JP2010192699A - 試験結果表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】不良発生の原因や傾向をロット単位又はウェハ単位で容易に把握することができる試験結果表示装置を提供する。
【解決手段】ウェハマップ表示装置１５は、複数のウェハ上に形成されたＤＵＴに対する試験によって得られた試験結果から、ウェハ上の位置が同じであるＤＵＴについての試験結果を検索するデータ検索部２１ａと、データ検索部２１ａによって検索された試験結果を重ね合わせたウェハマップを作成するウェハマップ作成部２１ｂと、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップを表示装置１５ｂに表示する表示制御部２２とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、半導体デバイス等の被試験対象の試験結果を表示する試験結果表示装置に関する。

半導体デバイス等の被試験対象（以下、ＤＵＴ（Device Under Test）という）の試験は、ＤＵＴがウェハ上に形成されている状態で行われる前工程試験と、ＤＵＴがチップ状に封止された状態で行われる後工程試験とに大別される。前工程試験では、ウェハに形成されたＤＵＴのうちの複数個（例えば、４個、８個等）に対してコンタクトプローブを接触させて同時に試験を行う動作が、ＤＵＴを変えながら繰り返し行われる。

以上の動作によって順次得られる試験結果（パス／フェイルの判定結果）は、試験の進行に従って、ウェハマップとしてディスプレイに順次表示される。ここで、ウェハマップとは、各ＤＵＴの試験結果を、ウェハ上における各ＤＵＴの位置に対応させて二次元状に表示したものである。ディスプレイに順次表示されるウェハマップを参照することにより、ユーザはＤＵＴの試験中にその試験結果をリアルタイムで確認することができる。

以下の特許文献１には、従来のウェハマップの表示例が開示されている。具体的には、パス（良品）と判定されたＤＵＴを緑色で表示するとともに、フェイル（不良品）と判定されたＤＵＴを赤色で表示するウェハマップの表示例が開示されている。また、フェイルと判定されたＤＵＴについては、フェイルの種別を示す情報であるカテゴリ情報を併せて表示する例が開示されている。

特開２００８−２３５３８６号公報

ところで、上記の特許文献１に開示されている表示例にてウェハマップを表示すれば、ウェハの面内におけるパスとフェイルの位置、及びその分布をリアルタイムで容易に把握することはできる。しかしながら、カテゴリ情報については、ウェハマップの更新に合わせて漫然と更新表示されるだけであるため、ユーザがこのカテゴリ情報を参照してフェイルの原因を容易に把握することは困難であるという問題があった。

また、前工程試験では、複数枚（例えば、２５枚）のウェハを単位としたロット単位で試験が行われるのが一般的である。上記の特許文献１に開示されている表示例を用いてウェハマップを表示すれば、ロットに含まれる個々のウェハについてのフェイルの分布等を詳細且つ容易に把握することはできる。しかしながら、かかる表示を見ただけではロット内におけるフェイルの発生状況や傾向をユーザが容易に把握することは困難であるという問題があった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、不良発生の原因や傾向をロット単位又はウェハ単位で容易に把握することができる試験結果表示装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の試験結果表示装置は、ウェハ（Ｗ）上に形成された被試験対象の試験結果をウェハマップとして表示する試験結果表示装置（１５）において、複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験によって得られた試験結果から、ウェハ上の位置が同じである被試験対象についての試験結果を検索する検索部（２１ａ）と、前記検索部によって検索された試験結果を重ね合わせたウェハマップを作成する作成部（２１ｂ）と、前記作成部で作成された前記ウェハマップを表示装置（１５ｂ）に表示する表示制御部（２２）とを備えることを特徴としている。
この発明によると、複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験によって得られた試験結果から、ウェハ上の位置が同じである被試験対象についての試験結果が検索部によって検索され、検索された試験結果を重ね合わせたウェハマップが作成部によって作成され、表示制御部の制御の下で表示装置に表示される。
また、本発明の試験結果表示装置は、前記作成部が、前記検索部によって検索された試験結果のうちのフェイルを示す試験結果の数に応じて異なる強調表示がなされるウェハマップを作成することを特徴としている。
また、本発明の試験結果表示装置は、前記作成部が、前記強調表示を行った部分に対して、フェイルの種別を示す情報であるカテゴリ情報を付したウェハマップを作成することを特徴としている。
また、本発明の試験結果表示装置は、前記作成部によって前記ウェハマップに付される前記カテゴリ情報が、重ね合わせを行う試験結果のうちの最上位に位置するウェハ上に形成された被試験対象の試験結果についてのカテゴリ情報であることを特徴としている。
また、本発明の試験結果表示装置は、ユーザの指示を入力装置（１５ａ）と、前記入力装置から入力されるユーザの指示に基づいて、前記ウェハの重ね合わせ順を変更する変更部（２１ｃ）とを備えており、前記作成部は、前記変更部の変更内容に応じて前記ウェハマップに付す前記カテゴリ情報を変更することを特徴としている。
また、本発明の試験結果表示装置は、前記作成部が、前記複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験の実行単位を示す単位情報（Ｇ）を付したウェハマップを作成することを特徴としている。

