JP4930123B2 - 半導体試験装置、ウエハマップ表示装置及びウエハマップ表示プログラム - Google Patents

Description

本発明は、半導体デバイス等の被試験対象に対して試験を行った試験結果をウエハマップとして表示する機能を有した半導体試験装置に係り、特に試験の進行に従って試験結果を順々に表示する構成に関するものである。

また本発明は、半導体試験装置により被試験対象に対して行われた試験結果をウエハマップとして表示するウエハマップ表示装置に関する。さらに本発明は、半導体試験装置に接続して用いられるコンピュータにより実行可能なウエハマップ表示プログラムに関する。

従来、半導体デバイス等の被試験対象（以下、ＤＵＴと称する。）に対して、試験信号を出力して動作確認の試験を行う半導体試験装置では、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴそれぞれに対して試験を行い、試験の進行に従って試験が行われたＤＵＴから順々に試験結果をウエハマップとして画像表示することで、ユーザが試験を行いながらリアルタイムに各ＤＵＴの試験結果を確認できるようになっている。

以下の特許文献１に記載された操作装置では、操作画面の各画面要素に対応したＧＵＩ（Graphical User Interface）定義体を定義体格納手段に格納しておき、この定義体格納手段からカスタマイズに応じた所望のＧＵＩ定義体を読み出し、読み出したＧＵＩ定義体をカスタマイズ情報として定義体情報格納手段に格納して、このカスタマイズ情報に基づいてカスタマイズ画面を生成している。
特開２００１−２０９５２０号公報（図１）

また、従来の半導体試験装置では、以下のようにしてウエハ上に形成された各ＤＵＴの試験結果をリアルタイムに表示している。図９は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴの試験結果を縮小表示したウエハマップ全体を示す説明図である。また図１０は、図９に示すウエハマップで試験の進行に従って最後に試験が行われたＤＵＴの周辺部分を拡大表示した説明図である。このウエハマップでは、ウエハ上の各ＤＵＴに対して行われた試験結果が試験の進行に従って、各ＤＵＴごとに順々に表示されていく。このとき図９に示す説明図では、各ＤＵＴに対する試験結果が例えば試験において良品（パス）と判定されたＤＵＴは画面上で緑色（図中のマークなし部分）、不良品（フェイル）と判定されたＤＵＴは画面上で赤色（図中の黒色マーク部分）として異なる表示色で表示されている。

そして、図１０に示す説明図では各ＤＵＴに対する試験結果がパス／フェイル別で異なる表示色で表示されている。図１０ではパスと判定されたＤＵＴを薄いハッチングで示し、フェイルと判定されたＤＵＴを濃いハッチングで示す。またフェイルと判定されたＤＵＴについては、フェイルの種別等を示すカテゴリ情報が合わせて表示されている。ユーザは、このウエハマップを見ながら、試験の進行に従ってリアルタイムに各ＤＵＴの試験結果を確認することができる。

しかしながら、このような従来技術における半導体試験装置では、以下のような問題があった。即ち、半導体試験装置は、コンタクトプローブを通じて同時に複数のＤＵＴにコンタクトし、これらを同時に試験することができる。そして表示装置では、同時に試験が行われた複数のＤＵＴのグループごとに順々に試験結果がウエハマップ上に表示されていく。この間、ウエハマップ上にはＤＵＴごとに試験結果のパス／フェイルの情報とともに、フェイルについてはカテゴリ等の情報が漫然と更新表示されていくだけであり、ウエハマップ上で最新の試験結果に対応するＤＵＴの配置がいずれであるのかをユーザが区別して視認することが難しいという問題があった。

また、同時に試験が行われる複数のＤＵＴについて、パス／フェイルの違いは個々に表示されるものの、その中で複数のＤＵＴ同士を識別するための情報（例えばＤＵＴ番号１〜ｎ）がウエハマップ上には表示されないので、ユーザにはパス／フェイルの試験結果とＤＵＴ番号とを直ちに結びつけて認識することができないという問題もあった。

そこで本発明は、ウエハマップ上で最新の試験結果を表すＤＵＴの配置や、複数のＤＵＴを相互に識別するための情報をユーザが容易に把握しながらリアルタイムに確認することができる技術の提供を課題とする。

