JP4826788B2

JP4826788B2 - デバイステスタ

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Publication number: JP4826788B2
Application number: JP2006330259A
Authority: JP
Inventors: 由子嘉嶋
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2006-12-07
Filing date: 2006-12-07
Publication date: 2011-11-30
Anticipated expiration: 2026-12-07
Also published as: JP2008145157A

Description

本発明は、シュムーツールを利用してシュムーデータを閲覧することが可能なデバイステスタに関する。

近年、集積回路（ＩＣ：ＩｎｔｅｇｒａｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔ）の大容量化、高速化、小型化（高密度化）が進んでいる。かかる集積回路を有するデバイスでは、集積回路の高密度化に伴って、電気的機能試験も高速かつ複雑な工程が要求されている。このような電気的機能試験を遂行するデバイステスタでは、被試験デバイス（ＤｅｖｉｃｅＵｎｄｅｒＴｅｓｔ：以下「ＤＵＴ」という。）、例えば、各種マイコンやメモリに対して、アクセスタイムマージン等の機能試験が行われている。

デバイステスタにおいては、ＤＵＴに設定された電圧や入出力タイミング等相関のある試験パラメータを変化させてＤＵＴの電気的特性を導出するシュムー（例えば、特許文献１参照）を遂行することができる。また、デバイステスタには、単一のＤＵＴに対するシュムーだけでなく、複数のＤＵＴを纏めて試験し、各ＤＵＴの電気的特性をそれぞれ独立して導出するマルチシュムー機能も装備されている。

このようなシュムーの結果データであるシュムーデータをグラフィカルに選択表示するシュムーツールを用いて、ユーザは視覚的にＤＵＴの特性を把握することが可能となる。

図７は、シュムーツールのユーザインターフェース１０を示した外観図である。シュムーツールは、デバイステスタの中央制御部で処理され、このユーザインターフェース１０を介してシュムーデータを表示する。シュムーツールのユーザインターフェース１０は、表示するＤＵＴを指定するための表示ＤＵＴボックス１２と、そのＤＵＴのシュムーデータをグラフィカルに表すメインエリア１４とを含んでいる。かかる表示ＤＵＴボックス１２に、例えば「３」を入力すると、デバイス番号として「３」が付されているＤＵＴのシュムーデータがメインエリア１４に表示される。

図７の例では、シュムーツールが電圧パラメータとタイミングパラメータとを自動的に変更し、そのパラメータが示す範囲内に実際の測定値が含まれるかどうか（パス／フェイル）が検査される。具体的には、ＤＵＴへの所定の入力信号から所定範囲（ＳＴＢ０）０〜３２０ｎｓｅｃ後に検知した出力電圧が、許容範囲、特に範囲の上限（ＶＯＨ）０〜４Ｖ内に入っているかどうか調査される。例えば、デバイス番号「３」のＤＵＴでは、所定の入力信号から１７６ｎｓｅｃ遅れた時点のＤＵＴの出力が０〜３Ｖの範囲内に入っているので、ＳＴＢ０＝１７６ｎｓｅｃ、ＶＯＨ＝３Ｖの部分データ１６は「パス」となる。このようにシュムーデータは、部分データとしての複数のセルをマス目状に配列して形成され、パスした部分データとフェイルした部分データとが相異する色で表される。

測定の順番としては、例えば、範囲の上限（ＶＯＨ）から適切な電圧を選び、その電圧範囲においてＳＴＢ０を順次シフトさせて出力信号を測定する。ＳＴＢ０のシフトが一通り完了すると、範囲の上限（ＶＯＨ）を変化させて、ＳＴＢ０のシフトを最初から繰り返す。かかるシュムーツールは、このようなシュムーデータの表示だけでなく、シュムーデータを部分的に拡大して見せたり、シュムーデータや各パラメータ値をテスタメモリに格納したりすることができる。
特開２００３−３１５４１８号公報

しかし、従来のシュムーツールにおいては、上述したマルチシュムー機能を用いて複数のＤＵＴを纏めて試験したとしても、シュムーツールのユーザインターフェースへの表示は一つ分に限られており、２以上のシュムーデータを比較するためにはそれぞれのシュムーデータを別のタイミングでメインエリアに表示し、ユーザの記憶を元に差異点を推測せざるを得なかった。また、複数のＤＵＴのシュムーデータを連続して確認する際にも順次メインエリアに表示することしかできず、複数のシュムーデータを同時に目視することができなかった。