本発明によれば、複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験によって得られた試験結果から、ウェハ上の位置が同じである被試験対象についての試験結果を検索し、検索した試験結果を重ね合わせたウェハマップを作成して表示装置に表示しているため、不良発生の原因や傾向をロット単位又はウェハ単位で容易に把握することができるという効果がある。

本発明の一実施形態による試験結果表示装置を備える半導体試験システムを模式的に示す図である。 ウェハマップ表示装置１５が備える本体部１５ｃの要部構成を示すブロック図である。 「全カテゴリ表示モード」が指定された場合のウェハマップ表示装置１５の動作を示すフローチャートである。 「フェイル表示モード」が指定された場合のウェハマップ表示装置１５の動作を示すフローチャートである。 「特定ＤＵＴ表示モード」が指定された場合のウェハマップ表示装置１５の動作を示すフローチャートである。 「単一カテゴリ表示モード」が指定された場合のウェハマップ表示装置１５の動作を示すフローチャートである。 ウェハマップ表示装置１５におけるウェハマップの表示例を示す図である

以下、図面を参照して本発明の一実施形態による試験結果表示装置について詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態による試験結果表示装置を備える半導体試験システムを模式的に示す図である。図１に示す通り、半導体試験システム１は、半導体試験装置１１、プローブカード１２、プローバ１３、データ格納装置１４、及びウェハマップ表示装置１５（試験結果表示装置）を備えており、ウェハＷ上に形成された複数のＤＵＴ（図示省略）に対する試験を行うとともに、その試験結果をウェハマップとして表示する。

半導体試験装置１１は、試験装置本体１１ａ及びテストヘッド１１ｂを備えており、試験装置本体１１ａの制御の下で、テストヘッド１１ｂと電気的に接続されるウェハＷ上に形成された複数のＤＵＴに対する試験を行う。試験装置本体１１ａは、テストヘッド１１ｂに対して各種制御信号を出力してＤＵＴの試験を実施させる。また、テストヘッド１１ｂからＤＵＴの試験結果を読み出してウェハマップ表示装置１５に出力する。ここで、テストヘッド１１ｂから試験装置本体１１ａに読み出されるＤＵＴの試験結果には、ウェハＷ上に形成された各ＤＵＴのパス／フェイルを示すフェイル情報、フェイルの種別を示す情報であるカテゴリ情報、及びウェハＷの各々に一意に割り当てられるウェハＩＤ情報等が含まれる。

テストヘッド１１ｂは、試験装置本体１１ａの制御の下で、ＤＵＴの試験を行う上で必要となる試験パターンや期待値パターンを生成し、試験パターンを用いてＤＵＴに印加すべき信号を生成する。また、試験信号をＤＵＴに印加して得られる信号と期待値パターンを用いて生成される期待値とを比較してパス／フェイルの判定を行い、判定結果がフェイルである場合にはカテゴリ情報を求める。ウェハＷ上に形成されたＤＵＴの試験を行う場合には、テストヘッド１１ｂにプローブカード１２が実装され、テストヘッド１１ｂはプローブカード１２を介してウェハＷ上に形成されたＤＵＴと電気的に接続される。

プローブカード１２は、テストヘッド１１ｂとウェハＷ上に形成されたＤＵＴとを電気的に接続するための治具である。ここで、プローブカード１２は、ウェハＷ上に形成された複数のＤＵＴのうちの複数個に対して接触可能な複数のコンタクトプローブを備えている。このため、半導体試験装置１１は、コンタクトプローブが接触される複数のＤＵＴの試験を同時に行うことが可能である。尚、本実施形態では、ウェハＷ上に形成された４つのＤＵＴに対する同時試験が可能であるとする。

プローバ１３は、ウェハＷを載置した状態での水平面内の移動及び昇降が可能なステージ（図示省略）を備えており、試験装置本体１１ａの制御の下で、ウェハＷに形成されたＤＵＴをプローブカード１２のコンタクトプローブに順次接触させるものである。尚、本実施形態において、プローバ１３は、複数枚（例えば、２５枚）を単位としたロット単位でウェハＷを順次ロードして上記のステージに順次載置するものであるとする。

