JPH0669866U - 微小振幅ic測定回路 - Google Patents

微小振幅ic測定回路

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JPH0669866U
JPH0669866U JP1313793U JP1313793U JPH0669866U JP H0669866 U JPH0669866 U JP H0669866U JP 1313793 U JP1313793 U JP 1313793U JP 1313793 U JP1313793 U JP 1313793U JP H0669866 U JPH0669866 U JP H0669866U
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resistor
dut
input
transmission line
driver
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JP1313793U
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Inventor
孝行 平野
Original Assignee
安藤電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストボード上に回路を追加することにより
小振幅ICを測定することのできる微小振幅IC測定回
路を提供する。 【構成】 DUT3の入力端子にドライバ1Aの出力を
印加する微小振幅IC測定回路において、一端が伝送線
路Z0と抵抗2Aとを介してドライバ1Aの出力端子に
接続され、他端が伝送線路Z1を介してDUT3の入力
端子に接続される抵抗2Bと、一端が抵抗2Bと伝送線
路Z1との接続点に接続され、他端にDUT3の入力基
準電圧Vrefを印加された第3の抵抗2Cとを設け
る。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は、入力信号の最大振幅が、IC試験器の出力信号の最小振幅よりも 小さいICを測定する場合に、IC試験器の出力振幅を、測定されるIC(以下 DUTという。)の最大入力振幅以下に変換してDUTに入力して測定すること ができる微小振幅IC測定回路についてのものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のIC測定回路の構成を図3に示す。図3の1A・1Bはドライバ、2A ・2Fは抵抗器、3はDUT、4はコンパレータ、Z0・Z3は伝送線路である 。図3のアに示す回路はDUT3の端子が入力端子のときに用いる。ドライバ1 Aの出力が抵抗2A、伝送線路Z0を通してDUT3へ加えられる。このとき伝 送線路Z0のインピーダンスと抵抗2Aの抵抗値はインピーダンス整合がとれる ように選ぶ。
【0003】 図3のイに示す回路はDUT3の端子が入出力端子のときに用いる。IC試験 器が入力モードのときはドライバ1Bの出力が抵抗2F、伝送線路Z3を通して DUT3に加えられる。出力モードのときはDUT3の出力が伝送線路Z3を通 してコンパレータ4に入力されてDUT3が測定される。このとき伝送線路Z3 のインピーダンスと抵抗2Fの抵抗値はインピーダンス整合がとれるように選ぶ 。図3ア・イではDUT3はテストボード上に実装され、その他はIC試験器内 に置かれる。図3ア・イではドライバ1A・1Bの前の回路とコンパレータ4の 後の回路を省略している。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】
100MHzを超えるような高速で動作するデバイスでは、入出力インタフェ ースの信号が1V以下と小振幅である。例えば、GTLインタフェースのデバイ スでは入出力信号レベルは基準電圧Vref(通常0.8V)を中心に±50m Vのレベルすなわち0.1Vの振幅である。従来のIC試験器では、TTL、C MOS、ECL等のデバイスを試験するために、1V〜5V位の振幅の信号を出 力するように設計されているため、GTLのように入力振幅が小振幅のデバイス を試験することが困難であった。
【0005】 この考案は、テストボード上に回路を追加することにより小振幅ICを測定す ることのできる微小振幅IC測定回路を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、この考案では、DUT3の入力端子にドライバ1A の出力を印加する微小振幅IC測定回路において、一端が伝送線路Z0と抵抗2 Aとを介してドライバ1Aの出力端子に接続され、他端が伝送線路Z1を介して DUT3の入力端子に接続される抵抗2Bと、一端が抵抗2Bと第2の伝送線路 Z1との接続点に接続され、他端にDUT3の入力基準電圧Vrefを印加され た抵抗2Cとを設ける。
【0007】 また、入力モード時にはDUT3の入出力端子に第1のドライバ1Aの出力を 印加し、出力モード時にはDUT3の入出力端子からの出力をコンパレータ4へ 印加する微小振幅IC測定回路において、一端が伝送線路Z0と抵抗2Aとを介 して第1のドライバ1Aの出力端子に接続され、他端が伝送線路Z2に接続され る抵抗2Dと、一端が抵抗2Dと第3の伝送線路Z2との接続点に接続され、他 端にDUT3の入力基準電圧Vrefを印加された抵抗2Eと、一端が伝送線路 Z3と抵抗2Fとを介してドライバ1Bの出力端子に、伝送線路Z3を介してコ ンパレータ4の入力端子にそれぞれ接続される抵抗2Gと、一端が伝送線路Z2 を介して抵抗2D・2Eの共通接続点に接続される抵抗2Hと、一端が伝送線路 Z4を介してDUT3の入出力端子に接続される抵抗2Iとを備え、抵抗2G・ 2H・2Iの他端はそれぞれ共通接続する。
【0008】
【作用】 次にこの考案による微小振幅IC測定回路の構成を図1に示す。図1の2B〜 2Iは抵抗、Z1・Z2・Z4は伝送線路でありその他は図3と同じである。図 1のアに示す回路はDUT3の端子が入力端子のときに用いる。この回路は図3 アの回路に抵抗2Bと抵抗2Cと伝送線路Z1を追加したものである。ドライバ 1Aの出力電圧は抵抗2A、伝送線路Z0を通り、抵抗2B・2CによりDUT 3の入力基準電圧Vrefと分圧され、伝送線路Z1をとおり、DUT3へ加え られる。ここで抵抗2A・2B・2Cの抵抗値をそれぞれR1・R2・R3とし 、ドライバ1の出力電圧をVref±(1/2)V1(Vrefを中心にして振 幅V1)、DUT3の入力電圧をV2とするとV2は次式で与えられる。