以上のような課題を達成するために、本発明に係る半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、前記結果表示手段によりウエハマップ上に表示される試験結果について、前記試験の進行に従って最後に試験が行われた被試験対象に対応する試験結果を強調表示する強調表示手段とを備えたことを特徴とする。

本発明によれば、試験の進行に従って最後に表示される試験結果が強調表示されるので、現時点で最新の試験結果をリアルタイムにユーザが確認することができ、ウエハ上でどこまで試験が進行したか（試験の進行状況）を容易に把握することができる。

また、本発明に係る他の半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えたことを特徴とする。

このような構成により、各被試験対象に対する試験の進行に従って順次、ウエハマップ上に試験結果が表示されていく過程で、ユーザは最新の試験結果とそれ以前の試験結果とを容易に判別することができる。なお、最新の試験結果とそれ以前の試験結果とで互いに表示態様を異ならせる手段として、その表示色（色調）や明るさ（明度）を異ならせたり、あるいは、最新の試験結果を点滅表示させ、それ以前の試験結果を非点滅表示させたりするものが挙げられる。

上述の半導体試験装置において、前記表示態様変更手段は、前記結果表示手段により表示される試験結果に対して、試験において良品と判定された被試験対象と、不良品と判定された被試験対象とで更に表示色を異ならせることとしても良い。このような構成により、試験結果としてパスまたはフェイルと判定された被試験対象をユーザが容易に把握して確認することができる。

本発明に係る他の半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを、所定の表示画面内に画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により最後に試験が行われた被試験対象の試験結果を前記表示画面内の所定位置に配置するべく、前記画像表示手段により表示されたウエハマップの画像を前記所定位置に対して相対的に移動させる位置表示手段とを備えたことを特徴とする。

このような構成により、位置表示手段により試験の進行に従って最後に試験結果が表示される被試験対象が、例えば表示画面の中央部分等の見やすい所定の位置に常に表示されるので、試験の進行に従って現時点で試験が行われている被試験対象（最新の試験結果）をユーザがリアルタイムで容易に確認することができる。

更に、本発明に係る他の半導体試験装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により同時に試験が行われた複数の被試験対象を相互に識別するためのロケーション情報を表示するロケーション表示手段とを備えたことを特徴とする。

このような構成により、ユーザはウエハマップ上に表示されるロケーション情報に基づき、現時点で同時に試験が行われた複数の被試験対象を容易に識別することができる。この場合、ロケーション情報を１〜ｎ等の番号で表せば、ユーザは、どの番号の被試験対象の試験結果がパス／フェイルであるのかを容易に認識することができる。

本発明は、ウエハマップ表示装置として構成することもできる。ウエハマップ表示装置は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象について、前記ウエハ上での配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、各被試験対象に対して実行される試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験の進行に従って最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えて構成される。

また本発明は、ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う半導体試験装置に接続されるコンピュータにより実行可能なウエハマップ表示プログラムとして構成することもできる。ウエハマップ表示プログラムは、ウエハ上に形成された複数の被試験対象について、前記ウエハ上での配置を示すウエハマップの画像を所定の表示画面内に表示させる手順と、前記表示画面内に表示されたウエハマップ上に、前記半導体試験装置により実行される試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示させる手順と、前記表示画面内のウエハマップ上に表示される試験結果について、前記半導体試験装置により最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる手順とを実行させるものである。

本発明に係る半導体試験装置によれば、最新の試験結果を表す被試験対象の配置や、複数の被試験対象を相互に識別するための情報を、ユーザがウエハマップ上でリアルタイムに認識することができる。

以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。
図１は、本発明に係る半導体試験装置の一実施形態である半導体試験装置１００の構成例を示した説明図である。半導体試験装置１００は、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して動作確認等の試験を行っていき、試験の進行に従って試験結果を順々にウエハマップの各ＤＵＴに表示する装置である。

半導体試験装置１００は、各ＤＵＴに対して試験を行った試験結果をリアルタイムに表示する処理等を行う情報処理部１１０と、試験時の装置内の各部の制御や電源供給等を行う装置本体１２０と、各種のピンカードが実装されてウエハ上の各ＤＵＴにプローブを接触させて試験を実際に行うテストヘッド１３０とから構成されている。