データ格納装置１４は、ウェハマップ表示装置１５に接続されており、試験装置本体１１ａからウェハマップ表示装置１５に出力される試験結果を格納する。このデータ格納装置１４は、例えば数百ギガバイト〜数テラバイト程度の大容量のハードディスクを用いて実現される。尚、本実施形態では、データ格納装置１４がウェハマップ表示装置１５に接続されている態様を例に挙げて説明するが、ネットワークを介して試験装置装置本体１１ａ及びウェハマップ表示装置１５に接続される態様であっても良い。かかる態様の場合には、試験装置装置本体１１ａから出力される試験結果を直接格納し、ウェハマップ表示装置１５からの要求に応じて格納した試験結果を提供するサーバ装置としてデータ格納装置１４を構成するのが望ましい。

ウェハマップ表示装置１５は、キーボードやマウス等の入力装置１５ａ、液晶表示装置等の表示装置１５ｂ、及び本体部１５ｃを備えており、試験装置本体１１ａから出力された試験結果をデータ格納装置１４に格納するとともに、データ格納装置１４に格納された試験結果を用いてウェハマップを作成して表示する。ウェハマップ表示装置１５の本体部１５ｃは、通信ケーブルＣを介して試験装置本体１１ａに接続される。また、本体部１５ｃには上記のデータ格納装置１４も接続される。尚、ウェハマップ表示装置１５は、例えば一般的なパーソナルコンピュータで実現することができる。或いは、試験装置本体１１ａ内に設けられるコンピュータや表示機能を使用しても実現が可能である。

図２は、ウェハマップ表示装置１５が備える本体部１５ｃの要部構成を示すブロック図である。図２に示す通り、ウェハマップ表示装置１５の本体部１５ｃは、ＣＰＵ２１、表示制御部２２、格納部２３、及び通信部２４を備える。ＣＰＵ２１は、本体部１５ｃの動作を統括的に制御する。また、入力装置１５ａから入力されるユーザの指示に応じて格納部２３に格納された各種プログラムをロードすることにより、それらのプログラムの機能を実現する。

ＣＰＵ２１によって格納部２３から表示プログラム２３がロードされて実行されることにより、図２に示すデータ検索部２１ａ（検索部）、ウェハマップ作成部２１ｂ（作成部）、及び重ね合わせ変更部２１ｃ（変更部）が実現される。データ検索部２１ａは、データ格納装置１４に格納された複数のウェハＷ（具体的には、１ロット分のウェハ）に対する試験結果から、ウェハＷ上の位置が同じであるＤＵＴについての試験結果を検索する。

ウェハマップ作成部２１ｂは、データ検索部２１ａによって検索された試験結果を重ね合わせたウェハマップを作成する。ここで、ウェハマップ作成部２１ｂは、データ検索部２１ａで検索された試験結果のうちのフェイルを示す試験結果の数、又はパスを示す試験結果の数に応じて異なる強調表示がなされるウェハマップを作成する。例えば、従来はフェイルと判定されたＤＵＴが赤色で表示され、パスと判定されたＤＵＴが緑色で表示されるウェハマップが生成されるだけであったが、本実施形態では、ウェハマップ作成部２１ｂによって、フェイルの数が増えるにつれて徐々に赤みが増加し、或いはパスの数が減るにつれて徐々に緑みが減少する強調表示がなされるウェハマップが作成される。

また、ウェハマップ作成部２１は、上記の強調表示を行った部分に対して、フェイルの種別を示す情報であるカテゴリ情報を付したウェハマップを作成する。ここで、カテゴリ情報としては、コンタクト不良を示す情報、リーク不良を示す情報、ストレステスト不良を示す情報、ファンクションテスト不良を示す情報等の各種情報がある。上記のコンタクト不良を示す情報とは、プローブカード１２に設けられたコンタクトプローブとウェハＷに形成されたＤＵＴとの接触不良を示す情報である。リーク不良を示す情報とは、ＤＵＴに供給される電流がリークしている旨を示す情報である。また、ストレステスト不良を示す情報とはＤＵＴに対してストレス（例えば、高電圧）をかけた場合に生じた不良である旨を示す情報であり、ファンクションテスト不良とはＤＵＴに対してパルス状の試験信号を印加した場合に期待通りの出力が得られなかった旨を示す情報である。

カテゴリ情報の各々には数字又は文字が一意に割り当てられている。このため、ウェハマップ作成部２１は、この数字等を強調表示を行った部分に付したウェハマップを作成する。ここで、ウェハマップ作成部２１ｂは、重ね合わせを行う試験結果のうち、最上位に位置するウェハ上に形成されたＤＵＴの試験結果についてのカテゴリ情報をウェハマップに付する。例えば、ロット先頭のウェハが最上位に位置し、ロット最後尾のウェハが最下位に位置する場合には、ロット先頭のウェハ上に形成されたＤＵＴの試験結果についてのカテゴリ情報をウェハマップに付する。

