DE112007001984T5

DE112007001984T5 - Signalerzeugungsvorrichtung, Prüfvorrichtung und Schaltungsanordnung

Info

Publication number: DE112007001984T5
Application number: DE112007001984T
Authority: DE
Inventors: Daisuke Watanabe; Toshiyuki Okayasu
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2006-08-24
Filing date: 2007-05-28
Publication date: 2009-07-02
Also published as: KR20090054448A; KR20090049072A; KR101216405B1; US20100052736A1; JPWO2008023486A1; WO2008023486A1; JP4660794B2; JPWO2008023615A1; US8239147B2; US20080059091A1; US7502980B2; US20100049453A1; US7911242B2; WO2008023615A1; KR101147444B1

Abstract

Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesem gelieferten Musterdaten, welcher Signalgenerator aufweist:
mehrere Taktgeneratoren, die mehrere periodische Signale mit jeweils einer unterschiedlichen Phase erzeugen;
eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist;
mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops ausgegebene Daten als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal weiterleitet; und
eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops aus gegebenen Datenwerten und von von den mehreren...

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Signalgenerator, eine Prüfvorrichtung und eine Schaltungsanordnung. Die vorliegende Erfindung bezieht sich insbesondere auf einen Signalgenerator, der die Wellenform eines Ausgangssignals frei korrigieren kann. Die vorliegende Anmeldung bezieht hier den Inhalt der folgenden US-Patentanmeldung ein, falls dies anwendbar ist.

US-Patentanmeldung Nr. 11/509307, die am 24. August 2006 eingereicht wurde.

STAND DER TECHNIK
Ein typisches Verfahren zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung (DUT) wie einer Halbleiterschaltung besteht darin, ein vorbestimmtes Signal in die DUT einzugeben und ein Ausgangssignal der DUT zu messen, um zu beurteilen, ob die DUT gut oder schlecht ist. Beispielsweise hat das in die DUT eingegebene Signal ein vorbestimmtes logisches Muster, und das Ausgangssignal der DUT wird danach beurteilt, ob es ein logisches Muster hat, das mit einem erwarteten Wertemuster übereinstimmt, um zu bestimmen, ob die DUT normal arbeitet oder nicht.
Bei dem vorbeschriebenen Prüfverfahren gibt die Prüfvorrichtung das vorbestimmte Signal in die DUT ein. Hier kann dieses Signal gedämpft werden, während es auf dem Pfad von der Prüfvorrichtung zu der DUT übertragen wird. Wenn eine derartige Dämpfung stattfindet, kann das in die DUT eingegebene Signal ein logisches Muster haben, das sich von einem logischen Muster, das in die DUT eingegeben werden soll, unterscheidet.
Um dieses Problem zu lösen, hat die typische Prüfvorrichtung eine Funktion zum vorherigen Korrigieren der Wellenform des Prüfsignals auf der Grundlage der potentiellen Signaldämpfung in dem Übertragungspfad. Die Prüfvorrichtung erzeugt zum Beispiel mehrere Impulssignale mit unterschiedlichen Impulsbreiten auf der Grundlage des Zeitpunkts der Flanke des Prüfsignals und addiert die Wellenformen dieser Impulssignale zu der Wellenform des Prüfsignals. Somit verschärft die Prüfvorrichtung den Flankenbereich des Prüfsignals (siehe Patentdokument 1).

Patentdokument 1: Japanische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. 2002-40112

OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
Hier kann eine derartige typische Prüfvorrichtung die Flanke des Prüfsignals schärfen, aber sie kann die Wellenform des Prüfsignals nicht frei korrigieren. Genauer gesagt, da die Prüfvorrichtung das Prüfsignal durch Addieren der Impulsbreiten der auf der Grundlage des Zeitpunkts der Flanke des Prüfsignals erzeugten Impulssignale korrigiert, kann die Prüfvorrichtung keine Korrektur durchführen, um eine reflektierte Welle und dergleichen zu kompensieren, die in einer Phase auftreten kann, die beispielsweise zeitlich von der Flanke entfernt ist. Zusätzlich kann die typische Prüfvorrichtung die Flanke schärfen, aber nicht die Flanke unscharf machen.
Aus den vorgenannten Gründen kann die typische Prüfvorrichtung die DUT nicht immer genau prüfen. Weiterhin war es nicht möglich, eine Wellenform-Entzerrungsfunktion der DUT quantitativ zu prüfen, wenn die Vorrichtung eine Funktion der Wiederherstellung eines gedämpften Prüfsignals hat, das heißt, eine Wellenform-Entzerrungsschaltung.
MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
Ein Vorteil eines Aspekts der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen Signalgenerator, eine Prüfvorrichtung und eine Schaltungsanordnung vorzusehen, die die vorgenannten Nachteile beseitigen können. Dies wird erreicht durch Kombinieren der in den unabhängigen Ansprüchen wiedergegebenen Merkmale. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere wirksame spezifische Beispiele der vorliegenden Erfindung.
Ein erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht einen Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesen gelieferten Musterdaten vor. Der Signalgenerator enthält (i) mehrere Taktgeneratoren, die auf der Grundlage eines zu diesen gelieferten Bezugstakts mehrere periodische Signale erzeugen, die jeweils eine unterschiedliche Phase mit Bezug auf den Bezugstakt haben, (ii) eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist, (iii) mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal ausgegebene Daten weiterleitet, und (iv) eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor. Die Prüfvorrichtung enthält (i) einen Mustergenerator, der ein Prüfmuster zum Prüfen der Vorrichtung erzeugt, (ii) einen Signalgenerator, der ein in die Vorrichtung einzugebendes Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt, und (iii) eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage eines von der Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt, ob die Vorrichtung gut oder schlecht ist. Hier enthält der Signalgenerator (I) mehrere Taktgeneratoren, die auf der Grundlage eines zu diesen gelieferten Bezugstakts mehrere periodische Signale erzeugen, die jeweils eine unterschiedliche Phase mit Bezug auf den Bezugstakt haben, (II) eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Prüfmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines aus den mehreren periodischen Signalen ist und der erste Taktgenerator einer aus den mehreren Taktgeneratoren ist, (III) mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal ausgegebene Daten weiterleitet, und (IV) eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Prüfsignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht eine Schaltungsanordnung zum Ausgeben eines Signals mit einer gewünschten Wellenform vor. Die Schaltungsanordnung enthält einen Mustergenerator, der ein Wellenformmuster für das Ausgangssignal erzeugt, und einen Signalgenerator, der das Ausgangssignal auf der Grundlage des Wellenformmusters erzeugt. Der Signalgenerator enthält (i) mehrere Taktgeneratoren, die auf der Grundlage eines zu diesen gelieferten Bezugstakts mehrere periodische Signale erzeugen, die jeweils eine unterschiedliche Phase mit Bezug auf den Bezugstakt haben, (ii) eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Wellenformmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist, (iii) mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zueins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal ausgegebene Daten weiterleitet, und (iv) eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Ein viertes Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht einen Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesem gelieferten Musterdaten vor. Der Signalgenerator enthält eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodisches Signal erzeugt, eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird, eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Ausgangssignal erzeugt, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten, und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer Wellenform des von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Ausgangssignals erhöht.
Ein fünftes Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung vor, enthaltend einen Mustergenerator, der ein Prüfmuster zum Prüfen der Vorrichtung erzeugt, einen Signalgenerator, der ein in die Vorrichtung einzugebendes Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt, und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage eines von der Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt, ob die Vorrichtung gut oder schlecht ist. Hier enthält der Signalgenerator eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodi- sches Signal erzeugt, eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Prüfmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird, eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Prüfsignal erzeugt, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten, und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer Wellenform des von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Prüfsignals erhöht.
Ein sechstes Ausführungsbeispiel der Erfindung sieht eine Schaltungsanordnung zum Ausgeben eines Signals mit einer gewünschten Wellenform vor, enthaltend einen Mustergenerator, der ein Wellenformmuster für das von der Schaltungsanordnung auszugebende Signal erzeugt, und einen Signalgenerator, der das Ausgangssignal auf der Grundlage des Wellenformmusters erzeugt. Hier enthält der Signalgenerator eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodisches Signal erzeugt, eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Wellenformmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird, eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Ausgangssignal erzeugt, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten, und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer Wellenform des von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Ausgangssignals erhöht.
Hier sind nicht alle erforderlichen Merkmale von Aspekten der vorliegenden Erfindung in der Zusammenfassung aufgeführt. Die Unterkombinationen der Merkmale können die Erfindung werden.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein Beispiel für eine Konfiguration einer Prüfvorrichtung 200, die sich auf ein Ausführungsbeispiel der Erfindung bezieht.
2 ist ein Zeitdiagramm, das eine von einem Signalgenerator 100 durchgeführte Operation als ein Beispiel zeigt.
3A zeigt die Flankenzeitpunkte von periodischen Signalen als ein Beispiel.
3B zeigt die Flankenzeitpunkte von periodischen Signalen als ein Beispiel.
4 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100.
5 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100.
6 illustriert ein Beispiel für eine analoge Wellenform, die von einer Schaltung 500 ausgegeben wird.
7 illustriert ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100.
8 illustriert ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100.
9 illustriert eine beispielhafte Operation des in 8 illustrierten Signalgenerators 100.
10 illustriert eine beispielhafte Konfiguration der analogen Schaltung 500.
11 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 200.
12 zeigt eine von einer Kalibrierungsschaltung 180 durchgeführte Operation als ein Beispiel.
13 zeigt eine beispielhafte Konfiguration einer Schaltungsanordnung 400, die sich auf ein anderes Ausführungsbeispiel der Erfindung bezieht.
