WO2010082330A1

WO2010082330A1 - 被試験デバイスの特性を求める方法、プログラム及びそれを記憶した記憶媒体

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Publication number: WO2010082330A1
Application number: PCT/JP2009/050446
Authority: WO
Inventors: 潤一結城
Original assignee: 株式会社アドバンテスト
Priority date: 2009-01-15
Filing date: 2009-01-15
Publication date: 2010-07-22
Also published as: US20110119010A1; JPWO2010082330A1

Abstract

　ＤＵＴを試験するための第１及び第２の試験パラメータの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、ＤＵＴの良否を少なくとも示す試験結果を用いて、ＤＵＴの特性を求める方法であって、（ａ）マトリクスにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップと、（ｂ）ステップ（ａ）で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと、（ｃ）ステップ（ａ）及び（ｂ）において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するステップと、（ｄ）ステップ（ｃ）において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップとを含む。

Description

被試験デバイスの特性を求める方法、プログラム及びそれを記憶した記憶媒体

　本発明は、被試験デバイスの特性を求める方法、プログラム及びそれを記憶した記憶媒体に関する。

　被試験デバイス（ＤＵＴ：ＤｅｖｉｃｅＵｎｄｅｒＴｅｓｔ）の特定を求めるためのツールとして、ＧＵＩツールで用いられるシュムツール（ＳｈｍｏｏＴｏｏｌ）が知られている。かかるシュムツールは、被試験デバイスに対する第１及び第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、被試験デバイスの良否等を示すものであり、かかるツールを用いて試験を行うことにより、デバイスの設計目標や動作マージン等、被試験デバイスの特性を容易に求めることができる。

　従来のシュムツールによるＤＵＴの特性を求める方法としては、プロットの開始点から終了点まで１つずつ全てのプロットに対して良否を示す、いわゆるシーケンシャル方式が広く用いられている。

　また他の方法として、米国特許第６，７９５，７８８号明細書に開示されているように、全てのプロットに対して良否を示すことなく、プロットの良否の境界を特定する方法が知られている。

　しかしながら、シーケンシャル方式を用いた場合、結局のところ、マトリクスに配列された複数のプロットの全てのプロットに対して試験結果を特定することになるので、マトリクスにおける良否の境界には無関係の多くのプロットに対しても、試験結果を特定することとなり、多大な試験時間を費やしてしまうことがある。かかる問題は、試験パラメータの変数を多く採った場合、すなわちマトリクスにおけるプロットの数を増大させた場合、より一層顕著である。

　また、ユーザによってはマトリクスにおける良否の境界のみを知れば十分という場合があり、かかるユーザにとっては、従来の方法によると無駄に多大な試験時間を費やすことになってしまう。

　他方、米国特許第６，７９５，７８８号明細書によれば、最初の良否の境界を見つけるまでの方法において、ユーザが任意に選択したプロットを開始点として、良否の境界が見つかるまで１つずつプロットの良否を特定するため、良否の境界とは無関係の多くのプロットに対して試験結果を特定せざるを得ない場合がある。また、最初の良否の境界を見つけた後に次の良否を見つけるまでの方法においても、最初に見つけた良否の境界に隣接するプロットを起点として、その周囲において、次の新しい良否が見つかるまで１つずつプロットの良否を特定するため、この場合にも、良否の境界とは無関係の多くのプロットに対して試験結果を特定せざるを得ない場合がある。したがって、上記明細書に開示されている方法を適用しても、試験時間の短縮が効果的に図れるとまでは言えない。

　よって、本発明の目的は、上記の課題を解決することができる被試験デバイスの特性を求める方法、プログラム及びそれを記憶した記憶媒体を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。

　本発明にかかる被試験デバイスの特性を求める方法の一態様は、被試験デバイスを試験するための第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、前記被試験デバイスの良否を少なくとも示す試験結果を用いて、前記被試験デバイスの特性を求める方法であって、（ａ）前記マトリクスにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップと、（ｂ）前記ステップ（ａ）で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと、（ｃ）前記ステップ（ａ）及び（ｂ）において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するステップと、（ｄ）前記ステップ（ｃ）において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップとを含む。

　また、（ｅ）前記ステップ（ｃ）で選択されたプロット対及び前記ステップ（ｄ）で特定されたプロット対を含むように、前記領域をシフトするステップをさらに含んでもよい。

　また、（ｆ）シフトされた前記領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を選択するステップと、（ｇ）前記ステップ（ｆ）で選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対を特定するステップと、（ｈ）前記ステップ（ｆ）で選択されたプロット対及び前記ステップ（ｇ）で特定されたプロット対を含むように、前記領域をさらにシフトするステップと、（ｉ）前記マトリクスにおいて、前記第１又は第２の試験パラメータの最大値又は最小値のプロットに隣接するまで、前記ステップ（ｆ）～（ｈ）を繰り返すステップとをさらに含んでもよい。

　また、前記ステップ（ａ）は、前記第１の試験パラメータを１つの値について、前記第２の試験パラメータの値を変位させて、前記プロット対の試験結果を特定することを含んでもよい。

　また、前記ステップ（ａ）は、少なくとも前記第２の試験パラメータを最大値及び最小値を選択するように変位させることを含んでもよい。

　また、前記ステップ（ａ）は、（ａ１）前記第２の試験パラメータから選択されたプロットの試験結果を特定するステップと、（ａ２）少なくとも１つのプロットをスキップさせるように、前記第２の試験パラメータを変位させるステップと、
　（ａ３）前記第２の試験パラメータの前記変位によって選択されたプロットの試験結果を特定するステップとを含んでもよい。

　また、前記ステップ（ａ）は、（ａ４）前記２つのプロットの試験結果を比較するステップと、（ａ５）前記ステップ（ａ４）の結果、両者の試験結果が異なる場合には、前記第２の試験パラメータの値を反対方向に変位させ、両者の試験結果が同じ場合には、前記第２の試験パラメータの値を同一方向にさらに変位させるステップと
　（ａ６）前記第２の試験パラメータの前記変位によって選択されたプロットの試験結果を特定するステップと、（ａ７）隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対が特定されるまで、前記ステップ（ａ４）～（ａ７）を繰り返すステップとを含んでもよい。