これは、以下の理由による。つまり、ウェハ上の位置が同じであって異なるウェハＷに形成されたＤＵＴは常に同じ原因でフェイルになるという訳ではなく、異なる原因でフェイルになる場合がある。かかる場合に、カテゴリ情報を重ね合わせ表示すると異なる数字等が重ね合わされるため、ユーザがカテゴリ情報を識別するのが困難になると考えられるからである。

また、ウェハマップ作成部２１は、データ検索部２１ａで検索された試験結果のうちからカテゴリ情報が同じ試験結果を抜き出し、抜き出した試験結果のみを重ね合わせたウェハマップを作成することも可能である。例えば、カテゴリ情報がコンタクト不良を示す情報である試験結果のみを抜き出して重ね合わせて強調表示したウェハマップを作成することが可能である。尚、このウェハマップに対してもカテゴリ情報を付することが可能である。

更に、ウェハマップ作成部２１は、ウェハＷに形成されたＤＵＴのうち、同時に試験が行われたＤＵＴを視覚的に示すグリッド（単位情報）を付したウェハマップを作成することも可能である。ここで、同時に試験が行われるＤＵＴを示す情報は、格納部２３にグループ情報ＧＩとして格納されており、ウェハマップ作成部２１は格納部２３からグループ情報ＧＩを読み出して上記のグリッドを作成する。

重ね合わせ変更部２１ｃは、入力装置１５ａから入力されるユーザの指示に応じてウェハマップ作成部２１ｂで重ね合わされる試験結果の重ね合わせ順を変更する。例えば、ロット先頭のウェハが最上位に位置し、ロット最後尾のウェハが最下位に位置する場合において、ロット先頭のウェハの位置を最下位に変更するとともにロット先頭から２番目のウェハの位置を最上位に変更することで重ね合わせ順を変更する。

表示制御部２２は、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップを表示装置１５ｂに表示する。格納部２３は、例えばハードディスクによって実現され、前述した表示プログラムＰ等の各種プログラム、及びグループ情報ＧＩ等の各種情報を格納する。尚、グループ情報ＧＩは、予めユーザによって作成されてウェハＷに形成されたＤＵＴの試験を開始する前に格納部２３に格納される。通信部２４は、ＣＰＵ２１の制御の下で、通信ケーブルＣを介した試験装置本体１１ａとの間の通信を行う。

次に、上記構成における半導体試験システムの動作について説明する。試験が開始されると、まずロット先頭のウェハＷがプローバ１３によってロードされ、プローバ１３が備える不図示のステージ上に載置される。次に、プローバ１３は、ステージを水平面内で移動させてウェハＷに形成された複数のＤＵＴのうちの最初に試験すべき４つのＤＵＴをプローブカード１２に設けられたコンタクトプローブの下方に配置させた後に、ステージを上昇させて最初に試験すべき４つのＤＵＴをコンタクトプローブに接触させる。

すると、テストヘッド１１ｂから試験信号が出力されて、プローブカード１２を介してコンタクトプローブが接触している４つのＤＵＴに印加される。試験信号がＤＵＴに印加されると、ＤＵＴからは試験信号に応じた信号が出力される。この信号はプローブカード１２を介してテストヘッド１１ｂに入力され、予め定められた期待値と比較されてパス／フェイルが判定される。尚、判定結果がフェイルである場合にはカテゴリ情報が求められる。

以上の試験結果はテストヘッド１１ｂから試験装置本体１１ａに読み出され、通信ケーブルＣを介してウェハマップ表示装置１５に向けて送信される。ウェハマップ表示装置１５は試験装置本体１１ａから送信されてきた試験信号をデータ格納装置１４に格納する。尚、試験中はユーザの設定に応じて、試験の進行に従った従来のウェハマップを作成して表示装置１５ｂに表示させることもできる。

次に、プローバ１３は、ステージを下降させた後に水平面内で移動させ、次に試験すべき４つのＤＵＴをプローブカード１２のコンタクトプローブの下方に配置する。そして、プローバ１３がステージを上昇させると、コンタクトプローブに接触している４つのＤＵＴに対する試験が行われる。以下同様に、ステージ上のウェハＷに形成されたＤＵＴに対する試験が順次行われて試験結果が順次データ格納装置１４に格納される。ロット先頭のウェハＷに対する試験が終了すると、ロットの２番のウェハＷがプローバ１３によってロードされて同様の試験が行われる。以下同様に、ロットの最後尾のウェハＷまで試験が行われる。

１ロット分のウェハＷに対する試験が終了し、ユーザが入力装置１５ａを操作して所定の指示を行うと、試験結果を重ね合わせたウェハマップの作成・表示処理が開始される。かかる処理が開始されると、まず格納部２３に格納された表示プログラムＰがＣＰＵ２１によってロードされて実行され、これにより図２に示す表示制御部２２、格納部２３、及び通信部２４が実現され、これらによって試験結果を重ね合わせたウェハマップの作成が行われる。

