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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich allgemein auf das Gebiet von
elektronischen Schaltungen und insbesondere auf ein System und ein
Verfahren zum Messen von niedrigen Impedanzen.
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Mehrere
Faktoren bei der Entwicklung von Computersystemen und elektronischen
Schaltungen, wie z. B. Mikroprozessorchips, gedruckte Schaltungsplatinen
und elektronisches Gehäuse,
tragen zu dem Bedarf an niedrigeren Impedanzen über eine breite Bandbreite
bei den Leistungsverteilungsnetzwerken dieser Systeme bei. Abnehmende
Leistungsversorgungspegel, Signalübergangszeiten und Chipgrößen und
die stetige Zunahme von Leistungsversorgungsströmen und Taktgeschwindigkeiten
erfordern alle, dass das Leistungsverteilungsnetzwerk sehr niedrige
Impedanzpegel aufweist. Die typische Zielimpedanz für Computersysteme
hat alle zwei Jahre um einen Faktor fünf abgenommen. Eine niedrige
Impedanz in dem Milliohm- und Untermilliohm-Bereich ist erwünscht, um eine Rauscherzeugung,
elektromagnetische Strahlung und Störung zu minimieren.
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Während Techniken,
um eine Signalintegrität von
Hochgeschwindigkeitssignalen zu prüfen, bereits weit verbreitet
sind, bleibt der Bedarf, sehr niedrige Impedanzen in den Milliohm-
und Untermilliohm-Bereichen bei hohen Frequenzen genau zu messen,
unerfüllt.
Zeitbereichsreflektometrieinstrumente werden verwendet, um Leistungsverteilungsnetzwerkimpedanzen
zu messen. Zeitbereichsreflektometriemessungen sind jedoch aufgrund
des Rauschens und der Nicht-Linearität des Oszilloskops,
das bei diesem Verfahren verwendet wird, nicht zum Messen von Milliohmbereichsimpedanzen
geeignet. RLC-(Widerstand, Induktivität und Kapazität)Messgeräte können Unterohmimpedanzen
bei Frequenzen von Hunderten von Megahertz nicht messen. Vektornetzwerkanalysatoren
werden ebenfalls verwendet, um Schaltungspara meter zu messen, dieselben
können
jedoch nur auf äußere Punkte
eines Halbleiterchips zugreifen und können nicht innere Impedanzen
messen. Außerdem
messen Vektornetzwerkanalysatoren Impedanz durch ein Liefern und
Treiben eines Stromes in das System, der Strom kann jedoch nicht gleichmäßig durch
die Schaltung getrieben werden und zufriedenstellende Messungen
erreichen. Ein allgemeiner Nachteil dieser herkömmlichen Methodiken umfasst
auch die Unfähigkeit,
eine chipinterne Impedanzmessung während Systemoperationen zu erhalten.
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Der
Artikel: Taylor G., Deutschle C., Arabi T., Owens B., „An approach
to measuring power supply impedance of microprocessors", IEEE 10th Topical meeting
on Electrical Performance of Electronic Packaging, Cambridge, MA,
USA, 29.–31.
Okt. 2001, S. 211–214,
offenbart die Messung der Leistungsversorgungsimpedanz von Mikroprozessoren
durch Spannungsmessungen mit mehreren Taktraten und ein Skalieren
durch das Verhältnis
der Taktraten, um eine Impedanz-über-Frequenz-Kurve zu
bestimmen.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung weist ein Verfahren zum Messen einer Impedanz in einem System,
das einen Mikroprozessor aufweist, ein Halten des Mikroprozessors
in einem Rücksetzmodus und
ein Liefern eines Taktes mit einer Frequenz FCLK an
den Mikroprozessor, während
ein erster Strompegel gemessen wird, ein Liefern des Taktes mit
einer Frequenz FCLK/N und ein Messen eines
zweiten Strompegels auf. Während
der Mikroprozessor in Rücksetzung
gehalten wird und die Taktfrequenz zwischen FCLK und
FCLK/N umgeschaltet wird und ein periodischer
Strom-Signalverlauf erzeugt wird, Messen der Spannung an zumindest
einem Tor in dem System eine Mehrzahl von Malen, um eine Mehrzahl
von Sätzen
von Spannungsmessungen zu erhalten. Die Mehrzahl von Sätzen von
Spannungsmessungen wird gemittelt. Das Verfahren weist ferner ein
Variieren von FCLK und ein Bestimmen einer
Fourier-Komponente der gemittelten Spannungsmessungen, um taktfrequenzabhängige Rauscherscheinungen
zu bestimmen, und ein Entfernen der taktfrequenzabhängigen Rauscherscheinungen,
um eine gefilterte mittlere Spannung zu erzeugen, und ein Bestimmen
einer Impedanz durch ein Teilen einer Fourier-Komponente der gefilterten
mittleren Spannung durch eine Fourier-Komponente des periodischen
Strom-Signalverlaufs,
der abwechselnde erste und zweite Strompegel aufweist, auf.
