HINTERGRUND DER ERFINDUNG
GEBIET DER ERFINDUNG
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Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Blatt bzw. Bogen zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, welches, wenn es verwendet wird,
auf der Sichtseite einer elektromagnetischen Vorrichtung, wie einer Anzeige,
verwendet wird und in diesem Zustand elektromagnetische Wellen abschirmen kann
und es ermöglicht, daß die elektromagnetische Vorrichtung, wie eine Anzeige, durch
das Blatt gesehen wird.
STAND DER TECHNIK
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Es wurde darauf hingewiesen, daß elektromagnetische Wellen, die von
elektromagnetischen Vorrichtungen generiert bzw. erzeugt worden sind, nachteilig
andere elektromagnetische Vorrichtungen oder menschliche Körper und Tiere
beeinflussen. Um diesen nachteiligen Effekt zu vermeiden, wurden verschiedene,
elektromagnetische Wellen abschirmende Mittel gefordert. Insbesondere wird, da
Plasmaanzeigen (nachfolgend als "PDPs" bezeichnet) elektromagnetische Wellen
mit Frequenzen von 30 bis 130 MHz generieren, welche oft nachteilig Computer und
Peripheriegeräte von Computern beeinflussen, ein Minimieren der Leckage von
elektromagnetischen Wellen, die von PDPs generiert wurden, zur Außenseite der bzw.
nach außen von den PDPs gefordert.
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Konventionelle Mittel bzw. Einrichtungen zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen umfassen beispielsweise ein Verfahren, worin die
elektromagnetische Vorrichtung mit einem Gehäuse, das aus einem gut elektrisch
leitfähigen bzw. leitenden Material gebildet ist, abgedeckt ist, und ein Verfahren,
worin die elektromagnetische Vorrichtung mit einem elektrisch leitfähigen Netz
abgedeckt ist. Diese Verfahren opfern jedoch die Durchsichteigenschaften der
elektromagnetischen Vorrichtung und sind somit für Vorrichtungen, wo ein Sehen
notwendig ist, nicht geeignet. Andererseits wurden Abschirmmittel für
elektromagnetische Wellen entwickelt, die aus einem transparenten lndium-Zinnoxid-
Film zusammengesetzt sind (nachfolgend als "ITO" bezeichnet), der auf einem
transparenten Film zur Verfügung gestellt wurde. Der ITO-Film hat ein hohes Niveau
von Durchsichteigenschaften, jedoch ist andererseits die elektrische Leitfähigkeit so
niedrig, daß die Abschirmfähigkeit gegen elektromagnetische Wellen schlecht ist. Als
ein Ergebnis wurde die Verwendung dieses Mittels nur auf Vorrichtungen begrenzt,
welche keine signifikante Menge an elektromagnetischen Wellen generieren.
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Andererseits wurde ein Blatt, das eine Kombination aus Abschirmfähigkeit
gegen elektromagnetische Wellen und Durchsichteigenschaften besitzt, entwickelt.
Dieses Blatt wird durch Ätzen einer Metallfolie hergestellt, die auf einem Film
gestapelt ist, um dicht Öffnungen auszubilden, um so die Metallfolie zu einem Sieb
zu machen. Weiters wurde bei dieser Art von Blatt ein verbessertes Blatt zur
Verfügung gestellt, in welchem die Dicke der Metallfolie und die Abmessung des Siebs
geeignet gemacht wurden, die Fähigkeit zum Abschirmen desselben Niveaus von
elektromagnetischen Wellen wie das Niveau der elektromagnetischen Wellen, die
von dem PDPs generiert wurden, wurde verliehen und die Sichtbarkeit des
Anzeigeschirms wurde verbessert.
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Diese Siebmetallfolie, die durch ein Ätzen hergestellt wurde, ist schwierig
alleine zu verwenden bzw. handzuhaben. Aus diesem Grund ist es für die
Ausbildung der Siebmetallfolie übliche Praxis, ein Verfahren anzuwenden, worin ein
Laminat, bestehend aus einer nicht behandelten Metallfolie, welche über eine
Klebeschicht auf einen Film gestapelt wird, ausgebildet wird und die Metallfolie in
dem Laminat geätzt wird, um ein Muster auszubilden.
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Wenn das Ätzen mit einer Eisenchlorid oder Kupferchlorid enthaltenden
Lösung als eine konventionelle Ätzflüssigkeit ausgeführt wird, wird die Klebeschicht
jedoch häufig hellgelb gefärbt. Daher ist in einigen Fällen die Ausbildung eines
farblosen, transparenten, geätzten Blatts schwierig. Wenn dieses Blatt in einem
derartigen Zustand verwendet wird, daß das Blatt auf der Sichtseite von PDP
angeordnet wird, fungiert die gefärbte Klebeschicht ähnlich einem Farbabsorptionsfilter
und verschlechtert oft die blaue Luminanz von dem PDP.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Der vorliegende Erfinder hat nun gefunden, daß in einem Blatt bzw. Bogen zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, das durch Stapeln einer Metallfolie
auf einen Film durch eine Klebeschicht und Ätzen der Metallfolie hergestellt wird, um
dicht bzw. eng angeordnete Öffnungen auszuführen und so die Metallfolie zu einem
Sieb bzw. Netz bzw. Gitternetz zu machen, eine Färbung der Klebeschicht beim
Ätzen effizient verhindert werden kann. Die vorliegende Erfindung wurde basierend auf
einer derartigen Erkenntnis ausgeführt.
