラック
マトリクスBMを設けている。しかし、ブラックマトリ
クスBMを染料、顔料、カーボンなどが添加された有機
系材料を用いて作製すると、このブラックマトリクスB
M自体がもろく、また他の材料との密着力が弱いので、
この部分で基板SUB1またはSUB2が剥離すること
があった。しかし、本実施例では、有機系材料から成る
ブラックマトリクスBMをシール部SLにおいて部分的
に設けた(ブラックマトリクスBMの有る部分と無い部
分を設けた)ので、有る部分でバックライトBLの遮光
効果があり、無い部分で接着強度を維持できる。従っ
て、透明ガラス基板SUB1とSUB2とが剥がれる問
題を抑制することができる。なお、ブラックマトリクス
BMの無い部分の光漏れを対策するために、ブラックマ
トリクスBMの無い部分に対応する上部透明ガラス基板
SUB2の上部偏光板POL2の上等に遮光膜を設け
る。しかし、必ずしも設けなくてもよい。
ず、酸化シリコン膜SIOが形成された上部透明ガラス
基板SUB2上にブラックマトリクスBMを選択的に形
成する。すなわち、まず、上部透明ガラス基板SUB2
の表面に例えばアクリル樹脂等の有機系材料からなる染
色基材を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて所定
のパターンに形成した後、染色する。ブラックマトリク
スBMの色は遮光の点から黒が望ましい。なお、顔料、
カーボン等を予め添加した基材を基板上に形成してもよ
い。本発明では、ブラックマトリクスBMの材料として
従来の金属等より光透過率の高い有機系材料を用いるの
で、遮光効果を十分にする(可視光領域でAbs2.5〜
3.0以上)ために、カラーフィルタの膜厚より約1μm
厚く形成する。
ーフィルタFIL(R)、(G)、(B)を形成する。
すなわち、まず、上部透明ガラス基板SUB2の表面に
アクリル樹脂等の染色基材を形成し、フォトリソグラフ
ィ技術を用いて赤色フィルタ形成領域以外の染色基材を
除去する。この後、染色基材を赤色染料で染め、固着処
理を施し、赤色フィルタ(R)を形成する。次に、同様
な工程を施すことによって、緑色フィルタ(G)、青色
フィルタ(G)を順次形成する。もちろん、カラーフィ
ルタも予め基材に顔料を添加して形成してもよい。
ィルタFILの表面の凹凸に合わせて保護膜PSV2を
スピンコート法やロールコート法により形成し、その上
に共通透明画素電極ITO2、上部配向膜ORI2を順
次形成する。保護膜PSV2は、例えば、アクリル樹
脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成する。保護膜
PSV2を表面の凹凸に合わせて形成する技術として
は、材料による方法と、プロセス条件による方法とがあ
る。
ス基板SUB2上に選択的に形成したブラックマトリク
スBMの間にカラーフィルタFILを形成し、その上に
保護膜PSV2、共通透明画素電極ITO2、上部配向
膜ORI2をそれぞれ表面の凹凸に沿って形成したが、
カラーフィルタFILをそれぞれ形成した後、この上に
ブラックマトリクスBMを選択的に形成してもよい。こ
の場合、ブラックマトリクスBMの凹部にカラーフィル
タを形成する場合よりも容易に製造できる利点がある。
2を表面の凹凸に合わせて形成したが、表面の凹凸を埋
め込むように保護膜PSV2を平坦に形成してもよい。
従って、共通透明画素電極ITO2、上部配向膜ORI
2等も保護膜PSV2上に平坦に形成される。この場
合、保護膜PSV2でブラックマトリクスBMの凹部を
埋め込んだので、大画面の場合でも、セルギャップの制
御がし易い利点がある。
とブラックマトリクスBMとの間に保護膜PSV2を設
けたが、シール部SLにおいて、シール材SLとブラッ
クマトリクスBMとの間に保護膜PSV2を設けなくて
もよい。
FILはアクリル樹脂等の樹脂材料で形成される染色基
材に染料を着色して構成されている。カラーフィルタF
ILは画素に対向する位置にストライプ状に形成され
(図8)、染め分けられている(図8は図4の第3導電
膜層d3、遮光膜BMおよびカラーフィルタFILのみ
を描いたもので、B、R、Gの各カラーフィルターFI
Lはそれぞれ、45°、 135°、クロスのハッチを施して
ある)。カラーフィルタFILは図7に示すように透明
画素電極ITO1の全てを覆うように大き目に形成さ
れ、遮光膜BMはカラーフィルタFILおよび透明画素
