DE102005034607A1

DE102005034607A1 - Inkrementale Erzeugung von Kalibrierungsfaktoren für eine automatische Testausrüstung

Info

Publication number: DE102005034607A1
Application number: DE102005034607A
Authority: DE
Inventors: Zhengrong Santa Rosa Zhou; Mike Santa Rosa Millhaem
Original assignee: Agilent Technologies Inc
Current assignee: Verigy Singapore Pte Ltd
Priority date: 2005-01-14
Filing date: 2005-07-25
Publication date: 2006-07-27
Also published as: CN1804648A; US7206710B2; TWI371595B; CN1804648B; US20060161368A1; TW200624844A

Abstract

Bei einem Ausführungsbeispiel wird eine Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für eine automatische Testausrüstung (ATE) durchzuführen, empfangen. Die Anforderung ist einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet. Nachdem die Anforderung empfangen worden ist, werden eine oder mehrere Signaturen für Kalibrierungsdaten, die dem Kalibierungsparametersatz entsprechen, abgeleitet, und eine Bestimmung wird vorgenommen, ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehreren Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind. Danach wird ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten erzeugt, wobei die erzeugten Kalibrierungsdaten i) den ein oder mehreren Signaturen entsprechen, aber ii) noch nicht erzeugt worden sind. Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel wird eine Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für eine ATE durchzuführen, empfangen, und die Anforderung ist spezifizierten Testeinstellungen zugeordnet. Ein inkrementaler Satz von Kalbibrierungsdaten, die den spezifizierten Testeinstellungen entsprechen, wird dann erzeugt.