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Dementsprechend ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Blatt zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung zu stellen, in welchem
ein Färben einer Klebeschicht beim Ätzen effizient verhindert werden kann.
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Daher wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein Blatt zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen zur Verfügung gestellt, umfassend ein Laminat aus
wenigstens einem transparenten Substratfilm, einer Klebeschicht und einer
elektromagnetische Wellen abschirmenden Schicht,
wobei die elektromagnetische Wellen abschirmende Schicht aus einer
Siebmetallfolie mit dicht bzw. eng angeordneten Öffnungen ausgebildet ist und
transparent ist,
wobei die Klebeschicht im wesentlichen farblos und transparent ist.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Fig. 1 ist ein Diagramm, das eine Ausbildung eines Blatts zur Abschirmung
von elektromagnetischen Wellen zeigt;
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Fig. 2 ist ein Diagramm, das ein Herstellungsverfahren für ein Laminat mit
einer darauf gestapelten Siebmetallfolie zeigt; und
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Fig. 3 ist ein Diagramm, das eine Ausbildung einer Platte zum Abschirmen
von elektromagnetischen Wellen zeigt.
Beschreibung von Bezugszeichen in den Zeichnungen
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10: Blatt zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, 11: Metallfolie,
11': Siebmetallfolie, 12: geschwärzte Schicht, 13: Klebeschicht, 14: transparenter
Substratfilm, 20: Platte bznr. Tafel zur Abschirmung von elektromagnetischen
Wellen, 30: Sichtseitenfolie bzw. -film, 30': Rückseitenfolie bzw. -film, 40: Film mit
Absorption im nahen Infrarotbereich, und 50: Glassubstrat.
[DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG]
Ausbildungen der Erfindung
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In einer ersten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird ein Blatt bzw.
Bogen zur Abschirmung von elektromagnetischen Weilen zur Verfügung gestellt,
umfassend ein Laminat aus wenigstens einem transparenten Substratfilm, einer
Klebeschicht und einer Schicht zum Abschirmen von elektromagnetischen Wellen,
wobei die Schicht zum Abschirmen von elektromagnetischen Wellen aus einer Netz-
bzw. Gitternetz- bzw. Siebmetallfolie mit dicht bzw. eng angeordneten Öffnungen
ausgebildet ist und die transparent ist, wobei die Klebeschicht im wesentlichen
farblos und transparent ist. In einer zweiten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird
ein Blatt zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung gestellt,
worin in der ersten Ausbildung der vorliegenden Erfindung der Wert von b* in dem
L*a*b* Farbsystem der Klebeschicht -6,0 bis 6,0 ist. Die erste und zweite Ausbildung
der vorliegenden Erfindung können ein Blatt zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen zur Verfügung stellen, in welchem die Färbung der gesamten
Laminatstruktur unterdrückt werden kann und das Blatt zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen, wenn es an der Vorderseite einer PDP angeordnet
wird, keine signifikante Absenkung in der Luminanz bewirkt.
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In einer dritten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird ein Blatt zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung gestellt, worin in der
ersten oder zweiten Ausbildung der vorliegenden Erfindung die Klebeschicht aus
einem Kleber gebildet ist, der eine Glasübergangstemperatur von 20 bis 100°C
aufweist. Die dritte Ausbildung der vorliegenden Erfindung kann ein Blatt zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung stellen, worin die
Anwesenheit von Blasen unterdrückt werden kann.
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In einer vierten Ausbildung der vorliegenden Erfindung wird ein Blatt zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung gestellt, worin in
irgendeiner der ersten bis dritten Ausbildung der vorliegenden Erfindung die
Klebeschicht aus einem Kleber gebildet ist, umfassend ein gesättigtes Polyesterharz und
eine lsocyanatverbindung. Die vierte Ausbildung der vorliegenden Erfindung kann
ein Blatt zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung stellen, in
welchen die Färbung der Klebeschicht weiter unterdrückt wurde und in der
Verwendung des Klebers eine ausreichende bzw. zufriedenstellende Fluidität zur
Verfügung gestellt werden kann.
Inhalte der Erfindung
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Die vorliegende Erfindung wird im Detail unter Bezugnahme auf Fig. 1
beschrieben. Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht, die die Struktur eines Blatts bzw.
Bogens zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt. In einem Blatt 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen
ist eine Netz- bzw. Gitternetz- bzw. Siebmetallfolie 11' auf einen transparenten
Substratfilm 14 mittels einer Klebeschicht 13 gestapelt, um ein Laminat 10
auszubilden. Eine geschwärzte Schicht 12 ist auf die Metallfolie 11' auf ihrer
transparenten Substratfilmseite 14 gestapelt. Ein Schutzfilm kann auf die Vorder- und
Rückseiten (obere und untere Seiten in der Zeichnung) des Blatts 10 zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen gestapelt sein.
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Wie dies in Fig. 1(b) gezeigt ist, ist in dem Blatt 10 zur Abschirmung von
elektromagnetischen Welten die Metallfolie 11' derart, daß die Öffnungen 11a dicht
angeordnet sind, um ein Sieb zu bilden. Wie dies in Fig. 1(c) gezeigt ist, ist in der
Öffnung 11a die Breite w der Linien bzw. Zeilen klein und beträgt 5 µm bis 20 µm.