情報処理部１１０は、情報処理部１１０内の各構成要素の動作を制御する制御部１１１と、ウエハマップや試験結果等の情報を画像表示するための処理を行う表示制御部１１２を備えている。表示制御部１１２は、装置本体１２０やテストヘッド１３０から読み出した試験を行うウエハの情報に基づいて、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴを表示したウエハマップを生成して画像表示する処理や、このウエハマップに表示された各ＤＵＴに対して試験の進行に従って試験結果を順々に表示する処理を行う。また、表示色判定部１１５により判定された表示色や、試験結果として判定されたパスやフェイルに応じた表示色を用いてＤＵＴを強調表示等する処理を行う。

表示制御部１１２は、更に試験の進行に従って最後に試験結果が表示されるＤＵＴの位置を常に画面中央に位置付けるように、ウエハマップをスクロールして平行移動させる処理を行う。

また、情報処理部１１０は、ウエハ上の各ＤＵＴや試験結果に関する情報を記憶する試験情報記憶部１１３を備えている。試験情報記憶部１１３は、ウエハ上の各ＤＵＴの試験結果の情報と、各ＤＵＴを識別するためのウエハ上の座標を示す座標情報と、各ＤＵＴのロケーション情報とを関連付けて記憶する機能を有する。ここで、ロケーション情報とは、テストヘッド１３０に接続された複数のプローブのそれぞれに対応して同時に試験を行うことが可能な複数のＤＵＴのうち、図６に示すように、これらのＤＵＴを識別するためのそれぞれの配置（互いの位置関係）を示すＤＵＴ番号を含む情報である。例えば図６（ａ），（ｂ）では、４個のＤＵＴが正方形状に並べられており、その中でＤＵＴ同士を識別するためのＤＵＴ番号が個々に割り振られている。また図６（ｃ）では、４個のＤＵＴが斜め一列に並べられており、その中でＤＵＴ同士を識別するためのＤＵＴ番号が個々に割り振られている。

情報処理部１１０は、テストヘッド１３０からロケーション情報等を検出して読み出すロケーション情報検出部１１４を備えている。ロケーション情報検出部１１４は、各ＤＵＴの試験結果や座標情報とロケーション情報とを関連付けて試験情報記憶部１１３に記憶させる。また、ロケーション情報は、ウエハマップに表示された各ＤＵＴについて試験結果と共に表示される。

情報処理部１１０は、各ＤＵＴの試験結果として表示色を判定する処理を行う表示色判定部１１５を備えている。表示色判定部１１５は、ウエハマップに表示された各ＤＵＴに対して試験の進行に従って試験結果を順々に同時に表示する際に、試験結果や最後の試験結果の表示に応じて各ＤＵＴの表示色を判定する処理を行う。例えば、表示色判定部１１５は、現時点で最後に試験が行われたＤＵＴの試験結果を緑色または赤色を用いて強調表示し、それ以前に試験が行われたＤＵＴの試験結果を薄緑色またはピンク色を用いて表示するように判定する。具体的には、試験結果がパス（良品）と判定されたＤＵＴの表示色は緑色または薄緑色であり、フェイル（不良）と判定されたＤＵＴの表示色は赤色またはピンク色である。

情報処理部１１０は、更にウエハマップや試験結果等の情報を画像表示するモニタやディスプレイ等を用いた画像表示部１１６を備えている。

続いて、本実施の形態における半導体試験装置１００の動作について図２〜図６に示すウエハマップを画像表示した画面の説明図を用いて説明する。以下に説明する各機能は、ユーザの操作に応じて実行するか否かを選択することができる。

（ＤＵＴテスト結果強調機能）
まず、現時点で最後に行われた試験結果を強調表示するＤＵＴテスト結果強調機能について説明する。半導体試験装置１００の稼働に伴い、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対してプローブを接触させて試験信号の出力や信号の判定等を行い、１つのウエハ上で順々に試験を行っていく。情報処理部１１０の制御部１１１は、試験が行われたＤＵＴから順々に、パスまたはフェイルの試験結果や、フェイルと判定された場合の種別を示すカテゴリ情報を装置本体１２０から取得し、これをＤＵＴの座標情報と関連付けて試験情報記憶部１１３に記憶させる。