Description

Vor der Herstellung und/oder Verteilung einer elektrischen Vorrichtung (die ein System oder eine Komponente, wie z. B. eine Schaltungsplatine, eine integrierte Schaltung oder ein System auf einem Chip (SOC) umfasst) wird die Vorrichtung normalerweise getestet, um zu bestimmen, ob dieselbe wie konzipiert hergestellt ist oder funktioniert. Oft wird dieses Testen durch eine automatische Testausrüstung (ATE, auch „Tester" genannt) durchgeführt.
Damit die Ergebnisse einer ATE aussagekräftig sind, muss eine ATE kalibriert werden. Das heißt, die intrinsischen Systemfehler, die eine ATE während eines Testens unter unterschiedlichen Bedingungen und Testeinstellungen einführen kann, müssen quantitativ bestimmt werden. Die Daten, die die intrinsischen Systemfehler einer ATE quantitativ bestimmen, werden oft als „Kalibrierungsdaten" bezeichnet und können einen oder mehr „Kalibrierungsfaktoren" aufweisen. Wenn dieselben einmal erzeugt worden sind, werden Kalibrierungsdaten verwendet, um intrinsische Systemfehler einer ATE von Rohtestdaten zu entfernen.
Eine Weise, intrinsische Systemfehler einer ATE zu charakterisieren, besteht darin, dieselben direkt zu messen. Diese Art von Kalibrierung umfasst oft die Kopplung von verschiedenen ATE-Sonden mit ein oder mehr bekannten, guten „Kalibrierungsstandards", das Vornehmen einer Messung und dann das Vergleichen des Messergebnisses mit einem erwarteten Messergebnis.
Eine andere Weise, intrinsische Systemfehler einer ATE zu charakterisieren, besteht darin, dieselben über ein mathematisches Modell zu modellieren. Kalibrierungsdaten können dann aus dem Modell berechnet werden (obwohl es trotzdem notwendig sein kann, bestimmte Messungen unter Verwendung von ein oder mehr Kalibrierungsstandards zu erlangen).
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine automatische Testausrüstung und eine Anzahl von maschinenlesbaren Medien mit verbesserten Charakteristika zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 oder 20 sowie eine Anzahl von maschinenlesbaren Medien gemäß Anspruch 14 gelöst.
Bei einem Ausführungsbeispiel weist ein Verfahren zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE zuerst ein Empfangen einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen, auf, wobei die Anforderung einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet ist. Eine oder mehr Signaturen für Kalibrierungsdaten, die dem Kalibrierungsparametersatz entsprechen, werden dann abgeleitet, und eine Bestimmung wird vorgenommen, ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind. Danach wird ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten erzeugt, wobei die erzeugten Kalibrierungsdaten i) den ein oder mehr Signaturen entsprechen und ii) noch nicht erzeugt worden sind.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel weist ein Verfahren zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE zuerst ein Empfangen einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen, auf, wobei die Anforderung spezifizierten Testeinstellungen zugeordnet ist. Ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten, der den spezifizierten Testeinstellungen entspricht, wird dann erzeugt.
Andere Ausführungsbeispiele sind ebenfalls offenbart.
Veranschaulichende Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen veranschaulicht. Es zeigen:
1 ein erstes exemplarisches Verfahren zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE; und
2 ein zweites exemplarisches Verfahren zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE.
Zusätzlich zum Kalibrieren einer ATE auf die erste Verwendung hin ist es auch üblich, eine ATE jedes Mal zu kalibrieren, wenn ihre Konfiguration geändert wird, jedes Mal, wenn dieselbe verwendet wird, um eine neue Art von Vorrichtung zu testen, wenn sich Testeinstellungen ändern, wenn sich Umgebungsbedingungen (z. B. Temperatur oder Feuchtigkeit) ändern, und periodisch (z. B. nachdem eine bestimmte Anzahl von Vorrichtungen getestet wurde oder nach einer bestimmten Anzahl von Stunden eines Testens).