また、複数のシュムーデータ同士を論理計算しようとした場合、シュムーツール上でモードを変更し、その対象となるＤＵＴのシュムーを再度実行して、試験と同時に部分データ単位で論理和を計算するといった処理を要していた。このように、従来のシュムーツールは、単一のＤＵＴのシュムーデータを閲覧するには十分な機能を備えているが、複数のＤＵＴの相関を得るには機能に乏しく、また、その都度シュムーが実行されるので、シュムー１回につき１０秒から１時間といった不要な解析時間を費やしていた。近年、デバイステスタの対象となるＤＵＴも高密度化、複雑化しており、シュムーツールによるこのような長時間の解析時間は、デバイス試験の時間効率の低下を招いていた。

さらに、従来のシュムーツールには論理計算として論理和しか準備されておらず、十分な解析を行うことができなかった。

本発明は、従来のデバイステスタが有する上記問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向の把握が容易となり、また、複数のＤＵＴの相関を、再度のシュムー取得無しに、様々な論理式を用いて計算することが可能な、新規かつ改良されたデバイステスタを提供することである。

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、複数の被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、取得した複数のシュムーデータをテスタメモリに記憶するデータ記憶部と、シュムーデータを表示部に選択表示するためのシュムーツールを通じて前記複数のシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、前記選択された１または２以上のシュムーデータを表示部に一度に並置して表示するプレビュー機能部とを備え、前記被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタにおいて、
前記複数のシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示するデバイス表示部を含み、
前記データ選択部は、前記表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させ、
任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示する部分抽出部をさらに含むことを特徴とする、デバイステスタが提供される。

かかるプレビュー機能部の構成により、複数のシュムーデータを同時に視認可能とすることで、シュムーデータの全体的な傾向およびシュムーデータ同士の相違点を把握することが容易となる。また、複数のシュムーデータを一覧表示させているので、特定のシュムーデータ、例えば、他と相異するシュムーデータ、フェイル判定されたシュムーデータ、特定の部分データがパスまたはフェイルになっているシュムーデータ等を容易かつ短時間で特定することができる。

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、複数の前記被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、取得した複数のシュムーデータをテスタメモリに記憶するデータ記憶部と、シュムーデータを表示部に選択表示するためのシュムーツールを通じて前記複数のシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、前記選択された１または２以上のシュムーデータ同士を部分データ単位でＯＲ、ＡＮＤ、ＮＯＲ、ＮＡＮＤ、ＸＯＲ、ＸＮＯＲの群から選択された１または２以上の論理演算子による論理計算を行い、計算された相関シュムーデータを表示部に表示する相関表示部とを備え、前記被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタにおいて、
前記複数のシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示するデバイス表示部を含み、
前記データ選択部は、前記表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させ、
任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示する部分抽出部をさらに含むことを特徴とする、デバイステスタが提供される。

従来のデバイステスタでは論理計算の対象となるＤＵＴに対して再度のシュムーが行われていた。本発明では、シュムーデータの再度の取得を行うこと無しに、既に取得済みのシュムーデータを用いて複数のシュムーデータの相関を様々な論理式を用いて計算することができる。従って、シュムーデータの解析時間を短縮でき、全体的な試験時間の効率化を図ることができる。

ＯＲ、ＡＮＤ、ＮＯＲ、ＮＡＮＤ、ＸＯＲ、ＸＮＯＲの群から選択された１または２以上の論理演算子による論理計算を行うことにより、例えば、ＯＲ演算子によりシュムーデータのパスまたはフェイルの最大枠を、ＡＮＤ演算子によりパスまたはフェイルの共通枠を、ＸＯＲ演算子により２つのシュムーデータの差分を導出することができる。

複数のシュムーデータのデバイス番号を表示部に一度に並置して表示するデバイス表示部をさらに含むことにより、データ選択部は、表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させることができる。

かかる構成によりユーザは、全シュムーデータのうちの何れの範囲のシュムーデータを選択しているか、また、どの程度の量のシュムーデータを選択しているかを把握しながら新たな選択または選択の解除を行うことができるので、適切な配分および個数でシュムーデータを選択することができる。また、かかるデバイス番号の一覧は、上記シュムーデータの一覧の同一のＤＵＴに対して連動してもよく、一方を選択すると、他方にも選択されていることが表され、その対応関係を目視で容易に把握することが可能となる。