　また、第１の試験条件で試験された前記被試験デバイスの試験結果について前記各ステップを行うことにより、当該試験結果が特定された前記プロットを得るステップと、第１の試験条件とは異なる第２の試験条件で試験された前記被試験デバイスの試験結果について、前記第１の試験条件で得られた前記プロットにおいて、当該試験結果を得るステップと、前記第１の試験条件における試験結果と、前記第２の試験条件における試験結果とを対比して、前記特性を求めるステップとをさらに含んでもよい。

　また、本発明にかかるプログラムの一態様によれば、被試験デバイスを試験するための第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、前記被試験デバイスの良否を少なくとも示す試験結果を用いて、前記被試験デバイスの特性を求める方法を、コンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記方法が、（ａ）前記マトリクスにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップと、（ｂ）前記ステップ（ａ）で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと、（ｃ）前記ステップ（ａ）及び（ｂ）において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するステップと、（ｄ）前記ステップ（ｃ）において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップとを含む。

　また、上記プログラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体であってもよい。

　なお、本明細書において、手段とは、単に物理的手段を意味するものではなく、その手段が有する機能をソフトウェアによって実現する場合も含む。また、１つの手段が有する機能が２つ以上の物理的手段により実現されても、２つ以上の手段の機能が１つの物理的手段により実現されてもよい。

本発明の実施形態に係るシステムの機能構成を示す図である。図１におけるＤＵＴプロット特定制御ツールの詳細を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を表示するマトリクスを示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の概要を示すフローチャートである。図４におけるステップＳ１０１の詳細を示すフローチャートである。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法において、ステップＳ１０１で特定されたプロット対の座標付近のマトリクスを拡大した図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法において、ステップＳ１０１で特定されたプロット対の座標付近のマトリクスを拡大した図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法において、ステップＳ１０１で特定されたプロット対の座標付近のマトリクスを拡大した図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法において、ステップＳ１０１で特定されたプロット対の座標付近のマトリクスを拡大した図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法を説明するための図であり、具体的には第１の試験条件で得られたマトリクスを示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法を説明するための図であり、具体的には第２の試験条件において、仮に全てのプロットの試験結果を特定した場合のマトリクスを示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法を示すフローチャートである。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。本発明の実施形態の変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法を説明するための図であり、具体的には第１及び第２の試験条件により最終的に得られたマトリクスを示す図である。

　以下、図面を参照しつつ、発明の実施形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせのすべてが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

　まず、図１～図３を参照して、本発明の一実施形態に係る被試験デバイスの特性を求める方法を実行するためのシステムを説明する。ここで、図１は、本実施形態に係るシステムの機能構成を示す図であり、図２は、図１におけるＤＵＴプロット特定制御ツール１００の詳細を示す図である。また、図３は、ＤＵＴの特性を表示するマトリクスを示す図である。

　図１に示すように、本実施形態に係るシステムは、主な構成として、プロット特定制御ツール１００と、ＤＵＴ試験装置（テスタ）１０２と、表示手段１０４とを備える。

　プロット特定制御ツール１００は、本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法を行うための所定のプログラムが予めインストールされた記録媒体である。プロット特性制御ツール１００は、主な構成として、ＤＵＴの特性を求めるための必要な処理を制御する制御手段１１０と、かかる処理に必要な情報を記憶するための記憶手段１３０とを備える。プロット特性制御ツール１００は、ＧＵＩツールで用いられるシュムツール（ＳｈｍｏｏＴｏｏｌ）に組み込まれたものであってもよいし、シュムツールとは独立して構成されていてもよい。また、プロット特定制御ツール１００は、ＤＵＴ試験装置（テスタ）１０２にアクセス可能に接続されており、例えばＤＵＴ試験装置１０２からの情報に基づいて動作することができる。ＤＵＴ試験装置１０２の情報としては、試験条件、第１及び第２のパラメータの種類、ＤＵＴの試験結果などが挙げられる。

　ＤＵＴ試験装置１０２は、少なくとも１つ以上のＤＵＴ１０６を試験するものである。具体的には、ＤＵＴ試験装置１０２は、第１及び第２の試験パラメータを使用して所定の試験信号を生成し、当該試験信号をＤＵＴ１０６に供給し、所定の試験条件において、ＤＵＴ１０６が当該試験信号に基づいて動作した結果出力する出力信号が期待値の範囲に含まれるか否かに基づいてＤＵＴ１０６の良否等を試験する。ＤＵＴ試験装置１０２は、オープンアーキテクチャにより実現され、ＤＵＴ１０６に試験信号を供給するテストモジュールとして、オープンアーキテクチャに基づくモジュールを用いることができる。なお、ＤＵＴ試験装置１０２及びＤＵＴプロット特定制御ツール１００は、ディスプレイ等の表示手段１０４にアクセス可能に接続され、ＤＵＴ試験装置１０２及びＤＵＴプロット特定制御ツール１００により実行された結果を表示手段１０４に表示することができる。

　プロット特定制御ツール１００は、図３に示されるマトリクス２００において、ＤＵＴの良否を少なくとも示す試験結果を表示するために、いずれのプロットを特定すべきであるかを制御するものである。ここで、ＤＵＴの良否とは、ＤＵＴの出力値が所定の期待値の範囲内であるか否かということを意味し、また、試験結果は、良（Ｐａｓｓ）、否（Ｆａｉｌ）のみならず、例えば測定不能（ＯｕｔＯｆＲａｎｇｅ）をも示してもよい。

　図３に示すように、マトリクス２００は、ＤＵＴを試験するための第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されて構成されている。このようなマトリクス２００において各試験パラメータの値に基づくＤＵＴの良否等を特定することにより、ＤＵＴの動作範囲、すなわち良否の境界を知ることができる。また、マトリクス２００におけるプロットの特定は、ＤＵＴプロット特定制御ツール１００が内部的にプロットを特定することを意味し、特定されたプロットをユーザが視認できるように表示手段１０４に表示するようにしてもよい。

