DE102017202042A1 - Kunststoffzusammensetzung und fixierungsverfahrens für ein plattenförmiges werkstück - Google Patents

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Seiji Harada
Makoto Shimotani
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Abstract

Hier ist eine Kunststoffzusammensetzung zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks offenbart. Die Kunststoffzusammensetzung beinhaltet eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator, der zu der Zusammensetzung hinzugefügt ist. Diese Zusammensetzung ist aus (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner zusammengesetzt. Vorzugsweise enthält die Zusammensetzung, welche die Kunststoffzusammensetzung ausbildet, 30–50 Massenprozent eines (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, 5–15 Massenprozent eines (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, und 40–50 Massenprozent eines Weichmachers, der ein Ester ist.

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kunststoffzusammensetzung zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks wie einem Wafer und auch ein Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung.
  • Beschreibung des Stands der Technik
  • Ein Wafer als das Material von Halbleiter-Bauelementen (Bauelementen) wird normalerweise durch Schneiden eines Ingots, der aus einem Halbleiter wie Silizium, Siliziumcarbid und Galliumnitrid ausgebildet ist, mit einem Werkzeug wie einer Bandsäge oder einer Kabelsäge erhalten. Solch ein Wafer (Wafer wie geschnitten) weist unmittelbar nach dem Schneiden eine Biegung oder Welligkeit auf. Um eine solche Biegung oder Welligkeit zu entfernen, wurde ein Bearbeitungsverfahren vorgeschlagen, dass die Schritte zum Aufbringen eines Kunststoffs auf einer Seite eines solchen Wafers, als nächstes Aushärten dieses Kunststoffs, der auf einer Seite des Wafers aufgebracht ist, und als nächstes Schleifen der anderen Seite des Wafers beinhaltet, um die Biegung oder Welligkeit zu entfernen und dadurch den Wafer zu glätten (siehe zum Beispiel japanische Offenlegungsschrift Nr. 2009-148866 ).
  • DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
  • Im Allgemeinen weist ein Kunststoff, der eine Flüssigkeit wie Wasser und Lösemittel enthält eine Eigenschaft auf, sodass, wenn die Flüssigkeit verflüchtigt ist, der Kunststoff schrumpft. Ferner ändert der Kunststoff sein Volumen beim Aushärten von Kunststoff, der durch Licht oder Hitze ausgehärtet werden kann, aufgrund des Aushärtens und ist dementsprechend anfällig für ein schrumpfen. In dem Fall, dass ein Kunststoff, der ein hohes schrumpfen beim Aushärten aufweist, verwendet wird, um ein plattenförmiges Werkstück wie einen Wafer zu fixieren, wird eine Belastung in dem plattenförmigen Werkstück aufgrund des Schrumpfens des Kunststoffs generiert.
  • Falls das plattenförmige Werkstück geschliffen wird, um es flach auszugestalten, in dem Zustand, in dem ein eine innere Spannung in dem plattenförmigen Werkstück vorliegt, wird die innere Spannung beim Entfernen des Kunststoffs von dem plattenförmigen Werkstück abgebaut, sodass eine Biegung oder Welligkeit wieder auftreten kann (ein sogenanntes Zurückspringen). Dieses Problem kann unter Verwendung eines Kunststoffs gelöst werden, der eine ausreichend geringe Schrumpfung beim Aushärten aufweist, um dadurch die Kraft zu reduzieren, die auf dem plattenförmigen Werkstück wirkt. Jedoch ist ein solcher Kunststoff, der ein geringes Schrumpfen aufweist, schwierig auszuhärten und ist ungeeignet zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks. Darüber hinaus wird eine hohe Zeit für das vollständige Aushärten des Kunststoffs benötigt, was die Produktivität reduziert.
  • Es ist darum ein Ziel der vorliegenden Erfindung eine Kunststoffzusammensetzung bereitzustellen, die eine Spannung, die in einem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks generiert wird, reduziert, und auch eine hohe Produktivität erhalten kann.
  • Es ist ein anderes Ziel der vorliegenden Erfindung ein Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung bereitzustellen.
  • In Übereinstimmung mit einem Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Kunststoffzusammensetzung zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks bereitgestellt, wobei die Kunststoffzusammensetzung eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator beinhaltet, der zu der Zusammensetzung hinzugefügt wird, wobei die Zusammensetzung aus (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner gebildet ist.
  • Mit dieser Konfiguration kann das Schrumpfen der Kunststoffzusammensetzung beim Aushärten durch den Weichmacher oder den Reaktivverbinder reduziert werden, sodass es möglich ist, die Kunststoffzusammensetzung zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei das Schrumpfen unterdrückt ist. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks generiert wird.
  • Vorzugsweise beinhaltet das (Meth)acrylat ein erstes (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und ein zweites (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und die erste Zusammensetzung enthält 30–45 Massenprozent des ersten (Meth)acrylats, 5–15 Massenprozent des zweiten (Meth)acrylats und 40–65 Massenprozent des Weichmachers. Vorzugsweise ist der Weichmacher ein Ester. Das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, weist eine hohe Aushärtbarkeit und geringe Schrumpfung auf. Das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, zeigt eine hohe Aushärtbarkeit und hohe Schrumpfung. Der Ester als der Weichmacher zeigt eine geringe Schrumpfung. Folglich ist eine Vielzahl von Materialien in einem geeigneten Verhältnis vermischt, sodass es möglich ist, die Kunststoffzusammensetzung zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei die Schrumpfung unterdrückt wird. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks generiert wird.
