DE102022113006A1

DE102022113006A1 - Messgerät, messverfahren und programm

Info

Publication number: DE102022113006A1
Application number: DE102022113006.1A
Authority: DE
Inventors: Masayuki Kawabata; Mitsuo Matsumoto; Shinya Sato; Masakatsu Suda
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2021-08-10
Filing date: 2022-05-24
Publication date: 2023-02-16
Also published as: JP2023025353A; US12055570B2; US20230052937A1

Abstract

Es wird ein Messgerät bereitgestellt, enthaltend eine Signalquelle, die dazu beschaffen ist, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet, eine Wellenform-Beschaffungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird, eine Berechnungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit erlangten Wellenform zu berechnen, wobei die Signalquelle dazu beschaffen ist, wiederholt ein Signal auszugeben, das durch Multiplizieren eines pseudozufälligen Binärsequenz-Signals (PRBS-Signals) mit einer sich wiederholenden Rechteckwelle mit einer Referenzfrequenz und einem Referenz-Tastverhältnis aufwärts gewandelt wurde.

Description

Hintergrund
1. Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Messgerät, ein Messverfahren und ein Programm.
2. Stand der Technik
Die Nicht-Patentdokumente 1 und 2 und das Patentdokument 1 beschreiben Folgendes: „Die ersten m Komponenten der Impulsantwort (h(k), k = 0 bis m-1) können durch das in 8 gezeigte Schema erhalten werden. Jede dieser m Komponenten entspricht dem Ausgang einer vereinfachten Korrelationszelle (SCC), die In 7 gezeigt ist. Das Eingangssignal der SCCs ist die Antwort auf die MLS des Prüflings (nach einer Analog-Digital-Umwandlung).“ (Kapitel 5 im Nicht-Patentdokument 1) und dergleichen“.
Liste der zitierten Dokumente
Patentdokumente

Nicht-Patentdokument 1: L. Rufer und drei andere, „On-Chip testing of MEMS using pseudo-random test sequences“, [online], ReserchGate, [gesucht am 23. Juli 2021], Internet <URL: https ://www.researchgate.net/publication/4068737_On-chip_testing_ of_MEMS^_using_pseudo-random_test_sequences>
Nicht-Patentdokument 2: Vytautas Dumbrava und ein weiterer, „Uncertainty analysis of I-V Impedance Measurement Technique“, ReserchGate, [gesucht am 23. Juli 2021], Internet <URL: https://www.researchgate.net/publication /256232481_Uncertainty_ analysis_of_I-V_impedance_mess_technique>
Patentdokument 1: Japanische Patentanmeldungsveröffentlichung Nr. Hei. 10-14898

Zusammenfassung
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Messgerät bereitgestellt. Das Messgerät kann eine Signalquelle enthalten, die dazu beschaffen ist, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet. Das Messgerät kann eine Wellenform-Beschaffungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird. Das Messgerät kann eine Berechnungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit erlangten Wellenform zu berechnen.
Die Signalquelle kann wiederholt ein Signal ausgeben, das durch Multiplizieren eines pseudozufälligen Binärsequenz-Signals (PRBS-Signals) mit einer sich wiederholenden Rechteckwelle mit einer Referenzfrequenz und einem Referenz-Tastverhältnis aufwärts gewandelt wurde.
Das Messgerät kann ferner ein Tiefpassfilter enthalten, das zwischen der Signalquelle und dem Prüfling angeordnet ist.
Das Messgerät kann ferner einen Referenzwiderstand umfassen, der in Reihe mit dem Prüfling geschaltet ist. Die Wellenform-Beschaffungseinheit kann die analoge Signalwellenform jeweils an einem Messpunkt auf einer Seite der Signalquelle relativ zu dem Prüfling und dem Referenzwiderstand und einem Messpunkt zwischen dem Prüfling und dem Referenzwiderstand erlangen.
Das Messgerät kann ferner einen Messfühler umfassen, der auf einer unteren Oberfläche eines anhebbaren Substrats angeordnet und mit einem Anschluss des Prüflings elektrisch verbunden ist. Das Tiefpassfilter und der Referenzwiderstand können auf dem Substrat angeordnet sein.
Das Messgerät kann eine Vielzahl von Messfühlern umfassen, die jeweils mit einer Vielzahl von Prüflingen elektrisch verbunden sind, wobei jeder der Vielzahl von Messfühlern gleich ist wie der oben beschriebene Messfühler und jeder der Prüflinge gleich ist wie der oben beschriebene Prüfling.
Die Wellenform-Beschaffungseinheit kann die analoge Signalwellenform synchron mit der Signalquelle erlangen.
Das Messgerät kann ferner eine Bestimmungseinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, eine Qualität des Prüflings basierend auf der berechneten Frequenzcharakteristik zu bestimmen.
Der Prüfling kann ein MEMS-Gerät sein.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Messverfahren bereitgestellt. Das Messverfahren kann das Ausgeben eines binären digitalen Signals umfassen, das eine Mehrtonwellenform bildet. Das Messverfahren kann das Erlangen einer analogen Signalwellenform umfassen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird. Das Messverfahren kann das Berechnen einer Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der erlangten Wellenform umfassen.
Gemäß einem dritten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Programm bereitgestellt. Das Programm kann bewirken, dass ein Computer als eine Signalquelle funktioniert, die dazu beschaffen ist, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet. Das Programm kann bewirken, dass der Computer als eine Wellenform-Beschaffungseinheit funktioniert, die dazu beschaffen ist, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an ein zu testendes Gerät erzeugt wird. Das Programm kann bewirken, dass der Computer als Berechnungseinheit funktioniert, die dazu beschaffen ist, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit erlangten Wellenform zu berechnen.
Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle notwendigen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der oben beschriebenen Merkmale sein.
Figurenliste

1 zeigt ein Testsystem 1 gemäß einem Ausführungsbeispiel.
2 zeigt einen Teil einer digitalen Signalausgabe von einer Signalquelle 22.
3 zeigt eine analoge Signalwellenform, die von einer Wellenform-Beschaffungseinheit 25 bei Anlegen des digitalen Signals von 2 erlangt wird.
4 zeigt eine analoge Signalwellenform, die von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 bei Anlegen des digitalen Signals von 2 erlangt wird.
5 zeigt eine Intensitätsverteilung der analogen Signalwellenform, die von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 beim Anlegen des digitalen Signals von 2 erlangt wird.
6 zeigt einen Betrieb eines Messgeräts 200.
7 zeigt ein Testsystem 1A gemäß einem modifizierten Beispiel.