Bislang wurde eine ATE auf eine von zwei Weisen kalibriert – entweder „als Ganzes" oder basierend auf derzeit geladenen Testeinstellungen. 1 veranschaulicht ein exemplarisches alternatives Verfahren 100 zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE. Das Verfahren 100 beginnt mit dem Empfang 102 einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen. Im Gegensatz zu früheren Kalibrierungsverfahren ist die Anforderung jedoch einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet. In einigen Fällen kann der Kalibrierungsparametersatz in der Anforderung enthalten sein, und in anderen Fällen kann auf den Kalibrierungsparametersatz durch die Anforderung nur verwiesen werden. Die Parametertypen, die in dem Kalibrierungsparametersatz enthalten sein können, umfassen: eine Anzeige von ein oder mehr Testwegen (einschließlich z. B. eines Stimulus und/oder Messweges und der Identifikation von ein oder mehr ATE-Anschlussstiften), eine Zeitanzeige (z. B. einen Zeitstempel oder ein Alter), eine oder mehr Testfrequenzen (einschließlich z. B. eines Frequenzbereichs), ein oder mehr Modulationsformate, eine oder mehr Messbandbreiten, eine oder mehr Testeinstellungen (einschließlich z. B. eines Teilsatzes von weniger als allen geladenen Testeinstellungen), einen oder mehr Leistungs- oder Spannungspegel und/oder andere Parameter.
Die Parameter eines Kalibrierungsparametersatzes können zu dem Zeitpunkt, zu dem eine Kalibrierungsanforderung empfangen wird, definiert sein oder auch nicht. Zum Beispiel kann ein Benutzer die Durchführung eines Kalibrierungsprozesses anfordern, und zur gleichen Zeit kann der Benutzer einen oder mehr Kalibrierungsparameter einem oder mehr Feldern einer Benutzerschnittstelle zuführen oder sie aus denselben auswählen. Alternativ dazu kann ein Benutzer einen Kalibrierungsparametersatz oder Regeln zum Ableiten eines Kalibrierungsparametersatzes vor dem Anfordern einer Kalibrierung spezifizieren. Zum Beispiel kann ein Benutzer spezifizieren, dass jedes Mal, wenn eine Kalibrierung angefordert wird, eine Kalibrierung für alle derzeit eingegebenen Testeinstellungen oder alle neuen Testeinstellungen durchgeführt werden soll. Oder ein Benutzer kann spezifizieren, dass jedes Mal, wenn eine Kalibrierung angefordert wird, alle Kalibrierungsdaten, die älter als ein bestimmtes Datum sind, neu erzeugt werden sollen. Dann kann, wenn ein Benutzer eine Kalibrierung anfordert, eine Software auf die früheren Spezifikationen des Benutzers zugreifen, um zu bestimmen, welche Parameter in einem aktuellen Kalibrierungsparametersatz enthalten sein sollen.
Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel kann eine Software konfiguriert sein, um eine ATE periodisch zu kalibrieren oder um eine ATE ansprechend auf bestimmte Ereignisse zu kalibrieren. In diesen Fällen kann die Software einen Kalibrierungsparametersatz ohne eine Benutzereingabe ableiten. Zum Beispiel kann die Software alle 24 Stunden eine Kalibrierungsanforderung einleiten, die einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet ist, der einen Zeitstempel umfasst, der anzeigt, welche Kalibrierungsdaten neu erzeugt werden müssen. Oder die Software kann eine ATE nach neuen Testeinstellungen abfragen und dann eine Kalibrierungsanforderung einem Parametersatz zuordnen, der alle derzeit geladenen Testeinstellungen identifiziert.
Unabhängig von der Weise, auf die eine Anforderung erzeugt wird, oder dem Typ und der Anzahl von Parametern in einem Kalibrierungsparametersatz fährt das Verfahren 100 mit der Ableitung 104 von ein oder mehr Signaturen für Kalibrierungsdaten, die dem Parametersatz entsprechen, fort. Bei einem Ausführungsbeispiel werden die Signaturen durch ein Zugreifen auf einen Satz von Kalibrierungsregeln für die ATE abgeleitet (z. B. einen Satz von Regeln, die anzeigen, was für die ATE mit welchen Frequenzen, Modulationsformaten usw. kalibriert werden kann). Zu der gleiche Zeit oder fast zu der gleichen Zeit, zu der die Signaturen erzeugt werden, können spezifische Kalibrierungsaufgaben, die auf dem Kalibrierungsparametersatz und den Kalibrierungsregeln basieren, erzeugt werden, wobei jede Aufgabe einer entsprechenden der Signaturen zugeordnet ist.
An diesem Punkt können die erzeugten ein oder mehr Signaturen verwendet werden, um zu bestimmen 106, ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind. Bei einem Ausführungsbeispiel wird diese Bestimmung durch ein Indexieren einer Datenbank von Kalibrierungsdaten unter Verwendung der ein oder mehr Signaturen vorgenommen. Falls es sich dabei um den ersten Kalibrierungsprozess für die ATE handelt, kann es sein, dass die Datenbank leer ist (d. h. ein Nullsatz) oder nicht existiert. Falls die Datenbank nicht existiert, wird dieselbe instantiiert.