電極ITO1のエッジ部分と重なるよう透明画素電極I
TO1の周縁部より内側に形成されている。
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面に染色基材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤
色フィルタ形成領域以外の染色基材を除去する。この
後、染色基材を赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色
フィルタRを形成する。つぎに、同様な工程を施すこと
によって、緑色フィルタG、青色フィルタBを順次形成
する。
ーフィルタFILを異なる色に染め分けた染料が液晶L
Cに漏れることを防止するために設けられている。保護
膜PSV2は例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透
明樹脂材料で形成されている。
隣接する2本の走査信号線(ゲート信号線または水平信
号線)GLと、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信
号線または垂直信号線)DLとの交差領域内(4本の信
号線で囲まれた領域内)に配置されている。各画素は薄
膜トランジスタTFT、透明画素電極ITO1および保
持容量素子Cadd を含む。走査信号線GLは列方向に延
在し、行方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は行方向に延在し、列方向に複数本配置されている。
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
内において2つ(複数)に分割され、薄膜トランジスタ
(分割薄膜トランジスタ)TFT1およびTFT2で構
成されている。薄膜トランジスタTFT1、TFT2の
それぞれは実質的に同一サイズ(チャネル長、チャネル
幅が同じ)で構成されている。この分割された薄膜トラ
ンジスタTFT1、TFT2のそれぞれは、主にゲート
電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型非晶質シリコン(S
i)からなるi型半導体層AS、一対のソース電極SD
1、ドレイン電極SD2で構成されている。なお、ソー
ス・ドレインは本来その間のバイアス極性によって決ま
り、この液晶表示装置の回路ではその極性は動作中反転
するので、ソース・ドレインは動作中入れ替わると理解
されたい。しかし、以下の説明でも、便宜上一方をソー
ス、他方をドレインと固定して表現する。
(図2の第1導電膜g1、第2導電膜g2およびi型半
導体層ASのみを描いた平面図)に詳細に示すように、
走査信号線GLから垂直方向(図2および図5において
上方向)に突出する形状で構成されている(T字形状に
分岐されている)。ゲート電極GTは薄膜トランジスタ
TFT1、TFT2のそれぞれの形成領域まで突出する
ように構成されている。薄膜トランジスタTFT1、T
FT2のそれぞれのゲート電極GTは、一体に(共通ゲ
ート電極として)構成されており、走査信号線GLに連
続して形成されている。ゲート電極GTは、薄膜トラン
ジスタTFTの形成領域において大きい段差を作らない
ように、単層の第1導電膜g1で構成する。第1導電膜
g1は例えばスパッタで形成されたクロム(Cr)膜を
用い、1000[Å]程度の膜厚で形成する。
5に示されているように、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大き目に形成される。
したがって、下部透明ガラス基板SUB1の下方に蛍光
灯等のバックライトBLを取り付けた場合、この不透明
なクロムからなるゲート電極GTが影となって、i型半
導体層ASにはバックライト光が当たらず、光照射によ
る導電現象すなわち薄膜トランジスタTFTのオフ特性
劣化は起きにくくなる。なお、ゲート電極GTの本来の
大きさは、ソース電極SD1とドレイン電極SD2との
間をまたがるに最低限必要な(ゲート電極GTとソース
電極SD1、ドレイン電極SD2との位置合わせ余裕分
も含めて)幅を持ち、チャネル幅Wを決めるその奥行き
長さはソース電極SD1とドレイン電極SD2との間の
距離(チャネル長)Lとの比、すなわち相互コンダクタ
ンスgmを決定するファクタW/Lをいくつにするかによ
って決められる。