任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を表示部に一度に並置して表示する部分抽出部をさらに含む。

かかる構成により、特定の部分データがパスまたはフェイルになっている全シュムーデータを一覧形式で参照することができ、その部分データに関するパスまたはフェイルの傾向を容易に把握することができる。また、抽出されたシュムーデータをさらにプレビュー表示できるので、着目しているシュムーデータと同傾向のシュムーデータとを比較することができ、データ解析の効率化を図ることができる。

以上説明したように本発明のデバイステスタは、複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向の把握が容易となり、また、複数のＤＵＴの相関を、再度のシュムー取得無しに、様々な論理式を用いて計算することが可能となる。

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

本発明の実施形態にかかるデバイステスタは、ＤＵＴをセットした後、試験順を記したパターンプログラムに従ってＤＵＴに試験信号を印加し、それに応じてＤＵＴから出力される信号を取得する。また、デバイステスタに設けられたシュムーツールは、ＤＵＴに設定された電圧や入出力タイミング等相関のある試験パラメータを変化させてＤＵＴの電気的特性を導出する。このようなＤＵＴの試験に関する理解を容易にするため、まず、デバイステスタの全体的な構造を説明する。

（第１の実施形態：デバイステスタ１００）
図１は、第１の実施形態におけるデバイステスタ１００の概略的な構成を示すブロック図である。デバイステスタ１００は、本体１１０と、テストヘッド１２０とを含んで構成される。当該テストヘッド１２０には、パフォーマンスボード１３０が載設され、パフォーマンスボード１３０上にＤＵＴ１４０が載設される。

上記本体１１０は、表示部やキーボードからなるユーザインターフェース１１２を介して、予め設定された試験工程を遂行する中央制御部１１４が設けられている。上記テストヘッド１２０には、ＤＵＴ１４０の各デバイス端子に接続されるテスト端子と、テスト端子に接続され試験機能を遂行するピンモジュールを例えば３２個単位で備える中継カード（ＰＥ（ＰｉｎＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ）カードともいう。）１２２とが設けられる。かかる中継カード１２２は、本体１１０からの機能試験に関する指令をテスト端子に反映する。

上記パフォーマンスボード１３０は、テストヘッド１２０に嵌合可能、かつ、ＤＵＴ１４０を載設可能な構造となっており、複数のテスト端子をＤＵＴ１４０のデバイス端子に電気的に接続する。

本実施形態では、中央制御部１１４が中継カード１２２を介してＤＵＴ１４０に試験信号を印加すると共に、ＤＵＴ１４０からの信号を取り込む。このとき、デバイステスタ１００は、試験対象であるＤＵＴ１４０が、所望するタイミングで所望する電圧を出力しているかどうか（パス／フェイル）を判断する。

上記ＤＵＴ１４０をパスさせるための許容範囲は、そのＤＵＴ１４０が正常動作していると判断できる範囲でなくてはならない。しかし、その範囲の決定にはＤＵＴ１４０内の様々な電気的要素が複雑に影響しているため、その範囲を計算により一義的に決定するのは困難である。そこで、本実施形態によるシュムーツールを用いて、複数のＤＵＴ１４０の電気的特性を抽出して、適切な試験パラメータを導出し、また、そのような試験パラメータによる判定が適切に行われているかを確認する。

また、本実施形態のデバイステスタ１００においては、通常のシュムーツールを遂行するためのメインウィンドウ（図７）に加えて、複数のシュムーデータの一括表示および論理計算を遂行するサブウィンドウが提案され、複数のシュムーデータの全体的傾向および各シュムーデータ同士の相関の迅速な把握を可能としている。以下では、シュムーツールを遂行する上で必要なハードウェアを説明し、その後で、上記サブウィンドウに関する詳細な機能について説明する。

図２は、デバイステスタ１００においてシュムーツールを遂行する場合のハードウェア構成を示した機能ブロック図である。デバイステスタ１００は、中央制御部１１４と、テスタメモリ２１０と、表示部２１２と、操作部２１４とを含んで構成される。