  • Vorzugsweise ist das (Meth)acrylat ein (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist und die Zusammensetzung enthält 35 bis 70 Massenprozent des (Meth)acrylats, das die Urethanbindung aufweist und 30–65 Massenprozent des Reaktivverdünners. Vorzugsweise ist der Reaktivverdünner ein Ether, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist.
  • Mit dieser Konfiguration ist die Zusammensetzung durch Mischen des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, und eines Reaktivverdünners, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, gebildet. Entsprechend kann der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in dieser Zusammensetzung reduziert werden. Ferner, da der Reaktivverdünner eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, kann die Viskosität der Zusammensetzung im Vergleich mit einer anderen Verbindung, die mehrere Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, unterdrückt werden. Folglich kann durch Hinzufügen des Reaktivverdünners die Viskosität der Verbindung reduziert werden und der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in der Zusammensetzung kann reduziert werden. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei die Schrumpfung unterdrückt ist. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks generiert wird.
  • In Übereinstimmung mit einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Fixierungsverfahren zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung einer Kunststoffzusammensetzung bereitgestellt, die eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator beinhaltet, der zu der Zusammensetzung hinzugefügt ist, wobei die Zusammensetzung aus einem (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner gebildet ist, wobei das Fixierungsverfahren einen Aufbringungsschritt für eine Kunststoffzusammensetzung zum Zuführen der Kunststoffzusammensetzung zwischen einer Plattform und einer ersten Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks; einem Druckschritt Aufbringen eines Drucks auf dem plattenförmigen Werkstück in einer Richtung von einer zweiten Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks zu der ersten Oberfläche nach dem Durchführen des Aufbringungsschritts für eine Kunststoffzusammensetzung durch den das plattenförmige Werkstück gegen die Plattform gedrückt wird, um die Kunststoffzusammensetzung über die erste Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks gleichmäßig zu verteilen; und einen. Aushärtungsschritt zum Aufbringen von Licht auf die Kunststoffzusammensetzung nach dem Durchführen des Druckschritts, wodurch die Kunststoffzusammensetzung ausgehärtet wird.
  • Die Kunststoffzusammensetzung, die in dem Fixierungsverfahren verwendet wird, beinhaltet die Zusammensetzung und den dazu hinzugefügten Fotopolymerisationsinitiator, wobei die Komposition aus (Meth)acrylat und dem Weichmacher oder dem Reaktivverdünner gebildet ist. Entsprechend kann das Schrumpfen der Kunststoffzusammensetzung beim Aushärten durch den Weichmacher oder den Reaktivverdünner reduziert werden, sodass es möglich ist, das Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei ein Schrumpfen unterdrückt wird, wodurch eine Spannung, die in dem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks generiert wird, reduziert wird und auch eine hohe Produktivität erhalten wird.
  • Das obige und andere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Weise des Realisierens dieser wird klarer und die Erfindung selbst am besten durch ein Studieren der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche mit Bezug zu den angehängten Figuren verstanden, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen.
  • KURZE BESCHREIBUNG DER FIGUREN
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht eines plattenförmigen Werkstücks, das durch eine Kunststoffzusammensetzung entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung fixiert werden soll;
  • 2 ist eine vergrößerte Schnittansicht eines Teils des plattenförmigen Werkstücks, das in 1 gezeigt ist;
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht, die eine Konfiguration einer Fixierungsvorrichtung zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks zeigt;
  • 4 ist eine seitliche Schnittteilansicht die schematisch einem ersten Schritt eines Fixierungsverfahrens zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform zeigt;
  • 5 ist eine zu 4 ähnliche Ansicht, die einen zweiten Schritt des Fixierungsverfahrens zeigt;
  • 6 ist eine zu 4 ähnliche Ansicht, die einen dritten Schritt des Fixierungsverfahrens zeigt;
  • 7 ist eine zu 4 ähnliche Ansicht, die einen vierten Schritt des Fixierungsverfahrens zeigt;
  • 8 ist eine Tabelle, die durch Zusammenfassen der Resultate der Beispiele unter Verwendung einer ersten bevorzugten Ausführungsform der Kunststoffzusammensetzung erhalten wurde; und
  • 9 ist eine Tabelle, die durch Zusammenfassen der Resultate der Beispiele unter Verwendung einer zweiten bevorzugten Ausführungsform der Kunststoffzusammensetzung erhalten wird.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
  • Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird jetzt detailliert mit Bezug zu den Figuren beschrieben. Die vorliegende Erfindung ist nicht auf diese bevorzugte Ausführungsform beschränkt. Ferner können die in dieser bevorzugten Ausführungsform verwendeten Komponenten solche beinhalten, die einfach durch den Fachmann angenommen werden oder im Wesentlichen dieselben Elemente, wie die die im Stand der Technik bekannt sind. Ferner können die im Folgenden beschriebenen Konfigurationen geeignet kombiniert werden. Ferner können die Konfigurationen verschieden ausgelassen, ersetzt oder geändert werden, ohne von dem Umfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen.