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Gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung weist ein Verfahren zum Bestimmen einer
Impedanz in einem System, das einen Mikroprozessor aufweist, ein
Erzeugen eines Stufensignalverlaufs in dem Mikroprozessor durch
ein Halten des Mikroprozessors in einem Rücksetzmodus und ein Liefern
eines Taktes zuerst mit einer Frequenz FCLK an
den Mikroprozessor, während
ein erster Strompegel gemessen wird, und ein Liefern des Taktes
mit FCLK/N, während ein zweiter Strompegel gemessen
wird, auf. Das Verfahren weist ferner ein Halten des Mikroprozessors
in einem Rücksetzmodus,
ein Umschalten der Taktfrequenz zwischen FCLK und
FCLK/N, während die Spannung an einer
Mehrzahl von Toren in dem System gemessen wird, um eine Mehrzahl
von Sätzen
von Spannungsmessungen zu erhalten, und ein Mitteln der Mehrzahl
von Sätzen
von Spannungsmessungen auf. Das Verfahren weist ein Variieren von
FCLK und ein Bestimmen von taktfrequenzabhängigen Rauscherscheinungen und
ein Entfernen der taktfrequenzabhängigen Rauscherscheinungen,
um eine gefilterte mittlere Spannung zu erzeugen, und ein Bestimmen
einer Impedanz in Abhängigkeit
der Frequenz durch ein Teilen einer Fourier-Komponente der gefilterten
mittleren Spannung durch eine Fourier-Komponente des periodischen
Strom-Signalverlaufs, der abwechselnde erste und zweite Strompegel
aufweist, auf.
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Gemäß einem
weiteren Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung weist ein System eine Einrichtung zum Halten
des Mikroprozessors in einem Rücksetzmodus
und Messen eines ersten Strompegels, während dem Mikroprozessor ein
Takt mit einer Frequenz FCLK geliefert wird,
und Messen eines zweiten Strompegels, während der Takt mit einer Frequenz
FCLK/N geliefert wird, eine Einrichtung
zum Erzeugen eines periodischen Strom-Signalverlaufs und Messen
der Spannung an zumindest einem Tor in dem System eine Mehrzahl
von Malen, um zumindest einen Satz von Spannungsmessungen zu erhalten,
während
der Mikroprozessor in dem Rücksetzmodus
gehalten wird und die Taktfrequenz zwischen FCLK und
FCLK/N umgeschaltet wird, und eine Einrichtung
zum Mitteln der Mehrzahl von Sätzen
von Spannungsmessungen auf. Das System weist ferner eine Einrichtung
zum Variieren von FCLK und Bestimmen einer
Fourier-Komponente der gemittelten Spannungsmessungen, um taktfrequenzabhängige Rauscherscheinungen
zu bestimmen, und Entfernen der taktfrequenzabhängigen Rauscherscheinungen,
um eine gefilterte mittlere Spannung zu erzeugen, und eine Einrichtung
zum Bestimmen einer Impedanz durch ein Teilen einer Fourier-Komponente
der gefilterten mittleren Spannung durch eine Fourier-Komponente
des periodischen Strom-Signalverlaufs,
der abwechselnde erste und zweite Strompegel aufweist, auf.