8 zeigt eine Ersatzschaltung 110 eines Prüflings 100.
9 zeigt ein Kurvendiagramm einer Admittanz des Prüflings 100.

10 zeigt ein Beispiel eines Computers 2200, in dem mehrere Aspekte der vorliegenden Erfindung vollständig oder teilweise realisiert werden können.
Beschreibung beispielhafter Ausführungsbeispiele
Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen der Erfindung beschrieben, aber die folgenden Ausführungsbeispielen schränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht ein. Außerdem müssen nicht alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale notwendigerweise für die Lösung der Erfindung wesentlich sein.
1. Testsystem 1
1 zeigt ein Testsystem 1 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Prüfsystem 1 beinhaltet einen Prüfling (Device under Test DUT) 100 und ein Messgerät 200.
1-1. Prüfling 100
Der Prüfling 100 weist mindestens einen Anschluss 101 auf (gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beispielsweise zwei Anschlüsse) und wird durch Messen einer Frequenzcharakteristik durch das Messgerät 200 getestet. Der Prüfling 100 kann eine MEMS-Vorrichtung sein, wie etwa ein piezoelektrisches Element, und eine Vielzahl von Prüflingen 100 können auf einem Wafer 1000 angeordnet sein.
1-2. Messgerät 200
Das Messgerät 200 ist dazu beschaffen, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 zu messen. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann das Messgerät 200 beispielsweise eine Impedanz des Prüflings 100 durch ein Transferimpedanz-Umwandlungsverfahren messen. Zudem kann das Messgerät 200 den Prüfling 100 basierend auf einem Messergebnis testen.
Das Messgerät 200 weist eine Vielzahl von Messfühlern 20, eine Vielzahl von Referenzwiderständen 21, eine Signalquelle 22, eine Vielzahl von Tiefpassfiltern 23, eine Synchronisierungssteuereinheit 24, eine Wellenform-Beschaffungseinheit 25, eine Berechnungseinheit 26 und eine Bestimmungseinheit 27 auf.
1-2-1. Messfühler 20
Die Vielzahl von Messfühlern 20 ist jeweils elektrisch mit der Vielzahl von Prüflingen 100 verbunden. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die Vielzahl von Messfühlern 20 beispielsweise jeweils mit den zwei Anschlüssen 101 im Prüfling 100 elektrisch verbunden sein. Jeder der Messfühler 20 kann auf einer unteren Oberfläche eines (nicht gezeigten) anhebbaren Substrats angeordnet sein, die einer vorderen Oberfläche des Wafers 1000 zugewandt ist.
1-2-2. Referenzwiderstand 21
Jeder der Referenzwiderstände 21 ist mit dem Prüfling 100 in Reihe geschaltet. Ein Ende einer Reihenschaltung des Referenzwiderstands 21 und des Prüflings 100 kann mit einem Erdpotential (als Beispiel einem Erdpotential) verbunden sein. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann beispielsweise ein Endabschnitt auf einer Seite eines Referenzwiderstands 21 in jeder Reihenschaltung des Referenzwiderstands 21 und des Prüflings 100 mit dem Massepotential verbunden sein. Jeder der Referenzwiderstände 21 kann auf demselben Substrat wie der Messfühler 20 angeordnet sein.
Jeder der Referenzwiderstände 21 kann einen gegebenen Widerstandswert aufweisen. Im Hinblick auf die Erhöhung der Messgenauigkeit der Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 ist ein Widerstandswert jedes der Referenzwiderstände 21 vorzugsweise ein Wert nahe einem geschätzten Wert der Impedanz des Prüflings 100, der mit dem Referenzwiderstand 21 in Reihe geschaltet ist.
1-2-3. Signalquelle 22
Die Signalquelle 22 ist dazu beschaffen, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet. Die Mehrtonwellenform kann eine Wellenform mit mehreren Frequenzkomponenten sein. Die Signalquelle 22 kann wiederholt ein Signal eines Referenzmusters ausgeben. Die Signalquelle 22 kann das digitale Signal zumindest entweder dem Prüfling 100 oder der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 zuführen.
1-2-4. Tiefpassfilter 23
Das Tiefpassfilter 23 ist zwischen der Signalquelle 22 und dem Prüfling 100 angeordnet. Das Tiefpassfilter 23 kann für jeden der Prüflinge 100 vorgesehen sein. Das Tiefpassfilter 23 kann auf demselben Substrat wie der Messfühler 20 angeordnet sein.
Das Tiefpassfilter 23 kann eine Hochfrequenzkomponente des von der Signalquelle 22 ausgegebenen digitalen Signals entfernen. Mit anderen Worten, das Tiefpassfilter 23 kann eine Wellenform des digitalen Signals runden. Zudem kann das Tiefpassfilter 23 eine Mehrfachreflexion des digitalen Signals verhindern und kann eine Impedanzanpassung mit einem Übertragungsweg des digitalen Signals in einem Band einer Grenzfrequenz realisieren. Beispielsweise kann das Tiefpassfilter 23 ein RC-Tiefpassfilter mit einem Widerstand und einem Kondensator sein, die in Reihe geschaltet sind, und wenn eine Impedanz des Übertragungspfads des digitalen Signals 50 Ω beträgt, kann ein Widerstandswert des Tiefpassfilters 23 50 Ω betragen, eine elektrostatische Kapazität kann 0,01 µF betragen und die Grenzfrequenz kann 160 kHz betragen.
1-2-5. Wellenform-Beschaffungseinheit 25
Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 ist dazu beschaffen, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen eines digitalen Signals an den Prüfling 100 erzeugt wird. Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann eine Antwortwellenform erlangen, die eine Antwort des Prüflings 100 auf das digitale Signal angibt. Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann eine analoge Signalwellenform von jedem der Vielzahl von Prüflingen 100 erlangen. Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann ein Digitalisierer sein und kann eine analoge Signalwellenform erlangen, die durch einen digitalen Wert angegeben wird, durch aufeinanderfolgendes Erlangen eines analogen Signalwerts als digitaler Signalwert.
Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann die analoge Signalwellenform an jedem von einem ersten Messpunkt 251 auf einer Seite der Signalquelle 22 relativ zu dem Prüfling 100 und dem Referenzwiderstand 21 und einem zweiten Messpunkt 252 zwischen dem Prüfling 100 und dem Referenzwiderstand 21 erlangen. Der erste Messpunkt 251 kann sich auf einer Seite der Signalquelle 22 relativ zu der Reihenschaltung des Prüflings 100 und dem Referenzwiderstand 21 befinden und kann sich zwischen der Reihenschaltung und dem Tiefpassfilter 23 befinden. Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann bewirken, dass eine Speichereinheit, die in der Zeichnung nicht gezeigt ist, die erlangte analoge Signalwellenform speichert, und kann zudem der Berechnungseinheit 26 die analoge Signalwellenform zuführen.