【0009】
【数1】 すなわちDUT3の入力振幅はR3/(R1+R2+R3)×V1となる。ここ でR1・R2・R3の値を選ぶことにより、ドライバ1の最小出力振幅より小さ い振幅の信号をDUT3へ加えることができる。
【0010】 また伝送線路Z0・Z1とインピーダンス整合がとれるようにR1R2・R3 の値を選ぶ。例えばDUT3の入力基準電圧Vref=0.8V、DUT3の最 大入力振幅を0.1V、ドライバ1Aの最小出力振幅を1V、ドライバ1Aの出 力電圧を0.8±1V(2V振幅)とし、伝送線路Z0・Z1のインピーダンス をそれぞれ50Ω、抵抗2A・2B・2Cの抵抗値をR1=50Ω、R2=95 0Ω、R3=53ΩとすればDUT3の入力電圧V2はV2=0.8±0.05 V(0.1V振幅)となり、ドライバ1の最小出力振幅(1V)より小さい振幅 をDUT3へ与えることができる。またインピーダンス整合もとれている。ここ で、抵抗2B・2C、伝送線路Z1、DUT3をテストボード上に実装すること により、従来のIC試験器をそのまま使用することができる。
【0011】 図1のイに示す回路はDUT3の端子が入出力端子のときに用いる。この回路 は図3アと図3イの従来回路とを組み合わせたものに抵抗2D・2E・2G・2 H・2Iおよび伝送線路Z2・Z4を追加したものである。IC試験器が入力モ ードのときドライバ1Aの出力電圧は抵抗2A、伝送線路Z0をとおり、抵抗2 D・2EによりDUT3の基準電圧Vrefと分圧された後で伝送線路Z2を通 り、抵抗2G・2Hによりドライバ1Bの出力電圧とさらに分圧されて、抵抗2 I・伝送線路Z4をとおりDUT3へ入力される。
【0012】 ここでドライバ1Bの出力電圧をVrefに設定し、抵抗2A・2D〜2Iの 抵抗値をそれぞれR4〜R10、ドライバ1Aの出力電圧をVref±(1/2 )×V3(Vrefを中心としてV3の振幅)、DUT3の入力電圧をV4とす るとV4は次式で与えられる。
【0013】
【数2】 すなわちDUT3の入力電圧振幅は
【0014】
【数3】 となり、R4〜R10の値を選べばドライバ1Aの最小出力振幅より小さい振幅 の信号をDUT3へ加えることができる。また伝送線路Z0・Z2・Z3・Z4 とインピーダンス整合がとれるようにR4〜R10は選ぶ。
【0015】 IC試験器が出力モードのときドライバ1Aの出力電圧をV5、ドライバ1B の出力電圧をV6とすると、図1イは図に示すように書きかえることができる。 2JはDUT3から見た合成抵抗であり、抵抗2Jの値Rおよび電圧Vは次式で 与えられる。
【0016】
【数4】
【0017】
【数5】 ここでVがDUT3の終端電圧Vttと等しくなるようにV5・V6を選び、D UT3の出力電圧V0をコンパレータ4で測定する。
【0018】 例えば、伝送線路Z0・Z2・Z3・Z4のインピーダンスをそれぞれ50Ω 、DUT3の入力基準電圧をVref=0.8V、終端電圧Vtt=1.2V、 最大入力振幅を0.1V、ドライバ1の最小出力振幅を1V、抵抗2A・2D〜 2Iの抵抗値をR4=50Ω、R5=450Ω、R6=56Ω、R7=50Ω、 R8=R9=R10=16Ωとすると、IC試験器が入力モードのときドライバ 1Aの出力電圧を0.8V±1V(2V振幅)(ドライバ1Bの出力電圧をVr ef=0.8V)とすると、DUT3の入力電圧V4はV4=0.8V±0.0 5V(0.1V振幅)となりドライバ1Aの最小出力振幅(1V)よりも小さい 振幅(0.1V)の信号をDUT3へ与えることができる。
【0019】 IC試験器が出力モードのとき、ドライバ1Aの出力電圧をV5=1.8V、 ドライバ1Bの出力電圧V6=1.5Vとすれば図3のV=1.2V=Vttと なる。またR≒50Ωとなる。伝送線路Z0・Z2・Z3・Z4についてインピ ーダンス整合もとれている。このとき図1(イ)の抵抗2D・2E・2G・2H ・2Iおよび伝送線路Z2・Z4をテストボード上に実装することにより、従来 のIC試験器をそのまま使用することができる。
【0020】
【実施例】
つぎに、この考案による実施例の構成を図4と図5に示す。図4と図5の5は 直流特性測定回路、6〜10はスイッチであり、他は図1ア・イと同じである。 図4に示す回路はDUT3の端子が入力端子のときに用いる。DUT3の機能試 験、交流特性試験を行うときにはスイッチ6は6Aと6Bを、スイッチ7は7A と7Bを、スイッチ8は8Aと8Bを、スイッチ9は9Aと9Bを接続し、直流 特性試験を行うときは、スイッチ6は6Aと6C、スイッチ7は7Aと7C、ス イッチ8は8Aと8C、スイッチ9は9Aと9Cを接続することにより、DUT 3と直流特性測定回路5と直接接続して試験を行う。
【0021】 図5に示す回路はDUT3の端子が入出力端子のときに用いる。図4と同じよ うに機能試験、交流特性試験を行うときは、スイッチ6は6Aと6Bを、スイッ チ7は7Aと7Bを、スイッチ8は8Aと8Bを、スイッチ9は9Aと9Bを、 スイッチ10は10Aと10Bを接続し、直流特性試験を行うときは、スイッチ 6は6Aと6Cを、スイッチ7は7Aと7Cを、スイッチ8は8Aと8Cを、ス イッチ9は9Aと9Cを、スイッチ10は10Aと10Cを接続して、DUT3 と直流特性測定回路を直接接続して試験を行う。スイッチ6〜10は例えば3端 子2接点リードリレーを使用する。
【0022】
【考案の効果】
この考案によれば、テストボード上に設けた回路によりIC試験器の出力電圧 を変換してDUTに入力しているので、IC試験器の最小出力振幅より小さい振 幅のデバイスを測定することができる。また、S/N比も向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案によるIC測定回路の構成図である。
【図2】図2の出力モードのときの等価回路である。
【図3】従来のIC測定回路の構成図である。
【図4】DUT3の端子が入力端子の場合の、本考案に
よる一実施例である。
【図5】DUT3の端子が入出力端子の場合の、本考案
による一実施例である。
【符号の説明】
1A・1B ドライバ 2A〜2J 抵抗 3 DUT 4 コンパレータ 5 直流特性測定回路 6〜10 スイッチ 6A〜10A スイッチの共通端子 6B〜10B スイッチの切換端子 6C〜10C スイッチの切換端子 Z0〜Z4 伝送線路