　図３に示す例では、第１の試験パラメータがＹ方向に変位可能であり、第２の試験パラメータがＸ方向に変位可能であり、それぞれの値により、Ｘ，Ｙ座標が特定、すなわち１つのプロットが特定できるようになっている。ここで、試験パラメータが変位可能とは、ＤＵＴに対する試験済みパラメータを選択可能又は取得可能であることを意味する。すなわち、ＤＵＴ試験装置１０２が第１及び第２の試験パラメータに基づいてＤＵＴ１０６を既に試験しており、当該試験の結果得られる情報を第１及び第２の試験パラメータを変位させることにより選択又は取得することができる。また、試験パラメータが変位可能とは、パラメータの値を順番に選択することのみならず、複数の値を同時に選択したり、複数の値をランダム又は所定の取り決めに従って選択したりすることも含む。図３に示す例では、マトリクス２００のＹ軸の矢印の方向に第１の試験パラメータの最小値から最大値までの複数の値が割当てられており、マトリクス２００のＸ軸の矢印の方向に第２の試験パラメータの最小値から最大値までの複数の値が割当てられている。図３に示す例では、第１の試験パラメータが１５個の値をもつように、Ｙ方向に１５個のプロットが設けられ、第２の試験パラメータが１５個の値をもつように、Ｘ方向に１５個のプロットが設けられ、合計２２５個のプロットからなるマトリクスが示されている。

　なお、マトリクス２００の態様は図３に示すものに限定されるものではなく、Ｘ，Ｙのそれぞれのプロットの個数は何ら限定されるものではない。また、Ｘ方向のプロットの個数とＹ方向のプロットの個数は、同一であってもよいし、異なるものであってもよい。また、第１の試験パラメータをＸ方向に規定し、第２の試験パラメータをＹ方向に規定してもよい。

　また、第１及び第２の試験パラメータは、ＤＵＴ試験装置１０２で行われる試験に用いられるパラメータであり、その組み合わせとしては、例えばＤＵＴ１０６に入力する入力信号の論理値が変化するタイミングであるタイミング値とＤＵＴ１０６の動作電圧の組み合わせ、ＤＵＴ１０６の周波数と電源電圧の組み合わせ、タイミング値自動トラッキング（周波数をスキャンすると全ピンのタイミング値を自動的にスキャンする機能）とレベル値自動トラッキング（周波数をスキャンすると全ピンのレベル値を自動的にスキャンする機能）の組み合わせ等が挙げられる。

　ＤＵＴプロット制御ツール１００のハードウェアの構成としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、外部記憶装置、ユーザインタフェース、ディスプレイ、プリンタ及び通信インタフェース等を備える汎用のコンピュータを適用することができる。ＤＵＴプロット制御ツール１００は、例えばＣＰＵが、上記したＲＯＭ、ＲＡＭ、外部記憶装置などに記憶された又は通信ネットワークを介してダウンロードされた所定のプログラム（本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法を規定したプログラム）を実行することにより、ＤＵＴプロット制御ツール１００を各種機能実現手段（図２参照）又は各種ステップとして機能させることができる。

　すなわち、図２に示すように、制御手段１１０は、主な構成として、第１の試験パラメータの変位及び値の選択を制御する第１の試験パラメータ制御手段１１２、第２の試験パラメータの変位及び値の選択を制御する第２の試験パラメータ制御手段１１４、プロットの試験結果を比較する試験結果比較手段１１６、所定のプロット対を選択するプロット対選択手段１１８、基準となる領域を選択及びシフトする領域選択手段１２０、及び、各種ステップによる試験結果を出力する試験結果出力手段１２２を備える。各種機能実現手段は、記憶手段１３０にアクセス可能に接続されており、これにより上記各手段によって処理されたＤＵＴの特性を求めるために必要なデータを記憶手段１３０に記憶又は記憶手段１３０から読み出し可能としている。各種実現手段についての説明は、後述するＤＵＴの特性を求める方法についての説明を参照することができる。

　次に、図４及び図５のフローチャート並びに図６～図２０のマトリクスを参照して、本発明の一実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法を説明する。

　ここで、図４は、本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の概要を示すフローチャートであり、図５は、図４におけるステップＳ１０１の詳細を示すフローチャートである。また、図６～図２０は、本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。

　なお、以下の各ステップでは、異なる試験結果の組み合わせとして、良と否の組み合わせを示すが、変形例として良と否、良と測定不能、及び、否と測定不能の各組み合わせを適用してもよい。また、後述するフローチャートにおける各ステップ（符号が付されていない部分的なステップを含む）は処理内容に矛盾を生じない範囲で任意に順番を変更して又は並列に実行することができる。また、各図を参照して説明する処理は、制御手段１１０の制御に基づいて、記憶手段１３０から読み出した所定のプログラムに規定されたステップを実行することにより実現することができる。

　まず、図４に示すように、マトリクス２００において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定する（Ｓ１０１）。例えば、第１の試験パラメータ制御手段１１２により選択された第１の試験パラメータの１つの値について、第２の試験パラメータ制御手段１１４により第２の試験パラメータの値を変位させることにより、上記プロット対を特定してもよい。この場合、第２の試験パラメータは少なくとも最大値ＸＭＡＸ及び最小値ＸＭＩＮを選択するように変位させてもよい。

　具体的には、まず、図５及び図６に示すように、第１の試験パラメータの１つの値を選択する（Ｓ２０１）。すなわち、マトリクス２００においてＹ座標を１つ選択する。この場合、第１の試験パラメータの最大値（Ｙ＝１５）を選択してもよい。

　次に、第２の試験パラメータの１つの値を選択し、当該選択されたプロットの試験結果を特定する（Ｓ２０３）。すなわち、マトリクス２００において選択されたＹ座標について、Ｘ座標を１つ選択し、これにより１つのプロットを特定する。例えば、第１の試験パラメータの最大値（Ｙ＝１５）について、第２の試験パラメータの最小値（Ｘ＝１）を選択し、プロット（１，１５）を特定してもよい。図６に示す例では、プロット（１，１５）の試験結果は良（Ｐ）である。