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Für ein vollständigeres
Verständnis
der vorliegenden Erfindung, der Aufgaben und Vorteile derselben
wird nun Bezug genommen auf die folgenden Beschreibungen zusammen
mit den beiliegenden Zeichnungen. Es zeigen:
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1 ein
schematisches Blockdiagramm eines Ausführungsbeispiels eines Systems
einer Niederimpedanzmessung gemäß den Lehren
der vorliegenden Erfindung;
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2 ein
Flussdiagramm eines Ausführungsbeispiels
einer Niederimpedanzmessung gemäß den Lehren
der vorliegenden Erfindung;
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3 ein
schematisches Blockdiagramm eines weiteren Ausführungsbeispiels eines Systems einer
Niederimpedanzmessung gemäß den Lehren der
vorliegenden Erfindung;
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4 ein
Flussdiagramm eines weiteren Ausführungsbeispiels einer Niederimpedanzmessung
gemäß den Lehren
der vorliegenden Erfindung;
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5 eine
graphische Darstellung von Spannung und vorhergesagten Strom- und
Spannungs-Signalverläufen, die
durch ein Ausführungsbeispiel
der KALT-, HEISS- und PULSIER-Algorithmen gemäß den Lehren der vorliegenden
Erfindung erzeugt werden; und
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6 eine
graphische Darstellung von Impedanzberechnungen, die durch Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung erzeugt werden.
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Das
bevorzugte Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung und ihre Vorteile werden am Besten durch
eine Bezugnahme auf die 1–6 der Zeichnungen
verstanden, wobei gleiche Bezugszeichen für gleiche und entsprechende
Teile der verschiedenen Zeichnungen verwendet werden.
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1 ist
ein schematisches Blockdiagramm, das ein Ausführungsbeispiel eines Systems
zum Messen einer niedrigen Impedanz gemäß den Lehren der vorliegenden
Erfindung veranschaulicht. Zu Veranschaulichungszwecken zeigt
1 eine
Anwendung eines Systems und eines Verfahrens der vorliegenden Erfindung
bei einer gedruckten Computerverarbeitungseinheits-(CPU)Schaltungsplatine
10,
einem Halbleiterchipgehäuse
12,
das sich auf der gedruckten Schaltungsplatine
10 befindet,
und einem Halbleiterchip
14 in dem Gehäuse
12. Das Ohmsche Gesetz,
das durch das Folgende ausgedrückt
ist, wird zum Lösen
nach Impedanz (Z) in Abhängigkeit der
Frequenz verwendet:
wobei F
f(g(t))
die Fourier-Komponente einer Funktion g(t) bei einer Frequenz f
ist, V die Spannung ist, I der Strom ist, und t die Zeit ist. Spannung
in Abhängigkeit von
Zeit kann genau gemessen werden, es ist jedoch sehr schwierig, gleichzeitig
Stromschwankungen zu messen. Ausführungsbeispiele der vorliegenden
Erfindung erfüllen
diese Aufgabe durch ein Erzeugen eines Stromes mit steuerbaren und
bekannten Merkmalen innerhalb des interessierenden Frequenzbereichs.
Der erzeugte Strom weist einen einfachen Signalverlauf auf, um ein
Einführen
von zusätzlichem Rauschen
in die Messungen zu vermeiden.
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Drei
Computeralgorithmen, die einsetzbar sind, um einen periodischen
Strom während
Mikroprozessoroperationen zu erzeugen, sind zur Verwendung während Impedanzmessungen
bereitgestellt. Der Strom weist einen einfachen Signalverlauf, wie
z. B. einen Stufen- oder trapezförmigen
Signalverlauf, auf. Die Computeralgorithmen weisen jeder eine Reihe
von Computeranweisungen auf. Der erste Algorithmus ist der HEISS-Code,
der eine vorbestimmte Anzahl von Computeranweisungen, z. B. vier Ganzzahladditionsassemblersprachenanweisungen,
aufweist, um eine hohe Leistung zu erzeugen. Andere Computeranweisungen,
wie z. B. eine Ganzzahlsubtraktion, und logische Operationen, wie
z. B. UND, ODER, NOR, XOR usw. können
ebenfalls verwendet werden. Der zweite Algorithmus ist der KALT-Code,
der eine vorbestimmte Anzahl von Computeroperationen, wie z. B.
vier Ganzzahl-no-op-Assemblersprachenanweisungen,
aufweist, um eine niedrige Leistung zu erzeugen. Der HEISS- und
der KALT-Code erzeugen zwei unterschiedliche konstante Strompegel,
wenn dieselben ausgeführt
werden, wobei der HEISS-Code einen höheren Strom als der KALT-Code
erzeugt. Der HEISS- und der KALT-Code können alternativ und kontinuierlich
kombiniert werden, um einen PULSIER-Code zu erzeugen. Die Übergangsbreite
zwischen HEISS und KALT bestimmt die Hochfrequenzgrenze einer gemessenen Impedanz.