In einigen Fällen kann das Bestimmen, ob bereits Kalibrierungsdaten erzeugt worden sind, ein Bestimmen aufweisen, ob ein bestimmtes Stück von Kalibrierungsdaten jemals erzeugt worden ist. In anderen Fällen kann das Bestimmen, ob bereits Kalibrierungsdaten erzeugt worden sind, ein Bestimmen aufweisen, ob ein Zeitstempel, der in einer einem bestimmten Stück von Kalibrierungsdaten zugeordneten Signatur enthalten ist, sich in einem gültigen Bereich befindet. Ist dies nicht der Fall, werden die Kalibrierungsdaten, obwohl dieselben erzeugt sind, als nicht erzeugt betrachtet (und zwar weil keine Kalibrierungsdaten mit dem richtigen Zeitstempel erzeugt worden sind). Bestimmungen, ob bereits Kalibrierungsdaten erzeugt worden sind, können auch auf andere Weisen vorgenommen werden, abhängig von den Parametertypen, die in Kalibrierungsdatensignaturen vorhanden sind.
Nach dem Bestimmen, ob Kalibrierungsdaten, die den abgeleiteten ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits existieren, wird ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten, die 1) den ein oder mehr Signaturen entsprechen, aber 2) noch nicht erzeugt worden sind, erzeugt 108. Bei einem Ausführungsbeispiel werden die Kalibrierungsdaten durch ein Ausführen von vorhergehend erzeugten Kalibrierungsaufgaben erzeugt. Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel wird nun auf Kalibrierungsregeln zugegriffen, um einen inkrementalen Satz von Kalibrierungsaufgaben zu bestimmen, die ausgeführt werden müssen.
Während oder nach der Erzeugung eines inkrementalen Satzes von Kalibrierungsdaten können die erzeugten Kalibrierungsdaten zu einer bestehenden Datenbank von Kalibrierungsdaten hinzugefügt werden oder können in einer inkrementalen Datenbank gespeichert werden. Bevorzugt werden die erzeugten Kalibrierungsdaten zusammen mit ihren zugeordneten ein oder mehr Signaturen gespeichert, so dass nachfolgende Ausführungen des Verfahrens 100 die Kalibrierungsdaten indexieren können, um zu bestimmen, ob dieselben bereits existieren (und noch gültig sind).
In einigen Fällen können eine oder mehr Datenbanken von Kalibrierungsdaten in einem ATE-Speicher gespeichert sein. In anderen Fällen können eine oder mehr Datenbanken von Kalibrierungsdaten getrennt von der ATE gespeichert sein, wodurch die Ressourcen der ATE freigemacht werden.
2 veranschaulicht ein zweites exemplarisches Verfahren 200 zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine ATE. Wie bei dem Verfahren 100 beginnt das Verfahren 200 mit dem Empfang 202 einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen. Bei dem Verfahren 200 ist die Anforderung jedoch spezifizierten Testeinstellungen zugeordnet. Ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten, die den spezifizierten Testeinstellungen entsprechen, wird dann erzeugt 204. Die Testeinstellungen können durch einen Benutzer oder alternativ dazu durch eine Computersoftware, wie z. B. eine Software, die bestimmt, welche Testeinstellungen neu sind, spezifiziert werden. In einigen Fällen kann das Verfahren 200 mit dem Verfahren 100 so integriert sein, dass ein inkrementaler Satz von Kalibrierungsdaten ansprechend auf sowohl Datensignaturen als auch spezifizierte Testeinstellungen erzeugt wird.
Bei einem Ausführungsbeispiel können die Verfahren, die in 1, 2 gezeigt sind, oder eine beliebige Variante derselben in Sequenzen von Anweisungen ausgeführt sein, die auf maschinenlesbaren Medien gespeichert sind (z. B. auf einer oder mehr Festplatten, Wechselmedien, wie z. B. Compact-Disks (CDs) oder digitalen vielseitigen Platten (DVDs), Direktzugriffs- oder Nur-Lese-Speichern oder einer beliebigen Kombination derselben, sei es an einem einzigen Ort, an einer einzigen Maschine oder über ein Netzwerk verteilt). Wenn die Anweisungssequenzen durch eine Maschine, wie z. B. ein Computersystem, ausgeführt werden, dann bewirken dieselben, dass die Maschine die Aktionen des Verfahrens 100 oder 200 durchführt. Beispielhaft kann es sich bei der Maschine, die die Anweisungssequenzen ausführt, um einen System-auf-einem-Chip- (SOC-) Tester, wie z. B. den Agilent 93000 SOC-Tester, oder um einen Integrierte-Schaltung-Tester, wie z. B. den Agilent 84000 Hochfrequenz- (HF-) Integrierte-Schaltung-Tester, handeln.
93000 und 84000 sind beide von Agilent Technologies, Inc., mit Sitz in Palo Alto, Kalifornien, USA, erhältlich.
Eine Pauschalkalibrierung einer ATE kann extrem zeitaufwendig sein. Die Verwendung einer inkrementalen Kalibrierung kann deshalb eine beträchtliche Zeitmenge während eines Vorrichtungstestens einsparen.