　なお、特定されたプロットの番地及び試験結果は、番地記憶手段１３２及び試験結果記憶手段１３４によりそれぞれ記憶される。

　次に、少なくとも１つのプロットをスキップさせるように、第２の試験パラメータを変位させる（Ｓ２０５）。ここで、少なくとも１つのプロットをスキップさせるとは、離間したプロットを選択することを意味する。すなわち、プロット（１，１５）に隣接するプロット（２，１５）を除き、プロット（３，１５）～（１５，１５）のいずれかのプロットを選択するように第２の試験パラメータを変位させる。例えば、最初に特定されたプロット（１，１５）のＸ座標をＸ１とし、第２の試験パラメータの最大値ＸＭＡＸとした場合、（Ｘ１＋ＸＭＡＸ）が偶数であれば（Ｘ１＋ＸＭＡＸ）／２のＸ座標を選択し、（Ｘ１＋ＸＭＡＸ）が奇数であれば{（Ｘ１＋ＸＭＡＸ）＋１}／２又は{（Ｘ１＋ＸＭＡＸ）－１}／２のＸ座標を選択するように第２の試験パラメータの値を変位させてもよい。図６に示す例では、Ｘ１＝１であり、ＸＭＡＸ＝１５であるので、例えばプロット（８，１５）を選択するように第２の試験パラメータを変位させる。このように、少なくとも１つのプロットをスキップさせるように、第２の試験パラメータを変位させることにより、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を、少ないプロット数で効率良く見つけることができる。

　あるいは、ステップＳ２０１において第２の試験パラメータの最大値（Ｘ＝１５）を選択した場合には、ステップＳ２０５において、第２の試験パラメータの最小値ＸＭＩＮとした場合、（Ｘ１＋ＸＭＩＮ）が偶数であれば（Ｘ１＋ＸＭＩＮ）／２のＸ座標を選択し、（Ｘ１＋ＸＭＩＮ）が奇数であれば{（Ｘ１＋ＸＭＩＮ）＋１}／２又は{（Ｘ１＋ＸＭＩＮ）－１}／２のＸ座標を選択するように第２の試験パラメータの値を変位させてもよい。

　次に、第２の試験パラメータの変位によって選択されたプロットの試験結果を特定する（Ｓ２０７）。図６に示す例では、プロット（８，１５）の試験結果は良（Ｐ）である。

　そして、こうして得られた２つのプロットの試験結果を例えば試験結果比較手段１１６により比較し（Ｓ２０９）、かかる比較の結果、両者の試験結果が異なる場合には、第２の試験パラメータの値を反対方向に変位させる一方、両者の試験結果が同じ場合には、第２の試験パラメータの値を同一方向にさらに変位させる（Ｓ２１１）。図６に示す例では、プロット（１，１５）及び（８，１５）はいずれも良（Ｐ）であり、両者の試験結果が同じであるので、第２の試験パラメータの値を同一方向、すなわちＸ値が増加する方向にさらに変位させる。この場合、少なくとも１つのプロットをスキップさせるように第２の試験パラメータを変位させてもよいし、隣接するプロットを選択するように第２の試験パラメータを変位させてもよい。図６に示す例では次にプロット（１５，１５）を選択するように第２の試験パラメータを変位させる。

　次に、第２の試験パラメータの変位によって選択されたプロットの試験結果を特定する（Ｓ２１３）。図６に示す例では、プロット（１５，１５）の試験結果は否（Ｆ）である。

　次に、隣同士のプロットからなるプロット対が特定されたかどうかを判断する（Ｓ２１５）。仮に隣同士のプロットからなるプロット対が特定されていない場合には、かかるステップＳ２０９～Ｓ２１５を、隣同士のプロットからなるプロット対が特定されるまで繰り返し行う。図６に示す例では、未だ隣同士のプロットからなるプロット対の特定はなされていないので、ステップＳ２０９に戻る。

　ステップＳ２０９において、２つのプロットの試験結果を比較する。すなわち、直近に特定された２つのプロットの試験結果を比較する。その後、ステップＳ２１１を行うところ、プロット（８，１５）は良（Ｐ）である一方、プロット（１５，１５）は否（Ｆ）であり、両者の試験結果が異なるので、第２の試験パラメータの値を反対方向、すなわちＸ値が減少する方向に変位させる。この場合、上述したとおり、少なくとも１つのプロットをスキップさせるように第２の試験パラメータを変位させてもよいし、隣接するプロットを選択するように第２の試験パラメータを変位させてもよい。例えば、現在のプロットのＸ座標をＸｎとし、第２の試験パラメータが変位する方向において既に試験結果が示されたプロットのＸ座標をＸｍとした場合、（Ｘｎ＋Ｘｍ）が偶数であれば（Ｘｎ＋Ｘｍ）／２のＸ座標を選択し、（Ｘｎ＋Ｘｍ）が奇数であれば{（Ｘｎ＋Ｘｍ）＋１}／２又は{（Ｘｎ＋Ｘｍ）－１}／２のＸ座標を選択するように、第２の試験パラメータの値を変位させてもよい。図７に示す例では次にプロット（１１，１５）を選択するように第２の試験パラメータを変位させる。

　ステップＳ２１３において、第２の試験パラメータの変位によって選択されたプロットの試験結果を特定する。図７に示す例で、プロット（１１，１５）の試験結果は良（Ｐ）である。

　その後、ステップＳ２１５において、隣同士のプロットからなるプロット対が特定されたかどうかを判断するが、図７に示す例では、未だ隣同士のプロットからなるプロット対の特定はなされていないので、再度、ステップＳ２０９に戻る。

　ステップＳ２０９において、再度、直近に特定された２つのプロットの試験結果を比較した結果、プロット（１１，１５）は良（Ｐ）であり、プロット（１３，１５）も良（Ｐ）であるので、ステップＳ２１１に従い、両者の試験結果が同じ場合に該当するため、第２の試験パラメータを同一方向、すなわちＸ値が増加する方向にさらに変位させる。この場合、次に特定されるプロットは、プロット（１３，１５）に隣接するプロット（１４，１５）しかないため、当該プロット（１４，１５）を選択するように第２の試験パラメータを変位させる。その後、ステップＳ２１３において、第２の試験パラメータの変位によって選択されたプロットの試験結果を特定する。図７に示す例ではプロット（１４，１５）の試験結果は否（Ｆ）である。

　こうして、最終的に、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対（１３，１５）及び（１４，１５）を得ることができる。この時点で、隣同士のプロットからなるプロット対が特定されたため、次のステップＳ２１７に進む。