  • Die Kunststoffzusammensetzung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform wird zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks wie einem Wafer verwendet. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines plattenförmigen Werkstücks 11, das durch die Kunststoffzusammensetzung entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform zu fixieren ist, und 2 ist eine vergrößerte Schnittansicht eines Teils des plattenförmigen Werkstücks 11, das in 1 gezeigt ist. Wie in 1 gezeigt, ist das plattenförmige Werkstück 11 ein kreisförmiger Wafer (Wafer wie geschnitten), der durch Schneiden eines zylindrischen Ingots mit einem Werkzeug wie einer Bandsäge oder einer Kabelsäge erhalten wurde. Der Ingot ist aus einem Halbleiter wie Silizium, Siliziumcarbid und Galliumnitrid ausgebildet. Wie in 1 gezeigt, weist das plattenförmige Werkstück 11 eine Biegung oder Welligkeit aufgrund des Schneidens des Ingots auf. Das plattenförmige Werkstück 11, das eine solche Biegung oder Welligkeit aufweist, ist nicht zum Ausbilden von Bauelementen geeignet. Entsprechend ist es notwendig, das plattenförmigen Werkstück 11 unter Verwendung einer Kunststoffzusammensetzung zu fixieren und das plattenförmige Werkstück 11 danach flach auszugestalten. Zum Beispiel, wie in 2 gezeigt, wird eine Kunststoffzusammensetzung 15 auf der Rückseite (erste Oberfläche) 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 aufgebracht und danach ausgehärtet, um eine flache Referenzoberfläche 15S auszubilden. Danach wird die vordere Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 geschliffen, um dadurch die Biegung oder Welligkeit, die an der vorderen Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 vorliegt, zu entfernen.
  • 3 ist eine perspektivische Ansicht, welche die Konfiguration einer Fixierungsvorrichtung 2 zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 zeigt. Wie in 3 gezeigt, beinhaltet die Fixierungsvorrichtung 2 eine Zufuhrwalze 4, auf welcher ein Film 13 aufgerollt ist, und eine Aufnahmewalze 6, um den Film 13, der von der Zufuhrwalze 4 zugeführt wurde, aufzunehmen.
  • Jede die Zufuhrwalze 4 und die Aufnahmewalze 6 ist mit einer Drehantriebsquelle (nicht dargestellt), wie einem Motor verbunden, um dadurch den Film 13 von der Zufuhrwalze 4 zu der Aufnahmewalze 6 zu bewegen. Der Film 13 ist aus einem weichen Kunststoffmaterial wie einem Polyolefin ausgebildet.
  • Die Fixierungsvorrichtung 2 beinhaltet eine Kunststoffzufuhreinheit 8, wie einen Schlitzbeschichter oberhalb der Zufuhrwalze 4. Die Kunststoffzufuhreinheit 8 dient dazu, den die Kunststoffzusammensetzung 15 in einem flüssigen Zustand an der vorderen Seite 13a des Films 13, der von der Zufuhrwalze 4 zugeführt wurde, aufzubringen. Die Kunststoffzusammensetzung 15, wird im Folgenden detailliert beschrieben.
  • Die Fixierungsvorrichtung 2 beinhaltet ein Paar Walzen 10 und 12 oberhalb der Kunststoffzufuhreinheit 8. Die Walze 10 ist eine untere Walze und die Walze 12 ist eine obere Walze.
  • Diese Walzen 10 und 12 dienen dazu, das plattenförmigen Werkstück 11 an der vorderen Seite 13a des Films 13, an welchem die Kunststoffzusammensetzung 15 aufgebracht wurde, zu positionieren. D. h., dass das plattenförmige Werkstück 11 durch die Kunststoffzusammensetzung 15 an der vorderen Seite 13a des Films 13 durch die Walzen 10 und 12 positioniert ist. Die untere Walze 10 dient dazu, die Vorschubrichtung des Films 13 zu ändern und die vordere Seite 13a des Films 13, an welcher die Kunststoffzusammensetzung 15 aufgebracht wurde, nach oben zu orientieren.
  • Folglich wird das plattenförmige Werkstück 11 an der vorderen Seite 13a des Films mit der Kunststoffzusammensetzung 15 dazwischen eingefügt aufgebracht. Während die hintere Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 in Kontakt mit der Kunststoffzusammensetzung 15 in dieser bevorzugten Ausführungsform kommt, kann die vordere Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 in Kontakt mit der Kunststoffzusammensetzung 15 kommen. Die obere Walze 12 wird gedreht, sodass sie gegen das plattenförmige Werkstück 11, das an den Film 13 aufgebracht ist, gedrückt wird. Das plattenförmige Werkstück 11, das an den Film 13 angebracht wurde, ist zwischen den Walzen 10 und 12 von beiden Seiten beaufschlagt und danach an den Film 13 positioniert.
  • Die Fixierungsvorrichtung 2 beinhaltet eine Aushärtungseinheit 14 für Kunststoff benachbart zu den Walzen 10 und 12 an der Seite stromab davon. Das plattenförmige Werkstück 11, das an den Film 13 durch die Kunststoffzusammensetzung 15 durch die Walzen 10 und 12 positioniert ist, wird zu der Aushärtungseinheit 14 für Kunststoff zugeführt. Die Aushärtungseinheit 14 für Kunststoff, beinhaltet eine im Wesentlichen kastenförmige Basis 16, die einen inneren Raum aufweist. Eine Plattform 18, die eine im Wesentlichen flache Oberfläche aufweist, ist an dem oberen Abschnitt der Basis 16 bereitgestellt, sodass sie den inneren Raum der Basis 16 schließt.