の大きさはもちろん、上述した本来の大きさよりも大き
くされる。
の機能面からだけで考えれば、ゲート電極GTおよび走
査信号線GLは単一の層で一体に形成してもよく、この
場合不透明導電材料としてシリコンを含有させたアルミ
ニウム(Al)、純アルミニウム、パラジウム(Pd)
を含有させたアルミニウム等を選ぶことができる。
導電膜g1およびその上部に設けられた第2導電膜g2
からなる複合膜で構成されている。この走査信号線GL
の第1導電膜g1はゲート電極GTの第1導電膜g1と
同一製造工程で形成され、かつ一体に構成されている。
第2導電膜g2は例えばスパッタで形成されたアルミニ
ウム膜を用い、1000〜5500[Å]程度の膜厚で形成す
る。第2導電膜g2は走査信号線GLの抵抗値を低減
し、信号伝達速度の高速化(画素の情報の書込特性向
上)を図ることができるように構成されている。
幅寸法に比べて第2導電膜g2の幅寸法を小さく構成し
ている。すなわち、走査信号線GLはその側壁の段差形
状がゆるやかになっている。
スタTFT1、TFT2のそれぞれのゲート絶縁膜とし
て使用される。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査
信号線GLの上層に形成されている。絶縁膜GIは例え
ばプラズマCVDで形成された窒化シリコン膜を用い、
3000[Å]程度の膜厚で形成する。
は、図5に示すように、複数に分割された薄膜トランジ
スタTFT1、TFT2のそれぞれのチャネル形成領域
として使用される。i型半導体層ASは非晶質シリコン
膜または多結晶シリコン膜で形成し、約1800[Å]程度
の膜厚で形成する。
を変えてSi3N4からなるゲート絶縁膜として使用され
る絶縁膜GIの形成に連続して、同じプラズマCVD装
置で、しかもそのプラズマCVD装置から外部に露出す
ることなく形成される。また、オーミックコンタクト用
のPをドープしたN(+)型半導体層d0(図1)も同
様に連続して約 400[Å]の厚さに形成される。しかる
後、下部透明ガラス基板SUB1はCVD装置から外に
取り出され、写真処理技術によりN(+)型半導体層d
0およびi型半導体層ASは図2、図1および図5に示
すように独立した島状にパターニングされる。
細に示すように、走査信号線GLと映像信号線DLとの
交差部(クロスオーバ部)の両者間にも設けられてい
る。この交差部のi型半導体層ASは交差部における走
査信号線GLと映像信号線DLとの短絡を低減するよう
に構成されている。
2)複数に分割された薄膜トランジスタTFT1、TF
T2のそれぞれのソース電極SD1とドレイン電極SD
2とは、図2、図1および図6(図2の第1〜第3導電
膜d1〜d3のみを描いた平面図)で詳細に示すよう
に、i型半導体層AS上にそれぞれ離隔して設けられて
いる。
それぞれは、N(+)型半導体層d0に接触する下層側
から、第1導電膜d1、第2導電膜d2、第3導電膜d
3を順次重ね合わせて構成されている。ソース電極SD
1の第1導電膜d1、第2導電膜d2および第3導電膜
d3は、ドレイン電極SD2の第1導電膜d1、第2導
電膜d2および第3導電膜d3と同一製造工程で形成さ
れる。
ム膜を用い、 500〜1000[Å]の膜厚(この液晶表示装
置では、 600[Å]程度の膜厚)で形成する。クロム膜
は膜厚を厚く形成するとストレスが大きくなるので、20
00[Å]程度の膜厚を越えない範囲で形成する。クロム
膜はN(+)型半導体層d0との接触が良好である。ク
ロム膜は後述する第2導電膜d2のアルミニウムがN
(+)型半導体層d0に拡散することを防止するいわゆ
るバリア層を構成する。第1導電膜d1としては、クロ
ム膜の他に高融点金属(Mo、Ti、Ta、W)膜、高
融点金属シリサイド(MoSi2、TiSi2、TaSi
2、WSi2)膜で形成してもよい。
した後、同じ写真処理用マスクを用いて、あるいは第1
導電膜d1をマスクとして、N(+)型半導体層d0が
除去される。つまり、i型半導体層AS上に残っていた
N(+)型半導体層d0は第1導電膜d1以外の部分が
セルフアラインで除去される。このとき、N(+)型半
導体層d0はその厚さ分は全て除去されるようエッチさ
れるので、i型半導体層ASも若干その表面部分でエッ
チされるが、その程度はエッチ時間で制御すればよい。
のスパッタリングで3000〜5500[Å]の膜厚(この液晶
表示装置では、3500[Å]程度の膜厚)に形成される。