1-2-6. Synchronisierungssteuereinheit 24
Die Synchronisierungssteuereinheit 24 ist dazu beschaffen, zu bewirken, dass die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 synchron mit der Signalquelle 22 ist. Mit dieser Ausgestaltung ist die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 dazu beschaffen, eine analoge Signalwellenform synchron mit der Signalquelle 22 zu erlangen. Die Synchronisierungssteuereinheit 24 kann bewirken, dass die Ausgabezeit des Signals durch die Signalquelle 22 mit der Zeit synchron ist, zu der die Wellenform von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 erlangt wird, indem sowohl der Signalquelle 22 als auch der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 ein Synchronisierungssignal zugeführt wird. Es gilt zu beachten, dass die Synchronisierungssteuereinheit 24 nicht nur die Synchronisation der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 und der Signalquelle 22 steuern kann, sondern auch einen Betrieb jeder Einheit des Messgeräts 200.
1-2-7. Berechnungseinheit 26
Die Berechnungseinheit 26 ist dazu beschaffen, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 erlangten Wellenform zu berechnen. Die Berechnungseinheit 26 kann die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 aus einer am ersten Messpunkt 251 erlangten Wellenform berechnen, d.h. eine Wellenform eines an den Prüfling 100 angelegten Spannungssignals, und eine am zweiten Messpunkt 252 erlangte Wellenform, d.h. eine Wellenform eines Spannungssignals (gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beispielsweise das Ausgangssignal vom Prüfling 100), das durch Teilen des an den Prüfling 100 angelegten Spannungssignals durch den Referenzwiderstand 21 und den Prüfling 100 erhalten wird. Die Berechnungseinheit 26 kann die Frequenzcharakteristik von jedem der Vielzahl von Prüflingen 100 berechnen. Die berechnete Frequenzcharakteristik kann sich aufgrund des Anhaftens einer Fremdsubstanz, wie etwa Staub, am Prüfling 100 verändern. Die Berechnungseinheit 26 kann der Bestimmungseinheit 27 ein Berechnungsergebnis zuführen.
1-2-8. Bestimmungseinheit 27
Die Bestimmungseinheit 27 ist dazu beschaffen, eine Qualität des Prüflings 100 basierend auf der berechneten Frequenzcharakteristik zu bestimmen. Beispielsweise kann die Bestimmungseinheit 27 den Prüfling 100 gemäß der berechneten Frequenzcharakteristik, die außerhalb eines Referenzbereichs liegt, als mangelhaft bestimmen. Die Bestimmungseinheit 27 kann die Qualität jeder der Vielzahl von Prüflingen 100 bestimmen. Die Bestimmungseinheit 27 kann ein Bestimmungsergebnis an eine Anzeigeeinheit oder dergleichen ausgeben, die in der Zeichnung nicht gezeigt ist.
Da gemäß dem oben beschriebenen Messgerät 200 die Frequenzcharakteristik unter Verwendung der Signalquelle 22 gemessen wird, die zum Ausgeben des binären digitalen Signals beschaffen ist, kann eine Kostenreduktion des Messgeräts 200 im Vergleich zu einem Fall erreicht werden, bei dem die Frequenzcharakteristik unter Verwendung der Signalquelle 22 gemessen wird, die so beschaffen ist, dass sie ein analoges Signal einer beliebigen Wellenform ausgibt. Da zudem das digitale Signal der Mehrtonwellenform verwendet wird, kann eine Messzeitdauer im Vergleich zu einem Fall verkürzt werden, bei dem ein Einzelton-Sinuswellensignal verwendet wird, während eine Frequenz gewobbelt wird.
Da außerdem die Hochfrequenzkomponente von dem an den Prüfling 100 angelegten digitalen Signal durch das Tiefpassfilter 23 entfernt wird, kann das Anlegen der Hochfrequenzkomponente an den Prüfling 100, die für die Messung der Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 nicht notwendig ist, verhindert werden und eine Frequenzkomponente einschließlich Aliasing-Rauschen oder dergleichen bei der Wellenformbeobachtung kann ferner entfernt werden, so dass die Berechnungsgenauigkeit der Frequenzcharakteristik verbessert werden kann. Außerdem kann eine Mehrfachreflexion des digitalen Signals im Übertragungsweg verhindert werden.
Da außerdem die analoge Signalwellenform an jedem des ersten Messpunkts 251 auf der Seite der Signalquelle 22 relativ zum Prüfling 100 und zum Referenzwiderstand 21 und des zweiten Messpunkts 252 zwischen dem Prüfling 100 und dem Referenzwiderstand 21 erlangt wird, kann die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 durch das Transferimpedanz-Verfahren berechnet werden.
Da die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 die analoge Signalwellenform synchron mit der Signalquelle 22 erlangt, kann zudem die Frequenzcharakteristik stabil mit hoher Wiederholungsreproduzierbarkeit gemessen werden.
Da die Vielzahl von Messfühlern 20 vorgesehen ist, um jeweils elektrisch mit der Vielzahl von Prüflingen 100 verbunden zu werden, können zudem die Frequenzcharakteristiken der Vielzahl von Prüflingen 100 gemeinsam gemessen werden.
Da der Referenzwiderstand 21 und das Tiefpassfilter 23 auf demselben Substrat wie der Messfühler 20 angeordnet sind, kann im Vergleich mit einem Fall, bei dem der Referenzwiderstand 21 und das Tiefpassfilter 23 auf separaten Substraten angeordnet sind, zudem eine Miniaturisierung des Messgeräts 200 erreicht werden und der Übertragungsweg für das Signal kann ebenfalls verkürzt werden.
2. Betriebswellenform
2-1. Digitales Signal
2 zeigt einen Teil einer digitalen Signalausgabe von der Signalquelle 22.
Die Signalquelle 22 kann wiederholt ein Signal (auch als Referenzmustersignal bezeichnet) ausgeben, das aufwärts gewandelt wird (auch als Auflösungsverbesserung bezeichnet), indem ein Signal einer pseudozufälligen Binärsequenz (PRBS) mit einer sich wiederholenden Rechteckwelle mit einer Referenzfrequenz und einem Referenztastverhältnis multipliziert wird.