　次に、第１の試験パラメータの値を変位させて、マトリクス２００において異なる１つのＹ座標を選択してもよい（Ｓ２１７）。すなわち、他のＹ座標について、ステップＳ１０１、すなわち隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップを行ってもよい。

　すなわち、まず、ステップＳ２０１に従い、第１の試験パラメータの値を変位させて、マトリクス２００において他のＹ座標を１つ選択する。例えば最初のステップＳ１０１において特定されたＹ座標をＹ０とし、第１の試験パラメータの最小値ＹＭＩＮとした場合、（Ｙ０＋ＹＭＩＮ）が偶数であれば（Ｙ０＋ＹＭＩＮ）／２のＸ座標を選択し、（Ｙ０＋ＸＭＩＮ）が奇数であれば{（Ｙ０＋ＹＭＩＮ）＋１}／２又は{（Ｙ０＋ＹＭＩＮ）－１}／２のＹ座標を選択するように第１の試験パラメータの値を変位させてもよい。図８に示す例では、Ｙ０＝１５であり、ＹＭＩＮ＝１であるので、例えばプロット（１，８）を選択するように第１の試験パラメータを変位させる。このように、他のＹ座標においても、試験結果を示すプロットを特定することにより、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を確実に見つけることができる。

　あるいは、最初のステップＳ１０１において第２の試験パラメータの最小値（Ｙ＝１）を選択した場合には、第１の試験パラメータの最大値ＹＭＡＸとした場合、（Ｙ０＋ＹＭＡＸ）が偶数であれば（Ｙ０＋ＹＭＡＸ）／２のＸ座標を選択し、（Ｙ０＋ＸＭＡＸ）が奇数であれば{（Ｙ０＋ＹＭＡＸ）＋１}／２又は{（Ｙ０＋ＹＭＡＸ）－１}／２のＹ座標を選択するように第１の試験パラメータの値を変位させてもよい。

　次に、選択された第１の試験パラメータの値（Ｙ＝８）について、Ｓ２０３～Ｓ２１７の各ステップを行うことにより、図８に示すように、順番に、良（Ｐ）を示すプロット（１，８）、良（Ｐ）を示すプロット（８，８）、否（Ｆ）を示すプロット（１５，８）、否（Ｆ）を示すプロット（１１，８）、良（Ｐ）を示すプロット（９，８）、及び、否（Ｆ）を示すプロット（１０，８）をそれぞれ特定する。こうして、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対（９，８）及び（１０，８）を得ることができる。

　なお、変形例として、選択された第１の試験パラメータの値（Ｙ＝８）について、Ｓ２０３～Ｓ２１７の各ステップを行なう場合、例えば最初に選択された３つのプロットの試験結果が、それぞれのＸ座標における他のプロットの試験結果と異なる場合には、それら２つの間のプロットについて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を特定するようにしてもよい。

　次に、さらに、第１の試験パラメータの値を変位させて、マトリクス２００において異なる１つのＹ座標を選択し（Ｓ２１７、Ｓ２０１）、かかるＹ座標について、ステップＳ１０１、すなわち隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップを行ってもよい。

　図９に示す例では次にＹ＝１、すなわちＹＭＩＮを選択し、プロット（１，１）を選択するように第２の試験パラメータを変位させる。図９に示すように、Ｙ座標の最大値ＹＭＡＸ、最小値ＹＭＩＮ、中間値（例えばＹ＝８）の各値について、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を見つけるための各ステップを行うことにより、目標とする当該プロット対をより確実に見つけることができる。

　次に、選択された第１の試験パラメータの値（Ｙ＝１）について、Ｓ２０３～Ｓ２１５の各ステップを行うことにより、図９に示すように、順番に、良（Ｐ）を示すプロット（１，１）、否（Ｆ）を示すプロット（８，１）をそれぞれ特定する。

　ここで、上記ステップにおいて特定されたプロットのうち、当該プロットと同じＸ座標において、試験結果が異なるプロットが存在する場合には、それら両者間のプロットにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を特定してもよい。図９の例で説明すると、プロット（８，１）と同じＸ座標であるプロット（８，８）とを比較した結果、前者は否（Ｆ）である一方、後者は良（Ｐ）であり、両者の試験結果が異なるので、プロット（８，１）とプロット（８，８）との間のプロットにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を特定する。この場合、第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとを入れ替えて、上述したステップＳ２０３～Ｓ２１５を適用することができる。例えば、上記各ステップを行うことにより、図１０に示すように、順番に、否（Ｆ）を示すプロット（８，５）、良（Ｐ）を示すプロット（８，７）、良（Ｐ）を示すプロット（８，６）をそれぞれ特定する。こうして、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対（８，６）及び（８，５）を得ることができる。これによれば、さらに確実に、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を見つけることが可能となる。

　次に、プロット（８，１）の位置に戻り、再度、Ｙ＝１について、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を特定するためのステップを行う。すなわち、プロット（８，１）の位置に戻った後、ステップＳ２０９（２つのプロットの試験結果を比較するステップ）以降の各ステップを行う。これにより、順番に、良（Ｐ）を示すプロット（４，１）、否（Ｆ）を示すプロット（６，１）、及び、良（Ｐ）を示すプロット（５，１）をそれぞれ特定する。こうして、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対（５，１）及び（６，１）を得ることができる。

　なお、各ステップ終了後、マトリクス２００において、第１の試験パラメータの最大値ＸＭＡＸ、中間値（例えばＹ＝８）又は最小値ＸＭＩＮついて、第２の試験パラメータの最大値ＹＭＡＸ、中間値（例えばＸ＝８）又は最小値ＹＭＩＮに相当する、各プロットの試験結果が特定されているか否かを判断し、当該判断の結果、試験結果が特定されていないプロットが存在する場合には、当該プロットの試験結果を特定してもよい。図１１に示す例では、プロット（１５，１）の試験結果が未だ特定されていないので、図１２に示すように、当該プロット（１５，１）の試験結果を特定する。プロット（１５，１）の試験結果は否（Ｆ）である。

　以上のステップにより、図４に示されるステップＳ１０１を終了する。図１２に示す例では、ステップＳ１０１により、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示す複数のプロット対として、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（９，７）及び（１０，７）と、プロット対（８，５）及び（８，６）と、プロット対（５，１）及び（６，１）とを特定することができる。こうして得られたプロット対は、記憶手段１３０の例えば番地記憶手段１３２及び試験結果記憶手段１３４に記憶される。