BESTE ART DER AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele eines Aspekts der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschranken nicht die Erfindung gemäß den Ansprüchen, und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für die durch Aspekte der Erfindung vorgesehenen Mittel.
1 zeigt ein Beispiel für die Konfiguration einer sich auf ein Ausführungsbeispiel der Erfindung beziehenden Prüfvorrichtung 200. Die Prüfvorrichtung 200 prüft eine geprüfte Vorrichtung (DUT) 300, die beispielsweise eine Halbleiterschaltung ist. Die Prüfvorrichtung 200 gibt zum Beispiel ein Signal mit einem vorbestimmten logischen Muster in die DUT 300 ein und vergleicht das logische Muster eines von der DUT 300 ausgegebenen Signals mit einem erwarteten Wertemuster, um zu bestimmen, ob die DUT 300 gut oder schlecht ist. Die sich auf das Ausführungsbeispiel beziehende Prüfvorrichtung 200 enthält einen Signalgenerator 100, einen Mustergenerator 110, eine Beurteilungsschaltung und einen Übertragungspfad 140.
Der Mustergenerator 110 erzeugt ein Prüfmuster, um die DUT 300 zu prüfen. Beispielsweise erzeugt der Mustergenerator 110 ein Prüfmuster enthaltend ein logisches Muster (Musterdaten), das in einem in die DUT 300 einzugebenden Signal enthalten sein sollte.
Der Signalgenerator 100 erzeugt ein in die DUT 300 einzugebendes Prüfsignal auf der Grundlage des von dem Mustergenerator 110 erzeugten Prüfmusters. Beispielsweise erzeugt der Signalgenerator 100 ein Prüfsignal, das einen Pegel entsprechend der in dem Prüfmuster enthaltenen Musterdaten anzeigt. Zusätzlich korrigiert der Signalgenerator 100 vorher die Wellenform des Prüfsignals. Die Konfiguration und die Operation des Signalgenerators 100 werden später im Einzelnen erläutert.
Der Übertragungspfad 140 überträgt das von dem Verstärker 130 ausgegebene Prüfsignal zu einem Eingangsanschluss der DUT 300. Der Übertragungspfad 140 kann eine Verdrahtung wie ein Kabel sein. Der Übertragungspfad 140 kann einen vorbestimmten Grad von Dämpfung oder eine vorbestimmte reflektierte Welle in dem Prüfsignal bewirken.
Die Beurteilungsschaltung 120 beurteilt auf der Grundlage eines von der DUT 300 ausgegebenen Signals, ob die DUT 300 gut oder schlecht ist. Zum Beispiel kann die Beurteilungsschaltung 120 eine derartige Beurteilung durchführen, indem sie das logische Muster des Ausgangssignals mit einem von dem Mustergenerator 110 zugeführten erwarteten Wertemuster vergleicht. Hier erzeugt der Mustergenerator 110 das erwartete Wertemuster auf der Grundlage des Prüfmusters.
Der Signalgenerator 100 enthält eine Takterzeugungsschaltung 10, eine Schieberegisterschaltung 20, eine Registerschaltung 40 und eine Wellenform-Erzeugungsschaltung. Bei diesem Ausführungsbeispiel enthält die Wellenform-Erzeugungsschaltung eine erste Berechnungsschaltung 50, eine zweite Berechnungsschaltung 60, eine Ausgangsschaltung 70 und einen Verstärker 130.
Die Takterzeugungsschaltung 10 enthält mehrere Taktgeneratoren 12-1 bis 12-n, nachfolgend insgesamt als Taktgeneratoren 12 bezeichnet, die einen zugeführten Bezugstakt verwenden, um mehrere periodische Signale zu erzeugen, die jeweils eine unterschiedliche Phase mit Bezug auf den Bezugstakt haben. Mit anderen Worten, die Taktgeneratoren 12 erzeugen periodische Signale, die alle im Wesentlichen denselben Zyklus haben, aber jeweils eine unterschiedliche Phase haben. Jeder der Taktgeneratoren 12 kann eine PLL-Schaltung sein. Alternativ kann einer der Taktgeneratoren 12, der als eine Bezugsschaltung bezeichnet wird, eine PLL-Schaltung sein, und der Rest können Verzögerungsschaltungen sein. Wenn dies der Fall ist, erzeugt der Bezugstaktgenerator 12 ein erstes perio disches Signal, das dann verzweigt wird, um von dem Rest der Taktgeneratoren 12 empfangen zu werden. Jeder von dem Rest von Taktgeneratoren 12 kann das empfangene erste periodische Signal um einen unterschiedlichen Verzögerungsbetrag verzögern.
Die Schieberegisterschaltung 20 enthält mehrere Flipflops 22-1 bis 22-m, nachfolgend insgesamt als Flipflops 22 bezeichnet, in einer Kaskadenanordnung. Durch die Flipflops 22 wird jedes Datenstück der von dem Mustergenerator 110 ausgegebenen Musterdaten aufeinanderfolgend weitergeleitet. Jedes der Flipflops 22 empfängt das erste periodische Signal, das von einem ersten Taktgenerator 12-1 ausgegeben wurde, als eine Taktfrequenz und leitet jedes Datenstück der Musterdaten als Antwort auf das erste periodische Signal zu dem Flipflop 22 der nächsten Stufe weiter.
Die zweite Berechnungsschaltung 60 enthält mehrere Vorzeichensteuerschaltungen 62-1 bis 62-m, nachfolgend insgesamt als Vorzeichensteuerschaltungen 62 bezeichnet, und mehrere Berechnungsschaltungen 64-1 bis 64-m, nachfolgend insgesamt als Berechnungsschaltungen 64 bezeichnet, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den Flipflops 22 vorgesehen sind. Jede der Vorzeichensteuerschaltungen 62 bestimmt das Vorzeichen eines von einem entsprechenden der Flipflops 22 ausgegebenen Datenwerts. Genauer gesagt, jede Vorzeichensteuerschaltung 62 wählt ein positives oder negatives Vorzeichen für den von dem entsprechenden Flipflop 22 ausgegebenen Datenwert aus und gibt dann den Datenwert aus. Hier kann ein Benutzer vorher bezeichnen, welches der Vorzeichen positiv oder negativ durch jede der Vorzeichensteuerschaltungen 62 auszuwählen ist. Während der Signalgenerator 100 arbeitet, kann das von jeder der Vor zeichensteuerschaltungen 62 ausgewählte Vorzeichen variieren oder nicht variieren.
Jede der Berechnungsschaltungen 64 empfängt einen von einem entsprechenden der Flipflops 22 ausgegebenen Datenwert über eine entsprechende der Vorzeichensteuerschaltungen 62. Jede Berechnungsschaltung 64 multipliziert den empfangenen Datenwert mit einem vorbestimmten Koeffizienten und gibt ein Signal aus, das einen Pegel anzeigt, der gemäß dem Multiplikationsergebnis gesetzt ist. Jede Berechnungsschaltung 64 kann ein Verstärker mit einem Verstärkungsverhältnis gemäß dem Koeffizienten sein. Während der Signalgenerator 100 arbeitet, kann der Koeffizient jeder Berechnungsschaltung 64 variiert oder nicht variiert werden.
Die Ausgangsschaltung 70 addiert die Wellenformen der von den Berechnungsschaltungen 64 ausgegebenen Signale miteinander und gibt das Ergebnis der Addition aus. Der Verstärker 130 verstärkt das von der Ausgangsschaltung 70 erzeugte Prüfsignal mit einem vorbestimmten Verstärkungsverhältnis und gibt das verstärkte Prüfsignal aus. Auch kann der Verstärker 130 das Prüfsignal durch Einstellen eines vorbestimmten Signalpegels als einen Bezugspegel ausgeben. Beispielsweise kann der Verstärker 130 das Prüfsignal mit einem vorbestimmten Verstärkungsverhältnis verstärken, eine vorbestimmte Versetzungsspannung zu dem Prüfsignal addieren und das sich ergebende Prüfsignal ausgeben. Mit der vorbeschriebenen Konfiguration kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage der Flanke des ersten periodischen Signals durch Verwendung der Musterdaten korrigieren.
Die Registerschaltung 40 enthält mehrere Register 42-2 bis 42-n, nachfolgend insgesamt als Register 42 bezeichnet, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den Taktgeneratoren 12-2 bis 12-n, die nicht den ersten Taktgenerator 12-1 enthalten, vorgesehen sind. Die Register 42 sind in einer Kaskadenanordnung, das heißt, Ausgangsdaten von jedem der Register 42 werden in das Register 42 der nächsten Stufe eingegeben. Jedes der Register 42 empfängt die Eingangsdaten als Antwort auf ein von einem entsprechenden der Taktgeneratoren 12 ausgegebenes periodisches Signal und gibt die empfangenen Daten aus. Bei diesem Ausführungsbeispiel der Erfindung empfängt das Register 42 der ersten Stufe von einem vorausgewählten der Flipflops 22 ausgegebene Daten. Die Daten werden aufeinanderfolgend als Antwort auf die von den Taktgeneratoren 12 ausgegebenen periodischen Signale weitergeleitet.