アルミニウム膜はクロム膜に比べてストレスが小さく、
厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極SD1、
ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵抗値を低
減するように構成されている。第2導電膜d2としては
アルミニウム膜の他にシリコンや銅(Cu)を添加物と
して含有させたアルミニウム膜で形成してもよい。
ーニング後、第3導電膜d3が形成される。この第3導
電膜d3はスパッタリングで形成された透明導電膜(In
dium-Tin-Oxide ITO:ネサ膜)からなり、1000〜20
00[Å]の膜厚(この液晶表示装置では、1200[Å]程
度の膜厚)で形成される。この第3導電膜d3はソース
電極SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DL
を構成するとともに、透明画素電極ITO1を構成する
ようになっている。
イン電極SD2の第1導電膜d1のそれぞれは、上層の
第2導電膜d2および第3導電膜d3に比べて内側に
(チャネル領域内に)大きく入り込んでいる。つまり、
これらの部分における第1導電膜d1は第2導電膜d
2、第3導電膜d3とは無関係に薄膜トランジスタTF
Tのチャネル長Lを規定できるように構成されている。
に接続されている。ソース電極SD1は、i型半導体層
ASの段差形状(第1導電膜g1の膜厚、N(+)型半
導体層d0の膜厚およびi型半導体層ASの膜厚を加算
した膜厚に相当する段差)に沿って構成されている。具
体的には、ソース電極SD1は、i型半導体層ASの段
差形状に沿って形成された第1導電膜d1と、この第1
導電膜d1の上部にそれに比べて透明画素電極ITO1
と接続される側を小さいサイズで形成した第2導電膜d
2と、この第2導電膜d2から露出する第1導電膜d1
に接続された第3導電膜d3とで構成されている。ソー
ス電極SD1の第2導電膜d2は第1導電膜d1のクロ
ム膜がストレスの増大から厚く形成できず、i型半導体
層ASの段差形状を乗り越えられないので、このi型半
導体層ASを乗り越えるために構成されている。つま
り、第2導電膜d2は厚く形成することでステップカバ
レッジを向上している。第2導電膜d2は厚く形成でき
るので、ソース電極SD1の抵抗値(ドレイン電極SD
2や映像信号線DLについても同様)の低減に大きく寄
与している。第3導電膜d3は第2導電膜d2のi型半
導体層ASに起因する段差形状を乗り越えることができ
ないので、第2導電膜d2のサイズを小さくすること
で、露出する第1導電膜d1に接続するように構成され
ている。第1導電膜d1と第3導電膜d3とは接着性が
良好であるばかりか、両者間の接続部の段差形状が小さ
いので、ソース電極SD1と透明画素電極ITO1とを
確実に接続することができる。
TO1は液晶表示部の画素電極の一方を構成する。
TFT1のソース電極SD1および薄膜トランジスタT
FT2のソース電極SD1に接続されている。このた
め、薄膜トランジスタTFT1、TFT2のうちの1つ
例えば薄膜トランジスタTFT1に欠陥が発生したとき
には、製造工程においてレーザ光等によって、薄膜トラ
ンジスタTFT1と映像信号線DLとを切り離すととも
に、薄膜トランジスタTFT1と透明画素電極ITO1
とを切り離せば、点欠陥、線欠陥にはならず、しかも2
つの薄膜トランジスタTFT1、TFT2に同時に欠陥
が発生することはほとんどないから、点欠陥が発生する
確率を極めて小さくすることができる。
Tおよび透明画素電極ITO1上には保護膜PSV1が
設けられている。保護膜PSV1は主に薄膜トランジス
タTFTを湿気等から保護するために形成されており、
透明性が高くしかも耐湿性の良いものを使用する。保護
膜PSV1は例えばプラズマCVD装置で形成した酸化
シリコン膜や窒化シリコン膜で形成されており、8000
[Å]程度の膜厚で形成する。
素電極ITO2は、下部透明ガラス基板SUB1側に画
素ごとに設けられた透明画素電極ITO1に対向し、液
晶LCの光学的な状態は各画素電極ITO1と共通透明
画素電極ITO2との間の電位差(電界)に応答して変
化する。この共通透明画素電極ITO2にはコモン電圧
Vcom が印加されるように構成されている。コモン電圧
Vcom は映像信号線DLに印加されるロウレベルの駆動