ここで、ウェハマップ表示装置１５は、ユーザによって指示される表示モードに応じて種々のウェハマップを表示することが可能である。ここで、ユーザによって指示される表示モードとしては、例えば「全カテゴリ表示モード」、「フェイル表示モード」、「特定ＤＵＴ表示モード」、「単一カテゴリ表示モード」が挙げられる。「全カテゴリ表示モード」とは、ロット内におけるフェイルの発生状況及び最上位に位置するウェハに関するカテゴリ情報を表示するモードであり、「フェイル表示モード」とはロット内におけるフェイルの発生状況をグリッドとともに表示するモードである。

また、「特定ＤＵＴ表示モード」とは、特定のコンタクトプローブを用いて試験されたＤＵＴについての、ロット内におけるフェイルの発生状況及び最上位に位置するウェハに関するカテゴリ情報をグリッドとともに表示するモードである。更に、「単一カテゴリ表示モード」とは、ロット内で生ずるフェイルのうちの特定のカテゴリに係るフェイルの発生状況のみを抜き出して表示する表示モードである。

図３〜図６は、それぞれ「全カテゴリ表示モード」、「フェイル表示モード」、「特定ＤＵＴ表示モード」、及び「単一カテゴリ表示モード」が指定された場合のウェハマップ表示装置１５の動作を示すフローチャートである。また、図７は、ウェハマップ表示装置１５におけるウェハマップの表示例を示す図であって、（ａ）は「全カテゴリ表示モード」時の表示例、（ｂ）は「フェイル表示モード」時の表示例、（ｃ）は「特定ＤＵＴ表示モード」の表示例、（ｄ）は「単一カテゴリ表示モード」の表示例を示す図である。以下、これらの各モードが設定された場合について順に説明する。

〔全カテゴリ表示モード〕
ユーザによって全カテゴリ表示モードが設定されると、まずウェハマップ表示装置１５のＣＰＵ２１によって、データ格納装置１４に格納された１ロット分のウェハ毎の試験結果が読み出される（ステップＳ１１）。次いで、読み出されたウェハ毎の試験結果から、ウェハ上の位置が同じＤＵＴの試験結果を検索する処理がデータ検索部２１ａによって行われる（ステップＳ１２）。この処理によって、ウェハの枚数分の試験結果が検索されることになる。次に、検索された試験結果に含まれるフェイル数がウェハマップ作成部２１ｂによってカウントされる（ステップＳ１３）。

以上の処理が終了すると、ウェハ上の全てのＤＵＴについて検索が終了したか否かが判断される（ステップＳ１４）。この判断結果が「ＮＯ」である場合には、検索すべき新たなＤＵＴを設定し、再度試験結果の検索が行われる（ステップＳ１２）。これに対し、全てのＤＵＴについて検索が終了した場合には、ステップＳ１４の判断結果が「ＹＥＳ」になり、ウェハマップ作成部２１ｂによって、カウント結果に応じて色が異なるウェハマップが作成される（ステップＳ１５）。例えば、フェイルの数が増えるにつれて緑みが減少する強調表示がなされたウェハマップが作成される。

次に、最上位に位置するウェハのカテゴリ情報を、ステップＳ１５で作成したウェハマップに付加する処理がウェハマップ作成部２１ｂによって行われる（ステップＳ１６）。例えば、ロット先頭のウェハが最上位に位置するウェハであるとすると、そのウェハ上に形成されたＤＵＴの試験結果についてのカテゴリ情報がウェハマップに付加される。以上の処理が終了すると、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップが表示制御部２２に出力され、例えば図７（ａ）に示すウェハマップが表示制御部２２の制御の下で表示装置１５に表示される（ステップＳ１７）。

全カテゴリ表示モードで表示されるウェハマップは、例えばフェイルの数が零である部分の緑みが最も高く、フェイルの数が増えるにつれて緑みが低くなり、フェイルの数がある数を超えると赤みが現れるものである。図７（ａ）に示す例では、符号Ｐ１１を付した部分が最も高い緑みで表示される部分であってフェイルの数が零の部分である。また、ウェハマップ内に点在する部分（例えば、符号Ｐ１２で指し示されている部分）は緑みが低く表示され、或いは赤色で表示される部分であって、ある程度の数のフェイルが生じた部分である。このように、ウェハマップはフェイルの数に応じて異なる強調表示がなされているのが分かる。

また、図７（ａ）を参照すると、符号Ｐ１２で指し示されている部分のように、ウェハマップ内に点在する部分には、カテゴリ情報に割り当てられた数字等（「１」，「３」，「ａ」，「ｂ」等）が表示されているのが分かる。かかる表示を参照することで、ユーザは、最上位に位置するウェハで生じたフェイルに関するカテゴリ情報（即ち、不良発生の原因）を容易に把握することができる。