上記中央制御部１１４は、ＣＰＵ等の集積回路からなり、デバイステスタ１００全体を管理および制御する。また、試験遂行のためのテストプログラムに応じて、中継カード１２２のＤＵＴ１４０に対する試験信号の入出力を制御する。さらに、ＤＵＴ１４０に設定された電圧や入出力タイミング等相関のある試験パラメータを変化させてＤＵＴ１４０の電気的特性を導出するシュムーを遂行することができる。

上記テスタメモリ２１０は、ＲＯＭ、ＲＡＭ、Ｅ^２ＰＲＯＭ、不揮発性ＲＡＭ、フラッシュメモリ、ＨＤＤ（ＨａｒｄＤｉｓｋＤｒｉｖｅ）等で構成され、中央制御部１１４で処理されるプログラムやシュムーツール、さらにはシュムーの実行により取得されたシュムーデータ等を記憶する。

上記表示部２１２は、カラーまたはモノクロのディスプレイで構成され、デバイス試験の試験結果や、シュムーツールのユーザインターフェースを介してシュムーデータをグラフィカルに確認することができる。

上記操作部２１４は、マウス、キーボード、十字キー、ジョイスティック等のスイッチから構成され、ユーザの操作入力を受け付ける。特に、後述する選択エリアのデバイス番号を指定するために、マウス等のポインティングデバイスを利用することができる。

以上、図２を用いてデバイステスタ１００におけるシュムーツールを遂行する場合のハードウェア構成を説明したが、以下にそのようなハードウェア上で遂行される機能および動作を詳述する。

図３は、デバイステスタ１００のシュムーツールの遂行における概略的な機能を示した機能ブロック図であり、図４は、シュムーツールのユーザインターフェース、特にサブウィンドウを表した外観図である。デバイステスタ１００の中央制御部１１４は、テスタメモリ２１０のプログラムを用いて、シュムー取得部３１０と、データ記憶部３１２と、データ選択部３１４と、デバイス表示部３１６と、プレビュー機能部３１８と、相関表示部３２０と、再表示部３２２と、部分抽出部３２４と、直前抽出部３２６として機能する。

上記シュムー取得部３１０は、シュムーを実行することで１または複数のＤＵＴ１４０のシュムーデータを取得する。シュムーは、ＤＵＴ１４０の入出力の妥当性を判断するために判定範囲を順次変化させパス／フェイルにどのような影響がでるかを調べるプログラムである。そして、導出されたシュムーデータを２次元以上のグラフとして表示部２１２にプロットすることで、全体的な特性をユーザに提供することができる。シュムーはＤＵＴ１４０の入力信号または出力信号のどちらでも定義することができる。また、取得されたシュムーデータは、このようなプロット観察の下、妥当な範囲を見極めて量産時の試験範囲をどのようにするかを決定するための参考データとなる。

上記データ記憶部３１２は、取得した複数のシュムーデータをテスタメモリ２１０に記憶する。

上記データ選択部３１４は、シュムーツールを通じて、デバイステスタ１００に記憶された複数のシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させる。

図４を参照すると、シュムーツールのサブウィンドウ４００の選択ブロック４２０における「全ＤＵＴ選択」４２２は、テスト実行可能な全てのＤＵＴ１４０を選択させる。例えば、ＤＵＴ１４０が５１２個接続されている場合、かかる「全ＤＵＴ選択」４２２を押すことで５１２個のＤＵＴ１４０が全て選択されることになる。「取得ＤＵＴ選択」４２４はシュムーデータ取得済みの全てのＤＵＴ１４０を選択させる。例えば、直前のデバイス試験で１〜２５６のＤＵＴ１４０のみシュムーを実行した場合、その取得されたＤＵＴ１４０が全て選択される。

「ＦＡＩＬＤＵＴ選択」４２６は、複数の試験工程における直前のテストでフェイルしたＤＵＴ１４０のみ選択させる。フェイルが連続して生じた場合、かかる「ＦＡＩＬＤＵＴ選択」４２６を利用して、そのフェイルが生じたＤＵＴ１４０を特定する。「選択解除」４２８は、現在選択されている全てのＤＵＴ１４０の選択を解除させる。