　このように本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法によれば、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示す複数のプロット対をなるべく少ない個数のプロットの特定により得ることができる。したがって、ユーザが任意に選択したプロットを開始点として、良否の境界が見つかるまで１つずつプロットの良否を特定するよりも、大幅に試験時間を短くすることができる。

　ステップＳ１０１により特定されたプロット対が複数ある場合には、後述するステップの基準となるいずれか１つのプロット対を選択する。例えば、第１又は第２の試験パラメータが最大値又は最小値に相当するプロット対を選択してもよい。図１２でいえば、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（５，１）及び（６，１）とが、第１又は第２の試験パラメータが最大値又は最小値に相当するプロット対に相当するところ、例えば１つのプロット対（１３，１５）及び（１４，１５）を選択する。プロット対の選択は、プロット対選択手段１１８により行うことができる。

　次に、ステップＳ１０１で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定する（Ｓ１０３）。すなわち、図１３に示すように、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）を起点として、プロット（１３，１５）に隣接するプロット（１３，１４）の試験結果と、プロット（１４，１５）に隣接するプロット（１４，１４）の試験結果とを特定する。ここで、プロット（１３，１４）及びプロット（１４，１４）は互いに隣同士のプロットである。図１３に示す例では、プロット（１３，１４）は良（Ｐ）を示す一方で、プロット（１４，１４）は否（Ｆ）を示す。

　次に、ステップＳ１０１及びＳ１０３において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択し（Ｓ１０５）、かかるステップＳ１０５において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定する（Ｓ１０７）。

　図１４～図１７を参照してかかるステップについて説明する。ここで、図１４～図１７は、ステップＳ１０１で特定されたプロット対（１３，１５）及び（１４，１５）の座標付近のマトリクスを拡大した図であり、図１４が図１３に示されるプロット対の選択の態様を示し、図１５～図１７が図１３とは異なるプロット対の選択の態様を示す図である。

　まず、図１３及び図１４のプロット対の選択の態様について説明する。ステップＳ１０５において、まず、図１３及び図１４に示すように、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）とを含む領域Ｒを選択する。領域Ｒの選択は、領域選択手段１２０により行うことができる。そして、この領域Ｒにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するところ、試験結果が異なる組み合わせは、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）であるため、例えばプロット対選択手段１１８により、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）を選択する。その後、ステップＳ１０７において、ステップＳ１０５において選択されたプロット対を起点として、プロット（１３，１４）に隣接するプロット（１３，１３）の試験結果と、プロット（１４，１４）に隣接するプロット（１４，１３）の試験結果とを特定する。ここで、プロット（１３，１３）及びプロット（１３，１４）は互いに隣同士のプロットである。なお、プロット（１３，１３）は否（Ｆ）を示し、プロット（１３，１４）は否（Ｆ）を示す。

　図１５に示す変形例では、領域Ｒにおいて、試験結果が異なる組み合わせは、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（１３，１５）及び（１３，１４）であるため、プロット対（１３，１５）及び（１３，１４）を選択する。その後、ステップＳ１０７において、ステップＳ１０５において選択されたプロット対を起点として、プロット（１３，１５）に隣接するプロット（１２，１５）の試験結果と、プロット（１３，１４）に隣接するプロット（１２，１４）の試験結果とを特定する。ここで、プロット（１２，１５）及びプロット（１２，１４）は互いに隣同士のプロットである。

　図１６に示す変形例では、領域Ｒにおいて、試験結果が異なる組み合わせは、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（１４，１５）及び（１４，１４）であるため、プロット対（１４，１５）及び（１４，１４）を選択する。その後、ステップＳ１０７において、ステップＳ１０５において選択されたプロット対を起点として、プロット（１４，１５）に隣接するプロット（１５，１５）の試験結果と、プロット（１４，１４）に隣接するプロット（１５，１４）の試験結果とを特定する。ここで、プロット（１５，１５）及びプロット（１５，１４）は互いに隣同士のプロットである。

　図１７に示す変形例では、領域Ｒにおいて、試験結果が異なる組み合わせは、プロット対（１３，１５）及び（１４，１５）と、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）と、プロット対（１３，１５）及び（１３，１４）と、プロット（１４，１５）及びプロット（１４，１４）であるため、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）と、プロット対（１３，１５）及び（１３，１４）と、プロット対（１４，１５）及び（１４，１４）のうちのいずれかのプロット対を選択する。その後、ステップＳ１０７において、ステップＳ１０５において選択されたプロット対を起点として、図１７に示すように、ステップＳ１０５において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定する。具体的には、図１４～図１６で説明したいずれかのプロット対があてはまる。

　次に、ステップＳ１０５及びＳ１０７で特定されたプロット対を含むように、領域Ｒをシフトする（Ｓ１０９）。領域選択手段１１８によりシフトされた領域Ｒを選択してもよい。具体的には、図１３及び図１８からわかるとおり、領域Ｒからプロット対（１３，１５）及び（１４，１５）を取り除き、ステップＳ１０５で特定されたプロット対（１３，１４）及び（１４，１４）は含んだままにして、ステップＳ１０７で特定されたプロット対（１３，１３）及び（１４，１３）を新たに加えるように、領域Ｒをシフトする。言い換えれば、領域Ｒは、２×２のプロット対を含むようにシフトする。

　次に、シフトされた領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を選択し（Ｓ１１１）、かかるステップＳ１１１において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定する（Ｓ１１３）。具体的には、図１８に示されるシフトされた領域Ｒにおいて、試験結果が異なる組み合わせは、プロット対（１３，１４）及び（１４，１４）と、プロット対（１３，１４）及び（１３，１３）であるため、プロット対（１３，１４）及び（１３，１３）を選択する。その後、図１９に示すように、ステップＳ１１３において、ステップＳ１１１において選択されたプロット対を起点として、プロット（１３，１４）に隣接するプロット（１２，１４）の試験結果と、プロット（１３，１３）に隣接するプロット（１２，１３）の試験結果とを特定する。ここで、プロット（１２，１４）及びプロット（１２，１３）は互いに隣同士のプロットである。なお、プロット（１２，１４）は良（Ｐ）を示し、プロット（１２，１３）は良（Ｐ）を示す。