電圧Vdminとハイレベルの駆動電圧Vdmax との中間
電位である。
部の等価回路とその周辺回路の結線図を図9に示す。同
図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応して
描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配列した
マトリクス・アレイである。
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1,2,3,…,end は走査タイミングの順序に従って
付加されている。
(または奇数)映像信号駆動回路He、下側(または偶
数)映像信号駆動回路Hoに接続されている。
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
極ITO1は、薄膜トランジスタTFTと接続される端
部と反対側の端部において、隣りの走査信号線GLと重
なるように形成されている。この重ね合わせは、図3か
らも明らかなように、透明画素電極ITO1を一方の電
極PL2とし、隣りの走査信号線GLを他方の電極PL
1とする保持容量素子(静電容量素子)Cadd を構成す
る。この保持容量素子Cadd の誘電体膜は、薄膜トラン
ジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される絶縁膜G
Iと同一層で構成されている。
なように、走査信号線GLの第1導電膜g1の幅を広げ
た部分に形成されている。なお、映像信号線DLと交差
する部分の第1導電膜g1は映像信号線DLとの短絡の
確率を小さくするため細くされている。
合わされる透明画素電極ITO1と電極PL1との間の
一部には、ソース電極SD1と同様に、段差形状を乗り
越える際に透明画素電極ITO1が断線しないように、
第1導電膜d1および第2導電膜d2で構成された島領
域が設けられている。この島領域は、透明画素電極IT
O1の面積(開口率)を低下しないように、できる限り
小さく構成する。(保持容量素子Cadd の等価回路とそ
の動作)図2に示される画素の等価回路を図10に示
す。図10において、Cgsは薄膜トランジスタTFTの
ゲート電極GTとソース電極SD1との間に形成される
寄生容量である。寄生容量Cgsの誘電体膜は絶縁膜GI
である。Cpix は透明画素電極ITO1(PIX)と共
通透明画素電極ITO2(COM)との間に形成される
液晶容量である。液晶容量Cpix の誘電体膜は液晶L
C、保護膜PSV1および配向膜ORI1、ORI2で
ある。Vlcは中点電位である。
TFTがスイッチングするとき、中点電位(画素電極電
位)Vlcに対するゲート電位変化ΔVg の影響を低減す
るように働く。この様子を式で表すと、次式のようにな
る。
Vgここで、ΔVlcはΔVg による中点電位の変化分を
表わす。この変化分ΔVlcは液晶LCに加わる直流成分
の原因となるが、保持容量Cadd を大きくすればする
程、その値を小さくすることができる。また、保持容量
素子Cadd は放電時間を長くする作用もあり、薄膜トラ
ンジスタTFTがオフした後の映像情報を長く蓄積す
る。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶LC
の寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画像
が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、したがって寄生容量Cgsが大きくなり、中点
電位Vlcはゲート(走査)信号Vg の影響を受け易くな
るという逆効果が生じる。しかし、保持容量素子Cadd
を設けることによりこのデメリットも解消することがで
きる。
書込特性から、液晶容量Cpix に対して4〜8倍(4・
Cpix<Cadd<8・Cpix)、寄生容量Cgsに対して8〜
32倍(8・Cgs<Cadd<32・Cgs)程度の値に設定す
る。
保持容量電極線としてのみ使用される初段の走査信号線
GL(Y0)は、図9に示すように、共通透明画素電極
ITO2(Vcom )に接続する。共通透明画素電極IT
O2は、図1に示すように、液晶表示装置の周縁部にお
いて銀ペースト材SLによって外部引出配線に接続され
ている。しかも、この外部引出配線の一部の導電膜(g
1およびg2)は走査信号線GLと同一製造工程で構成