Bevorzugt befinden sich der HEISS- und der KALT-Code in dem Anweisungscache
des Mikroprozessors bereit zur sofortigen Ausführung, um ein Blockieren zu
vermeiden, das durch ein Abrufen von Anweisungen eingeführt wird.
Ferner ist es erwünscht,
eine ausreichend lange Dauer von HEISS und dann ausreichend lange
abwechselnde KALT-Perioden
zu haben, um die Niederfrequenzgrenze zu verringern. Dies kann durch
ein Einführen von
Schleifen in den Code erreicht werden.
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Unter
Bezugnahme auf 2 für ein Flussdiagramm eines Ausführungsbeispiels
eines Prozesses zum Messen einer niedrigen Impedanz 20 gemäß den Lehren
der vorliegenden Erfindung wird der HEISS-Code ausgeführt, um
einen gleichbleibenden Leistungspegel zu erzeugen, so dass Idd (HEISS) gemessen werden kann, und wird
der KALT-Code ausgeführt,
um einen gleichbleibenden Minimalleistungspegel zu erzeugen, so
dass Idd (KALT) gemessen werden kann, wie
es in 2 bei Block 22 gezeigt ist. Idd (HEISS) und Idd (KALT)
können
durch ein Verwenden eines Voltmeters 23 bestimmt werden, das
mit einem Erfassungswiderstand 24 eines Spannungsreglermoduls
(VRM) 25 gekoppelt ist, das an der gedruckten Schaltungsplatine 10 angeordnet
ist, um den Spannungsabfall über
den Widerstand 24 zu messen. Bei den Blöcken 26 und 27 wird
dann ein PULSIER-Code ausgeführt,
der vorbestimmte Längen
von HEISS- und KALT-Perioden abwechselt, und eine Mehrzahl von Spannungsmessungen
V1(t), V2(t), ...
Vn(t) zwischen Vdd-
und Vss-(Leistungs- und Masse-)Anschlussflächen 28–32,
die an dem Halbleiterchip 14, dem Chipgehäuse 12 und
der gedruckten Schaltungsplatine 10 angeordnet sind. V1(t), V2(t), ... Vn(t) werden im Folgenden auch als gemessener Spannungsabfall
an Toren 1–Tor
n bezeichnet. Eine Spannung V1(t) an Tor
1 ist eine Messung eines chipinternen Spannungsabfalls und wird
durch ein Verwenden von eigens vorgesehenen Testanschlussflächen gemessen,
die speziell chipintern für
eine Vdd–Vss-Erfassung
bereitgestellt sind. Diese Testanschlussflächen sind einsetzbar, um eine
Verbindung mit einem Instrument herzustellen, wie z. B. einer Hochimpedanzaktivdifferenzsonde 34.
Die Spannungsmessungen werden mit einem Oszilloskop 36, das
z. B. mit der Differenzsonde 34 gekoppelt ist, vorgenommen.
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Um
kurz auf 5 Bezug zu nehmen, ist ein exemplarischer
Signalverlauf 37 für
V1(t) gezeigt. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel
liefert der PULSIER-Code einen HEISS- und KALT-Signalverlauf 38 bei
einem 50%-Lastzyklus und einer Periode von etwa 20 Mikrosekunden
(μs), wie
es in 5 gezeigt ist. Eine mathematische Langzeitmittlungsfunktion,
die durch das Oszilloskop 36 geliefert wird, wird verwendet,
um eine große
Anzahl von Messungen zu mitteln, um weißes Rauschen zu verringern,
wie es bei Block 40 gezeigt ist. Ein exemplarischer gemittelter
Spannungssignalverlauf 42, das Ergebnis eines Mittelns
von über
25.000 Oszilloskopdurchläufen,
ist in 5 gezeigt. Weißes Rauschen geht normalerweise
von Quellen in der Betriebsumgebung des Systems aus und ist normalerweise
willkürlich
und aperiodisch.