ここで、ユーザが入力装置１５ａを操作して、ウェハマップに付随して表示されるボタンＢ１を押下すると、重ね合わせ変更部２１ｃによってウェハの重ね合わせ順が変更される。例えば、ロット先頭のウェハが最上位に位置し、ロット最後尾のウェハが最下位に位置する場合において、ロット先頭のウェハの位置を最下位に変更するとともにロット先頭から２番目のウェハの位置を最上位に変更される。

すると、新たに最上位に配置されたウェハのカテゴリ情報を付加したウェハマップがウェハマップ作成部２１ｂによって新たに作成され、表示制御部２２によって表示装置１５ｂに表示される。これにより、ユーザは、新たに最上位に配置されたウェハで生じたフェイルに関するカテゴリ情報を容易に把握することができる。ユーザがボタンＢ１を押下する度に、ウェハの重ね順が変更されるため、ロット内のウェハ全てについて、フェイルに関するカテゴリ情報を容易に把握することができる。

〔フェイル表示モード〕
ユーザによってフェイル表示モードが設定されると、上述した全カテゴリ表示モードが設定された場合と同様に、データ格納装置１４から１ロット分のウェハ毎の試験結果が読み出され（ステップＳ１１）、ウェハ上の位置が同じＤＵＴの試験結果が検索され（ステップＳ１２）、検索された試験結果に含まれるフェイル数がカウントされる（ステップＳ１３）。そして、ウェハ上の全てのＤＵＴについて検索が終了したと判断されるまで以上のステップＳ１１〜Ｓ１３の処理が繰り返される（ステップＳ１４）。

以上の処理が終了すると、ウェハマップ作成部２１ｂによって、カウント結果に応じて色が異なるウェハマップが作成される（ステップＳ２１）。ここでは、フェイルがより強調される態様の強調表示がなされたウェハマップが作成される。例えば、全てのフェイルが赤色で表示され、フェイルの数が増えるにつれて赤みが増加する強調表示がなされたウェハマップが作成される。

次に、格納部２３に格納されたグループ情報ＧＩがウェハマップ作成部２１ｂによって読み出され、ウェハＷに形成されたＤＵＴのうち同時に試験が行われたＤＵＴを視覚的に示すグリッドが作成される。そして、ステップＳ２１で作成したウェハマップにグリッドを付加する処理がウェハマップ作成部２１ｂによって行われる（ステップＳ２２）。以上の処理が終了すると、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップが表示制御部２２に出力され、例えば図７（ｂ）に示すウェハマップが表示制御部２２の制御の下で表示装置１５に表示される（ステップＳ２３）。

フェイル表示モードで表示されるウェハマップは、例えばフェイルの数が零である部分は緑色で表示され、フェイルが１つでも生じている部分はフェイルの数が増えるにつれて赤みが高くなるものである。図７（ｂ）に示す例では、符号Ｐ２１を付した部分は緑色で表示される部分であってフェイルの数が零の部分である。また、ウェハマップ内に点在する部分（例えば、符号Ｐ２２で指し示されている部分）はフェイルの数に応じた赤みをもって表示される部分であって、１つ以上のフェイルが生じた部分である。このように、ウェハマップはフェイルの数に応じて異なる強調表示がなされているのが分かる。

また、図７（ｂ）を参照すると、ウェハマップとともにグリッドＧが表示されているのが分かる。このグリッドＧで囲まれた矩形領域の各々は４つの領域に分けられ、これら４つの領域は同時に試験が行われた４つのＤＵＴにそれぞれ対応している。ウェハマップとともにグリッドＧを表示することで、同時に試験された４つのＤＵＴのうち、どのＤＵＴについてフェイルが多いかを容易に把握することができる。尚、図７（ｂ）に示す通り、フェイル表示モードで表示されるウェハマップには、図７（ａ）に示すカテゴリ情報が表示されず、またボタンＢ１も表示されない。

〔特定ＤＵＴ表示モード〕
ユーザによって特定ＤＵＴ表示モードが設定されると、まず特定ＤＵＴの設定が行われる（ステップＳ３１）。具体的には、ユーザが入力装置１５ａを操作して、同時に試験された４つのＤＵＴのうちの１つ（特定ＤＵＴ）を設定する処理が行われる。つまり、特定のコンタクトプローブを用いて試験されたＤＵＴを設定する処理が行われる。尚、特定ＤＵＴは１つのウェハに対して１つのみ存在する訳ではなく、試験の回数分の数だけ存在する。以上の設定が終了すると、ウェハマップ表示装置１５のＣＰＵ２１によって、データ格納装置１４に格納された１ロット分のウェハ毎の試験結果が読み出される（ステップＳ３２）。