そして、制御部１１１は、表示制御部１１２により試験情報記憶部１１３に記憶された試験結果の情報に対応するＤＵＴを座標情報によって特定し、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験の進行と同時にリアルタイムで試験結果の情報を順々に表示していく処理を行う。

このとき表示色判定部１１５は、現時点で最後に試験結果を表示するＤＵＴについて、パスと判定されている場合に表示色を緑色とし、フェイルと判定されている場合に表示色を赤色として判定する。

そして表示制御部１１２は、表示色判定部１１５の判定結果に基づき、現時点で最後に試験結果を表示するＤＵＴについて試験結果を緑色または赤色の表示色で画像表示し、それ以前の試験結果を薄緑色またはピンク色の表示色で画像表示する。

このように、ＤＵＴテスト結果強調機能では、最後に試験結果を表示するＤＵＴが他のＤＵＴと異なる表示色で強調表示されるので、ユーザは表示色を確認することで同時に試験が行われた複数のＤＵＴごとに試験結果を確認することができるし、ウエハマップ上で試験の進行状況を視覚的に把握することができる。また最後の試験結果とそれ以前のものとで表示色の違いはあっても、パスについては緑色系、フェイルについては赤色系で統一されているため、ウエハマップ上では全体的な色彩からパスまたはフェイルと判定されたＤＵＴの配置を容易に把握して確認することができる。

（ＤＵＴテスト結果表示位置固定機能）
次に、試験の進行に従って最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置を常に同じ位置に固定するＤＵＴテスト結果表示位置固定機能について説明する。半導体試験装置１００が、装置本体１２０やテストヘッド１３０によって、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して順々に試験を行っていくと、制御部１１１は、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験の進行と同時にリアルタイムで試験結果の情報を順々に表示していく処理を行う。

図３に示すように、制御部１１１は、表示制御部１１２により現時点で最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置が画像表示範囲の中央となるように、画像表示部１１６に表示されたウエハマップ全体をウエハマップをスクロールして平行移動させる処理を行う。例えば、試験の進行に従って試験結果を表示するＤＵＴの位置が順々に画像表示範囲の左方向に移動している場合には、ウエハマップ全体を順々に右方向にスクロールさせて最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置が中央部分に固定されるようにする。

このように、ＤＵＴテスト結果表示位置固定機能では、試験の進行に従って最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置が常に画面中央の見やすい位置に固定されるので、ユーザはウエハマップ上で最後に試験結果が表示されたＤＵＴを容易に確認でき、試験の進行状況を把握することができる。また、複数のプローブのそれぞれに対応して同時に試験が行われた複数のＤＵＴごとの配置（並び）を見ながら試験結果を確認できる。

なお、ここでは半導体試験装置１００が同時に４個のＤＵＴを試験する例を挙げているが、より多数（例えば３２個）のＤＵＴを同時に試験することができる場合には、図８に示すように、最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置が中央部分に固定されることになる。一方、ＤＵＴテスト結果表示位置固定機能をオフとした場合には、図４，図７に示すように、試験の進行に従って最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置が固定されず順々に移動していくことになる。

（ＤＵＴロケーション情報表示機能）
次に、試験の進行に従って最後に試験結果を表示するＤＵＴの位置を常に同じ位置に固定するＤＵＴロケーション情報表示機能について説明する。半導体試験装置１００が、装置本体１２０やテストヘッド１３０によって、ウエハ上に形成された複数のＤＵＴに対して順々に試験を行っていくと、制御部１１１は、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験の進行と同時にリアルタイムで試験結果の情報を順々に表示していく処理を行う。

このとき、制御部１１１は、ロケーション情報検出部１１４により試験の進行に従って試験が行われたＤＵＴから順々に、ロケーション情報を取得する処理を行う。具体的には、試験が行われた各ＤＵＴに対応するロケーション情報を装置本体１２０から検出して取得し、これをＤＵＴの座標情報と関連付けて試験情報記憶部１１３に記憶させる。

そして制御部１１１は、取得したロケーション情報に対応するＤＵＴを座標情報によって特定し、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験の進行と同時にリアルタイムで試験結果の情報としてカテゴリ情報の代わりにロケーション情報を順々に表示していく処理を行う（図６参照）。

このように、ＤＵＴロケーション情報表示機能では、ウエハマップの各ＤＵＴにロケーション情報が順々に表示されるので、ユーザはロケーション情報を見て、ウエハマップ上でＤＵＴ同志の位置関係を把握しながら、試験の進行に従って試験結果をリアルタイムに確認することができる。