Die erste Berechnungsschaltung 50 enthält mehrere Vorzeichensteuerschaltungen 52-2 bis 52-n, nachfolgend insgesamt als Vorzeichensteuerschaltungen 52 bezeichnet, und mehrere Berechnungsschaltungen 54-2 bis 54-n, nachfolgend insgesamt als Berechnungsschaltungen 54 bezeichnet, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den Registern 42 vorgesehen sind. Jede der Vorzeichensteuerschaltungen 52 bestimmt das Vorzeichen eines von einem entsprechenden der Register 42 ausgegebenen Datenwerts. Genauer gesagt, jede Vorzeichensteuerschaltung 52 wählt ein positives oder negatives Vorzeichen für den von dem entsprechenden Register 42 ausgegebenen Datenwert aus und gibt dann den Datenwert aus. Hier kann der Benutzer vorher bezeichnen, ob das positive oder negative Vorzeichen von der jeweiligen Vorzeichensteuerschaltung 52 auszuwählen ist. Während der Signalgenerator 100 arbeitet, kann das von der jeweiligen Vorzeichensteuerschaltung 52 ausgewählte Vorzeichen geändert oder nicht geändert werden.
Jede der Berechnungsschaltungen 54 empfängt einen von einem entsprechenden der Register 42 ausgegebenen Datenwert über eine entsprechende der Vorzeichensteuerschaltungen 52. Jede Berechnungsschaltung 54 multipliziert den empfangenen Datenwert mit einem vorbestimmten Koeffizienten und gibt ein Signal aus, das einen gemäß dem Multiplikationsergebnis gesetzten Pegel anzeigt. Jede Berechnungsschaltung 54 kann ein Verstärker mit einem Verstärkungsverhältnis entsprechend dem Koeffizienten sein. Während der Signalgenerator 100 arbeitet, kann der Koeffizient jeder Berechnungsschaltung 54 geändert oder nicht geändert werden.
Die Ausgangsschaltung 70 addiert die Wellenformen der von den Berechnungsschaltungen 54 ausgegebenen Signale miteinander und gibt das Ergebnis der Addition aus. Mit anderen Worten, die Ausgangsschaltung 70 gibt ein Signal aus, das ein Ergebnis der Addition der Wellenformen der von den Berechnungsschaltungen 54 und 64 ausgegebenen Signale anzeigt. Mit der vorbeschriebenen Konfiguration kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage eines Zeitpunkts, der ein anderer als der des ersten periodischen Signals ist, korrigieren.
Der Benutzer kann die Phase des periodischen Signals, das von jedem der Taktgeneratoren 12 ausgegeben wird, mit Bezug auf das erste periodische Signal frei einstellen. Mit dieser Konfiguration kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage eines gewünschten Zeitpunkts korrigie ren. Beispielsweise kann der Signalgenerator 100 eine Wellenform entsprechend der Signalflanke des Ausgangssignals (des Flankenzeitpunkts des ersten periodischen Signals) in einer Phase (des Flankenzeitpunkts eines unterschiedlichen periodischen Signals), die zeitlich von der Signalflanke entfernt ist, erzeugen. Daher kann der Signalgenerator 100 vorher in dem Ausgangssignal eine Wellenform zum Versetzen einer reflektierten Welle, die in dem Übertragungspfad 140 auftreten kann, erzeugen. Somit kann der Signalgenerator 100 genau ein gewünschtes Signal in die DUT 300 eingeben.
Eine Abgriffssteuerschaltung 30 wählt einen der von den Flipflops 22 ausgegebenen Datenwerte aus und gibt den ausgewählten Datenwert in das Register 42 der ersten Stufe ein. Mit dieser Konfiguration kann der Signalgenerator 100 auswählen, welcher der von den Flipflops 22 ausgegebenen Datenwerte als eine Bezugsgröße zum Korrigieren der Wellenform des Ausgangssignals zu verwenden ist. Der Benutzer kann vorher bezeichnen, welches der Flipflops 22 von der Abgriffssteuerschaltung 30 auszuwählen ist.
Auch ist die Abgriffssteuerschaltung 30 ausgebildet zum Eingeben des von jedem der Flipflops 22 ausgegebenen Datenwerts in eine entsprechende der Vorzeichensteuerschaltungen 62. Der Benutzer kann vorher bezeichnen, wie die Flipflops 22 und die Vorzeichensteuerschaltungen 62 in Beziehung zueinander stehen. Während der Signalgenerator 100 arbeitet, können die Einstellungen der Abgriffssteuerschaltung 30 nicht geändert werden.
2 ist ein Zeitdiagramm, das die von dem Signalgenerator 100 durchgeführte Operation als ein Bei spiel zeigt. 2 wird hauptsächlich verwendet, um die von der. Berechnungsschaltung 50 durchgeführte Wellenformkorrektur zu erläutern. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist die Anzahl von Taktgeneratoren 12 auf fünf gesetzt, und die Abgriffssteuerschaltung 30 wählt die von dem Flipflop 22-1 ausgegebenen Daten aus und gibt die ausgewählten Daten in das Register 42-2 der ersten Stufe ein.
Das Flipflop 22-1 leitet den von dem Mustergenerator 110 als Antwort auf das erste periodische Signal ausgegebenen Datenwert weiter. Wie in 2 gezeigt ist, empfängt, wenn das Flipflop 22-1 einen Datenwert "1" ausgibt, das Register 42-2 den Datenwert "1" als Antwort auf ein von dem entsprechenden Taktgenerator 12-2 ausgegebenes zweites periodisches Signal und gibt den empfangenen Datenwert aus. In ähnlicher Weise empfängt jedes der Register 42 der nachfolgenden Stufen den von dem Register 42 der vorhergehenden Stufe ausgegebenen Datenwert als Antwort auf ein von einem entsprechenden der Taktgeneratoren 12 ausgegebenes periodisches Signal und gibt den empfangenen Datenwert aus.
Jede der Berechnungsschaltungen 54 gibt ein auf der Grundlage des von einem entsprechenden der Register 42 ausgegebenen Datenwerts erzeugtes Signal aus, wie in 2 gezeigt ist. Wie vorstehend beschrieben ist, multipliziert jede Berechnungsschaltung 54 den von dem entsprechenden Register 42 ausgegebenen Datenwert mit einem vorbestimmten Koeffizienten und gibt ein Signal aus, das einen gemäß dem Multiplikationsergebnis gesetzten Pegel anzeigt. Jede der Vorzeichensteuerschaltungen 52 wählt das Vorzeichen für das von einer entsprechenden der Berechnungsschaltungen 54 ausgegebene Signal aus.
Die Ausgangsschaltung 70 addiert die Wellenformen der von den Berechnungsschaltungen 54 ausgegebenen Signale miteinander, um die Wellenform des Ausgangssignals zu korrigieren. Zu dieser Berechnung addiert die Ausgangsschaltung 70 auch eine Wellenform in Einheiten des Einheitsintervalls (UI), die durch die zweite Berechnungsschaltung 60 erzeugt wird. Diese Wellenform kann unter Anwendung eines typischen Verfahrens erzeugt werden, das daher hier nicht illustriert ist. Hier kann das UI die Dauer von einem Bit in dem Prüfsignal anzeigen.
Gemäß 2 sind die schraffierten Bereiche die durch die erste und die zweite Berechnungsschaltung 50 und 60 korrigierten Bereiche. Wie in 2 gezeigt ist, kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals durch Verwendung mehrerer periodischer Signale mit unterschiedlichen Phasen korrigieren, wodurch eine hochvariable Wellenformkorrektur realisiert wird.
Wie vorstehend beschrieben ist, kann der sich auf das vorliegende Ausführungsbeispiel beziehende Signalgenerator 100 eine Wellenformkorrektur durchführen, indem er die Musterdaten zum Erzeugen des Ausgangssignals verwendet, in Einheiten von UI des Ausgangssignals und basierend auf einem gewünschten Zeitpunkt. Mit einer derartigen Konfiguration kann das Ausführungsbeispiel die Wellenform des Ausgangssignals genau korrigieren, wodurch der Prüfvorrichtung 200 ermöglicht wird, die DUT 300 genau zu prüfen.
Die 3A und 3B zeigen jeweils die Flankenzeitpunkte der Signale als ein Beispiel. Die Takt erzeugungsschaltung 10 kann die periodischen Signale in einer solchen Weise ausgeben, dass die Flankenzeitpunkte der periodischen Signale mit Ausnahme des ersten periodischen Signals in der Nähe des Flankenzeitpunkts des ersten periodischen Signals dichter verteilt sind, wie in 3A gezeigt ist. Mit dieser Konfiguration kann der Signalgenerator 100 einen Bereich der Wellenform des Ausgangssignals, der sich in der Nähe der Signalflanke befindet, in einer feineren Weise korrigieren.
Alternativ kann die Takterzeugungsschaltung 10 die periodischen Signale in einer solchen Weise ausgeben, dass eine Differenz in der Phase zwischen einem von einem der Taktgeneratoren ausgegebenen periodischen Signal und dem ersten periodischen Signal größer gesetzt ist als das UI (das UI des ersten periodischen Signals), wie in 3B gezeigt ist. Mit dieser Konfiguration kann der Signalgenerator 100 eine Wellenform zum Versetzen einer reflektierten Welle, die in einer Phase auftreten kann, die zeitlich von einem Impuls des Ausgangssignals um eine Zeit beispielsweise gleich dem UI oder länger entfernt ist, erzeugen. Hier kann der Zyklus jedes periodischen Signals im Wesentlichen gleich dem Zyklus des Prüfsignals (dem UI) sein.
