DE1230763B - Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen - Google Patents

Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen

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DE1230763B
DE1230763B DES91638A DES0091638A DE1230763B DE 1230763 B DE1230763 B DE 1230763B DE S91638 A DES91638 A DE S91638A DE S0091638 A DES0091638 A DE S0091638A DE 1230763 B DE1230763 B DE 1230763B
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Dr Rer Nat Wolfgang Keller
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Siemens AG
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Siemens AG
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Description

BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND
DEUTSCHES
PATENTAMT
AUSLEGESCHRIFT
Int. CL:
BOId
Deutsche Kl.: 12c-2
Nummer: 1230763
Aktenzeichen: S 91638IV c/12 c
Anmeldetag: 20. Juni 1964
Auslegetag: 22. Dezember 1966
Das Hauptpatent 1208 292 betrifft eine Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial mit einem in lotrechter Lage eingespannten stabförmigen Halbleiterkörper und einer zur Erzeugung der Schmelzzone dienenden, längs der Stabachse bewegbaren Induktionsheizspule sowie einer Vor- bzw. Nachheizung des festen Halbleitermaterials dienenden Induktionsheizspule. Sie ist dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Induktionsheizspule länglich verformte Windungen mit zumindest nahezu parallel zueinander verlaufenden Windungsteilen besitzt und so angeordnet ist, daß diese Windungsteile parallel zur Stabachse des Halbleiterkörpers verlaufen.
Die Erfindung betrifft eine weitere Verbesserung dieser Vorrichtung. Erfindungsgemäß sind die parallel zueinander verlaufenden Windungsteile in einer Zylindermantelfläche angeordnet und jeweils abwechselnd an den Enden der Zylindermantelfläche so miteinander verbunden, daß ein mäanderförmiger Leitungszug gebildet ist.
Die erfindungsgemäße Ausbildung der Vorrichtung gemäß dem Hauptpatent hat zur Folge, daß die Beheizung des behandelten stabförmigen Halbleitermaterials gleichmäßiger erfolgt. Sie weist den weiteren Vorteil auf, daß die zur Erzeugung der Schmelzzone dienende Induktionsheizspule oben oder unten aus der zum Nach- oder Vorheizen dienenden Spule herausgefahren werden kann. Im übrigen weist sie die gleichen Vorteile wie die Einrichtung gemäß der Hauptpatentanmeldung auf.
In den Zeichnungen ist ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vorrichtung dargestellt.
F i g. 1 zeigt die Vorrichtung in perspektivischer Darstellung, F i g. 2 im Schnitt.
In einem Halbleiterstab 2, der an beiden Enden durch je eine Halterung 3 bzw. 4 gehalten wird, wird z. B. mit Hilfe einer spiralig gewickelten Flachspule 5 eine Schmelzzone erzeugt. Die zur Erzeugung der Schmelzzone dienende Heizspule kann auch eine Zylinderspule sein. Parallel zur Stabachse verlaufen die Windungen einer weiteren Spule 6. Diese Spule 6 ist derartig gewickelt, daß Windungsteile parallel zueinander und parallel zur Stabachse verlaufen. Diese Windungsteile sind auf einem Zylindermantel angeordnet, dessen Achse durch den Stab bzw. die Stabachse gebildet wird. Die Windungsteile sind jeweils abwechselnd am oberen bzw. unteren Ende miteinander verbunden. Der Leitungszug hat somit die Form eines Mäanders, wodurch auch der Stromfluß Mäanderform hat.
Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen
Zusatz zum Patent: 1208 292
Anmelder:
Siemens Aktiengesellschaft,
Berlin und München,
Erlangen, Werner-von-Siemens-Str. 50
Als Erfinder benannt:
Dr. rer. nat. Wolfgang Keller, Pretzfeld
Die parallel zueinander verlaufenden Windungsteile können verhältnismäßig eng nebeneinander angeordnet werden, wodurch eine besonders gleichmäßige Beheizung des parallel dazu verlaufenden Stabes erzielt werden kann. Wie aus der Zeichnung hervorgeht, kann die Spule 5, die mit ihren Zuleitungen beispielsweise an einem Schlitten befestigt sein kann, nach oben aus der zum Vor- bzw. Nachheizen dienenden mäanderförmigen Spule, die als ruhend angenommen werden kann, herausgefahren werden. Es kann auch genauso die Möglichkeit vorgesehen werden, daß die Spule nach unten aus dem Mäanderzug herausgefahren werden kann. Durch diesen Aufbau wird die Auswechselung der zur Erzeugung der Schmelzzone dienenden Induktionsheizspule oder eine ähnliche Arbeit sehr erleichtert. Gegebenenfalls kann die zusätzliche Spule 6 ebenfalls bewegbar angeordnet sein, so daß eine Bewegung parallel zur Bewegung der Heizspule 5, z. B. auch mit gleicher Geschwindigkeit, durchgeführt werden kann. Die mäanderförmig gewickelte Zusatzheizspule kann sich z. B. über eine Stablänge von 5 bis 10 cm erstrecken und gleichzeitig mit der Heizspule, die eine Schmelzzone von 5 bis 15 mm Länge erzeugt, längs der Achse des stabförmigen Körpers, der z. B. 20 bis 50 cm lang sein kann, bewegt werden.

Claims (2)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen von Halbleitermaterial mit einem in lotrechter Lage eingespannten stabförmigen Halbleiterkörper und einer zur Erzeugung der
609 748/253
Schmelzzone dienenden, längs der Stabachse bewegbaren Induktionsheizspule sowie einer zur Vor- bzw. Nachheizung des festen Halbleitermaterials dienenden Induktionsheizspule, bei der die zusätzliche Induktionsheizspule länglich verformte Windungen mit zumindest nahezu parallel zueinander'Verlaufenden Windungsteilen besitzt und so angeordnet ist, daß diese Windungsteile parallel zur Stabachse des Halbleiterkörpers verlaufen gemäß· "Patent 1208 292; dadurch
gekennzeichnet, daß die parallel zueinander verlaufenden Windungsteile in einer Zylindermantelfläche angeordnet und jeweils abwechselnd an den Enden der Zylindermantelfläche so miteinander .verbunden sind, daß ein mäanderförmiger Leitungszug gebildet ist.1 - ■
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die zusätzliche Induktionsheizspule ebenfalls längs der Stabachse bewegbar angeordnet ist.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
DES91638A 1963-03-29 1964-06-20 Vorrichtung zum tiegelfreien Zonenschmelzen Pending DE1230763B (de)

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