〔ウエハマップ表示装置，ウエハマップ表示プログラム〕
本実施形態の半導体試験装置１００について、情報処理部１１０を例えば汎用のパーソナルコンピュータから構成することで、これをウエハマップ表示装置として実施することができる。

さらに、上述した情報処理部１１０が行う処理の手順をコンピュータプログラムとして構成し、このプログラムを記憶媒体（例えばハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ）に格納しておくことができる。このようなプログラムは、記憶媒体を介して他の汎用コンピュータにおいても実行可能であるため、これをウエハマップ表示プログラムとして実施することができる。

〔他の実施の形態〕
上述の実施の形態において、ＤＵＴロケーション情報表示機能では、ウエハマップの各ＤＵＴに対して試験結果の情報としてカテゴリ情報の代わりにロケーション情報を表示したが、これに限られず、カテゴリ情報とロケーション情報とを共に表示しても良い。

一実施形態では、最新の試験結果とそれ以前の試験結果とで表示色を異ならせているが、その他の方法で互いの表示態様を異ならせることができる。例えば、最新の試験結果をより明るく表示し、それ以前の試験結果をより暗く表示させることとしても良い。あるいは、最新の試験結果を点滅表示させ、それ以前の試験結果を非点滅表示させることとしても良い。

本実施形態の半導体試験装置の構成を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のＤＵＴにロケーション情報を表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 本実施形態の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 従来技術の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。 従来技術の半導体試験装置のウエハマップを表示した様子を示す説明図である。

符号の説明

１００ 半導体試験装置
１１０ 情報処理部
１１１ 制御部
１１２ 表示制御部
１１３ 試験情報記憶部
１１４ ロケーション情報検出部
１１５ 表示色判定部
１１６ 画像表示部
１２０ 装置本体
１３０ テストヘッド

Claims (7)

1. ウエハ上に形成された複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、被試験対象に対して行われる試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段によりウエハマップ上に表示される試験結果について、前記試験の進行に従って最後に試験が行われた被試験対象に対応する試験結果を強調表示する強調表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
2. ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、
   前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
3. 請求項２に記載された半導体試験装置において、
   前記表示態様変更手段は、
   前記結果表示手段により表示される試験結果に対して、試験において良品と判定された被試験対象と、不良品と判定された被試験対象とで更に表示色を異ならせることを特徴とする半導体試験装置。
4. ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、
   前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを、所定の表示画面内に画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により最後に試験が行われた被試験対象の試験結果を前記表示画面内の所定位置に配置するべく、前記画像表示手段により表示されたウエハマップの画像を前記所定位置に対して相対的に移動させる位置表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
5. ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う試験実行手段と、
   前記ウエハ上での複数の被試験対象の配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、前記試験実行手段による試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験実行手段により同時に試験が行われた複数の被試験対象を相互に識別するためのロケーション情報を表示するロケーション表示手段とを備えたことを特徴とする半導体試験装置。
6. ウエハ上に形成された複数の被試験対象について、前記ウエハ上での配置を示すウエハマップを画像として表示する画像表示手段と、
   前記画像表示手段により表示されたウエハマップ上に、各被試験対象に対して実行される試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示する結果表示手段と、
   前記結果表示手段により表示される試験結果について、前記試験の進行に従って最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる表示態様変更手段とを備えたことを特徴とするウエハマップ表示装置。
7. ウエハ上に形成された複数の被試験対象に対し、所定の順序で試験を行う半導体試験装置に接続されるコンピュータに、
   ウエハ上に形成された複数の被試験対象について、前記ウエハ上での配置を示すウエハマップの画像を所定の表示画面内に表示させる手順と、
   前記表示画面内に表示されたウエハマップ上に、前記半導体試験装置により実行される試験の進行に従って個々の被試験対象の試験結果をその配置に対応させて順々に表示させる手順と、
   前記表示画面内のウエハマップ上に表示される試験結果について、前記半導体試験装置により最後に試験が行われた被試験対象と、それ以前に試験が行われた被試験対象とで互いに試験結果の表示態様を異ならせる手順とを実行させるウエハマップ表示プログラム。

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