Das PRBS-Signal kann durch eine herkömmlich bekannte Technik erzeugt werden. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann beispielsweise ein Zyklus des PRBS-Signals gemäß einem Kehrwert einer Frequenzauflösung in einer Analyse der Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 eingestellt werden. Beispielsweise kann der Zyklus des PRBS-Signals, wenn die Frequenzauflösung auf 62,5 Hz eingestellt wird, auf 16 ms (= 1000/62,5 Hz) eingestellt werden. Das PRBS-Signal kann ein Signal mit einer Länge von 255 Bit sein.
Die sich wiederholende Rechteckwelle kann ein Signal mit einem Vielfachen einer Bitrate des PRBS-Signals sein und jedes Bitsignal des PRBS kann in mehrere Bitsignale aufwärts gewandelt werden, indem es mit dem PRBS-Signal multipliziert wird. Hierin wird eine Frequenzkomponente mit hoher Signalleistung aus den Frequenzkomponenten der von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 erlangten analogen Signalwellenform gemäß einer Bitrate der sich wiederholenden Rechteckwelle variiert. Daher wird die Bitrate der sich wiederholenden Rechteckwelle vorzugsweise so eingestellt, dass die Frequenzkomponente mit der hohen Signalleistung nahe an einer Resonanzfrequenz des Prüflings 100 liegt. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beträgt die Resonanzfrequenz des Prüflings 100 beispielsweise 60 kHz und die Bitrate der sich wiederholenden Rechteckwelle so eingestellt werden, dass sie achtmal so hoch wie die des PRBS-Signals ist.
Ein aufwärts gewandeltes und erzeugtes Referenzmustersignal kann ein Signal mit einem Zyklus von 16 ms sein, ähnlich wie bei dem PRBS-Signal. Da bei dieser Ausgestaltung das digitale Signal, in dem das Referenzmustersignal wiederholt wird, die Frequenzkomponenten von mindestens 62,5 Hz (= 1000/16 ms) enthält, ist die Frequenzauflösung bei der Analyse der Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 auf 62,5 Hz eingestellt. Es gilt zu beachten, dass die Frequenzauflösung proportional zu einer Bitrate (d.h. einer Frequenz) und umgekehrt proportional zu einer Länge eines Referenzmusters (d.h. einer Bitzahl) ist. Daher wird die Frequenzauflösung verringert, sowie das Referenzmuster verlängert wird, und die Frequenzauflösung wird erhöht, sowie die Bitrate erhöht wird.
Da die Frequenzkomponente, bei der die Signalleistung erhöht ist, aus den Frequenzkomponenten, die in der erlangten analogen Signalwellenform enthalten sind, durch die Referenzfrequenz der sich wiederholenden Rechteckwelle eingestellt werden kann, kann eine Spitze der Signalleistung gemäß der oben beschriebenen Signalquelle 22 bei einer gewünschten Frequenz angeordnet werden, wie beispielsweise der Resonanzfrequenz des Prüflings 100. Daher kann, während eine Verringerung der Signalleistung aufgrund von Dispersion verhindert wird, die Frequenzauflösung durch Erhöhen der in einem Signalmuster enthaltenen Bitzahl verringert werden. Während die Abnahme der Signalleistung verhindert wird, kann somit die Frequenzauflösung verbessert werden.
Es gilt zu beachten, dass die Signalquelle 22 aufeinanderfolgend das auszugebende Referenzmustersignal durch Multiplikation des PRBS-Signals mit der sich wiederholenden Rechteckwelle erzeugen kann oder das auszugebende Referenzmustersignal im Voraus speichern kann.
2-2. Analogsignal
3 und 4 zeigen eine analoge Signalwellenform, die von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 bei Anlegen des digitalen Signals von 2 erlangt wird. Genauer gesagt, zeigt 3 eine analoge Signalwellenform, die am ersten Messpunkt 251 erlangt wurde und 4 zeigt eine analoge Signalwellenform, die am zweiten Messpunkt 252 erlangt wurde. In diesen Zeichnungen repräsentiert eine horizontale Achse eine Zeitperiode und eine vertikale Achse repräsentiert eine Spannung (V).
Zudem zeigt 5 eine Intensitätsverteilung der an dem zweiten Messpunkt 252 erlangten analogen Signalwellenform, wobei eine horizontale Achse eine Frequenz (Hz) repräsentiert und eine vertikale Achse eine Amplitude (Vrms) einer Spannung repräsentiert. Wie in dieser Zeichnung gezeigt, kann gemäß dem vorliegenden Betriebsbeispiel die Spitze der Signalleistung so angeordnet werden, dass sie nahe an der Resonanzfrequenz (= 60 kHz) des Prüflings 100 liegt.
3. Betrieb
6 zeigt einen Betrieb des Messgeräts 200. Das Messgerät 200 testet den Prüfling 100 durch Ausführen einer Verarbeitung in den Schritten S11 bis S17.
In Schritt S11 gibt die Signalquelle 22 ein binäres digitales Signal aus, das eine Mehrtonwellenform bildet. Die Signalquelle 22 kann durch Multiplikation des PRBS-Signals mit der sich wiederholenden Rechteckwelle mit einer Referenzfrequenz und einem Referenztastverhältnis wiederholt ein aufwärts gewandeltes Signal ausgeben.
In Schritt S13 erlangt die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 eine analoge Signalwellenform, die als Reaktion auf das Anlegen eines digitalen Signals an den Prüfling 100 erzeugt wird. Die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann eine analoge Signalwellenform über das Tiefpassfilter erlangen. Zudem kann die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 die analoge Signalwellenform an jedem des ersten Messpunkts 251 und des zweiten Messpunkts 252 erlangen und kann gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel beispielsweise die analogen Signalwellenformen am ersten Messpunkt 251 und am zweiten Messpunkt 252 in Bezug auf jeden der Vielzahl von Prüflingen 100 erlangen. Gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 beispielsweise gleichzeitig die analogen Signalwellenformen in Bezug auf zwei oder mehr der Prüflinge 100 erlangen.
In Schritt S15 berechnet die Berechnungseinheit 26 die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 aus einer Wellenform, die von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 erlangt wird.