上記デバイス表示部３１６は、複数のシュムーデータのデバイス番号を表示部２１２の選択エリア４８０に一度に並置して表示する。

当該デバイステスタ１００では、例えば５１２個といった多くのＤＵＴ１４０を一度に試験することができ、今後もその数は増える傾向にある。従って、シュムーツール上で、ＤＵＴ１４０に対応する多くのシュムーデータから所望するシュムーデータを如何にして迅速に特定できるかが重要になる。そこで、デバイス表示部３１６は、デバイス番号を一覧表示し、データ選択部３１４は、表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させることができる。

かかる構成により、ユーザは、全シュムーデータのうちの何れの範囲のシュムーデータを選択しているか、また、どの程度の量のシュムーデータを選択しているかを把握しながら新たな選択または選択の解除を行うことができるので、適切な配分および個数でシュムーデータを選択することが可能となる。

ここで、ユーザは、マウスやタッチペン等の操作部２１４により、ポインタをデバイス番号に重ねて選択し、データ選択部３１４はその指定されたデバイス番号のシュムーデータを準備する。かかる選択は、複数のデバイス番号に対して左クリック等で行うことができ、再度同様の処理を行うとそのデバイス番号のみ選択解除することができる。また、ドラッグ等により複数のＤＵＴ１４０を一度に選択することも可能である。

上記プレビュー機能部３１８は、選択された１または２以上のシュムーデータを表示部２１２のメインエリア４９０に一度に並置して表示する。かかるプレビュー機能は、表示ブロック４３０の「プレビュー」４３４にチェックを入れることで遂行され、選択されたデバイス番号のシュムーデータがデフォルトの表示形式で表示される。かかる表示形式は、プレビューブロック４４０の各項目により変更することができる。例えば、「サイズ」４４２は、「大」、「中」、「小」のリストで形成され、画面に表示するシュムーデータのサイズを選択できる。また、「合計」４４４には選択されたＤＵＴ１４０の総数が記され、それを参照しつつ、「桁」４４６および「行」４４８を調整してユーザの所望する見やすい配置に表示形式を変更することができる。

上記プレビュー機能が遂行された後は、メインエリア４９０と選択エリア４８０とはリンクが張られ、両エリアの同一のＤＵＴ同士が表示形式に関して連動する。例えば、メインエリア４９０の一つのシュムーデータを選択すると、それに連動して選択エリア４８０のデバイス番号自体、枠または背景色が変色し、また、選択エリア４８０で新たに選択したシュムーデータがメインエリア４９０にある場合、枠色が変化する。こうして、両エリアの対応関係を目視で容易に把握することが可能となる。かかる連動機能は、複数のデバイス番号を選択した後、プレビュー画面を参照しながらさらに少数のデバイス番号を選択し直す場合等に有効である。

また、メインエリア４９０に表示されたシュムーデータを選択（ダブルクリック）すると、データ選択部３１４は、かかる選択されたシュムーデータをメインウィンドウに表示することができる。同様の操作を再度行うと、メインウィンドウに表示する上記の処理が解除される。

上記プレビュー機能部３１８の構成によって、複数のシュムーデータを同時に視認可能とすることで、シュムーデータの全体的な傾向およびシュムーデータ同士の相違点を把握することが容易となる。また、複数のシュムーデータを一覧表示させているので、特定のシュムーデータ、例えば、他と相異するシュムーデータ、フェイル判定されたシュムーデータ、特定の部分データがパスまたはフェイルになっているシュムーデータ等を容易かつ短時間で特定することができる。

上記相関表示部３２０は、データ選択部３１４によって選択された１または２以上のシュムーデータ同士を部分データ単位で論理計算し、計算された相関シュムーデータを表示部２１２のメインエリア４９０に表示する。論理計算は、重ね合わせブロック４５０の「演算子」４５２における、ＯＲ、ＡＮＤ、ＸＯＲ、ＮＡＮＤ、ＮＯＲ、ＸＮＯＲのリストで形成され、ユーザは、そこから一つの論理演算子を選択する。例えば、ＯＲ演算子によりシュムーデータのパスまたはフェイルの最大枠を、ＡＮＤ演算子によりパスまたはフェイルの共通枠を、ＸＯＲ演算子により２つのシュムーデータの差分を導出することができる。

また、メインエリア４９０に表示された相関シュムーデータを選択（ダブルクリック）すると、かかる相関シュムーデータをメインウィンドウにも表示することができる。また、相関表示部３２０とプレビュー機能部３１８を組み合わせて利用することで、例えば、プレビュー機能部３１８により、シュムーデータを５つから２つに絞った後、相関表示部３２０によりその２つの相関をとることができる。