Die Ganghöhen bzw. Abstände a, b in den vertikalen und horizontalen Richtungen
können gleich oder voneinander verschieden sein und jeweils etwa 50 µm bis 500 µm
betragen. In diesem Fall ist der Prozentsatz einer Öffnung pro Einheitsfläche
vorzugsweise etwa 90% bis 95%. Weiters können die Zeilen um einen Winkel èzu der
horizontalen Richtung geneigt sein (horizontale Richtung zum Zeitpunkt des
Schauens bzw. Betrachtens). Das "Sieb" kann eine Gitterform sein, wie dies in Fig. 1
(b) gezeigt ist. Die Form der Öffnung 11a ist nicht auf diese allein beschränkt und
kann eine Form anders als quadratisch, beispielsweise hexagonale Honigwabe,
kreisförmig oder elliptisch sein.
Laminatstruktur eines Blatts zur Abschirmung von elektromagnetischen
Wellen und Herstellungsverfahren desselben
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Der Schichtaufbau des Laminats aus wenigstens einem transparenten Film 14
und einer transparenten, elektromagnetische Wellen abschirmenden Schicht, die
aus einer Netz- bzw. Gitternetz- bzw. Siebmetallfolie 11' mit dicht angeordneten
Öffnungen in dem Blatt zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen gemäß
der vorliegenden Erfindung gebildet ist, und ein Herstellungsverfahren des Laminats
werden unter Bezugnahme auf Fig. 2(a) und (f) beschrieben.
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Wie dies in Fig. 2(a) gezeigt ist, wird ein Laminat aus einer Metallfolie 11 zur
Verfügung gestellt, die auf einen transparenten Substratfilm 14 über eine
Klebeschicht 13 gestapelt ist. Der transparente Substratfilm 14 kann ein Film aus
Acrylharz, Polycarbonatharz, Polypropylenharz, Polyethylenharz, Polystyrolharz,
Polyesterharz, Zelluloseharz, Polysulfonharz, Polyvinylchloridharz oder dgl. sein. Ein
Film aus Polyesterharz, wie Polyethylenterephthalatharz ist vorzugsweise aufgrund
seiner exzellenten mechanischen Festigkeit und hohen Transparenz verwendet. Die
Dicke des transparenten Substratfilms 14 ist nicht besonders beschränkt. Aus den
Gesichtspunkten einer mechanischen Festigkeit und erhöhten Biegebeständigkeit ist
jedoch die Dicke des transparenten Substratfilms 14 vorzugsweise etwa 50 µm bis
200 µm. Wenn das Blatt 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen in
dem Zustand, daß es auf ein anderes transparentes Substrat gestapelt ist,
verwendet wird, kann die Dicke des transparenten Substratfilms 14 innerhalb oder
außerhalb des zuvor definierten Dickebereichs liegen. Vorzugsweise wird, sofern
notwendig, eine Corona-Entladungsbehandlung oder das Vorsehen einer leicht
haftenden Schicht auf einer oder beiden Seiten des transparenten Substratfilms 14
angewandt.
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Die Metallfolie 11 kann eine Folie aus einem Metall, wie Kupfer, Eisen, Nickel
oder Chrom oder eine Legierung aus zwei oder mehreren dieser Metalle oder eine
Legierung, die hauptsächlich aus einem oder mehreren dieser Metalle
zusammengesetzt ist, sein. Die Verwendung einer Kupferfolie ist insbesondere aufgrund ihrer
hohen Abschirmfähigkeit für elektromagnetische Wellen, ihrem leichten Ätzen und
der leichten Handhabung bevorzugt. Die Kupferfolie kann eine Folie aus gewalztem
Kupfer oder elektrolytischem Kupfer sein. Die Verwendung von elektrolytischem
Kupfer ist insbesondere bevorzugt aus dem Gesichtspunkten einer Einfachheit der
Herstellung einer Folie, die eine kleine Dicke von nicht mehr als 10 µm aufweist,
einer gleichmäßigen Dicke und einer guten Anhaftung an einer geschwärzten
Schicht zum Zeitpunkt eines Plattierens für die Ausbildung einer geschwärzten
Schicht besitzt. In jeder der Fig. 2(a) bis (f) kann, obwohl die geschwärzte Schicht
(12) der Einfachheit halber nicht dargestellt ist, die geschwärzte Schicht (12)
vorgesehen sein.
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Die Dicke der Metallfolie 11 ist vorzugsweise 1 µm bis 100 µm, noch
bevorzugter 5 µm bis 20 µm. Wenn die Dicke der Metallfolie 11 in diesem Bereich
liegt, ist die Fähigkeit zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen
zufriedenstellend. Weiters können in diesem Fall Öffnungen durch Ätzen mit einer
vorbestimmten Genauigkeit leicht ausgebildet werden.