Die Berechnungseinheit 26 kann eine Impedanz des Prüflings 100 als eine Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 berechnen. Beispielsweise kann die Berechnungseinheit 26 die Impedanz R + jX (S2) des Prüflings 100 aus dem folgenden Ausdruck (1) berechnen. $R + jX = R 1 {(V_{1r} + {jV}_{1i}) / (V_{2 r} + {jV}_{2 i}) - 1}$
In Ausdruck (1) bezeichnet R1 einen Widerstandswert (Ω) des Referenzwiderstands. Dabei bedeutet (V_1r + jV_1i) ein Spannungssignal der am ersten Messpunkt 251 erlangten analogen Spannungswellenform und (V_2r + jV_2i) bedeutet ein Spannungssignal der am zweiten Messpunkt 252 erlangten analogen Spannungswellenform.
In Schritt S17 bestimmt die Bestimmungseinheit 27 eine Qualität des Prüflings 100 basierend auf der berechneten Frequenzcharakteristik. Wenn die berechnete Impedanz in einem Referenzbereich liegt (Schritt S 17: Ja), kann die Bestimmungseinheit 27 den Prüfling 100 als bestanden bestimmen und wenn die Impedanz außerhalb des Referenzbereichs liegt (Schritt S17: Nein), kann die Bestimmungseinheit 27 den Prüfling 100 als mangelhaft bestimmen.
4. Modifiziertes Beispiel
7 zeigt ein Testsystem 1A gemäß einem modifizierten Beispiel. Ein Messgerät 200A des Testsystems 1A weist einen Referenzwiderstand 21A auf. Der Referenzwiderstand 21A ist mit dem Prüfling 100 in Reihe geschaltet, so dass eine Reihenschaltung gebildet wird, und ein Endabschnitt auf der Seite des Prüflings 100 in der Reihenschaltung ist mit einem Massepotential verbunden. Auch gemäß diesem Testsystem 1A können Vorteile erzielt werden, die denen des oben beschriebenen Testsystems 1 ähnlich sind.
5. Weitere modifizierte Beispiele
Es gilt zu beachten, dass gemäß dem obigen Ausführungsbeispiel die Beschreibung bereitgestellt wurde, bei der die Berechnungseinheit 26 die Impedanz als die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 berechnet, aber zusätzlich zu oder anstelle der Impedanz kann eine Admittanz berechnet werden. Beispielsweise kann die Berechnungseinheit 26 die Admittanz berechnen, indem sie einen Kehrwert der Impedanz ermittelt.
Zudem kann die Berechnungseinheit 26 einen Parameter eines Elements, das eine Ersatzschaltung des Prüflings 100 bildet, als die Frequenzcharakteristik berechnen.
8 zeigt eine Ersatzschaltung 110 des Prüflings 100. Die Ersatzschaltung 110 kann einen Widerstand 105, eine Induktivität 106 und einen Kondensator 107 aufweisen, die miteinander in Reihe geschaltet sind, und einen Kondensator 108, der parallel zu einer Reihenschaltung dieser Elemente geschaltet ist. Die Berechnungseinheit 26 kann einen Widerstandswert Rs des Widerstands 105, eine Induktivität Ls der Induktivität 106 und Kapazitäten Cs und Cp der Kondensatoren 107 und 108 als die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 berechnen.
9 zeigt ein Kurvendiagramm einer Admittanz des Prüflings 100. Eine horizontale Achse in der Zeichnung repräsentiert einen Realteil (G) der Admittanz (Y = G + jB(s)) und eine vertikale Achse repräsentiert einen Imaginärteil (B). Die Berechnungseinheit 26 kann die Parameter Rs, Ls, Cs und Cp unter Verwendung einer Spitzenfrequenz fs des Realteils aus diesem Kurvendiagramm, Frequenzen f1 und f2 bei 1/2 der Spitzenfrequenz des Realteils, einer Antiresonanzfrequenz fa (Frequenzschnitt B = 0), einer Resonanzfrequenz fr (Frequenzschnitt B = 0), einem Maximalwert Bmax einer Konduktanz und den folgenden Ausdrücken (2) bis (6) berechnen. $Q = fs / (f 2 - f 1)$
$Rs = 1 / Gmax$
$Ls = QRs / (2 π fs)$
$Cs = 1 / (2 π fsQRs)$
$Cp = Cs \cdot {fr}^{2} / ({fa}^{2} - {fr}^{2})$
Wenn die Berechnungseinheit 26 die Parameter Rs, Ls, Cs und Cp berechnet, kann die Bestimmungseinheit 27 den Prüfling 100 gemäß der Spitzenfrequenz fs, die höher als eine Referenzfrequenz ist, als mangelhaft bestimmen. Zudem kann die Bestimmungseinheit 27 den Prüfling 100 gemäß dem Widerstandswert Rs, der höher als ein Referenzwiderstandswert ist, als mangelhaft bestimmen.
Außerdem wurde gemäß dem obigen Ausführungsbeispiel beschrieben, dass das Tiefpassfilter 23 für jeden Prüfling 100 vorgesehen ist, aber das Tiefpassfilter 23 kann so vorgesehen sein, dass es von der Vielzahl von Prüflingen 100 gemeinsam genutzt wird. Beispielsweise kann das Tiefpassfilter 23 zwischen der Signalquelle 22 und der Vielzahl von Prüflingen 100 angeordnet sein.
Außerdem wurde beschrieben, dass das Messgerät 200 die Synchronisierungssteuereinheit 24 aufweist, aber solange die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals von der Signalquelle 22 an den Prüfling 100 erzeugte analoge Signalwellenform von der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 erlangt wird, muss das Messgerät 200 nicht notwendigerweise die Synchronisierungssteuereinheit 24 aufweisen.
Außerdem wurde beschrieben, dass das Messgerät 200 die Vielzahl von Messfühlern 20 elektrisch mit den Anschlüssen 101 der Vielzahl von Prüflingen 100 verbunden aufweist, aber das Messgerät 200 kann nur den Messfühler 20 elektrisch mit dem Anschluss 101 des einzelnen Prüflings 100 verbunden aufweisen.
Außerdem wurde beschrieben, dass die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 gleichzeitig die analogen Signalwellenformen von zwei oder mehr der Prüflinge 100 erlangt, sie kann aber die analogen Signalwellenformen zu getrennten Zeitpunkten erlangen. In diesem Fall kann das Messgerät 200 ferner eine (nicht gezeigte) Umschalteinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, ein Paar des ersten Messpunkts 251 und des zweiten Messpunkts 252 so zu schalten, dass es mit der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 für jeden Prüfling 100 verbunden wird. In diesem Fall werden die Kosten des Messgeräts 200 entsprechend der Verringerung der Anzahl von gleichzeitig erlangten analogen Signalwellenformen verringert.