上記再表示部３２２は、ユーザの「再表示」４６０操作により、現在選択されているシュムーデータを反映する。従って、プレビュー機能部３１８や相関表示部３２０は、当該「再表示」４６０の押圧をトリガに実行される。これは、プレビュー機能や論理計算に時間を要するため、デバイス番号を順次選択する度に計算処理が行われると負荷が重くなるからである。従って、計算処理を瞬時に遂行することが可能となれば、デバイス番号の選択毎に計算処理し、「再表示」４６０を押すことなくプレビュー機能部３１８や相関表示部３２０を実行することも可能となる。

従来のデバイステスタでは論理計算の対象となるＤＵＴに対して再度のシュムーが行われていた。本実施形態では、シュムーデータの再度の取得を行うこと無しに、既に取得済みのシュムーデータを用いて複数のシュムーデータの相関を様々な論理式を用いて計算することができる。従って、シュムーデータの解析時間を短縮でき、全体的な試験時間の効率化を図ることができる。

上記部分抽出部３２４は、任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を表示部２１２のメインエリア４９０に一度に並置して表示する。

図５は、シュムーツールのサブウィンドウの他の例を表した外観図である。ユーザは、メインエリア４９０に任意のシュムーデータを表示している状態で、特定の部分データを選択し、その後、表示ブロック４３０の「選択プロットＰ／Ｆ」４３６を押す。かかる操作により、部分抽出部３２４は、ユーザが選択した特定の部分データがパスであるかフェイルであるか判断し、同一箇所の部分データについて、最初に表示されていたシュムーデータとパス／フェイルが等しいシュムーデータを全て抽出する。そして、図５に示したように、サブウィンドウ４００のメインエリア４９０には、このように抽出されたシュムーデータのデバイス番号が一覧表示される。

かかる構成により、特定の部分データがパスまたはフェイルになっている全シュムーデータを一覧形式で参照することができ、その部分データに関するパスまたはフェイルの傾向を容易に把握することができる。また、抽出されたシュムーデータをプレビュー機能で選択表示できるので、着目しているシュムーデータと同傾向のシュムーデータとを比較することができ、データ解析の効率化を図ることができる。

上記直前抽出部３２６は、直前の試験でパスまたはフェイルになった被試験デバイスのデバイス番号を表示部２１２のメインエリア４９０に一度に並置して表示する。かかる直前抽出部３２６は、表示ブロック４３０の「直前テストＰ／Ｆ」４３８を押すことで実行可能である。

通常、デバイス試験は一連の部分試験工程からなり、各部分試験工程でそれぞれパス／フェイルが判定される。本実施形態のシュムーデータはその部分試験工程の途中段階で実行することができ、その直前の部分試験工程において何故フェイルが生じたか解析する。直前抽出部３２６による、直前の試験でパスまたはフェイルになった被試験デバイスのデバイス番号を一覧表示する構成により、解析対象のシュムーデータを短時間で特定することができ、データ解析の効率化を図ることができる。

上述したサブウィンドウ４００は、ユーザが「閉じる」４７０を押すことによって終了される。

（デバイステスト方法）
次に、上述したデバイステスタ１００を用いてシュムーデータの様々な表示を可能となるデバイステスト方法について説明する。

図６は、デバイステスト方法の全体的な流れを示したフローチャートである。図６を参照すると、デバイステスタ１００では、まず、シュムーツールを用いて試験パラメータが設定される（Ｓ６００）。そして、ユーザによるシュムーの開始信号を受けてデバイステスタ１００は、複数のＤＵＴ１４０を試験し、シュムーデータを取得する（Ｓ６０２）。このように取得されたシュムーデータはテスタメモリ２１０に格納される（Ｓ６０４）。

続いて、ユーザは、シュムーツールによるメインウィンドウに加えてサブウィンドウ４００を開く（Ｓ６０６）。サブウィンドウ４００は立ち上げ時に表示ボックス４３０の「プレビュー」４３４がデフォルトとして選択されているので、メインエリア４９０には、デバイス番号「１」のシュムーデータが表示される（Ｓ６０８）。