　次に、ステップＳ１１１で選択されたプロット対及びＳ１１３で特定されたプロット対を含むように、図１９に示すように領域Ｒをさらにシフトする（Ｓ１１５）。

　かかるステップＳ１１１～Ｓ１１５を、マトリクスにおいて、第１又は第２の試験パラメータの最大値又は最小値のプロットに隣接するまで繰り返す（Ｓ１１７）。すなわち、シフトされた領域Ｒ内のプロット対の選択（Ｓ１１１）、プロット対の特定（Ｓ１１３）、及び、領域Ｒのさらなるシフト（Ｓ１１５）を繰り返し、図２０に示されるマトリクスを完成させることができる。なお、図２０に示す例においては、最終的な領域Ｒは、プロット対（５，２）及び（６，２）と、プロット対（５，１）及び（６，１）を含む領域になることは、上記説明に基づけば明らかである。

　領域Ｒのシフトによるプロット対の特定を終えた後、隣同士であり異なる試験結果を示すプロット対であって、さらに試験すべきプロット対が存在するかを判断する（Ｓ１１９）。図２０に示す例では、ステップＳ１０１で特定されたプロット対において、当該プロット対を起点としてステップＳ１０３以降のステップを行うことにより新たに特定することができる境界は存在しないため、ステップＳ１１９において、さらに試験すべきプロット対は存在しないと判断し、次のステップＳ１２１へ進む。あるいは、ステップＳ１０１で特定されたプロット対において、当該プロット対を起点としてステップＳ１０３以降のステップを行うことにより新たに特定することができる境界が存在する場合には、ステップＳ１１９において、さらに試験すべきプロット対が存在すると判断し、当該プロット対に対してステップＳ１０１以降のステップを行う。こうして、ステップＳ１１９において、さらに試験すべきプロット対は存在しないと判断されるまでステップ１０１～Ｓ１１７を繰り返し行う。

　最後に、試験条件を変更するか否かを判断し（Ｓ１２１）、試験条件を変更する必要がなく最初の試験条件での試験結果に基づくマトリクスで足りる場合には終了となる。最終的に得られた試験結果が示されたプロットを有するマトリクス２００は、制御手段１１０の試験結果出力手段１２２により例えば記憶手段１３０に記憶してもよいし、また表示手段１０４に表示してもよい。

　本実施形態に係るＤＵＴの特性を求める方法によれば、図２０を見てわかるとおり、マトリクス２００において、試験結果が異なるプロットの境界をなるべく少ない個数のプロットを特定することで得ることができる。すなわち、上記方法によれば、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を起点として、順々に境界を生成するため、可能な限り少ない個数のプロットの特定により、良否の境界を得ることができる。よって、非常に短い試験時間により、ＤＵＴの特性を求めることができる。

　次に、図２１～図２６を参照して、上述のステップＳ１２１において、試験条件を変更して、同一のマトリクスにおいて再びＤＵＴの特性を得る場合の本実施形態の変形例について説明する。

　ここで、図２１は、第１の試験条件で得られたマトリクスを示す図であり、図２２は、第２の試験条件において、仮に全てのプロットの試験結果を特定した場合のマトリクスを示す図である。また、図２３は、本変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法を示すフローチャートであり、図２４及び図２５は、本変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法の各ステップを適用して得られるマトリクスの一例を示す図である。また、図２６は、第１及び第２の試験条件により最終的に得られたマトリクスを示す図である。

　本変形例においては、ＤＵＴは複数回（例えば２回）の試験により得られるプロットを必要とする機能を有している。図２１及び図２２に示すように、第１の試験条件で得られるマトリクス３００と、第２の試験条件で得られるマトリクス３０２とは、プロットのシュム対象のみを変えて取得する試験結果を除いて、第１及び第２の試験パラメータ等の態様は同一である。ここで、第１の試験条件と第２の試験条件の組み合わせとしては、例えば第１の試験条件において所定のピンを用い、第２の試験条件において第１の試験条件でのピンとは異なるピンを用いること等が挙げられる。また、マトリクス３００及び３０２においては、Ｘ方向に９個のプロットが設けられ、Ｙ方向に９個のプロットが設けられ、合計８１個のプロットが設けられている。なお、マトリクス３００及び３０２のその他の形態は、上述したマトリクス２００の内容を適用することができる。

　まず、図２３に示すように、第１の試験条件で試験されたＤＵＴの試験結果について上述したステップＳ１０１～Ｓ１２１の各ステップにより、当該試験結果が特定されたプロットを得る（Ｓ３０１）。具体的には、図２１に示されるマトリクス３００を得る。図２１において、試験結果が特定されたプロットについては良（Ｐ）又は否（Ｆ）の符号が付されており、試験結果が特定されなかったプロットについては空白となっている。

　次に、第１の試験条件とは異なる第２の試験条件で試験されたＤＵＴの試験結果について、第１の試験条件で得られたプロットにおいて、当該試験結果を得る（Ｓ３０３）。そして、第１の試験条件における試験結果と、第２の試験条件における試験結果とを対比して、ＤＵＴの特性を求める（Ｓ３０５）。かかるステップは、上述したステップＳ１０１（Ｓ２０１～Ｓ２１７を含む）～Ｓ１２１において適用することができる。

　すなわち、まず、図２４に示すように、ステップＳ２０１及びＳ２０３に従い、第１の試験パラメータの１つの値を選択し、次に第２の試験パラメータの１つの値を選択し、これらにより選択される１つのプロット（１，９）の試験結果を特定する。この場合、プロット（１，９）は、第１の試験条件においては良（Ｐ）を示し（図２１参照）、第２の試験条件においても良（Ｐ）を示すので（図２２参照）、それぞれの結果を対比すると、最終的には試験結果は良（Ｐ）となる。

　次に、ステップＳ２０５及びＳ２０７に従い、プロット（５，９）の試験結果を特定する。この場合、プロット（５，９）は、第１の試験条件においては否（Ｆ）を示す一方で（図２１参照）、第２の試験条件においては良（Ｐ）を示すところ（図２２参照）、それぞれの結果を対比すると、最終的には試験結果は否（Ｆ）となる。