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In der Metallfolie 11 kann eine geschwärzte Schicht (12), die durch eine
Schwärzungsbehandlung ausgebildet ist, auf der Klebeschichtseite 13 vorgesehen
sein. Diese Konstruktion kann einen präventiven Effekt gegen Rost zur Verfügung
stellen und zur gleichen Zeit kann sie Antireflexionseigenschaften verleihen. Die
geschwärzte Schicht kann beispielsweise durch Co-Cu-Legierungsplattieren
ausgebildet sein und kann eine Reflexion von der Oberfläche der Metallfolie 11
verhindern. Die Oberfläche kann weiters einer Chromatbehandlung für
rostverhindernde Zwecke unterworfen sein. In der Chromatbehandlung kann ein
rostverhindernder Film durch Tauchen der Metallfolie 11 in eine Lösung, bestehend
hauptsächlich aus Chromsäure oder einem Bichromat und Trocknen der
Beschichtung ausgebildet werden. Eine oder beide Seiten der Metallfolie 11 können,
sofern es notwendig ist, der Chromatbehandlung unterworfen werden. Alternativ
kann beispielsweise eine kommerziell erhältliche Kupferfolie, die einer
Chromatbehandlung unterworfen wurde, verwendet werden. Wenn die verwendete
Metallfolie 11 nicht eine zuvor geschwärzte Metallfolie ist, kann die Metallfolie in dem
nächsten Schritt geschwärzt werden. Die geschwärzte Schicht kann durch Ausbilden
einer fotoempfindlichen Harzschicht 15 ausgebildet werden, welche als eine
Resistschicht fungieren kann, indem eine schwarz gefärbte Zusammensetzung verwendet
wird und nach der Vervollständigung eines Ätzens erlaubt wird, daß die Resistschicht
nicht entfernt wird. Alternativ kann die geschwärzte Schicht durch ein Plattieren
ausgebildet werden, was einen schwarzen Film zur Verfügung stellen kann.
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Wenn ein Film aus einem wärmeschmelzbarem Harz, wie gut
wärmeschmelzbarem Ethylen-Vinylacetat-Copolymerharz oder einem Ionomerharz,
entweder alleine oder als ein Laminat auf einen anderem Harzfilm als der
transparente Substratfilm 14 verwendet wird, können der transparente Substratfilm
14 und die Metallfolie 11 ohne das Vorsehen von irgendeiner Klebeschicht
aufeinander gestapelt werden. Jedoch kann das Laminieren durch ein
Trockenlaminierverfahren unter Verwendung einer Klebeschicht ausgeführt werden.
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Der Kleber, der die Klebeschicht 13 in dem Blatt 10 zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen ausbildet, ist vorzugsweise derart in der Form eines
Produkts, daß nach der Wirkung der Ätzflüssigkeit die Klebeschicht 13 im
wesentlichen farblos und transparent ist. Spezifisch ist vorzugsweise der Wert b* in dem
L*a*b* Farbsystem in dem Bereich von -6,0 bis 6,0. Wenn der b* Wert in dem oben
definierten Bereich liegt, kann ein blaues oder gelbes Verfärben der Klebeschicht 13
effizient reduziert werden. Weiters kann in diesem Fall, wenn das Blatt auf der
Sichtseite von PDP aufgebracht wird, die Luminanz von blau zufriedenstellend
sichergestellt werden. Wenn die Klebeschicht 13 aus einem konventionellen Kleber
gefertigt ist, ist der Kleber üblicherweise bzw. allgemein ein organisches Material.
Daher ist der obige b* Wert in zahlreichen Fällen nicht kleiner als 1,0 und aus
diesem Gesichtspunkt ist der b* Wert noch bevorzugter 1,0 bis 6,0. Wenn die Metallfolie
11, die das Blatt 10 zur Abschirmung von elektromagnetischer Strahlung ausbildet,
eine Kupferfolie ist, wird Licht einer Wellenlängendispersion aufgrund von konkaven
und konvexen Ausbildungen (etwa 1 µm) der Kupferfolie an ihrer Seite in Kontakt mit
der Klebeschicht und dem Brechungsindex (etwa 1,50 bis 1,55) der Klebeschicht
unterworfen. Als ein Ergebnis wird blaue Farbe stark gestreut und der b*, wenn er
gemessen wird, wird als etwas größer gefunden und ist wahrscheinlich nicht kleiner
als 1,0.
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In dem L*a*b* Farbsystem besteht eine Möglichkeit, daß zusätzlich zu dem b*
der Wert von L* und der Wert von a* existiert. Jedoch unter der Annahme, daß der
verwendete Kleber zur Ausbildung der Klebeschicht 13 vor der Wirkung der
Ätzflüssigkeit farblos und transparent oder im wesentlichen farblos und transparent ist,
ist der Kleber selbst nach der Wirkung der Ätzflüssigkeit farblos und transparent und
es wird der Kleber optisch lediglich als leicht gelb gefärbt gesehen. Daher kann die
Farbe nach der Farbänderung durch den b* Wert alleine dargestellt werden, welcher
eine Farbe zwischen gelb (in dem Fall, wo b* ein positiver Wert ist) und blau (in dem
Fall, wo b* ein negativer Wert ist) zeigt.