されている。この結果、最終段の保持容量電極線GL
は、共通透明画素電極ITO2に簡単に接続することが
できる。
信号線Yend に接続、Vcom 以外の直流電位点(交流接
地点)に接続するかまたは垂直走路回路Vから1つ余分
に走査パルスY0 を受けるように接続してもよい。
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。
マトリクスBMは同じ有機系材料を用いることができる
ので、ブラックマトリクスBMを各カラーフィルタFI
L(R)、(G)、(B)の3層の重ね合せにより形成
してもよい。この場合、ブラックマトリクスBMの染色
は、各カラーフィルタFILの赤、緑、青の全染料で染
めてもよい。
たブラックマトリクスBMのパターンは、図1に示した
ようなパターンに限らず、シール部SLにおいてブラッ
クマトリクスBMが有る部分と無い部分が存在すればよ
く、例えば縞状パターン等を用いてもよい。
形成→ゲート絶縁膜形成→半導体層形成→ソース・ドレ
イン電極形成の逆スタガ構造を示したが、上下関係また
は作る順番がそれと逆のスタガ構造でも本発明は有効で
ある。
装置では、ブラックマトリクスに起因する外部光の表示
画面での外側への反射を防止できるので、表示品質を向
上することができる。また、セル内の乱反射を防止でき
るので、光照射による導電現象すなわち薄膜トランジス
タのオフ特性の劣化の問題を抑制することができる。さ
らに、シール部において有機系材料から成るブラックマ
トリクスを部分的に設けたので、基板の剥がれを抑制す
ることができる。
式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の断面図(後述の
図2の1−1切断線における断面とシール部付近の断面
を示す図)である。
部平面図である。
である。
である。
である。
ィルタ層のみを描いた要部平面図である。
スタ、AS…i型半導体層、ITO1…透明画素電極、
PSV1…TFTの保護膜、ORI1…下部配向膜、L
C…液晶、SUB2…上部透明ガラス基板、BM…ブラ
ックマトリクス、FIL…カラーフィルタ、PSV2…
カラーフィルタの保護膜、ITO2…共通透明画素電
極、ORI2…上部配向膜、SL…シール部、BL…バ
ックライト。
Claims (12)
- 【請求項1】 所定の間隙を隔てて重ね合せられた2枚の
透明基板と、 前記2枚の透明基板の縁に沿って形成され且つ該2枚の
透明基板を接着して透明基板間に液晶を封止する領域を
設けるシール材と、 前記2枚の透明基板の一方の前記液晶封止領域に沿った
面に形成された複数のカラーフィルタと、 前記2枚の透明基板の一方に設けられ且つ前記複数のカ
ラーフィルタの周囲を遮光する有機系材料からなるブラ
ックマトリクスとを備え、 前記ブラックマトリクスは前記液晶封止領域から前記シ
ール材と前記2枚の透明基板の一方とに挟まれたシール
部まで延在し、 前記シール部には前記シール材と前記ブラックマトリク
スとが重なる部分と、前記シール材と前記ブラックマト
リクスとが重ならない部分が存在することを特徴とする
液晶表示装置。 - 【請求項2】前記ブラックマトリクスの端部が前記シー
ル部内に存在することを特徴とする請求項1に記載の液
晶表示装置。 - 【請求項3】前記シール部内における前記ブラックマト
リクスのパターンが縞状であることを特徴とする請求項
1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項4】前記シール部の前記シール材と前記ブラッ
クマトリクスとが重ならない部分を、前記ブラックマト
リクスと異なる遮光膜で遮光したことを特徴とする請求
項1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項5】前記ブラックマトリクスの厚さが前記カラ
ーフィルタの厚さよりも、1μm以上厚いことを特徴と
する請求項1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項6】 所定の間隙を隔てて重ね合せられた2枚の
透明基板と、 前記2枚の透明基板の縁に沿って形成され且つ該2枚の
透明基板を接着して透明基板間に液晶を封止する領域を
設けるシール材と、 前記2枚の透明基板の一方の前記液晶封止領域に沿った
面に形成された複数のカラーフィルタと、 前記2枚の透明基板の一方に設けられ且つ前記複数のカ