  • Die Plattform 18 ist zum Beispiel aus einem Bohrsilicatglas oder Silicaglas. Die Plattform 18 kann Licht transmittieren, das eine Wellenlänge aufweist, welche die Kunststoffzusammensetzung 15 aushärtet. Die Oberfläche der Plattform 18 wird als eine Halteoberfläche zum Halten des Films 13 verwendet, der von den Walzen 10 und 12 zugeführt wird. Der Film 13, der auf die Plattform 18 gesetzt ist, wird eine Halteoberfläche, unter einem Saugen durch betätigen eines Saugmechanismus (nicht dargestellt) oder dergleichen gehalten.
  • Eine Lichtquelle 20 zum Strahlen von nicht, dass eine Wellenlänge aufweist, welche die Kunststoffzusammensetzung 15 aushärtet, ist unterhalb der Plattform 18 bereitgestellt. Ein Verschluss 22 zum Blockieren des Lichts von der Lichtquelle 20 ist zwischen der Plattform 18 und der Lichtquelle 20 bereitgestellt. Ferner ist ein Filter 24 zum Blockieren von Licht, das eine Wellenlänge aufweist, die für das Aushärten der Kunststoffzusammensetzung 15 nicht benötigt wird, unmittelbar oberhalb des Verschlusses 22 bereitgestellt.
  • Entsprechend, wenn der Verschluss 22 vollständig geschlossen ist, ist das Licht von der Lichtquelle 20 durch den Verschluss 22 blockiert und erreicht die Plattform 18 nicht. Andererseits, wenn der Verschluss 22 geöffnet ist, wird das nicht von der Lichtquelle 20 durch den Filter 24 und die Plattform 18 transmittiert und dann auf den Film 13 aufgebracht. Der Film 13 kann das Licht, transmittieren, sodass die Kunststoffzusammensetzung 15 durch das Licht, das durch den Film 13 transmittiert wird, ausgehärtet wird.
  • Die Basis 16 weist eine Seitenwand auf, durch welche ein Evakuierungsrohr 26 sich in den inneren Raum erstreckt. Das Evakuierungsrohr 26 ist mit einer Evakuierungspumpe (nicht dargestellt) oder dergleichen verbunden, die außerhalb der Basis 16 bereitgestellt ist. Wenn sich die Temperatur in der Basis 16 sich aufgrund des Lichts von der Lichtquelle 20 erhöht, kann die Plattform 18 verformt werden, was eine Reduktion der Flachheit der Halteoberfläche verursacht. Um mit diesem Problem umzugehen, wird der innere Raum der Basis 16 durch das Evakuierungsrohr 26 evakuiert, indem die Evakuierungspumpe betätigt wird, wodurch eine Temperaturerhöhung in der Basis 16 unterdrückt wird.
  • Ein Trägeraufbau 28 ist benachbart zu der Plattform 18 an der oberen Seite davon bereitgestellt. Der Trägeraufbau 28 beinhaltet einen Wandabschnitt 28a, der sich vertikal von der von dem oberen Ende der Basis 16 an seinem hinteren Abschnitt und einem überhängenden Abschnitt 28b erstreckt, der horizontal von dem oberen Ende des Flanschabschnitts 28a zu der vorderen Seite oberhalb der Plattform 18 hervorsteht. Ein Druckmechanismus 30 für ein Abwärtspressen des plattenförmigen Werkstücks 11, das an dem Film 13 positioniert ist, ist oberhalb des zentralen Bereichs des Überhangabschnitts 28b, der oberhalb der Plattform 18 liegt, bereitgestellt.
  • Der Druckmechanismus 30 beinhaltet einen zentralen Hauptstab 32, der sich vertikal erstreckt, und mehrere (vier in dieser bevorzugten Ausführungsform) Unterstäbe 34, die parallel zu dem Hauptstab 32 angeordnet sind. Die mehreren Unterstäbe 34 sind, um den Hauptstab 32 in im Wesentlichen gleichen Abständen angeordnet. Ein kreisförmiges Druckpad 36, das eine Form aufweist, die der Form des plattenförmigen Werkstücks 11 entspricht, ist an den unteren Enden des Hauptstabs 32 und in mehreren Unterstäben 34 fixiert.
  • Jeder der Hauptstab 32 und die mehreren Unterstäbe 34 ist mit einem Hebemechanismus (nicht dargestellt) verbunden, der einen Motor oder dergleichen beinhaltet. Wenn der Hebemechanismus betätigt wird, um den Hauptstab 32 und die mehreren Unterstäbe 34 abzusenken, kann die vordere Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 durch das Druckpad 36 gedrückt werden. Der Hebelmechanismus kann den Hauptstab 32 und die mehreren Unterstäbe 34 unabhängig bewegen, um dadurch einen Druck anzupassen, der an dem plattenförmigen Werkstück 11 aufgebracht wird.