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Kleber, welche eine Klebeschicht ausbilden können, die einen b* Wert in dem
Bereich von -6,0 bis 6,0 nach der Wirkung der Ätzflüssigkeit aufweist, umfassen
Acrylharze, Polyesterharze, Polyurethanharze, Polyvinylalkoholharze, Vinylchlorid-
Vinylacetat-Copolymerharze und Ethylen-Vinylacetat-Copolymerharze. Beispiele von
anderen Kleber, die hier verwendbar sind, umfassen durch Wärme härtbare Harze
und durch ionisierende Strahlung härtbare Harze, beispielsweise durch Ultraviolett
härtbare Harz und durch Elektronenstrahl härtbare Harze. Unter diesen ist ein
Polyurethanharzkleber oder ein Kleber, bestehend aus einer Mischung aus einem
gesättigten Polyester mit einem Isocyanathärtungsmittel aufgrund seiner hohen
Anhaftung und dem Auftreten von keiner signifikanten Farbänderung bei einem Kontakt
mit einer Ätzflüssigkeit bevorzugt. Insbesondere das gesättigte Polyesterharz, d. h.
das Hauptmittel des letzteren Klebers, ist bevorzugt, da es eine gute Anhaftung
sowohl an der Metallfolie als auch auf dem Harzfilm besitzt, keine signifikante
Farbänderung, selbst bei einem Temperaturanstieg, bewirkt, eine zufriedenstellende
Fluidität des Klebers zur Zeit der Laminierung zur Verfügung stellen kann und eine
Glasübergangstemperaturregulierung durch die Regulierung des Molekulargewichts
realisieren kann.
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Wenn die Verwendung einer dünnen Metallfolie gewünscht ist, wird in vielen
Fällen elektrolytisches Kupfer verwendet. Die Oberfläche des elektrolytischen
Kupfers ist rauh, d. h. es besitzt eine Rauhheit Ra von etwa 0,1 bis 1,0 µm und ist
auffällig. Daher kann das elektrolytische Kupfer geeignet auf der Sichtseite nach
einer Schwärzungsbehandlung aufgebracht werden. Da jedoch zum Zeitpunkt des
Laminierens Blasen wahrscheinlich an die bzw. zu der Grenzfläche des Laminats
eintreten, ist die Verwendung eines Klebers, der eine Glasübergangstemperatur von
20 bis 100°C besitzt, aus dem Gesichtspunkt einer Beziehung mit der
Quetschtemperatur zum Zeitpunkt des Laminierens bevorzugt. Wenn die
Glasübergangstemperatur in diesem Bereich liegt, kann die Anhaftung verbessert werden und zur
selben Zeit kann ein Härten auf einem Niveau, das hoch genug ist, um die Blasen zu
eliminieren, realisiert werden. Weiters ist die Menge des angewandten Klebers
vorzugsweise 1 bis 10 g/m2 auf einer Trockenbasis aus dem Gesichtspunkt eines
Ausfüllens der Oberflächenunregelmäßigkeiten des elektrolytischen Kupfers. Die
Menge des angewandten bzw. aufgebrachten Klebers in diesem Bereich ist
vorteilhaft dahingehend, daß die Anhaftung verbessert werden kann, ein
ausreichendes Trocknen zum Zeitpunkt des Beschichtens realisiert werden kann und
selbst in dem Fall von einer bestimmten Farbänderung der b* Wert (absoluter Wert)
auf dem Minimumwert gehalten werden kann.
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Wie dies in Fig. 2(b) gezeigt ist, wird eine fotoempfindliche Harzschicht 15,
weiche in eine Resistschicht in einem nachfolgenden Ätzprozeß eingebracht werden
kann, auf die Metallfolie 11 in dem derart erhaltenen Laminat gestapelt. Die
fotoempfindliche Harzschicht 15 kann entweder positiv arbeitend oder negativ
arbeitend sein. In den der vorliegenden Erfindung beigeschlossenen Zeichnungen ist
der Einfachheit halber jedoch eine negativ arbeitende, fotoempfindliche Schicht
gezeigt.
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Wie dies in Fig. 2(c) gezeigt ist, wird eine ionisierende Bestrahlung, wie
Ultraviolettlicht 17 durch ein Muster 16 auf die gestapelte, fotoempfindliche
Harzschicht 15 aufgebracht bzw. angewandt. Alternativ kann das Belichten durch
das Muster 16 durch ein Verfahren, umfassend Elektronenstrahlscannen ohne die
Verwendung des Musters 16 ausgeführt werden. D. h. das Belichten kann durch
jedes Verfahren durchgeführt werden, sofern ein musterartiges Belichten möglich
ist. Wenn die fotoempfindliche Harzschicht 15 negativ arbeitend ist, wird der
belichtete Teil gehärtet und ist unlöslich in einer Entwicklerlösung, während der nicht
belichtete Teil in der Entwicklerlösung löslich ist. Andererseits wird, wenn die
fotoempfindliche Harzschicht 15 positiv arbeitend ist, der belichtete Bereich zersetzt und
ist folglich in der Entwicklerlösung löslich.
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Die belichtete, fotoempfindliche Harzschicht 15 wird mit einer
Entwicklerlösung entwickelt. In diesem Fall werden, da die Schicht in lösliche Teile
und nicht lösliche Teile durch das obige Belichten unterteilt wird, die löslichen Teile
bzw. Bereiche gelöst und entfernt, indem einer Entwicklerlösung, welche in
Abhängigkeit von der Art des fotoempfindlichen Harzes vordefiniert wurde, erlaubt
wird, daß sie auf das belichtete, fotoempfindliche Harz 15 einwirkt. Wie dies in Fig. 2(d)
gezeigt ist, verbleibt, wenn die fotoempfindliche Harzschicht 15 negativ arbeitend
ist, die gehärtete, gemusterte, fotoempfindliche Harzschicht 15' von der Metallfolie
11 nicht entfernt.