Außerdem wurde beschrieben, dass die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 gleichzeitig die analogen Signalwellenformen an dem ersten Messpunkt 251 und dem zweiten Messpunkt 252 in Bezug auf jeden Prüfling 100 erlangt, sie kann die analogen Signalwellenformen aber auch zu separaten Zeiten erlangen. In diesem Fall kann das Messgerät 200 ferner eine (nicht gezeigte) Umschalteinheit enthalten, die dazu beschaffen ist, ein Verbindungsziel der Wellenform-Beschaffungseinheit 25 zwischen dem ersten Messpunkt 251 und dem zweiten Messpunkt 252 umzuschalten. Außerdem kann die Synchronisierungssteuereinheit 24 die Signalquelle 22 und die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 sowohl vor als auch nach dem Umschalten durch die Umschalteinheit miteinander synchronisieren und die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 kann die analogen Signalwellenformen sowohl vor als auch nach dem Umschalten durch die Umschalteinheit erlangen. Auch in diesem Fall werden die Kosten des Messgeräts 200 entsprechend der Verringerung der Anzahl gleichzeitig erlangter analoger Signalverläufe verringert.
Außerdem wurde beschrieben, dass das Messgerät 200 die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 durch das Transferimpedanz-Umwandlungsverfahren misst, aber sie kann die Frequenzcharakteristik auch durch ein IV-Verfahren messen. In diesem Fall kann die Wellenform-Beschaffungseinheit 25 eine analoge Signalwellenform eines in den Prüfling 100 fließenden Stroms als eine Spannungswellenform an beiden Enden des in Reihe mit dem Prüfling 100 geschalteten Referenzwiderstands erlangen und ebenfalls analoge Signalverläufe von Spannungen an beiden Enden des Prüflings 100 erlangen. Zudem kann die Berechnungseinheit 26 die Frequenzcharakteristik des Prüflings 100 aus dem erlangten analogen Signalverlauf berechnen.
Außerdem wurde beschrieben, dass der Prüfling 100 das MEMS-Gerät ist, er kann aber auch eine integrierte Schaltung eines System-on-Chip (SoC), ein Speichergerät oder auch eine andere Halbleitervorrichtung sein.
Verschiedene Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung können unter Bezugnahme auf Ablaufdiagramme und Blockdiagramme beschrieben werden, deren Blöcke (1) Schritte von Prozessen darstellen können, in denen Operationen ausgeführt werden, oder (2) Abschnitte von Vorrichtungen, die für die Ausführung von Operationen verantwortlich sind. Bestimmte Schritte und Abschnitte können durch eine dedizierte Schaltung, eine programmierbare Schaltung, die mit computerlesbaren Anweisungen versorgt wird, die auf computerlesbaren Medien gespeichert sind, und/oder Prozessoren, die mit computerlesbaren Anweisungen versorgt werden, die auf computerlesbaren Medien gespeichert sind, implementiert werden. Die dedizierte Schaltung kann eine digitale und/oder analoge Hardwareschaltung umfassen oder kann eine integrierte Schaltung (IC) und/oder eine diskrete Schaltung umfassen. Die programmierbare Schaltung kann eine rekonfigurierbare Hardwareschaltung mit logischem UND, logischem ODER, logischem XOR, logischem NAND, logischem NOR und anderen logischen Operationen, ein Speicherelement wie etwa ein Flip-Flop, ein Register, ein feldprogrammierbares Gate-Array (FPGA) und ein programmierbares Logikarray (PLA) und dergleichen enthalten.
Ein computerlesbares Medium kann ein beliebiges greifbares Gerät umfassen, das Anweisungen speichern kann, die von einem geeigneten Gerät ausgeführt werden sollen, und folglich umfasst das computerlesbare Medium mit darauf gespeicherten Anweisungen einen Herstellungsgegenstand, der Anweisungen enthält, die zum Erstellen ausgeführt werden können Mittel zum Durchführen von Operationen, die in den Ablaufdiagrammen oder Blockdiagrammen angegeben sind. Beispiele für computerlesbare Medien können ein elektronisches Speichermedium, ein magnetisches Speichermedium, ein optisches Speichermedium, ein elektromagnetisches Speichermedium, ein Halbleiterspeichermedium und dergleichen umfassen. Speziellere Beispiele für computerlesbare Medien können eine Floppy Disk (eingetragenes Warenzeichen), eine Diskette, eine Festplatte, einen Direktzugriffsspeicher (RAM), einen Nur-Lese-Speicher (ROM), einen löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EPROM oder Flash-Speicher), einen elektrisch löschbaren programmierbaren Nur-Lese-Speicher (EEPROM), einen statischen Direktzugriffsspeicher (SRAM), einen Compact-Disc-Nur-Lese-Speicher (CD-ROM), eine Digital Versatile Disk (DVD), eine Blu-ray-Disk (eingetragenes Warenzeichen), einen Speicherstick, eine Platine mit integrierter Schaltung und dergleichen enthalten.
Computerlesbare Anweisungen können Assembler-Anweisungen, ISA-Anweisungen (Instruction-Set-Architecture), Maschinenanweisungen, maschinenabhängige Anweisungen, Mikrocode, Firmware-Anweisungen, Zustandseinstelldaten oder entweder Quellcode oder Objektcode umfassen, der in einer beliebigen Kombination von einer oder mehreren Programmiersprachen geschrieben ist, einschließlich einer objektorientierten Programmiersprache wie Smalltalk (eingetragenes Warenzeichen), JAVA (eingetragenes Warenzeichen), C++ usw., und herkömmliche prozedurale Programmiersprachen wie die Programmiersprache „C“ oder ähnliche Programmiersprachen.
Computerlesbare Anweisungen können einem Prozessor eines Allzweckcomputers, eines Spezialcomputers oder einer anderen programmierbaren Datenverarbeitungsvorrichtung oder einer programmierbaren Schaltung lokal oder über ein lokales Netzwerk (LAN), Weitverkehrsnetzwerk (WAN) wie das Internet oder dergleichen, bereitgestellt werden, um die computerlesbaren Anweisungen auszuführen, um Mittel zum Ausführen von Operationen zu erstellen, die in den Ablaufdiagrammen oder Blockdiagrammen angegeben sind. Beispiele für Prozessoren umfassen Computerprozessoren, Verarbeitungseinheiten, Mikroprozessoren, digitale Signalprozessoren, Controller, Mikrocontroller und dergleichen.