次に、読み出されたウェハ毎の試験結果から、ステップＳ３１で設定された特定ＤＵＴであって、ウェハ上の位置が同じものの試験結果を検索する処理がデータ検索部２１ａによって行われる（ステップＳ３３）。この処理によって、特定ＤＵＴの１つについて、ウェハの枚数分の試験結果が検索されることになる。次に、検索された試験結果に含まれるフェイル数がウェハマップ作成部２１ｂによってカウントされる（ステップＳ３４）。

以上の処理が終了すると、ウェハ上の全ての特定ＤＵＴについて検索が終了したか否かが判断される（ステップＳ３５）。この判断結果が「ＮＯ」である場合には、他の特定ＤＵＴについて、試験結果の検索が行われる（ステップＳ３３）。これに対し、全ての特定ＤＵＴについて検索が終了した場合には、ステップＳ３５の判断結果が「ＹＥＳ」になり、ウェハマップ作成部２１ｂによって、カウント結果に応じて色が異なるウェハマップが作成される（ステップＳ３６）。このステップＳ３６では、例えば図４中のステップＳ２１の処理と同様の処理が行われる。

次に、最上位に位置するウェハのカテゴリ情報をステップＳ３６で作成したウェハマップに付加する処理（ステップＳ３７）、及びグループ情報ＧＩから作成したグリッドを付加する処理（ステップＳ３８）がウェハマップ作成部２１ｂによって順次行われる。以上の処理が終了すると、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップが表示制御部２２に出力され、例えば図７（ｃ）に示すウェハマップが表示制御部２２の制御の下で表示装置１５に表示される（ステップＳ３９）。

特定ＤＵＴ表示モードで表示されるウェハマップは、例えば図７（ｂ）に示すウェハマップに対してカテゴリ情報が追加されたもののうち、特定ＤＵＴに関するもののみを表示し、特定ＤＵＴ以外についてはグレー表示する（パス／フェイルの表示をしない）ものである。図７（ｃ）に示す例では、例えばＰ３１を付した部分が特定ＤＵＴに関する部分であって、符号Ｐ３２を付した部分が特定ＤＵＴ以外の部分（グレー表示される部分）である。これにより、特定ＤＵＴだけに着目してフェイルの発生状況やカテゴリ情報を容易に把握することができる。

また、図７（ｃ）を参照すると、特定ＤＵＴに関する部分であってフェイルが生じている部分に、カテゴリ情報に割り当てられた数字等が表示されており、ボタンＢ１も表示されているのが分かる。ユーザが入力装置１５ａを操作して、ウェハマップに付随して表示されるボタンＢ１を押下すると、重ね合わせ変更部２１ｃによってウェハの重ね合わせ順が変更される。このため、全カテゴリ表示モードと同様に、ロット内のウェハ全てについて、フェイルに関するカテゴリ情報を容易に把握することができる。

〔単一カテゴリ表示モード〕
ユーザによって単一カテゴリ表示モードが設定されると、まずカテゴリ情報の設定が行われる（ステップＳ４１）。具体的には、ユーザが入力装置１５ａを操作して１つのカテゴリ情報を選択し、ユーザによって選択されたカテゴリ情報を設定する処理が行われる。以上の設定が終了すると、ウェハマップ表示装置１５のＣＰＵ２１によって、データ格納装置１４に格納された１ロット分のウェハ毎の試験結果が読み出される（ステップＳ４２）。

次に、読み出されたウェハ毎の試験結果から、ウェハ上の位置が同じＤＵＴの試験結果を検索する処理がデータ検索部２１ａによって行われる（ステップＳ４３）。この処理によって、ウェハの枚数分の試験結果が検索されることになる。次いで、検索された試験結果から、カテゴリ情報がステップＳ４１で設定されたカテゴリ情報と同じであるフェイルの数のみがウェハマップ作成部２１ｂによってカウントされる（ステップＳ４４）。つまり、カテゴリ情報がステップＳ４１で設定されたカテゴリ情報と異なるフェイルの数は計数されない。

以上の処理が終了すると、ウェハ上の全てのＤＵＴについて検索が終了したか否かが判断される（ステップＳ４５）。この判断結果が「ＮＯ」である場合には、検索すべき新たなＤＵＴを設定し、再度試験結果の検索が行われる（ステップＳ４３）。これに対し、全てのＤＵＴについて検索が終了した場合には、ステップＳ４５の判断結果が「ＹＥＳ」になり、ウェハマップ作成部２１ｂによって、カウント結果に応じて色が異なるウェハマップが作成される（ステップＳ４６）。例えば、フェイルの数が増えるにつれて緑みが減少する強調表示がなされたウェハマップが作成される。