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Ein Ätzen wird dann unter Verwendung von der gehärteten, fotoempfindlichen
Harzschicht 15', welche auf der Metallfolie 11 als ein Resist nicht entfernt verblieben
ist, ausgeführt. Das Ätzen wird mit einer vorbestimmten Ätzflüssigkeit ausgeführt, bis
die Metallfolie 11 in ihren Bareichen, die nicht mit dem Resist bedeckt sind, durch
Ätzen entfernt ist, um Öffnungen auszubilden. Wenn Öffnungen, die eine vorbestimmte
Form besitzen, ausgebildet wurden, ist das Ätzen vervollständigt bzw.
abgeschlossen. So wird, wie dies in Fig. 2(e) gezeigt ist, eine Netzmetallfolie 11' mit
dicht angeordneten Öffnungen 11a zur Verfügung gestellt.
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Wenn die gehärtete, fotoempfindliche Harzschicht 15' als der Resist immer
noch auf der Metallfolie 11' zum Zeitpunkt der Vervollständigung des Ätzens
verbleibt, wird der Resist allgemein mit einer Resist entfernenden Flüssigkeit
entfernt, um eine Netzmetallfolie 11' mit dicht angeordneten Öffnungen, wie dies in Fig.
2(f) gezeigt ist, freizulegen. So wird ein Laminat 10 zur Verfügung gestellt, worin
eine Netzmetallfolie 11' auf einer transparenten Substratfolie 14 durch eine
Klebeschicht 13 gestapelt wurde.
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In dem Laminat aus wenigstens einem transparenten Substratfilm 14 und
einer Netzmetallfolie 11' mit dicht angeordneten Öffnungen kann, falls erforderlich,
beispielsweise der Schritt eines Entfettens oder Reinigens der Oberfläche der
Metallfolie 11, die herzustellen ist, oder der Schritt eines Wegwaschens einer
Resistensentfernungsflüssigkeit nach der Entfernung des verbleibenden Resists
zusätzlich vorgesehen sein.
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In dem Blatt 10 zur elektromagnetischen Abschirmung, welches ein Laminat
aus wenigstens einem transparenten Substratfilm, einer Klebeschicht und einer
transparenten Schicht zur Abschirmung von elektromagnetischen Strahlen aus einer
Netzmetallfolie mit dicht angeordneten Öffnungen ist, kann ein Schutzfilm auf die
Seite des transparenten Substratfilms und/oder die Netzmetallfolienseiten 11'
aufgebracht werden. Der auf die transparente Substratfilmseite aufgebrachte bzw.
gestapelte Schutzfilm kann die untere Oberfläche des transparenten Substratfilms
gegen Beschädigung bei einem Kontakt während der Handhabung oder einen
unbeabsichtigten Kontakt schützen, oder kann die freigesetzte bzw. freiliegende
Oberfläche des transparenten Substratfilms 14 gegen Verunreinigung oder Angriff in
den Schritten eines Bereitstellens einer Resistschicht auf der Metallfolie 11 und
Ätzens der Metallfolie, insbesondere in dem Schritt des Ätzens schützen. Der auf die
Metallfolienseite 11' gestapelte Schutzfilm kann Metallfolienlinien bzw. -zeilen mit
kleiner Breite, die die Netzmetallfolie 11' ausbilden, gegen Brechen bei Kontakt oder
dgl. schützen.
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Wie dies in Fig. 3 gezeigt ist, wird vorzugsweise der Schutzfilm auf beide
Seiten des Blatts 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen gestapelt,
und wenn es der Fall erfordert, wird der Schutzfilm abgeschält. In diesem Fall ist die
Abschälfestigkeit vorzugsweise 5 mN/25 mm Breite bis 5 N/25 mm Breite, noch
bevorzugter 10 mN/25 mm Breite bis 100 mN/25 mm Breite. Wenn die
Abschälfestigkeit in dem oben definierten Bereich liegt, kann eine unbeabsichtigte
Trennung des Schutzfilms bei einem Kontakt während der Handhabung oder bei
einem unbeabsichtigten Kontakt verhindert werden. Weiters kann, wenn das
Abstreifen des Schutzfilms erforderlich ist, die Trennung bzw. Ablösung der
Netzmetallfolienseite 11' gemeinsam mit dem Schutzfilm verhindert werden.