4 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100. Der sich auf dieses Ausführungsbeispiel beziehende Signalgenerator 100 ist in der Weise unterschiedlich, dass die Registerschaltung 40 durch eine Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 80 ersetzt ist. Die anderen Bestandteile, die durch dieselben Bezugszahlen wie in 1 gekennzeichnet sind, haben dieselben oder ähnliche Funktionen und Konfigurationen wie die entsprechenden Bestandteile des vorhergehenden Ausführungsbeispiels.
Die Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 80 enthält mehrere Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtungen 82-2 bis 82-(n-1), nachfolgend insgesamt als Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtungen 82 bezeichnet, in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den Taktgeneratoren 12-2 bis 12-(n-1), die nicht den ersten Taktgenerator 12-1 und den Taktgenerator 12-n der letzten Stufe enthalten. Jede der Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtungen 82 empfängt ein periodisches Signal von einem entsprechenden der Taktgeneratoren 12 und ein periodisches Signal von dem Taktgenerator 12 der nächsten Stufe. Hier kann der Taktgenerator 12 der nächsten Stufe ein periodisches Signal mit einer Phase ausgeben, die um den kleinsten Betrag mit Bezug auf die Phase des von dem entsprechenden Taktgenerator 12 ausgegebenen periodischen Signals verzögert ist.
Jede Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung 82 hält das Ausgangssignal eines einen logischen Wert "1" anzeigenden Signals während einer Zeitperiode, die definiert ist durch die Flanke des von dem entsprechenden Taktgenerator 12 empfangenen periodischen Signals und die Flanke des von dem Taktgenerator 12 der nächsten Stufe empfangenen periodischen Signals. Die Abgriffssteuerschaltung 30 gibt den von einem ausgewählten der Flipflops 22 ausgegebenen Datenwert in jede der Vorzeichensteuerschaltungen 52 ein. Jede Vorzeichensteuerschaltung 52 wählt ein Vorzeichen für den empfangenen Datenwert aus und gibt den Datenwert aus, wenn eine entsprechende der Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtungen 82 den logischen Wert "1" ausgibt.
Bei diesem Ausführungsbeispiel kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals zu einem gewünschten Zeitpunkt auf der Grundlage der Flanke jedes der periodischen Signale ausgeben, und durch Verwendung einer gewünschten Impulsbreite auf der Grundlage der Phasendifferenz zwischen den periodischen Signalen. Bei dieser Konfiguration kann der Signalgenerator 100 eine sehr feine Wellenformkorrektur durchführen, zum Beispiel durch Verringern der Phasendifferenz zwischen den von zwei benachbarten der Taktgeneratoren 12 ausgegebenen periodischen Signalen.
5 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100. Der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100. erhöht eine vorbestimmte Frequenzkomponente einer diskreten Wellenform, die durch Kombinieren rechteckiger Wellen gebildet ist, beispielsweise der in 2 gezeigten Wellenform, um eine kontinuierliche Wellenform zu erzeugen. Beispielsweise kann der Signalgenerator 100 die Wellenform in Einheiten des in 2 gezeigten UI erhöhen oder eine vorbestimmte Frequenzkomponente des Ausgangssignals. In dem letzteren Fall kann eine analoge Schaltung 500 zu der Konfiguration des in 1 oder 4 gezeigten Signalgenerators 100 beispielsweise als eine folgende Stufe des Verstärkers 130 hinzugefügt werden. Die analoge Schaltung 500 kann eine analoge Spitzenschaltung sein, die beispielsweise eine vorbestimmte Hochfrequenzkomponente erhöht. Die analoge Schaltung 500 kann eine Schaltung sein, die beispielsweise eine Hochfrequenzkomponente einer Eingangswellenform durch Überlagern einer Differenzwellenform der Eingangswellenform auf die Eingangswellenform erhöht. Alter nativ kann die Analogschaltung 500 eine Schaltung sein, die eine Eingangswellenform glättet. Mit der vorstehenden Konfiguration kann der Signalgenerator 100 eine diskrete Wellenform des in 2 gezeigten Ausgangssignals in eine kontinuierliche Wellenform ändern, in der eine vorbestimmte Frequenzkomponente erhöht ist.
5 illustriert eine beispielhafte Konfiguration des Signalgenerators 100, der verwendet wird, wenn die Wellenform in Einheiten des UI, gezeigt in 2, erhöht ist. Der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 unterscheidet sich von der Konfiguration des mit Bezug auf 1 beschriebenen Signalgenerators 100 dadurch, dass die Registerschaltung 40 und die erste Berechnungsschaltung 50 weggelassen und die analoge Schaltung 500 hinzugefügt sind. Weiterhin unterscheidet sich bei dem vorliegenden Beispiel die Takterzeugungsschaltung 10 dadurch, dass sie einen einzelnen Taktgenerator 12-1 hat. Mit Ausnahme dieser Unterschiede können die verbleibenden Bestandteile dieselben wie die entsprechenden, in 1 gezeigten Bestandteile, die mit denselben Bezugszahlen versehen sind, sein.
In der Schieberegisterschaltung 20 wird jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend durch die Flipflops 22 gemäß einem von dem Taktgenerator 12-1 erzeugten periodischen Signal weitergeleitet. Beispielsweise kann der Taktgenerator 12-1 ein periodisches Signal erzeugen, dessen Zyklus im Wesentlichen derselbe wie der Zyklus des von dem Signalgenerator 100 zu erzeugenden Prüfsignals (das UI) ist. Die Abgriffssteuerschaltung 30 kann dieselben Funktionen und Konfigurationen wie die mit Bezug auf die 1 bis 4 beschriebene Abgriffssteuerschaltung 30 haben.
Bei dem vorliegenden Beispiel enthält eine Wellenform-Erzeugungsschaltung die zweite Berechnungsschaltung 60, die Ausgabeschaltung 70 und den Verstärker 130. Die Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugt ein Ausgangssignal, dessen Wert bei einem Intervall gleich dem Zyklus des von dem Taktgenerator 12-1 erzeugten periodischen Signals variiert, auf der Grundlage der von den Flipflops 22 der Schieberegisterschaltung 20 ausgegebenen Datenwerte. Da der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 nicht die Registerschaltung 40 und die erste Berechnungsschaltung 50 enthält, ist die Wellenform des von dem Verstärker 130 ausgegebenen Ausgangssignals äquivalent beispielsweise der Wellenform in Einheiten des UI, gezeigt in 2.
Die analoge Schaltung 500 erhöht eine vorbestimmte Frequenzkomponente der Wellenform des von dem Verstärker 130 der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Ausgangssignals und gibt das sich ergebende Signal über den Übertragungspfad 140 in die DUT 300 ein. Beispielsweise kann die analoge Schaltung 500 eine analoge Spitzenschaltung sein, die eine vorbestimmte Hochfrequenzkomponente erhöht, um den Flankenbereich des Ausgangssignals zu erhöhen. Beispielsweise kann die analoge Schaltung 500, wie später mit Bezug auf 10 beschrieben ist, in einer solchen Weise ausgebildet sein, dass ein RC-Hochpassfilter parallel zu einer Übertragungsleitung vorgesehen ist, und die Signale von dem RC-Hochpassfilter und der Übertragungsleitung sind miteinander kombiniert. Mit einer derartigen Konfiguration kann die analoge Schaltung 500 eine Wellenform erzeugen, in der eine vorbestimmte Hochfrequenzkomponente erhöht ist. Die Zeitkonstante der analogen Schaltung 500 kann entsprechend der Zeitkonstanten des Übertragungspfads 140 definiert sein, die vorher gemessen wird.
6 illustriert ein Beispiel für eine von der analogen Schaltung 500 ausgegebene analoge Wellenform. Wie vorstehend beschrieben ist, empfängt die analoge Schaltung 500 eine diskrete Wellenform in Einheiten des UI und erzeugt eine analoge Wellenform, in der eine Hochfrequenzkomponente der empfangenen Wellenform erhöht ist. Der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 kann ein Prüfsignal erzeugen, dessen Wert sich in dem Intervall ändert, das kleiner als das UI ist, wie in 6 gezeigt ist, mit einer einfachen, in 5 illustrierten Konfiguration.