次に、ステップＳ４１で設定されたカテゴリ情報を、ステップＳ４６で作成したウェハマップに付加する処理がウェハマップ作成部２１ｂによって行われる（ステップＳ４７）。以上の処理が終了すると、ウェハマップ作成部２１ｂで作成されたウェハマップが表示制御部２２に出力され、例えば図７（ｄ）に示すウェハマップが表示制御部２２の制御の下で表示装置１５に表示される（ステップＳ４８）。

単一カテゴリ表示モードで表示されるウェハマップは、例えばフェイルの数が零である部分の緑みが最も高く、フェイルの数が増えるにつれて緑みが低くなり、フェイルの数がある数を超えると赤みが現れるものである。図７（ｄ）に示す例では、符号Ｐ４１を付した部分が最も高い緑みで表示される部分であってフェイルの数が零の部分である。また、ウェハマップ内に点在する部分（例えば、符号Ｐ４２で指し示されている部分）は緑みが低く表示され、或いは赤色で表示される部分であって、ある程度の数のフェイルが生じた部分である。このように、ウェハマップはフェイルの数に応じて異なる強調表示がなされているのが分かる。

また、図７（ｄ）を参照すると、符号Ｐ４２で指し示されている部分のように、ウェハマップ内に点在する部分には、ステップＳ４１で設定されたカテゴリ情報に割り当てられた数字等（「１」）が表示されているのが分かる。尚、図７（ｄ）に示す通り、単一カテゴリ表示モードで表示されるウェハマップには、図７（ａ），（ｃ）に示すボタンＢ１は表示されない。単一カテゴリ表示モードでは、ユーザが指定したカテゴリ情報に関するフェイル情報が抽出されて表示されるため、そのカテゴリ情報に関するフェイルのロット内における発生状況を容易に把握することができる。

以上、本発明の実施形態による試験結果表示装置について詳細に説明したが、本発明は上述した実施形態に制限されることなく、本発明の範囲内で自由に変更が可能である。例えば、以上説明した実施形態では、プローブカード１２及びプローバ１３を備える半導体試験システムに本発明を適用した例について説明したが、これらに代えて半導体チップを搬送するハンドラを備える半導体試験システムにも本発明を適用することができる。また、本発明の試験結果表示装置は、半導体試験装置１１に接続される形態以外に、半導体試験装置１１に内蔵される形態、プローバ１３又はハンドラに接続若しくは内蔵される形態であってもよい。

また、上述した実施形態では、１ロット分のウェハについての試験結果を重ね合わせて二次元のウェハマップを作成する例について説明したが、三次元のウェハマップを作成しても良い。例えば、１ロットに含まれるウェハ各々の二次元のウェハマップを積み重ねて三次元的に表現したウェハマップを作成しても良い。或いは、上述した実施形態で行われていた色分け強調表示に代えて、フェイル数に応じて長さが変化する棒グラフを三次元的に表現したウェハマップを作成しても良い。

１５ ウェハマップ表示装置
１５ａ 入力装置
１５ｂ 表示装置
２１ａ データ検索部
２１ｂ ウェハマップ作成部
２１ｃ 重ね合わせ変更部
２２ 表示制御部
Ｇ グリッド
Ｗ ウェハ

Claims (6)

1. ウェハ上に形成された被試験対象の試験結果をウェハマップとして表示する試験結果表示装置において、
   複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験によって得られた試験結果から、ウェハ上の位置が同じである被試験対象についての試験結果を検索する検索部と、
   前記検索部によって検索された試験結果を重ね合わせたウェハマップを作成する作成部と、
   前記作成部で作成された前記ウェハマップを表示装置に表示する表示制御部と
   を備えることを特徴とする試験結果表示装置。
2. 前記作成部は、前記検索部によって検索された試験結果のうちのフェイルを示す試験結果の数に応じて異なる強調表示がなされるウェハマップを作成することを特徴とする請求項１記載の試験結果表示装置。
3. 前記作成部は、前記強調表示を行った部分に対して、フェイルの種別を示す情報であるカテゴリ情報を付したウェハマップを作成することを特徴とする請求項２記載の試験結果表示装置。
4. 前記作成部によって前記ウェハマップに付される前記カテゴリ情報は、重ね合わせを行う試験結果のうちの最上位に位置するウェハ上に形成された被試験対象の試験結果についてのカテゴリ情報であることを特徴とする請求項３記載の試験結果表示装置
5. ユーザの指示を入力装置と、
   前記入力装置から入力されるユーザの指示に基づいて、前記ウェハの重ね合わせ順を変更する変更部とを備えており、
   前記作成部は、前記変更部の変更内容に応じて前記ウェハマップに付す前記カテゴリ情報を変更する
   ことを特徴とする請求項４記載の試験結果表示装置。
6. 前記作成部は、前記複数のウェハ上に形成された被試験対象に対する試験の実行単位を示す単位情報を付したウェハマップを作成することを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の試験結果表示装置。

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