Platte zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen
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Fig. 3 ist ein schematisches Diagramm, das eine Platte bzw. Tafel bzw. ein
Paneel zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zeigt, welche(s) unter
Verwendung des Blatts 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen gemäß
der vorliegenden Erfindung konfiguriert wurde. Die obere Seite von Fig. 3 ist die
Sichtseite und die untere Seite ist die Rückseite. Die Platte zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen wird auf der Sichtseite eines Displays, wie einem PDP
(nicht dargestellt) angeordnet. In einer Platte 20 zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen ist ein Sichtseitenfilm 30 (= vordere Seite) durch die
Klebeschicht 13 auf die Metallfolienseite 11' des Blatts 10 zur Abschirmung von
elektromagnetischen Wellen gestapelt, worin die Netzmetallfolie 11' auf den
transparenten Substratfilm 14 gestapelt wurde (d. h. auf die Sichtseite) (die Metallfolie 11' auf
ihrer Klebeschichtseite 13 ist gegebenenfalls mit der geschwärzten Schicht 12
versehen). Der Sichtseitenfilm 30 umfaßt eine druckempfindliche Klebeschicht 33, einen
Film 32 und eine mehrlagige Schicht 31, die in dieser Reihenfolge von der
Laminatseite 10 her gestapelt sind. Die Multilayer- bzw. Mehrlagenschicht 31 umfaßt eine
Hartbeschichtung, eine Antireflexionsschicht, eine Antifoulingschicht, die in dieser
Reihenfolge gestapelt sind. In Fig. 3 sind die Laminate 30, 10, 40, 50 und 30'
gezeigt, während ein Raum zwischen den Laminaten verblieben ist, um die gesamte
Konstruktion leicht zu verstehen. Tatsächlich sind die fünf Laminate, die in der
Zeichnung gezeigt sind, direkt aufeinander, ohne Freilassen von irgendeinem Raum bzw.
Abstand gestapelt.
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Ein im nahen Infrarot absorbierender Film 40, ein Glassubstrat 50 und ein
Rückseitenfilm 30' (Rückseite) sind in dieser Reihenfolge auf der transparenten
Substratfilmseite 14 in dem Blatt 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen
gestapelt. Der im nahen Infrarot absorbierende Film 40 umfaßt eine
druckempfindliche Klebeschicht 41, eine Absorptionsschicht 42 im nahen Infrarot,
einen Film 43 und eine druckempfindliche Klebeschicht 44, die in dieser Reihenfolge
von der Seite des Blatts 10 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen
gestapelt sind. Das Glassubstrat 50 ist zur Verfügung gestellt, um die mechanische
Festigkeit, die Selbsttragefähigkeiten oder die Ebenheit der gesamten Platte 20 zur
Abschirmung von elektromagnetischen Wellen zur Verfügung zu stellen. Der
Rückseitenfilm 30' (= Rückseite) umfaßt eine druckempfindliche Klebeschicht 33', einen
Film 32' und eine Multilayer- bzw. Mehrlagenschicht 31, die in dieser Reihenfolge
von der Seite des Glassubstrats 50 gestapelt sind. Die Mehrlagenschicht 31'
beinhaltet eine Hartbeschichtung, eine Antireflexionsschicht und eine Antifoulingschicht, die
in dieser Reihenfolge gestapelt sind. In dieser Ausbildung ist der Rückseitenfilm 30'
derselbe wie der Sichtseitenfilm 30.
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Die Platte 20 zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, die oben in
bezug auf Fig. 3 beschrieben ist, ist lediglich eine Ausbildung und umfaßt
vorzugsweise die obigen Laminate, die aufeinander gestapelt sind. Falls es
notwendig ist, sind jedoch Änderungen und Modifikationen möglich. Beispielsweise können
jegliche der Laminate oder Schichten weggelassen werden oder ein Laminat, das
eine Kombination von Funktionen von Schichten aufweist, kann zur Verfügung
gestellt und verwendet werden.
BEISPIELE
Beispiel 1
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Ein transparenter Polyethylenterphthalatharzfilm (= PET), der eine Breite vom
700 mm und eine Dicke von 100 µm aufweist (ein Produkt von Toyobo Co., Ltd.,
Lagernummer: A 4300) und eine Kupferfolie, deren eine Seite geschwärzt ist, welche
eine Breite von 700 mm und eine Dicke von 10 µm aufweist (ein Produkt von
Furukawa Circuit Foil Co., Ltd., Lagernummer: BW-S) wurden zur Verfügung gestellt.
Der PET-Film und die Kupferfolie wurden kontinuierlich aufeinander durch
Trockenlaminieren unter Verwendung eines härtbaren Zweikomponenten-
Polyurethanharzklebers (ein Produkt von Takeda Chemical Industries, Ltd.; eine
Mischung aus Takelac A 310 (Hauptagens, Tg = 20°C)/Takenate A 10
(Härtungsagens)/Ethylacetat = 12/1/21 (Massenverhältnis); wobei die Teile und das
Mischverhältnis Massenteile bzw. Massenprozent sind (dasselbe gilt nachfolgend)),
so daß die geschwärzte Oberfläche nach innen schaut. Ein Schutzfilm A (ein Produkt
von Panac Kogyo K.K., Lagernummer: HT-25), bestehend aus einem PET-Film und
einer druckempfindlichen Klebeschicht, die auf den PET-Film gestapelt ist, und die
eine Gesamtdicke von 28 µm aufweisen, in welchem die Oberfläche des PET-Films
entfernt von der druckempfindlichen Klebeschicht ist, wurde einer Corona-
Entladungsbehandlung unterworfen, wurde dann mittels einer Laminatorwalze auf
die Oberfläche des PET-Films entfernt der Kupferfolie laminiert, um ein Laminat
herzustellen, das eine Konstruktion von Schutzfilm A/PET-Film/Klebeschicht/Kupferfolie
besitzt. Die Glasübergangstemperatur des Hauptagens in dem
Polyurethanharzkleber war 20°C und die Überdeckung auf einer Trockenbasis des
Polyurethanharzklebers war 6 g/m2.