　その後、ステップＳ２０９～Ｓ２１５を繰り返し行い、否（Ｆ）を示すプロット（３，９）、否（Ｆ）を示すプロット（２，９）を特定する。こうして、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対（１，９）及び（２，９）を特定することができる。なお、プロット（２，９）を特定した後、第２の試験パラメータを最大値ＸＭＡＸ及び最小値ＸＭＩＮを選択するように変位させ、否（Ｆ）を示すプロット（９，９）を特定してもよい。

　その後、上述したように必要に応じてステップ２０１～２１７を繰り返し行ってステップＳ１０１を完結させ、その後残りのステップＳ１０３～Ｓ１２１を行い、試験を終了してもよい。こうして、図２６に示すように、第１及び第２の試験条件でのＤＵＴの試験結果に基づく、ＤＵＴの特性を得ることができる。

　なお、第２の試験条件で試験されたＤＵＴの試験結果について、第１の試験条件で得られなかったプロットにおいて当該試験結果を得る場合において、第１の試験条件で試験されたＤＵＴの試験結果に基づいて当該プロットの試験結果を推定した試験結果と対比させてもよい。例えば、第１の試験条件での試験結果が、特定されてはいないものの、否（Ｆ）であると推定されるプロットにおいては、第２の試験条件での試験結果が良（Ｐ）であったとしても、当該プロットを否（Ｆ）としてもよい。

　本変形例に係るＤＵＴの特性を求める方法によれば、第１の試験条件における試験結果と、第２の試験条件における試験結果とを対比して、ＤＵＴの特性を求めるので、試験結果が異なるプロットの境界をなるべく少ない個数のプロットを特定することで得ることができる。よって、非常に短い試験時間により、ＤＵＴの特性を求めることができる。

　上記発明の実施形態を通じて説明された実施例や応用例は、用途に応じて適宜に組み合わせて、又は変更若しくは改良を加えて用いることができ、本発明は上述した実施形態の記載に限定されるものではない。そのような組み合わせ又は変更若しくは改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

Claims

　被試験デバイスを試験するための第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、前記被試験デバイスの良否を少なくとも示す試験結果を用いて、前記被試験デバイスの特性を求める方法であって、
　（ａ）前記マトリクスにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップと、
　（ｂ）前記ステップ（ａ）で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと、
　（ｃ）前記ステップ（ａ）及び（ｂ）において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するステップと、
　（ｄ）前記ステップ（ｃ）において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと
を含む、方法。
　（ｅ）前記ステップ（ｃ）で選択されたプロット対及び前記ステップ（ｄ）で特定されたプロット対を含むように、前記領域をシフトするステップをさらに含む、請求項１記載の方法。
　（ｆ）シフトされた前記領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を選択するステップと、
　（ｇ）前記ステップ（ｆ）で選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対を特定するステップと、
　（ｈ）前記ステップ（ｆ）で選択されたプロット対及び前記ステップ（ｇ）で特定されたプロット対を含むように、前記領域をさらにシフトするステップと、
　（ｉ）前記マトリクスにおいて、前記第１又は第２の試験パラメータの最大値又は最小値のプロットに隣接するまで、前記ステップ（ｆ）～（ｈ）を繰り返すステップと
をさらに含む、請求項２記載の方法。
　前記ステップ（ａ）は、前記第１の試験パラメータを１つの値について、前記第２の試験パラメータの値を変位させて、前記プロット対の試験結果を特定することを含む、請求項１から３のいずれかに記載の方法。
　前記ステップ（ａ）は、少なくとも前記第２の試験パラメータを最大値及び最小値を選択するように変位させることを含む、請求項５記載の方法。
　前記ステップ（ａ）は、
　（ａ１）前記第２の試験パラメータから選択されたプロットの試験結果を特定するステップと、
　（ａ２）少なくとも１つのプロットをスキップさせるように、前記第２の試験パラメータを変位させるステップと、
　（ａ３）前記第２の試験パラメータの前記変位によって選択されたプロットの試験結果を特定するステップと
を含む、請求項５記載の方法。
　前記ステップ（ａ）は、
　（ａ４）前記２つのプロットの試験結果を比較するステップと、
　（ａ５）前記ステップ（ａ４）の結果、両者の試験結果が異なる場合には、前記第２の試験パラメータの値を反対方向に変位させ、両者の試験結果が同じ場合には、前記第２の試験パラメータの値を同一方向にさらに変位させるステップと
　（ａ６）前記第２の試験パラメータの前記変位によって選択されたプロットの試験結果を特定するステップと
　（ａ７）隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対が特定されるまで、前記ステップ（ａ４）～（ａ７）を繰り返すステップと
を含む、請求項６記載の方法。
　第１の試験条件で試験された前記被試験デバイスの試験結果について前記各ステップを行うことにより、当該試験結果が特定された前記プロットを得るステップと、
　第１の試験条件とは異なる第２の試験条件で試験された前記被試験デバイスの試験結果について、前記第１の試験条件で得られた前記プロットにおいて、当該試験結果を得るステップと、
　前記第１の試験条件における試験結果と、前記第２の試験条件における試験結果とを対比して、前記特性を求めるステップと
をさらに含む、請求項１から７のいずれかに記載の方法。
　被試験デバイスを試験するための第１の試験パラメータと第２の試験パラメータとの組み合わせで規定されるプロットが２次元に配列されたマトリクスにおいて、前記被試験デバイスの良否を少なくとも示す試験結果を用いて、前記被試験デバイスの特性を求める方法を、コンピュータに実行させるためのプログラムであって、前記方法が、
　（ａ）前記マトリクスにおいて、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を示すプロット対を少なくとも１つ特定するステップと、
　（ｂ）前記ステップ（ａ）で特定されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと、
　（ｃ）前記ステップ（ａ）及び（ｂ）において特定されたプロット対を含む領域において、隣同士のプロットからなり異なる試験結果を特定するプロット対を選択するステップと、
　（ｄ）前記ステップ（ｃ）において選択されたプロット対の両方のプロットに隣接し、隣同士のプロットからなるプロット対の試験結果を特定するステップと
を含む、プログラム。
　請求項９記載のプログラムを格納したコンピュータ読取可能な記録媒体。