7 illustriert ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100. Der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 wird erhalten durch Hinzufügen einer analogen Schaltung 500 zu dem Signalgenerator 100 mit der in 1 gezeigten Konfiguration. Bei dem vorliegenden Beispiel enthält die Takterzeugungsschaltung 10 einen ersten Taktgenerator 12-1 und einen zweiten Taktgenerator 12-2, die Registerschaltung 40 enthält ein Register 42-2, und die erste Berechnungsschaltung 50 enthält eine Vorzeichensteuerschaltung 52-2 und eine Berechnungsschaltung 54-2. Mit Ausnahme dieser Unterschiede haben die verbleibenden Bestandteile dieselben Funktionen und Konfigurationen wie die entsprechenden in 1 gezeigten Bestandteile, denen dieselben Bezugszahlen zugewiesen sind.
Der zweite Taktgenerator 12-2 kann ein zweites periodisches Signal erzeugen, das eine gegenüber der Phase eines von dem ersten Taktgenerator 12-1 erzeugten ersten periodischen Signals unterschiedliche Phase hat. Das zweite periodische Signal kann im Wesentlichen denselben Zyklus wie das erste periodische Signal haben. Das Register 42-2 erfasst aufeinanderfolgend die von einem der Flipflops 22, das vorher durch die Abgriffssteuerschaltung 30 ausgewählt ist, ausgegebenen Daten gemäß dem von dem zweiten Taktgenerator 12-2 zugeführten zweiten periodischen Signal und gibt die erfassten Daten aus.
Die Wellenform-Erzeugungsschaltung nach dem vorliegenden Beispiel enthält die erste Berechnungsschaltung 50, die zweite Berechnungsschaltung 60, die Ausgangsschaltung 70 und den Verstärker 130. Die Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugt ein Ausgangssignal, dessen Wert gemäß den Phasen des ersten und des zweiten periodischen Signals variiert, auf der Grundlage der von den Flipflops 22 und dem Register 24 ausgegebenen Datenwerte.
Genauer gesagt, die Vorzeichensteuerschaltung 52-2 und die Berechnungsschaltung 54-2 in der ersten Berechnungsschaltung 50 erzeugen eine Wellenform, deren Wert gemäß der Phase des zweiten periodischen Signals variiert, auf der Grundlage des von dem Register 24 ausgegebenen Datenwerts. Auch erzeugt die zweite Berechnungsschaltung 60 eine Wellenform, deren Wert gemäß der Phase des ersten periodischen Signals variiert, auf der Grundlage der von den Flipflops 22 ausgegebenen Datenwerte. Die Ausgangsschaltung 70 kombiniert dann die von der ersten und der zweiten Berechnungsschaltung 50 und 60 ausgegebenen Wellenformen, wodurch ein Ausgangssignal erzeugt wird, dessen Wert entsprechend den Phasen des ersten und des zweiten periodischen Signals variiert.
Der Verstärker 130 und die analoge Schaltung 500 können dieselben Funktionen und Konfigurationen wie der Verstärker 130 und die analoge Schaltung 500, die mit Bezug auf 5 beschrieben wurden, haben. Mit einer derartigen Konfiguration kann der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 die Wellenform des Prüfsignals genauer kompensieren. Beispielsweise kann der Signalgenerator 100 eine Wellenform erzeugen, die korrigiert wurde, um eine reflektierte Welle oder dergleichen zu kompensieren, die zu einem gegebenen Zeitpunkt, der sich von der Flanke des ersten periodischen Signals unterscheidet, auftreten kann.
In diesem Fall kann die Abgriffssteuerschaltung 30 eines der Flipflops 22 auswählen, das mit dem Register 42-2 zu verbinden ist, abhängig von einem Einheitsintervall, in welchem eine Reflexion einer rechteckigen Welle in einem bestimmten Einheitsintervall auftreten kann. Die von der Abgriffssteuerschaltung 30 durchgeführte Auswahl eines der Flipflops 22 kann zu der Auswahl eines Einheitsintervalls führen, in welchem eine die reflektierte Welle kompensierende Wellenform erzeugt wird. Weiterhin kann eine Phase in dem ausgewählten Einheitsintervall, in welchem die die reflektierte Welle kompensierende Wellenform erzeugt wird, eingestellt werden gemäß der Phase des von dem zweiten Taktgenerator 12-2 erzeugten zweiten periodischen Signals. Der zweite Taktgenerator 12-2 kann das zweite periodische Signal mit einer Phasendifferenz in Bezug auf das erste periodische Signal erzeugen, die bestimmt ist gemäß der Phase, bei der die die reflektierte Welle kompensierende Wellenform zu erzeugen ist.
8. illustriert ein anderes Beispiel für die Konfiguration des Signalgenerators 100. Der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 wird erhalten durch Ersetzen der Registerschaltung 40 in dem in 7 gezeigten Signalgenerator 100 durch eine Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 80. Die Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung 80 hat eine Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung 82, die mit Bezug auf 4 beschrieben ist. Die Takterzeugungsschaltung 10 enthält weiterhin einen dritten Taktgenerator 12-3. Mit Ausnahme dieser Unterschiede können die verbleibenden Bestandteile dieselben Funktionen und Konfigurationen wie die entsprechenden, in 7 gezeigten Bestandteile, denen dieselben Bezugszahlen zugewiesen sind, haben.
Der dritte Taktgenerator 12-3 erzeugt ein drittes periodisches Signal. Das dritte periodische Signal kann eine Phase haben, die sich von der Phase des zweiten periodischen Signals unterscheidet. Die Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung 82 empfängt das zweite und das dritte periodische Signal und gibt einen Impuls aus, dessen Breite entsprechend der Phasendifferenz zwischen dem zweiten periodischen Signal und dem dritten periodischen Signal bestimmt ist, wie mit Bezug auf 4 beschrieben ist.
Die Vorzeichensteuerschaltung 52-2 bestimmt das Vorzeichen des von der Abgriffssteuerschaltung 30 zugeführten logischen Werts und gibt den logischen Wert mit dem bestimmten Vorzeichen während einer Zeitperiode aus, für die das von der Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung 82 empfangene Signal den logischen Wert H anzeigt, wie mit Bezug auf 4 beschrieben ist. Die von der Berechnungsschaltung 54 durchgeführte Verarbeitung und die nachfolgenden Bestandteile können dieselben sein wie in dem mit Bezug auf 7 beschriebenen Signalgenerator 100.
Mit der vorbeschriebenen Konfiguration kann der sich auf das vorliegende Beispiel beziehende Signalgenerator 100 eine Wellenform erzeugen, die korrigiert ist, um eine reflektierte Welle oder dergleichen zu kompensieren, und die eine Impulsbreite hat, die sich von den Zyklen der jeweiligen periodischen Signale unterscheidet. Mit anderen Worten, der Signalgenerator 100 kann eine Wellenform erzeugen, die korrigiert ist, um eine reflektierte Welle oder dergleichen zu kompensieren, und die eine gewünschte Impulsbreite hat, durch Einstellen der Phasendifferenz zwischen dem zweiten periodischen Signal und dem dritten periodischen Signal.
9 illustriert eine beispielhafte Operation des in. 8 illustrierten Signalgenerators 100. In 9 zeigt eine Bezugsmarkierung T1 die Phase des ersten periodischen Signals an, und eine Bezugsmarkierung T2 zeigt beispielsweise die Phase des zweiten periodischen Signals an. Wie vorstehend beschrieben ist, kann der Signalgenerator 100 eine Wellenform erzeugen, in der ein Impuls mit einer gewünschten Impulsbreite an einer gewünschten Position positioniert ist, durch Einstellen der Phasen des ersten und des zweiten periodischen Signals. Als eine Folge kann der Signalgenerator 100 eine reflektierte Welle oder dergleichen kompensieren, die eine beliebige Impulsbreite hat und an einer beliebigen Position auftritt.
10 illustriert eine beispielhafte Konfiguration der analogen Schaltung 500. Bei dem vorliegenden Beispiel enthält die analoge Schaltung 500 mehrere Widerstände 502, 512, 522 und 532, mehrere Kondensatoren 514, 524 und 534 und mehrere Schalter 526 und 528. Die Widerstände 502, 512, 522 und 532 sind parallel zueinander vorgesehen. Die Kondensatoren 514, 524 und 534 sind in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den Widerständen 512, 522 und 532 vorgesehen, wobei der Widerstand 502 in einem Übertragungspfad ausgeschlossen ist, und jeweils in Reihe mit den entsprechenden widerständen 512, 522 und 532 geschaltet. Der Schalter 526 schaltet, ob die Widerstände und Kondensatoren der zweiten und der nachfolgenden Stufen parallel zu dem Widerstand 502 in dem Übertragungspfad geschaltet sind oder nicht.