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Kasein wurde auf die Kupferfolienseite des so erhaltenen Laminats
beschichtet und die Beschichtung wurde getrocknet, um eine fotoempfindliche
Harzschicht auszubilden. Eine Maske mit einem darauf ausgebildeten Muster wurde
auf die Oberseite der fotoempfindlichen Harzschicht aufgebracht und das Laminat
wurde dann einer Kontaktbelichtung mit ultraviolettem Licht unterworfen. Nach dem
Belichten wurde eine Entwicklung mit Wasser und eine Härtungsbehandlung
ausgeführt, gefolgt durch ein Backen bei 100°C, um ein Resistmuster auszubilden. Das
Muster der Maske war derart, daß ein Siebmuster mit einem Abstand: 300 µm, einer
Linienbreite: 10 µm in einem Bereich bzw. eine Fläche von 600 mm × 800 mm
ausgebildet wurde.
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Eine Eisenchloridlösung (Baume-Grad: 42, Temperatur 30°C) wurde auf das
Laminat mit einem darauf ausgebildeten Resistmuster von ihrer Resistmusterseite
gesprüht, um ein Ätzen durchzuführen. Danach wurde das Laminat mit Wasser
gewaschen und der Resist wurde dann mit einer alkalischen Lösung abgetrennt. Nach
der Abtrennung wurden ein Waschen und Trocknen ausgeführt, um ein Laminat
auszubilden, das eine Konstruktion aus
Schutzfilm/PET-Film/Klebeschicht/Kupfersieb besaß. Ein ultraviolett härtbares Urethanacrylat-Harz wird auf das Laminat auf
seiner Kupfersiebseite beschichtet. Ein nicht behandelter PET-Film wurde auf die
Beschichtung laminiert. Ultraviolettes Licht wurde dann auf die Anordnung
aufgebracht bzw. angewandt, um die Beschichtung zu härten, und der nicht
behandelte PET-Film wurde abgetrennt und entfernt. Der Zweck dieses Verfahrens
ist es, Trübungen, die von den konkaven und konvexen Unebenheiten auf der
Kupfersiebseite herstammen, durch Ausfüllen mit ultraviolett härtbarem Harz zu
eliminieren und um das Aussehen (Anwesenheit oder Abwesenheit von Blasen) des
Laminats vor dem Verfahren mit jenem des Laminats nach dem Verfahren zu
vergleichen.
Beispiel 2
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Das Verfahren von Beispiel 1 wurde wiederholt mit der Ausnahme, daß ein
Kleber, der die folgende Zusammensetzung besitzt, verwendet wurde und die
Temperatur der Ätzflüssigkeit auf 60°C verändert wurde, um die Ätzgeschwindigkeit
zu erhöhen.
Zusammensetzung des Klebers | Gesättigtes Polyesterharz (Vylon 200, hergestellt von Toyobo Co., Ltd., Tg: 67°C) | 30 Teile |
| Isocyanathärtungsagens (Handelsname: "XEL Härtungsagens", hergestellt von The Inctec Inc.) | 3 Teile |
| Lösungsmittel (Toluol/Methylethylketon = 1/1) | 70 Teile |
Vergleichsbeispiel 1
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Das Verfahren von Beispiel 1 wurde wiederholt mit der Ausnahme, daß die
Temperatur der Ätzflüssigkeit auf 60°C verändert wurde.
Vergleichsbeispiel 2
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Das Verfahren von Beispiel 1 wurde wiederholt mit der Ausnahme, daß ein
Kleber, der die folgende Zusammensetzung besitzt, verwendet wurde und die
Temperatur der Ätzflüssigkeit auf 60°C verändert wurde, um die Ätzgeschwindigkeit
zu erhöhen.
(Zusammensetzung des Klebers) | Ultraviolett-härtbarer Urethanacrylat-Kleber (Tg: 102°C) | 30 Teile |
| Ethylacetat | 70 Teile |
Auswertungstest
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Die Blätter zur Abschirmung von elektromagnetischen Wellen, die in Beispiel
1 und 2 und Vergleichsbeispiel 1 und 2 hergestellt wurden, wurden verglichen. Die
Ergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt. Die Inhalte der Merkmale bzw. Werte in
Tabelle 1 sind folgende.
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"b*" zeigt einen Weil, der unter Bedingungen eines Transmissions- bzw.
Übertragungsmodus, Lichtbedingungen von D65 und Blickwinkel 2 Grad mit einem
Spektrofotometer (Lagernummer: CM-3700d, hergestellt von Minolta Camera Co.,
Ltd.) in einer derartigen Weise gemessen wurde, daß die Kupfersiebseite als eine
Lichteinfallsseite verwendet wurde.
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"Blasen" zeigt die Anwesenheit oder Abwesenheit von Blasen in der
Klebeschicht, wie sie in einem Übertragungsmodus von der Kupfersiebseite unter
einem optischen Mikroskop beobachtet wurden.
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"Aussehen" zeigt Trübungen und dgl., die von Blasen abgeleitet werden, wie
sie in dem Transmissionsmodus von der PET-Seite gesehen beobachtet werden. Tg
des Klebers ist die Glasübergangstemperatur des verwendeten Klebers.
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O in der Auswertung von "Blasen" und "Aussehen" bedeutet, daß es kein
Problem betreffend "Blasen" oder "Aussehen" gibt.
Tabelle 1