10 zeigt ein Beispiel eines Computers 2200, bei dem mehrere Aspekte der vorliegenden Erfindung vollständig oder teilweise implementiert sein können. Ein Programm, das auf dem Computer 2200 installiert ist, kann bewirken, dass der Computer 2200 als Vorrichtungen der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung oder einem oder mehreren Abschnitten davon funktioniert oder Manipulationen durchführt, und/oder den Computer 2200 veranlassen, Prozesse der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung oder Schritte davon auszuführen. Ein solches Programm kann von der CPU 2212 ausgeführt werden, um den Computer 2200 zu veranlassen, bestimmte Manipulationen durchzuführen, die einigen oder allen der hierin beschriebenen Blöcke von Ablaufdiagrammen und Blockdiagrammen zugeordnet sind.
Der Computer 2200 gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel umfasst eine CPU 2212, einen RAM 2214, einen Grafikcontroller 2216 und eine Anzeigevorrichtung 2218, die durch einen Hostcontroller 2210 miteinander verbunden sind. Der Computer 2200 umfasst auch eine Eingabe-/Ausgabeeinheiten, wie etwa eine Kommunikationsschnittstelle 2222, ein Festplattenlaufwerk 2224, ein DVD-ROM-Laufwerk 2226 und ein IC-Kartenlaufwerk, die über einen Eingabe-/Ausgabecontroller 2220 mit dem Hostcontroller 2210 verbunden sind. Der Computer umfasst auch ältere Eingabe-/Ausgabeeinheiten wie ein ROM 2230 und eine Tastatur 2242, die über einen Eingabe-/Ausgabe-Chip 2240 mit der Eingabe-/Ausgabe-Steuerung 2220 verbunden sind.
Die CPU 2212 arbeitet gemäß Programmen, die in dem ROM 2230 und dem RAM 2214 gespeichert sind, wodurch jede Einheit gesteuert wird. Die Grafiksteuerung 2216 erfasst von der CPU 2212 erzeugte Bilddaten in einem Bildpuffer oder dergleichen, der im RAM 2214 oder in der Grafiksteuerung 2216 selbst vorgesehen ist, so dass die Bilddaten auf der Anzeigevorrichtung 2218 angezeigt werden.
Die Kommunikationsschnittstelle 2222 kommuniziert mit anderen elektronischen Geräten über ein Netzwerk. Das Festplattenlaufwerk 2224 speichert Programme und Daten, die von der CPU 2212 innerhalb des Computers 2200 verwendet werden. Das DVD-ROM-Laufwerk 2226 liest die Programme oder die Daten von der DVD-ROM 2201 und versorgt das Festplattenlaufwerk 2224 mit den Programmen oder den Daten über den RAM 2214. Das IC-Kartenlaufwerk liest Programme und Daten von einer IC-Karte und/oder schreibt Programme und Daten in die IC-Karte.
Der ROM 2230 speichert darin ein Bootprogramm oder dergleichen, das von dem Computer 2200 bei der Aktivierung ausgeführt wird, und/oder ein Programm, das von der Hardware des Computers 2200 abhängt. Der Eingabe-/Ausgabe-Chip 2240 kann auch verschiedene Eingabe-/Ausgabeeinheiten über einen parallelen Anschluss, einen seriellen Anschluss, einen Tastaturanschluss, einen Mausanschluss oder dergleichen mit dem Eingabe-/Ausgabe-Controller 2220 verbinden.
Ein Programm wird durch computerlesbare Medien wie etwa die DVD-ROM 2201 oder die IC-Karte bereitgestellt. Das Programm wird von den computerlesbaren Medien gelesen, im Festplattenlaufwerk 2224, RAM 2214 oder ROM 2230 installiert, die ebenfalls Beispiele für computerlesbare Medien sind, und von der CPU 2212 ausgeführt. Die in diesen Programmen beschriebene Informationsverarbeitung wird in den Computer 2200 gelesen, was zu einer Zusammenarbeit zwischen einem Programm und den oben erwähnten verschiedenen Arten von Hardware-Ressourcen führt. Eine Vorrichtung oder ein Verfahren kann durch Realisieren der Manipulation oder Verarbeitung von Informationen gemäß der Verwendung des Computers 2200 gebildet werden.
Wenn beispielsweise eine Kommunikation zwischen dem Computer 2200 und einer externen Vorrichtung ausgeführt wird, kann die CPU 2212 ein in den RAM 2214 geladenes Kommunikationsprogramm ausführen und die Kommunikationsschnittstelle 2222 anweisen, die Kommunikation basierend auf der von einem im Kommunikationsprogramm beschriebenen Prozess auszuführen. Unter der Steuerung der CPU 2212 liest die Kommunikationsschnittstelle 2222 Übertragungsdaten, die in einem Übertragungspufferbereich gespeichert sind, der in einem Aufzeichnungsmedium wie dem RAM 2214, dem Festplattenlaufwerk 2224, dem DVD-ROM 2201 oder der IC-Karte vorgesehen ist, und überträgt die gelesenen Übertragungsdaten an das Netzwerk, oder schreibt Empfangsdaten, die von dem Netzwerk empfangen werden, in einen Empfangspufferbereich oder dergleichen, der auf dem Aufzeichnungsmedium vorgesehen ist.
Zudem kann die CPU 2212 veranlassen, dass die gesamte oder ein notwendiger Teil einer Datei oder einer Datenbank in den RAM 2214 gelesen wird, wobei die Datei oder die Datenbank auf einem externen Aufzeichnungsmedium wie dem Festplattenlaufwerk 2224 gespeichert wurde, wie etwa dem DVD-ROM-Laufwerk 2226 (DVD-ROM 2201), der IC-Karte, und führen verschiedene Arten von Prozessen an Daten im RAM 2214 durch. Die CPU 2212 kann dann die verarbeiteten Daten auf das externe Aufzeichnungsmedium zurückschreiben.
Verschiedene Arten von Informationen, wie beispielsweise verschiedene Arten von Programmen, Daten, Tabellen und Datenbanken, können in dem Aufzeichnungsmedium gespeichert werden, um einer Informationsverarbeitung unterzogen zu werden.