  • Nach dem Setzen der hinteren Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 auf die Kunststoffzusammensetzung 15, die auf den Film 13 aufgebracht ist, wird die vordere Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 durch ein Betätigen des Druckmechanismus 30 wie oben beschrieben gedrückt, um dadurch die Kunststoffzusammensetzung 15 gleichmäßig zwischen der vorderen Seite 13a des Films 13 und der hinteren Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 zu verteilen. Danach wird Licht von der Lichtquelle 20 auf die Kunststoffzusammensetzung 15 aufgebracht, um dadurch die Kunststoffzusammensetzung 15 auszuhärten. Als ein Ergebnis kann das plattenförmige Werkstück 11 an dem Film 13 durch die Kunststoffzusammensetzung 15 fixiert werden.
  • Die Fixierungsvorrichtung 2 beinhaltet ferner eine Schneideinheit 38 für einen Film, die benachbart zu der Aushärtungseinheit 14 für einen Kunststoff an der Seite stromab davon benachbart ist. Das plattenförmige Werkstück 11, das durch die Kunststoffzusammensetzung 15 in der Aushärtungseinheit 14 für einen Kunststoff fixiert ist, wird zu der Schneideinheit 38 für den Film zugeführt. Die Schneideinheit 38 für einen Film beinhaltet im Wesentlichen eine kastenförmige Basis 40. Ein Tisch 42, der eine im Wesentlichen flache obere Oberfläche aufweist, ist an dem oberen Abschnitt der Basis 40 bereitgestellt. Die obere Oberfläche des Tischs 42 wird als eine Halteoberfläche zum Halten des Films 13 verwendet, der von der Aushärtungseinheit 14 für einen Kunststoff zugeführt wird.
  • Ein Trägeraufbau 44 ist benachbart zu dem Tisch 42, an der oberen Seite davon bereitgestellt. Der Trägeraufbau 44 beinhaltet einen Wandabschnitt 44a, der sich vertikal von dem oberen Ende der Basis 40 an seinem hinteren Abschnitt und an einem überhängenden Abschnitt 44b, der sich horizontal von dem oberen Ende des Wandabschnitts 44a zu der vorderen Seite oberhalb des Tischs 42 hervorsteht, erstreckt. Ein Schneidmechanismus 46 zum kreisförmigen Schneiden des Films 13 ist an dem zentralen Bereich des Überhangabschnitts 44b, der über den Tisch 42 liegt, bereitgestellt.
  • Der Schneidmechanismus 46 beinhaltet einen sich vertikal erstreckenden Stab 48 und eine Schneidvorrichtung 50, die eine ringförmige Schneidklinge aufweist, die größer als der Durchmesser des plattenförmigen Werkstücks 11 ist. Die Schneidvorrichtung 50 ist an dem unteren Ende des Stabs 48 fixiert. Ein Hebemechanismus (nicht dargestellt), wie ein Luftzylinder ist mit dem oberen Abschnitt des Stabs 48 verbunden. Entsprechend ist die Schneidvorrichtung 50 vertikal durch den Hebemechanismus bewegbar. Wenn der Hebemechanismus betätigt wird, um die Schneidvorrichtung 50 abzusenken, kommt die Schneidvorrichtung 50 in Kontakt mit dem Film 13, der an dem Tisch 42 gehalten wird, sodass der Film 13 in einer kreisförmige Form, entsprechend der äußeren Form des plattenförmigen Werkstücks 11 geschnitten werden kann. Danach wird das plattenförmige Werkstück 11 durch die Kunststoffzusammensetzung 15 an dem Film 13 in der Fixierungsvorrichtung 2, wie oben genannt fixiert, wurde, zu einer Schneidvorrichtung (nicht dargestellt) transferiert. In der Schneidvorrichtung wird die vordere Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 geschliffen. Danach werden die Kunststoffzusammensetzung 15 und der Film 13 entfernt.
  • Als nächstes wird ein Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung 15 entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform beschrieben. 4, 5, 6 und 7 sind seitliche Schnittteilansichten, die das Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung 15 schematisch zeigen. In dem Fixierungsverfahren entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform wird zuerst ein Zufuhrschritt für eine Kunststoffzusammensetzung (erster Schritt) in einer solchen Weise durchgeführt, dass die Kunststoffzusammensetzung 15 zwischen der Plattform 18 zum Halten des plattenförmigen Werkstücks 11 und der hinteren Seite (erste Oberfläche) 11b des plattenförmigen Werkstücks elf zugeführt wird. Genauer gesagt, wie in 4 gezeigt, wird die hintere Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 auf die Kunststoffzusammensetzung 15 in einem flüssigen Zustand, die von der Kunststoffzufuhreinheit 8 auf dem Film 13 zugeführt wurde, aufgelegt und danach zu der oberen Oberfläche der Plattform 18 der Aushärtungseinheit 14 für Kunststoff zugeführt wird. Zu diesem Zeitpunkt ist der innere Raum der Basis 16 durch die Evakuierungspumpe, die mit dem Evakuierungsrohr 26 verbunden ist, evakuiert, wodurch eine Temperaturerhöhung in der Basis 16 unterdrückt wird. Ferner wird der Verschluss 22 vorher geschlossen.