Claims

Verfahren (100) zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine automatische Testausrüstung (ATE), das folgende Schritte aufweist: Empfangen (102) einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen, wobei die Anforderung einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet ist; Ableiten (104) von ein oder mehr Signaturen für Kalibrierungsdaten, die dem Kalibrierungsparametersatz entsprechen; Bestimmen (106), ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind; und Erzeugen (108) eines inkrementalen Satzes von Kalibrierungsdaten, die i) den ein oder mehr Signaturen entsprechen, aber ii) noch nicht erzeugt worden sind.
Verfahren gemäß Anspruch 1, bei dem die ein oder mehr Signaturen durch ein Zugreifen auf einen Satz von Kalibrierungsregeln für die ATE abgeleitet werden (104).
Verfahren gemäß Anspruch 2, bei dem Kalibrierungsdaten durch ein Ausführen von Kalibrierungsaufgaben, die auf einigen der Kalibrierungsregeln basieren, die dem Kalibrierungsparametersatz entsprechen, erzeugt werden (108).
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem das Bestimmen (106), ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind, ein Indexieren einer Datenbank von Kalibrierungsdaten unter Verwendung der Signaturen auf weist; wobei das Verfahren ferner ein Speichern von erzeugten Kalibrierungsdaten und entsprechenden Signaturen in der Datenbank aufweist.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Datenbank von Kalibrierungsdaten anfänglich ein Nullsatz ist.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem die Anforderung, den Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen (102), ferner spezifizierten Testeinstellungen zugeordnet ist (202); und wobei der inkrementale Satz von Kalibrierungsdaten auf Kalibrierungsdaten beschränkt ist, die auch den spezifizierten Testeinstellungen entsprechen (204).
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen einen Testweg aufweisen.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen eine Zeitanzeige aufweisen.
Verfahren gemäß Anspruch 8, bei dem die Zeitanzeige zumindest eines der Folgenden aufweist: einen Zeitstempel und ein Alter.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen eine Testfrequenz aufweisen.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen ein Modulationsformat aufweisen.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, bei dem der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen eine Messbandbreite aufweisen.
Verfahren gemäß einem der Ansprüche 1 bis 12, bei dem die Kalibrierungsdaten Hochfrequenz- (HF-) Kalibrierungsdaten aufweisen.
Anzahl von maschinenlesbaren Medien, auf denen Sequenzen von Anweisungen gespeichert sind, die, wenn dieselben durch eine Maschine ausgeführt werden, bewirken, dass die Maschine folgende Aktionen durchführt: Empfangen (102) einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen, wobei die Anforderung einem Kalibrierungsparametersatz zugeordnet ist; Ableiten (104) von ein oder mehr Signaturen für Kalibrierungsdaten, die dem Kalibrierungsparametersatz entsprechen; Bestimmen (106), ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind; und Erzeugen (108) eines inkrementalen Satzes von Kalibrierungsdaten, die i) den ein oder mehr Signaturen entsprechen, aber ii) noch nicht erzeugt worden sind.
Maschinenlesbare Medien gemäß Anspruch 14, wobei die Anweisungssequenzen ferner bewirken, dass die Maschine einem Benutzer eine Benutzerschnittstelle präsentiert, wobei die Benutzerschnittstelle zumindest ein Feld zum Empfangen der Anforderung bereitstellt.
Maschinenlesbare Medien gemäß Anspruch 14 oder 15, wobei die ein oder mehr Signaturen durch ein Zugreifen auf einen Satz von Kalibrierungsregeln für die ATE abgeleitet werden (104).
Maschinenlesbare Medien gemäß Anspruch 16, wobei Kalibrierungsdaten durch ein Ausführen von Kalibrierungsaufgaben, die auf einigen der Kalibrierungsregeln basieren, die dem Kalibrierungsparametersatz entsprechen, erzeugt werden (108).
Maschinenlesbare Medien gemäß einem der Ansprüche 14 bis 17, wobei das Bestimmen (106), ob Kalibrierungsdaten, die den ein oder mehr Signaturen entsprechen, bereits erzeugt worden sind, ein Indexieren einer Datenbank von Kalibrierungsdaten unter Verwendung der ein oder mehr Signaturen aufweist; wobei die Anweisungssequenzen ferner bewirken, dass die Maschine erzeugte Kalibrierungsdaten und entsprechende Signaturen in der Datenbank speichert.
Maschinenlesbare Medien gemäß einem der Ansprüche 14 bis 18, wobei der Kalibrierungsparametersatz und die ein oder mehr Signaturen zumindest eines der Folgenden aufweisen: einen Testweg, eine Zeitanzeige, eine Testfrequenz, ein Modulationsformat und eine Messbandbreite.
Verfahren (200) zum Erzeugen von Kalibrierungsdaten für eine automatische Testausrüstung (ATE), das folgende Schritte aufweist: Empfangen (202) einer Anforderung, einen Kalibrierungsprozess für die ATE durchzuführen, wobei die Anforderung spezifizierten Testeinstellungen zugeordnet ist; und Erzeugen (204) eines inkrementalen Satzes von Kalibrierungsdaten, die den spezifizierten Testeinstellungen entsprechen.