デバイステスタ１００は、複数のシュムーデータのデバイス番号が一覧表示される選択エリア４８０から、ユーザが表示を所望する、または論理計算を所望するデバイス番号を全て選択させ（Ｓ６１０）。そして、「再表示」４６０が押された時点での表示ブロック４３０の選択が「プレビュー」４３４であるか「重ね合わせ」４３２であるか判断される（Ｓ６１２）。

ここで、「プレビュー」４３４が選択されていれば、ユーザに選択されたデバイス番号のシュムーデータをプレビュー機能で表示し（Ｓ６１４）、デバイス番号の選択（Ｓ６１０）からを繰り返す。「重ね合わせ」４３２が選択されていれば、シュムーデータにおける同一箇所の部分データをシュムーデータ間で論理計算して（Ｓ６１６）、メインエリア４９０に計算結果である相関シュムーデータを表示する（Ｓ６１８）。そしてデバイス番号の選択（Ｓ６１０）からを繰り返す。このときメインエリア４９０に表示しきれなかったシュムーデータは、メインエリア４９０の横に設けられたスクロールバーを通じてスクロール表示することとなる。

以上説明したように本実施形態のデバイステスタ１００は、複数のＤＵＴのシュムーデータの全体的傾向の把握が容易となり、また、複数のＤＵＴの相関を、再度のシュムー取得無しに、様々な論理式を用いて計算することが可能となる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

なお、本明細書のデバイステスト方法における各工程は、必ずしもフローチャートとして記載された順序に沿って時系列に処理する必要はなく、並列的あるいは個別に実行される処理（例えば、並列処理あるいはオブジェクトによる処理）を含んでもよい。

本発明は、シュムーツールを利用してシュムーデータを閲覧することが可能なデバイステスタに利用可能である。

第１の実施形態におけるデバイステスタの概略的な構成を示すブロック図である。同実施形態におけるデバイステスタにおいてシュムーツールを遂行する場合のハードウェア構成を示した機能ブロック図である。同実施形態におけるデバイステスタのシュムーツールの遂行における概略的な機能を示した機能ブロック図である。同実施形態におけるシュムーツールのユーザインターフェース、特にサブウィンドウを表した外観図である。同実施形態におけるシュムーツールのサブウィンドウの他の例を表した外観図である。同実施形態におけるデバイステスト方法の全体的な流れを示したフローチャートである。従来のシュムーツールのユーザインターフェースを示した外観図である。

符号の説明

１００デバイステスタ
１４０ＤＵＴ
２１０テスタメモリ
２１２表示部
３１０シュムー取得部
３１２データ記憶部
３１４データ選択部
３１６デバイス表示部
３１８プレビュー機能部
３２０相関表示部
３２２再表示部
３２４部分抽出部
３２６直前抽出部

Claims

複数の被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、取得した複数のシュムーデータをテスタメモリに記憶するデータ記憶部と、シュムーデータを表示部に選択表示するためのシュムーツールを通じて前記複数のシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、前記選択された１または２以上のシュムーデータを表示部に一度に並置して表示するプレビュー機能部とを備え、前記被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタにおいて、
前記複数のシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示するデバイス表示部をさらに含み、
前記データ選択部は、前記表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させ、
任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示する部分抽出部をさらに含むことを特徴とする、デバイステスタ。
複数の前記被試験デバイスのシュムーデータを取得するシュムー取得部と、取得した複数のシュムーデータをテスタメモリに記憶するデータ記憶部と、シュムーデータを表示部に選択表示するためのシュムーツールを通じて前記複数のシュムーデータから１または２以上のシュムーデータをユーザに選択させるデータ選択部と、前記選択された１または２以上のシュムーデータ同士を部分データ単位でＯＲ、ＡＮＤ、ＮＯＲ、ＮＡＮＤ、ＸＯＲ、ＸＮＯＲの群から選択された１または２以上の論理演算子による論理計算を行い、計算された相関シュムーデータを表示部に表示する相関表示部とを備え、前記被試験デバイスの電気的試験を行うデバイステスタにおいて、
前記複数のシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示するデバイス表示部をさらに含み、
前記データ選択部は、前記表示されたデバイス番号のポインティングによってシュムーデータを選択させ、
任意のシュムーデータの特定の部分データと同一箇所の部分データが等しい全てのシュムーデータのデバイス番号を前記表示部に一度に並置して表示する部分抽出部をさらに含むことを特徴とする、デバイステスタ。