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Um
zu
2 zurückzukehren,
werden bei Block
44 der HEISS-, der KALT- und der PULSIER-Code
kontinuierlich bei unterschiedlichen Taktfrequenzen ausgeführt, wie
es bei den Blöcken
22–
40 gezeigt
ist, um die Ströme
und Spannungen bei diesen Taktfrequenzen zu messen. Durch ein Anwenden
einer schnellen Fourier-Transformation (FFT), um die Fourier-Komponente des gemessenen Spannungssignalverlaufs
zu erhalten, kann das periodische Rauschen, das mit sich verändernden
Taktfrequenzen variiert, isoliert werden. Dieses taktabhängige Rauschen
wird dann aus den gemittelten Spannungsmessungen gefiltert, wie
es in Block
46 gezeigt ist. Die kleinen periodischen Spitzen
in dem Signalverlauf werden durch Schleifenverzweigung in dem Code
verursacht. Ein exemplarischer gefilterter mittlerer Spannungssignalverlauf
48 ist
in
5 gezeigt. Bei Block
50 von
2 wird
die Impedanz Z
Ii (wobei I = 1 bis n) bestimmt
durch:
wobei F
f die
Fourier-Komponente der Spannung oder des Stromes ist, und Z
11 die Impedanz der Leistungsversorgungsschleife
des Mikroprozessors ist, Z
12 die Übertragungsimpedanz
für Tor
2 an einem elektronischen Gehäuse
ist, während
der Strom für
Tor 1 vorhergesagt wird, Z
13 die Übertragungsimpedanz
für Tor
3 an einem elektronischen Gehäuse
ist, während der
Strom für
Tor 1 vorhergesagt wird, usw. Ein exemplarischer Impedanzsignalverlauf
52,
der unter Verwendung von HEISS-, KALT- und PULSIER-Codes über einem
interessierenden Frequenzbereich erhalten wird, ist in
6 gezeigt.
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Es
wird bevorzugt, eine Anzahl von unterschiedlichen PULSIER-Codes
mit unterschiedlichen Perioden zu liefern, um einen breiten Frequenzbereich
abzudecken. Ein Stufen- oder trapezförmiger Signalverlauf größerer Perioden
verbessert eine Messgenauigkeit bei niedrigeren Frequenzen, und kleinere
Perioden verbessern eine Genauigkeit bei höheren Frequenzen.
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3 ist
ein schematisches Blockdiagramm, das ein weiteres Ausführungsbeispiel
eines Systems einer Niederimpedanzmessung gemäß den Lehren der vorliegenden
Erfindung zeigt. Anstatt Computercodes HEISS, KALT und PULSIEREN
zu verwenden, um einen trapezförmigen
periodischen Strom-Signalverlauf
zu erzeugen, wird der eingebaute „Durch-N-Teilen-"Betriebsmodus des Mikroprozessorchips
verwendet, um den erforderlichen Signalverlauf zu erzeugen. Der
Mikroprozessor wird durch ein Niedrighalten seiner Rücksetzleitung
(Reset_L) 52 in Rücksetzmodus
gesetzt, während
die Taktfrequenz mit FCLK oder FCLK/N geliefert wird, wobei FCLK von
dem Betriebsbereich des Mikroprozessors abhängt, und N eine positive Ganzzahl
ist. Der Durch-N-Teilen-Betriebsmodus ist durch ein Verwenden des
chipinternen Phasenregelschleife-(PLL)Testmodus
zugänglich,
der normalerweise während
der Systemhochfahrsequenz auftritt. Die Periode des trapezför migen Strom-Signalverlaufs wird
bevorzugt durch ein Verwenden eines externen Pulsgenerators 54 gesteuert,
der einen Signalverlauf bei einem vorbestimmten Lastzyklus, wie
z. B. 50%, liefert.