Wenn beispielsweise der Schalter 526 aus ist, erzeugt die analoge Schaltung 500 eine Wellenform durch Überlagern eines Signals, das durch ein FIR-CR-Hochpassfilter erster Ordnung hindurchgegangen ist, über ein ursprüngliches Signal. Andererseits erzeugt, wenn alle Schalter ein sind, die analoge Schaltung 500 eine Wellenform durch Überlagern eines Signals, das durch ein FIR-CR-Hochpassfilter dritter Ordnung hindurchgegangen ist, über ein ursprüngliches Signal. Die Konstanten der jeweiligen Widerstände und der jeweiligen Kondensatoren können gemäß einer gewünschten Zeitkonstante einstellbar sein. Mit der vorbeschriebenen Konfiguration kann die analoge Schaltung 500 eine Wellenform erzeugen, in der eine vorbestimmte Hochfrequenzkomponente eines Eingangssignals erhöht ist. Es ist jedoch festzustellen, dass die Konfiguration der analogen Schaltung 500 nicht auf die in 10 gezeigte Konfiguration beschränkt ist. Die analoge Schaltung 500 kann durch Verwendung einer bekannten Hochfrequenzkomponenten-Erhöhungsschaltung ausgebildet sein.
11 zeigt ein anderes Beispiel für die Konfiguration der Prüfvorrichtung 200. Bei diesem Ausführungsbeispiel enthält die Prüfvorrichtung 200 eine Kalibrierungsschaltung 180 zusätzlich zu den in den 1 bis 10 gezeigten Bestandteilen. Die anderen Bestandteile, die durch dieselben Bezugszahlen wie in den 1 bis 10 angezeigt sind, können dieselben oder ähnliche Funktionen und Konfigurationen wie die entsprechenden Bestandteile in dem vorhergehenden Ausführungsbeispiel haben.
Die Kalibrierungsschaltung 180 kalibriert den Signalgenerator 100, bevor die Prüfvorrichtung 200 die DUT 300 prüft. Die Kalibrierungsschaltung 180 enthält eine Bezugserzeugungsschaltung 150, eine Steuerschaltung 160 und eine Bezugsmessschaltung 170.
Die Bezugserzeugungsschaltung 150 bewirkt, dass der Signalgenerator 100 ein Bezugssignal mit einer vorbestimmten Wellenform ausgibt. Bei diesem Ausführungsbeispiel bewirkt die Bezugserzeugungsschaltung 150, dass der Mustergenerator 110 vorbestimmte Musterdaten ausgibt.
Die Bezugsmessschaltung 170 misst die Wellenform des Bezugssignals an einem Punkt, zu welchem das Bezugssignal in den Eingangsanschluss der DUT 300 eingegeben wird. Die Steuerschaltung 160 bestimmt die Einstellungen für die erste und die zweite Berechnungsschaltung 50 und 60 auf der Grundlage der von der Bezugsmessschaltung 170 gemessenen Wellenform des Bezugssignals. Im Einzelnen kann die Steuerschaltung 160 die durch die Vorzeichensteuerschaltungen 52 und 62 ausgewählten Vorzeichen setzen sowie die Gewichtungskoeffizienten für die Berechnungsschaltungen 54 und 64 setzen. Weiterhin kann die Steuerschal tung 160 die Phasen der von den Taktgeneratoren 12 ausgegebenen periodischen Signale einstellen.
12 zeigt die von der Kalibrierungsschaltung 180 durchgeführte Operation als ein Beispiel. Wie vorstehend erwähnt ist, bewirkt die Bezugserzeugungsschaltung 150, dass der Signalgenerator 100 ein vorbestimmtes Bezugssignal ausgibt, und die Bezugsmessschaltung 170 misst die Wellenform des Bezugssignals an einem Punkt, zu welchem das Bezugssignal in den Eingangsanschluss der DUT 300 eingegeben wird.
Die Steuerschaltung 160 quantisiert die von der Bezugsmessschaltung gemessene Wellenform, wie in 12 gezeigt ist. Auf der Grundlage der quantisierten Wellenform erfasst die Steuerschaltung 160 dann die Dämpfung und dergleichen des Bezugssignals, die in dem Übertragungspfad 140 aufgetreten sein kann, und kalibriert den Signalgenerator 100 auf der Grundlage des Erfassungsergebnisses.
Beispielsweise nähert die Steuerschaltung 160 die quantisierte Wellenform durch mehrere Impulse an. Durch Verwendung der Phasen- und Impulsbreiten der Impulse kann die Steuerschaltung 160 die Phasen der von den Taktgeneratoren 12 ausgegebenen periodischen Signale steuern. Auch kann die Steuerschaltung 160 die Gewichtungskoeffizienten für die Berechnungsschaltungen 54 und 64 auf der Grundlage der Pegel der rechteckigen Wellen steuern. Zusätzlich kann die Steuerschaltung 160 die Wellenform des Bezugssignals mit der quantisierten Wellenform vergleichen, um zu beurteilen, ob die Komponenten der rechteckigen Wellen der quantisierten Wellenform vorher über das Bezugssignal zu überlagern oder von diesem zu subtrahieren sind. Auf der Grundlage der Beurteilung kann die Steuerschaltung 160 die von den Vorzeichensteuerschaltungen 52 und 62 auszuwählenden Vorzeichen steuern.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung mit Bezug auf die 1 bis 12 korrigiert der Signalgenerator 100 vorher die Wellenform des Ausgangssignals, um die Dämpfung, Reflexion oder dergleichen zu kompensieren, die in dem Übertragungspfad 140 auftreten können. Zusätzlich hat der Signalgenerator 100 eine unterschiedliche Funktion. Beispielsweise kann der Signalgenerator 100 die Wellenform des Ausgangssignals verschlechtern und das sich ergebende Signal in die DUT 300 eingeben. Hierdurch kann der maximale Pegel der Verschlechterung in der Wellenform des Ausgangssignals erfasst werden, der der DUT 300 ermöglicht, normal zu arbeiten.
13 zeigt eine beispielhafte Konfiguration einer Schaltungsanordnung 400 nach einem anderen Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Schaltungsanordnung 400 kann beispielsweise eine Halbleiterschaltung enthalten. Die Schaltungsanordnung 400 enthält ein Substrat 410, den Mustergenerator 110, den Signalgenerator 100 und die Steuerschaltung 160. Beispielsweise kann das Substrat 410 ein Halbleitersubstrat sein. Der Signalgenerator 100, der Mustergenerator 110 und die Steuerschaltung 160 können in dem Substrat 410 gebildete Schaltungen sein.
Der Signalgenerator 100, der Mustergenerator 110 und die Steuerschaltung 160 haben dieselben oder ähnliche Konfigurationen und Funktionen wie die Bestandteile, die in den 1 bis 12 durch dieselben Bezugszahlen identifiziert sind. Bei diesem Ausführungsbeispiel kann die Steuerschaltung 160 vorher Informa tionen speichern, die sich auf die Einstellungen des Signalgenerators 100 wie die Vorzeichen, Gewichtungskoeffizienten und Phasen der periodischen Signale beziehen. Alternativ kann die Steuerschaltung 160 den Signalgenerator 100 auf der Grundlage von von außen zugeführten Einstelldaten einstellen. Mit der vorbeschriebenen Konfiguration kann die Schaltungsanordnung 400 ein Signal mit einer gewünschten Wellenform ausgeben.
Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Bereich der Erfindung nicht durch die vorbeschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Es ist für den Fachmann offensichtlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den vorbeschriebenen Ausführungsbeispielen hinzugefügt werden können. Es ist anhand des Bereichs der Ansprüche auch augenscheinlich, dass die Ausführungsbeispiele, denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt sind, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
Wie vorstehend klar gezeigt ist, können einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung einen Signalgenerator realisieren, der die Wellenform eines Ausgangssignals auf der Grundlage einer gewünschten Phase korrigieren kann. Zusätzlich können die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung realisieren, die eine DUT genau prüfen kann.
ZUSAMMENFASSUNG
Es ist ein Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesem gelieferten Musterdaten vorgesehen. Der Signalgenerator enthält (i) mehrere Taktgeneratoren, die auf der Grundlage eines zu diesen gelieferten Bezugstakts mehrere periodische Signale mit jeweils unterschiedlicher Phase mit Bezug auf den Bezugstakt erzeugen, (ii) eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodisches Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist, (iii) mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal ausgegebene Daten weiterleitet, und (iv) eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.