  • Nach dem Durchführen des Zufuhrschritts für eine Kunststoffzusammensetzung wird ein Druckschritt (zweiter Schritt) in einer solchen Weise durchgeführt, dass das Druckpad 36 abgesenkt wird, um die vordere Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11, wie in 5 gezeigt, nach unten zu drücken. In dem Druckschritt wird das plattenförmige Werkstück 11 direkt unterhalb des Druckmechanismus 30 positioniert und der Film 13 wird an der Halteoberfläche der Plattform 18 unter einem Saugen gehalten. In diesem Zustand wird das Druckpad 36 abgesenkt, um das plattenförmige Werkstück 11 nach unten zu drücken. Als ein Ergebnis wird die Kunststoffzusammensetzung 15 gleichmäßig in einem flüssigen Zustand zwischen der vorderen Seite 13a (Oberfläche) des Films 13 und der hinteren Seite 11b (untere Oberfläche) des plattenförmigen Werkstücks 11 verteilt.
  • Nach dem gleichmäßigen Verteilen der Kunststoffzusammensetzung 15 in einem flüssigen Zustand, wie oben beschrieben, wird das Druckpad 36 angehoben, um den Druck, der auf dem plattenförmigen Werkstück 11 aufgebracht ist, freizugeben, wie in 6 gezeigt (dritter Schritt). Nach dem Durchführen des Druckschritts (des zweiten und dritten Schritts) wird ein Aushärtungsschritt (vierter Schritt) in einer solchen Weise durchgeführt, das Licht zu der Kunststoffzusammensetzung 15 zugeführt wird, um dadurch die Kunststoffzusammensetzung 15 auszuhärten. Insbesondere, wie in 7 gezeigt, wird der Verschluss 22 geöffnet und die Lichtquelle 20 wird angeschaltet, um Licht (zum Beispiel ultraviolettes Licht) von der Lichtquelle 20 zu der Kunststoffzusammensetzung 15 zuzuführen. Als ein Ergebnis wird die Kunststoffzusammensetzung 15 ausgehärtet, um dadurch das plattenförmige Werkstück 11 durch die Kunststoffzusammensetzung 15 an dem Film 13 zu fixieren.
  • Die obere Oberfläche der Plattform 18 zum Halten der Kunststoffzusammensetzung 15 und des plattenförmigen Werkstücks 11 ist im Wesentlichen flach, sodass die untere Oberfläche (die Referenzoberfläche 15S, die in 1 gezeigt ist), der Kunststoffzusammensetzung 15, die in Kontakt mit der vorderen Seite 13a (Oberfläche) des Films 13 gehalten wird, die an der oberen Oberfläche der Plattform 18 gehalten wird, auch im Wesentlichen flach ist. Nach dem Durchführen des Aushärtungsschritts wird ein Schneidschritt durchgeführt, um die vordere Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks elf, dessen hintere Seite 11b an der Kundschaft Zusammensetzung 15 fixiert ist, zu schleifen. Beim Durchführen des Schneidschritts wird das plattenförmige Werkstück 11, das durch den Kunststoff 15 an dem Film 13 fixiert ist, zu einer Schleifvorrichtung (nicht dargestellt) transferiert. Obwohl nicht dargestellt, beinhaltet die Schleifvorrichtung eine Plattform (Einspanntisch), der eine flache Oberfläche zum Halten der unteren Oberfläche (der Referenzoberfläche 15S) der Kunststoffzusammensetzung 15 aufweist, die das plattenförmigen Werkstück 11 fixiert, und ein Schleifmechanismus, der beweglich sowohl in einer horizontalen Richtung und in einer vertikalen Richtung bezüglich dieser Plattform ist. Das plattenförmige Werkstück 11, das durch die Kunststoffzusammensetzung 15 an dem Film 13 fixiert ist, wird an der flachen Oberfläche der Plattform der Schneidvorrichtung 11 in dem Zustand platziert, in dem die vordere Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 nach oben freigibt. In diesem Zustand wird die vordere Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 durch den Schleifmechanismus geschliffen, um dadurch im Wesentlichen die vordere Seite 11a flach auszugestalten. Nach dem Schleifen der vorderen Seite 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 wird ein Entfernungsschritt durchgeführt, um die Kunststoffzusammensetzung 15 und den Film 13 von dem plattenförmigen Werkstück 11 zu entfernen. Ein Herstellungsverfahren für das plattenförmige Werkstück 11 ist, durch Hinzufügen des Fixierungsverfahrens, das oben genannt ist, des Schleifschritts zum Schleifen der vorderen Seite (zweiten Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11 und des Entfernungsschritts zum Entfernen der Kunststoffzusammensetzung 15 und des Films 13 von dem plattenförmigen Werkstück 11 ausgestaltet.
  • In dem Fixierungsverfahren für das plattenförmige Werkstück 11, wie oben beschrieben, wird die Kunststoffzusammensetzung 15 in einem flüssigen Zustand auf dem plattenförmigen Werkstück 11 aufgebracht und danach ausgehärtet, um das plattenförmige Werkstück 11 zu fixieren. Als eine erste bevorzugte Ausführungsform der Kunststoffzusammensetzung 15 ist eine Kunststoffzusammensetzung 15a der vorliegenden Erfindung angewendet. Alternativ ist als eine zweite bevorzugte Ausführungsform der Kunststoffzusammensetzung 15 eine Kundschaft Zusammensetzung 15b in der vorliegenden Erfindung verwendet. Die Kunststoffzusammensetzungen 15a oder 15b können in kurzer Zeit ausgehärtet werden, wobei das Schrumpfen unterdrückt wird, wodurch eine geeignete Fixierung des plattenförmigen Werkstücks 11 erreicht wird. Im Folgenden wird die Kunststoffzusammensetzung 15a als die erste bevorzugte Ausführungsform und die Kunststoffzusammensetzung 15b als die zweite bevorzugte Ausführungsform beschrieben.