Die CPU 2212 kann verschiedene Verarbeitungsarten an den aus dem RAM 2214 gelesenen Daten durchführen, was verschiedene Arten von Manipulationen, Informationsverarbeitung, Zustandsbeurteilung, bedingte Verzweigung, unbedingte Verzweigung, Suchen/Ersetzen von Informationen usw. umfasst, die in der vorliegenden Offenbarung durchweg beschrieben wurden und durch eine Befehlssequenz von Programmen spezifiziert sind, und schreibt die Ergebnisse in den RAM 2214 zurück. Zudem kann die CPU 2212 nach Informationen in einer Datei, einer Datenbank usw. auf dem Aufzeichnungsmedium suchen. Wenn beispielsweise eine Vielzahl von Einträgen, die jeweils einen Attributwert eines ersten Attributs aufweisen, der einem Attributwert eines zweiten Attributs zugeordnet ist, auf dem Aufzeichnungsmedium gespeichert sind, kann die CPU 2212 nach einem Eintrag suchen, der mit der Bedingung übereinstimmt, deren Attributwert von das erste Attribut aus der Vielzahl von Einträgen bestimmt wird, und der Attributwert des zweiten Attributs gelesen wird, der in dem Eintrag gespeichert ist, wodurch der Attributwert des zweiten Attributs erhalten wird, der dem ersten Attribut zugeordnet ist, das die vorbestimmte Bedingung erfüllt.
Die oben beschriebenen Programm- oder Softwaremodule können in den computerlesbaren Medien auf oder in der Nähe des Computers 2200 gespeichert werden. Zudem kann ein Aufzeichnungsmedium wie etwa eine Festplatte oder ein RAM in einem Serversystem bereitgestellt werden, das mit einem dedizierten Kommunikationsnetzwerk verbunden ist oder das Internet kann als computerlesbares Medium verwendet werden, wodurch das Programm dem Computer 2200 über das Netzwerk bereitgestellt wird.
Während die Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben wurden, ist der technische Umfang der vorliegenden Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt. Fachleuten ist klar, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu den oben beschriebenen Ausführungsbeispiele hinzugefügt werden können. Aus dem Umfang der Ansprüche geht auch hervor, dass die mit solchen Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügten Ausführungsbeispiele im technischen Umfang der vorliegenden Erfindung enthalten sein können.
Die Operationen, Prozeduren, Schritte und Stufen jedes Prozesses, der durch eine Vorrichtung, ein System, ein Programm und ein Verfahren durchgeführt wird, die in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Diagrammen gezeigt sind, können in jeder Reihenfolge durchgeführt werden, solange die Reihenfolge nicht durch angezeigt wird „vor“, „bevor“ oder dergleichen und solange die Ausgabe von einem vorherigen Prozess nicht in einem späteren Prozess verwendet wird. Auch wenn der Prozessablauf in den Ansprüchen, Ausführungsbeispielen oder Diagrammen unter Verwendung von Ausdrücken wie „zuerst“ oder „als nächstes“ beschrieben wird, bedeutet dies nicht notwendigerweise, dass der Prozess in dieser Reihenfolge durchgeführt werden muss.
Bezugszeichenliste

1: Testsystem
20: Messfühler
21: Referenzwiderstand
22: Signalquelle
23: Tiefpassfilter
24: Synchronisierungssteuereinheit
25: Wellenform-Beschaffungseinheit
26: Berechnungseinheit
27: Bestimmungseinheit
100: Prüfling
101: Anschluss
105: Widerstand
106: Induktivität
107: Kondensator
108: Kondensator
110: Ersatzschaltung
200: Messgerät
251: erster Messpunkt
252: zweiter Messpunkt
2200: Computer
2201: DVD-ROM
2210: Hostcontroller
2212: CPU
2214: RAM
2216: Grafikcontroller
2218: Anzeigegerät
2220: Eingabe-/Ausgabe-Controller
2222: Kommunikationsschnittstelle
2224: Festplattenlaufwerk
2226: DVD-ROM-Laufwerk
2230: ROM
2240: Eingabe/-Ausgabe-Chip
2242: Tastatur

Claims

Messgerät, umfassend: eine Signalquelle, die dazu beschaffen ist, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet, eine Wellenform-Beschaffungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird, eine Berechnungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit erlangten Wellenform zu berechnen.
Messgerät nach Anspruch 1, wobei die Signalquelle dazu beschaffen ist, wiederholt ein Signal auszugeben, das durch Multiplizieren eines pseudozufälligen Binärsequenz-Signals (PRBS-Signals) mit einer sich wiederholenden Rechteckwelle mit einer Referenzfrequenz und einem Referenz-Tastverhältnis aufwärts gewandelt wurde.
Messgerät nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend: ein Tiefpassfilter, das zwischen der Signalquelle und dem Prüfling angeordnet ist.
Messgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, ferner umfassend: einen Referenzwiderstand, der in Reihe mit dem Prüfling geschaltet ist, wobei die Wellenform-Beschaffungseinheit dazu beschaffen ist, die analoge Signalwellenform jeweils an einem Messpunkt auf einer Seite der Signalquelle relativ zu dem Prüfling und dem Referenzwiderstand und einem Messpunkt zwischen dem Prüfling und dem Referenzwiderstand zu erlangen.
Messgerät nach Anspruch 4, wenn abhängig von Anspruch 3, ferner umfassend: einen Messfühler, der auf einer unteren Oberfläche eines anhebbaren Substrats angeordnet und mit einem Anschluss des Prüflings elektrisch verbunden ist, wobei das Tiefpassfilter und der Referenzwiderstand auf dem Substrat angeordnet sind.
Messgerät nach Anspruch 5, umfassend: eine Vielzahl von Messfühlern, die jeweils mit einer Vielzahl von Prüflingen elektrisch verbunden sind, wobei jeder der Vielzahl von Messfühlern ein gleicher Messfühler ist und jeder der Prüflinge ein gleicher Prüfling ist.
Messgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Wellenform-Beschaffungseinheit dazu beschaffen ist, die analoge Signalwellenform synchron mit der Signalquelle zu erlangen.
Messgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 7, ferner umfassend: eine Bestimmungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Qualität des Prüflings basierend auf der berechneten Frequenzcharakteristik zu bestimmen.
Messgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Prüfling ein MEMS-Gerät ist.
Messverfahren, umfassend: Ausgeben eines binären digitalen Signals, das eine Mehrtonwellenform bildet, Erlangen einer analogen Signalwellenform, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird, und Berechnen einer Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der erlangten Wellenform.
Programm zur Veranlassung eines Computers, zu funktionieren als: eine Signalquelle, die dazu beschaffen ist, ein binäres digitales Signal auszugeben, das eine Mehrtonwellenform bildet, eine Wellenform-Beschaffungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine analoge Signalwellenform zu erlangen, die als Reaktion auf das Anlegen des digitalen Signals an einen Prüfling erzeugt wird, eine Berechnungseinheit, die dazu beschaffen ist, eine Frequenzcharakteristik des Prüflings aus der von der Wellenform-Beschaffungseinheit erlangten Wellenform zu berechnen.