ラーフィルタの周囲を遮光するブラックマトリクスとを
備え、 前記ブラックマトリクスはアクリル樹脂またはエポキシ
樹脂に染料、顔料、またはカーボンを添加して黒色にし
た有機系材料からなり、且つ前記液晶封止領域から前記
シール材と前記2枚の透明基板の一方とに挟まれたシー
ル部まで延在し、 前記シール部には前記シール材と前記ブラックマトリク
スとが重なる部分と、前記シール材と前記ブラックマト
リクスとが重ならない部分が存在することを特徴とする
液晶表示装置。 - 【請求項7】前記シール部の前記シール材と前記ブラッ
クマトリクスとが重ならない部分を、前記ブラックマト
リクスと異なる遮光膜で遮光したことを特徴とする請求
項6に記載の液晶表示装置。 - 【請求項8】前記ブラックマトリクスの厚さが前記カラ
ーフィルタの厚さよりも、1μm以上厚いことを特徴と
する請求項6に記載の液晶表示装置。 - 【請求項9】 夫々の主面が対向するように所定の間隙を
隔てて重ね合せられた透明な第1基板及び第2基板と 、前記第1基板及び前記第2基板の縁に沿って形成され且
つ該第1基板と該第2基板とを接着してその間に液晶を
封止する領域を設けるシール材と、 前記第1基板の前記液晶封止領域に沿った主面に形成さ
れた薄膜トランジスタと画素電極とを夫々有する複数の
画素と、 前記薄膜トランジスタに対向する第2基板の主面上に設
けられたブラックマトリクスとを備え、 前記ブラックマトリクスは有機系材料からなり且つ前記
液晶封止領域から前記シール材と前記第2基板とに挟ま
れたシール部まで延在し、 前記シール部には前記シール材と前記ブラックマトリク
スとが重なる部分と、前記シール材と前記ブラックマト
リクスとが重ならない部分が存在することを特徴とする
液晶表示装置。 - 【請求項10】前記シール部の前記シール材と前記ブラ
ックマトリクスとが重ならない部分を、前記ブラックマ
トリクスと異なる遮光膜で遮光したことを特徴とする請
求項9に記載の液晶表示装置。 - 【請求項11】前記ブラックマトリクスの厚さが前記カ
ラーフィルタの厚さよりも、1μm以上厚いことを特徴
とする請求項9に記載の液晶表示装置。 - 【請求項12】前記薄膜トランジスタは前記第1基板に
設けられた不透明材からなるゲート電極と、該ゲート電
極上に設けられたゲート絶縁膜と、該ゲート絶縁膜上に
設けられた半導体層と、該半導体層上に設けられたソー
ス電極及びドレイン電極よりなり、前記第1基板側から
前記液晶に光を照射するバックライトが設けられている
ことを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置。
Priority Applications (1)
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JP11436591A JP3095254B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 液晶表示装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11436591A JP3095254B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | 液晶表示装置 |
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JPH04342229A JPH04342229A (ja) | 1992-11-27 |
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ID=14635894
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JPH07271020A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-20 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ブラックマトリックス形成用感光性組成物、カラーフィルター基板及びそれを用いた液晶表示装置 |
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1991
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