  • Die Kunststoffzusammensetzung 15a als die erste bevorzugte Ausführungsform beinhaltet eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator, der zu dieser Zusammensetzung in einem vorbestimmten Verhältnis (zum Beispiel 1% bis 5%) zu der Gesamtmenge der Zusammensetzung hinzugefügt wird, wobei diese Zusammensetzung (die später als Zusammensetzung A bezeichnet wird) aus einem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, einem(Meth)acrylat, das keine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, und einem Weichmacher ausgebildet ist. Der Inhalt des Fotopolymerisationsinitiators ist willkürlich in einem solchen Bereich angepasst, dass ein Aushärten der Kunststoffzusammensetzung 15a erhalten werden kann.
  • Der Begriff (Meth)acrylat bedeutet Acrylat als eine Verbindung einer Acrylsäure oder Methacrylat asl eine Komponente einer Methacrylsäure. Das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, weist eine Urethangruppe in einem Molekül auf. Beispiele, die eine Urethanbindung aufweisen, beinhalten die folgenden Produkt: Light acrylate IAA, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H, UF-8001G, DAUA-167 und UF-07DF (von Kyoeisha Chemical Co., Ltd. hergestellt); R-1235, R-1220, RST-201, RST-402, R-1301, R-1304, R-1214, R-1302XT, GX-8801A, R-1603, R-1150D, DOCR-102, und DOCR-206 (von Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. hergestellt); und UX-3204, UX-4101, UXT-6100, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, UXF-4001-M35, UXF-4002, DPHA-40H, UX-5000, UX-5102D-M20, UX-5103D, UX-5005, UX-3204, UX-4101, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, UXF-4001-M35, UXF-4002, UXT-6100, DPHA-40H, UX-5000, UX-5102D-M20, UX-5103 und UX-5005 (von Nippon Kayaku Co., Ltd. hergestellt). In dieser bevorzugten Ausführungsform wird UF-07DF (von Kyoeisha Chemical Co., Ltd. hergestellt) als das (Meth)acrylat verwendet, das eine Urethanbond aufweist.
  • Das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, weist keine Urethangruppe in einem Molekül auf. Beispiele des (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, beinhalten Tetrahydrofurfurylacrylat, Isobornylacrylat, Phenylglycidyletheracrylat, und 1,9-nonane-diol-diacylat. In dieser bevorzugten Ausführungsform werden Tetrahydrofurfurylacrylat oder Isobornylacrylate als das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, verwendet.
  • Dieser Weichmacher hat eine Eigenschaft, sodass es unwahrscheinlich ist, dass dieser mit einer Acrylgruppe in dem (Meth)acrylat reagiert. Entsprechend kann bei Mischen des (Meth)acrylats und des Weichmachers, um das Polymerisieren durchzuführen, das Schrumpfen der Kunststoffzusammensetzung 15a unterdrückt werden. Beispiele des Weichmachers, der in dieser bevorzugten Ausführungsform verwendet wird, beinhaltend Phthalsäureester wie Dimethylphthalat und Ethylphthalylethylglycolate, aliphatischen dibasischen Säureester wie Bis [2-(2-butoxyethoxy)ethyl]adipat, Sulfonamid wie N-butylbenzensulfonamid, und Benzosäureglycolester.
  • Der Fotopolymerisationsinitiator dient dazu, die Fotopolymerisation der Zusammensetzung A zu initiieren, die aus (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist (Urethangruppe), das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, und dem Weichmacher zusammengesetzt ist, durch Aufbringen von Licht (z. B. ultraviolettem Licht) auszuhärten. In dieser bevorzugten Ausführungsform wird 1-hydroxycyclohexylphenylketon (z. B. Irgacure (eingetragenes Warenzeichen) 184 usw. hergestellt durch BASF) als der Fotopolymerisationsinitiator verwendet.
  • Die Zusammensetzung A in der Kunststoffzusammensetzung 15a der ersten bevorzugten Ausführungsform enthält 30 bis 45 Massenprozent (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, 5 bis 15 Massenprozent des (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 40 bis 65 Massenprozent eines des Weichmachers.
  • Im Allgemeinen zeigt das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, eine hohe Aushärtbarkeit aber zeigt auch eine hohe Schrumpfung beim Aushärten. Entsprechen, falls die Kunststoffzusammensetzung 15a nur aus dem (Meth)acrylat gebildet ist, das eine Urethanbindung nicht aufweist, kann eine große Spannung in dem plattenförmigen Werkstück 11 generiert werden. Um mit diesem Problem umzugehen enthält die Zusammensetzung A den Weichmacher, der eine geringe Schrumpfung zu dem (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und auch eine geringe Reaktivität mit dem (Meth)acrylat zeigt, das keine Urethanbindung aufweist.