Claims (2)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 DUT(3)の入力端子に第1のドライバ
    (1A)の出力を印加する微小振幅IC測定回路におい
    て、 一端が第1の伝送線路(Z0)と第1の抵抗(2A)を介して第
    1のドライバ(1A)の出力端子に接続され、他端が第2の
    伝送線路(Z1)を介してDUT(3)の 入力端子に接続され
    る第2の抵抗(2B)と、 一端が第2の抵抗(2B)と第2の伝送線路(Z1)との接続点
    に接続され、他端に前記DUT(3)の入力基準電圧(Vre
    f) を印加された第3の抵抗(2C)とを設けた事を特徴と
    する微小振幅IC測定回路。
  2. 【請求項2】 入力モード時にはDUT(3) の入出力端
    子に第1のドライバ(1A)の出力を印加し、出力モード時
    にはDUT(3) の入出力端子からの出力をコンパレータ
    (4) へ印加する微小振幅IC測定回路において、一端が
    第1の伝送線路(Z0)と第1の抵抗(2A)とを介して第1の
    ドライバ(1A)の出力端子に接続され、他端が第3の伝送
    線路(Z2)に接続される第4の抵抗(2D)と、 一端が第4の抵抗(2D)と第3の伝送線路(Z2)との接続点
    に接続され、他端に前記DUT(3)の入力基準電圧(Vre
    f)を印加された第5の抵抗(2E)と、 一端が第4の伝送線路(Z3)と第6の抵抗(2F)とを介して
    第2のドライバ(1B)の出力端子に、第4の伝送線路(Z3)
    を介して前記コンパレータ(4) の入力端子にそれぞれ接
    続される第7の抵抗(2G)と、 一端が第3の伝送線路(Z2)を介して第4及び第5の抵抗
    (2D,2E) の共通接続点に接続される第8の抵抗(2H)と、 一端が第5の伝送線路(Z4)を介してDUT(3) の入出力
    端子に接続される第9の抵抗(21)とを有し、 第7、第8及び第9の抵抗(2G,2H,2I)の他端はそれぞれ
    共通接続された事を特徴とする微小振幅器IC測定回
    路。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008023615A1 (fr) * 2006-08-24 2008-02-28 Advantest Corporation Appareil de test et procédé de fabrication de dispositif à l'aide de l'appareil de test

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008023615A1 (fr) * 2006-08-24 2008-02-28 Advantest Corporation Appareil de test et procédé de fabrication de dispositif à l'aide de l'appareil de test
JPWO2008023615A1 (ja) * 2006-08-24 2010-01-07 株式会社アドバンテスト 試験装置および当該試験装置を用いたデバイスの製造方法

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