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Unter
Bezugnahme auf 4 für ein Flussdiagramm eines zweiten
Ausführungsbeispiels
eines Niederimpedanzmessprozesses 56 gemäß den Lehren
der vorliegenden Erfindung wird das System bei den Blöcken 57 und 58 bei
Rücksetzung
gehalten, und die Taktfrequenz wird auf FCLK gesetzt,
während der
Idd-Strom gemessen wird. Das System wird
erneut bei Rücksetzung
gehalten, aber die Taktfrequenz wird auf FCLK/N
gesetzt, während
erneut der Idd gemessen wird, wie es bei
den Blöcken 59 und 60 gezeigt
ist. Bei Block 62 wird das System erneut bei Rücksetzung
gehalten, während
die Taktfrequenz zwischen FCLK und FCLK/N umgeschaltet wird. Unter Verwendung
des Oszilloskops 36 wird eine Mehrzahl von Spannungen V1–Vn von verschiedenen Testanschlussflächen 28–32 an
dem Halbleiterchip 14, dem Gehäuse 12 und der gedruckten
Schaltungsplatine 10 gemessen, wie es bei Block 63 gezeigt
ist. Die Idd-Ströme bei FCLK und
FCLK/N und die Anstiegs- und Abfallzeiten
bestimmen den Strom-Signalverlauf über der
Zeit, I(t). Die Anstiegszeit des periodischen Strom-Signalverlaufs
kann durch die Fourier-Transformation
der Spannungsantwort auf den Strom, der bei dem Durch-N-Teilen-Modus
erzeugt wird, bestimmt werden, und die inverse Anstiegszeit oder
die Abfallzeit entspricht der Frequenz des Minimums der Fourier-Transformation.
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Eine
mathematische Langzeitmittlungsfunktion, die durch das Oszilloskop 36 geliefert
wird, wird dann verwendet, um weißes Rauschen zu verringern,
wie es bei Block 64 gezeigt ist. Um weißes Rauschen ordnungsgemäß herauszufiltern,
wird eine große
Anzahl von Oszilloskopdurchläufen
bei der Mittlungsfunktion verwendet. Weißes Rauschen geht normalerweise
von Quellen in der Betriebsumgebung des Systems aus und ist willkürlich und
aperiodisch.
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Danach
werden bei Block
65 die Spannungsmessungen bei unterschiedlichen
Taktfrequenzen erhalten. Durch ein Anwenden einer schnellen Fourier-Transformation
(FFT), um die Fourier-Komponente der gemessenen Spannungssignalverläufe bei verschiedenen
Taktfrequenzen zu erhalten, kann das periodische Rauschen, das mit
der Taktfrequenz variiert, isoliert werden. Zum Beispiel kann die
Taktfrequenz von 1 Megahertz (MHz) bis zu 1 Gigahertz (GHz) variiert
werden. Das taktabhängige
Rauschen wird aus dem gemittelten Spannungssignalverlauf gefiltert.
Bei Block
66 wird die Impedanz Z
Ii (wobei
I 0 1 bis n) bestimmt durch:
wobei F
f die
Fourier-Komponente der Spannung oder des Stromes ist, und Z
11 die Impedanz der Leistungsversorgungsschleife
des Mikroprozessors ist, Z
12 die Übertragungsimpedanz
für Tor
2 an einem elektronischen Gehäuse
ist, während
der Strom für
Tor 1 vorhergesagt wird, Z
13 die Übertragungsimpedanz
für Tor
3 an einem elektronischen Gehäuse
ist, während der
Strom für
Tor 1 vorhergesagt wird, usw. Ein exemplarischer Impedanzsignalverlauf
70,
der unter Verwendung der Frequenz-geteilt-durch-N-Methodik über einem
interessierenden Frequenzbereich erhalten wird, ist in
6 gezeigt.
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Ein
Vorteil einer Stromerregung unter Verwendung der Durch-N-Teilen-Methodik über die Computercodes
umfasst die Beseitigung von zusätzlichem
Rauschen bei den Messungen. Fachleute werden erkennen, dass Rauscherscheinungen
durch das zugrundeliegende Betriebssystem oder andere Teilkomponenten
des Systems eingeführt
werden, wenn der Mikroprozessor arbeitet. Ferner führen die Computercodes
selbst zusätzliches
Rauschen ein, das die Form des Strom-Signalverlaufs verzerren kann.
Um weißes
Rauschen, das dem Takt, dem Betriebssystem oder dem Messinstrument
zugeordnet ist, zu vermeiden, ist eine Langzeitmittlung des Spannungssignalverlaufs
unter Verwendung des Oszilloskops erwünscht, die an den scharfen
Flanken des trapezförmigen
Signalverlaufs auslöst.
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Die
verschiedenen Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung, die hier beschrieben sind, liefern Systeme
und Verfahren zum Messen sehr niedriger Impedanzen von Leistungsversorgungsschleifen über einen
breiten Frequenzbereich an verschiedenen Punkten an einem Halbleiterchip,
in einem elektronischen Chipgehäuse
und an einer gedruckten Schaltungsplatine.