10: Takterzeugungsschaltung
12: Taktgenerator
20: Schieberegisterschaltung
22: Flipflop
30: Abgriffssteuerschaltung
40: Registerschaltung
42: Register
50: erste Berechnungsschaltung
52 und 62: Vorzeichensteuerschaltungen
54 und 64: Berechnungsschaltungen
60: zweite Berechnungsschaltung
70: Ausgangsschaltung
80: Setz/Rücksetz-Verriegelungsschaltung
82: Setz/Rücksetz-Verriegelungsvorrichtung
100: Signalgenerator
110: Mustergenerator
120: Beurteilungsschaltung
130: Verstärker
140: Übertragungspfad
150: Bezugserzeugungsschaltung
160: Steuerschaltung
170: Bezugsmessschaltung
180: Kalibrierungsschaltung
200: Prfvorrichtung
300: DUT
400: Schaltungsanordnung
410: Substrat
500: analoge Schaltung
502, 512, 522 und 532: Widerstände
514, 524 und 534: Kondensatoren
526 und 528: Schalter

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

- JP 2002-40112 [0004]

Claims

Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesem gelieferten Musterdaten, welcher Signalgenerator aufweist: mehrere Taktgeneratoren, die mehrere periodische Signale mit jeweils einer unterschiedlichen Phase erzeugen; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist; mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops ausgegebene Daten als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal weiterleitet; und eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops aus gegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Signalgenerator nach Anspruch 1, bei dem die Wellenform-Erzeugungsschaltung enthält: mehrere Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Flipflops und den mehreren Registern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Berechnungsschaltungen einen von einem entsprechenden der mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwert mit einem vorbestimmten Koeffizienten multipliziert und ein Signal ausgibt, das einen Pegel anzeigt, der entsprechend einem Ergebnis der Multiplikation gesetzt ist; und eine Ausgangsschaltung, die Wellenformen der von den mehreren Berechnungsschaltungen ausgegebenen Signale miteinander addiert und ein sich ergebendes Signal als das Ausgangssignal ausgibt.
Signalgenerator nach Anspruch 2, bei dem die Wellenform-Erzeugungsschaltung weiterhin enthält: mehrere Vorzeichensteuerschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Flipflops und den mehreren Registern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Vorzeichensteuerschaltungen ein Vorzeichen für einen von einem entsprechenden der mehreren Flipflops und der mehreren Register ausgegebenen Datenwert bestimmt.
Signalgenerator nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Abgriffssteuerschaltung, die einen von einem der mehreren Flipflops ausgegebenen Daten wert auswählt und den ausgewählten Datenwert in ein Register der ersten Stufe unter den mehreren Registern eingibt.
Signalgenerator nach Anspruch 1, bei dem Flanken der mehreren periodischen Signale mit Ausnahme des ersten periodischen Signals in der Nähe einer Flanke des ersten periodischen Signals dichter verteilt sind.
Signalgenerator nach Anspruch 1, bei dem eine Phasendifferenz zwischen dem ersten periodischen Signal und einem von einem der mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators ausgegebenen periodischen Signal größer gesetzt ist als ein Zyklus des ersten periodischen Signals.
Signalgenerator nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend: eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in der von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Wellenform des Ausgangssignals erhöht.
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Mustergenerator, der ein Prüfmuster zum Prüfen der Vorrichtung erzeugt; einen Signalgenerator, der ein in die Vorrichtung einzugebendes Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage eines von der Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt, ob die Vorrichtung gut oder schlecht ist, welcher Signalgenerator enthält: mehrere Taktgeneratoren, die mehrere periodische Signale mit jeweils einer unterschiedlichen Phase erzeugen; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Prüfmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist; mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops ausgegebene Daten als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal weiterleitet; und eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Prüfsignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Wellenform-Erzeugungsschaltung enthält: mehrere Berechnungsschaltungen, die in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Flipflops und den mehreren Registern vorgesehen sind, wobei jede der mehreren Berechnungsschaltungen einen von einem entsprechenden der mehreren Flipflops und der mehreren Register ausgegebenen Datenwert mit einem vorbestimmten Koeffizienten multipliziert und ein Signal ausgibt, das einen gemäß einem Ergebnis der Multiplikation gesetzten Pegel anzeigt; und eine Ausgangsschaltung, die Wellenformen der von den mehreren Berechnungsschaltungen ausgegebenen Signale miteinander addiert und ein sich ergebendes Signal als das Prüfsignal ausgibt.
Prüfvorrichtung nach Anspruch 9, weiterhin aufweisend: eine Kalibrierungsschaltung, die den Signalgenerator kalibriert, bevor die Prüfvorrichtung die Vorrichtung prüft, welche Kalibrierungsschaltung enthält: eine Bezugserzeugungsschaltung, die bewirkt, dass der Signalgenerator ein Bezugssignal mit einer vorbestimmten Wellenform ausgibt; eine Bezugsmessschaltung, die das Bezugssignal an einem Punkt, an dem das Bezugssignal in einen Eingangsanschluss der Vorrichtung eingegeben wird, misst; und eine Steuerschaltung, die die Koeffizienten für die mehreren Berechnungsschaltungen auf der Grundlage einer Wellenform des von der Bezugsmessschaltung gemessenen Bezugssignals bestimmt.
Schaltungsanordnung zum Ausgeben eines Signals. mit einer gewünschten Wellenform, welche aufweist: einen Mustergenerator, der ein Wellenformmuster für das Ausgangssignal erzeugt; und einen Signalgenerator, der das Ausgangssignal auf der Grundlage des Wellenformmusters erzeugt, welcher Signalgenerator enthält: mehrere Taktgeneratoren, die mehrere periodische Signale mit jeweils einer unterschied lichen Phase erzeugen; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Wellenformmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf ein von einem ersten Taktgenerator ausgegebenes erstes periodisches Signal weitergeleitet wird, wobei das erste periodische Signal eines der mehreren periodischen Signale ist und der erste Taktgenerator einer der mehreren Taktgeneratoren ist; mehrere Register, die in einer Kaskadenanordnung und in einer Eins-zu-eins-Entsprechung mit den mehreren Taktgeneratoren mit Ausnahme des ersten Taktgenerators vorgesehen sind, wobei jedes der mehreren Register aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops ausgegebene Daten als Antwort auf ein von einem entsprechenden der mehreren Taktgeneratoren ausgegebenes periodisches Signal weiterleitet; und eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die eine Wellenform des Ausgangssignals auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten und von von den mehreren Registern ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Signalgenerator zum Erzeugen eines Ausgangssignals entsprechend zu diesem gelieferten Musterdaten, welcher Signalgenerator aufweist: eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodisches Signal erzeugt; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück der Musterdaten aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird; eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Ausgangssignal, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten erzeugt; und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Wellenform des Ausgangssignals erhöht.
Signalgenerator nach Anspruch 12, bei dem die Takterzeugungsschaltung das periodische Signal, das denselben Zyklus wie das von dem Signalgenerator erzeugte Ausgangssignal hat, erzeugt.
Signalgenerator nach Anspruch 12, bei dem die Takterzeugungsschaltung enthält: einen ersten Taktgenerator, der ein erstes periodisches Signal erzeugt und das erzeugte erste periodische Signal zu der Schieberegisterschaltung liefert; und einen zweiten Taktgenerator, der ein zweites periodisches Signal, das denselben Zyklus wie das erste periodische Signal hat und eine unterschiedliche Phase gegenüber dem ersten periodischen Signal hat, erzeugt, und der Signalgenerator weiterhin aufweist: ein Register, das aufeinanderfolgend von einem vorausgewählten der mehreren Flipflops ausgegebene Daten erfasst gemäß dem von dem zweiten Taktgenerator ausgegebenen zweiten periodischen Signal und die erfassten Daten ausgibt, und die Wellenform-Erzeugungsschaltung das Ausgangssignal, dessen Wert gemäß den Phasen des ersten und des zweiten periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops und dem Register ausgegebenen Datenwerten erzeugt.
Signalgenerator nach Anspruch 14, weiterhin aufweisend: eine Abgriffssteuerschaltung, die einen von einem der mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwert auswählt und den ausgewählten Datenwert in das Register eingibt.
Prüfvorrichtung zum Prüfen einer geprüften Vorrichtung, welche aufweist: einen Mustergenerator, der ein Prüfmuster zum Prüfen der Vorrichtung erzeugt; einen Signalgenerator, der ein in die Vorrichtung einzugebendes Prüfsignal auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugt; und eine Beurteilungsschaltung, die auf der Grundlage eines von der Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt, ob die Vorrichtung gut oder schlecht ist, welcher Signalgenerator enthält: eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodisches Signal erzeugt; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Prüfmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird; eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Prüfsignal, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten erzeugt; und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer von der Wellen form-Erzeugungsschaltung erzeugten Wellenform des Prüfsignals erhöht.
Schaltungsanordnung zum Ausgeben eines Signals mit einer gewünschten Wellenform, welche aufweist: einen Mustergenerator, der ein Wellenformmuster für das von der Schaltungsanordnung auszugebende Signal erzeugt; und einen Signalgenerator, der das Ausgangssignal auf der Grundlage des Wellenformmusters erzeugt, welcher Signalgenerator enthält: eine Takterzeugungsschaltung, die ein periodisches Signal erzeugt; eine Schieberegisterschaltung enthaltend mehrere Flipflops in einer Kaskadenanordnung, durch die jedes Datenstück des Wellenformmusters aufeinanderfolgend als Antwort auf das periodische Signal weitergeleitet wird; eine Wellenform-Erzeugungsschaltung, die das Ausgangssignal, dessen Wert gemäß einem Zyklus des periodischen Signals variiert, auf der Grundlage von von den mehreren Flipflops ausgegebenen Datenwerten erzeugt; und eine analoge Schaltung, die eine vorbestimmte Frequenzkomponente in einer von der Wellenform-Erzeugungsschaltung erzeugten Wellenform des Ausgangssignals erhöht.