  • Der Weichmacher zeigt eine geringe Festigkeit, sodass, falls das Verhältnis des (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, zu dem Weichmacher zu klein ist, die Kunststoffzusammensetzung 15a schwer auszuhärten ist. Jedoch, falls das Verhältnis des (Meth)acrylats, dass keine Urethanbindung aufweist, zu dem Weichmacher auf ein Verhältnis gesetzt ist, dass geeignet für ein Aushärten ist, kann das Schrumpfen nicht ausreichend unterdrückt werden, sodass ein Problem wie eine Welligkeit oder dergleichen, die an dem plattenförmigen Werkstück 11 überbleiben kann, verursacht werden kann. Um mit diesem Problem umzugehen, enthält die Zusammensetzung A das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, welches eine hohe Aushärtbarkeit und geringe Schrumpfung im Vergleich mit dem (Meth)acrylat aufweist, das keine Urethanbindung aufweist, in einem vorbestimmten Verhältnis. Entsprechend ist die Gesamtmenge des (Meth)acrylats sichergestellt und eine hohe Festigkeit und geringe Schrumpfung werden erhalten. Als ein Ergebnis kann die Zusammensetzung 15a in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden, wobei ein Schrumpfen unterdrückt wird.
  • Im Folgenden werden Beispiele der Zusammensetzung A beschrieben, die aus dem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, dem (Meth)acrylat, dass keine Urethanbindung aufweist, und dem Weichmacher zusammengesetzt ist, wobei in der Vorbereitung der Inhalt von jeder Komponente unterschiedlich vorbereitet ist. D. h. in den folgenden Beispielen ist der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A geändert, um mehrere Kunststoffzusammensetzungen herzustellen.
  • (Beispiel A1)
  • In Beispiel A1 wurde ein Siliziumwafer (ein Wafer wie geschnitten), der durch Schneiden eines Ingots erhalten wurde, als das plattenförmigen Werkstück 11 verwendet. Ferner wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 50 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, 20 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 30 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als das (Meth)acrylat, dass eine Urethanbindung aufweist, wurde UF-07DF (das durch Kyoeisha Chemical Co., Ltd. hergestellt wurde) verwendet. Als das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, wurde Tetrahydrofurfurylacrylat verwendet. Als der Weichmacher wurde Benzosäureglykolester verwendet. Ferner wurde als der Fotopolymerisationsinitiator 1-hydroxycyclohexylphenylketon verwendet und wurde in einem Verhältnis von einem Massenprozent zu der Gesamtmenge der Zusammensetzung A hinzugefügt.
  • Die Kunststoffzusammensetzung 15a, die oben vorbereitet wurde, wurde verwendet, um das plattenförmigen Werkstück (Siliziumwafer) 11 in dem folgenden Fixierungsverfahren zu fixieren. D. h., dass ultraviolettes Licht auf die Kunststoffzusammensetzung 15a für einen vorbestimmten Zeitraum (1 Minute) aufgebracht wurde, um dadurch die Kunststoffzusammensetzung 15a auszuhärten. Unter Verwendung einer Untersuchungsvorrichtung für einen Oberflächendefekt „Makyo” (YIS-300SP hergestellt von Yamashita Denso Corporation) wurde der Oberflächenzustand des plattenförmigen Werkstücks 11, der an der Kunststoffzusammensetzung 15h fixiert war, überprüft. Ferner wurde nach dem Schleifen der vorderen Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11, das an der Kunststoffzusammensetzung 15a fixiert war, und als nächstes Entfernen des plattenförmigen Werkstücks 11 von der Kunststoffzusammensetzung 15a die Menge der Biegung des plattenförmigen Werkstücks 11 und die Größe der Welligkeit an dem plattenförmigen Werkstück 11 untersucht.
  • Die Menge der Biegung des plattenförmigen Werkstücks 11 wurde unter Verwendung einer Messvorrichtung für eine Flachheit (SBW-330 hergestellt von Kobelco Research Institute, Inc.) bewertet. Insbesondere wurden 16 Liniensegmente an der vorderen Seite 11a gezeichnet, sodass sie durch das Zentrum des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 in einer solchen Weise laufen, dass sie in gleichen Winkelintervallen angeordnet sind. An diesen 16 Liniensegmenten wurde die Höhe der vorderen Seite 11a an mehreren Punkten in Abständen von 1 mm gemessen und der Unterschied zwischen einem maximalen Wert und einem minimalen Wert für die gemessene Höhe wurde berechnet. Ferner wurde die Größe der Welligkeit in einem plattenförmigen Werkstück (Siliziumwafer) 11 entsprechend der Krümmung oder Dichte (Helligkeit) einer Sägemarkierung, die beim Schneiden des Ingots zu dem Siliziumwafer ausgebildet wurde, bewertet. Zum Beispiel in dem Fall, dass dieselbe Markierung dunkel war, sodass sie ein Anzeichen für Unebenheiten ist, wurde die Größe der Welligkeit bestimmt groß zu sein.
  • (Beispiel A2)
  • In Beispiel A2 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 45 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 15 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 40 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, wurde Phenylglycidyletheracrylat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A3)
  • In Beispiel A3 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 45 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 10 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 45 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, wurde Dimethylphthalat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A4)
  • In Beispiel A4 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 40 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 10 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 50 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A5)
  • In Beispiel A5 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 40 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 5 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 55 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, wurde Isobornylacrylat verwendet. Als der Weichmacher wurde Dimethylphthalat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A6)
  • In Beispiel A6 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 35 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 5 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 60 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als der Weichmacher wurde Dimethylphthalat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A7)
  • In Beispiel A7 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 30 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 5 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 65 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, wurde Isobornylacrylat verwendet. Als der Weichmacher wurde Dimethylphthalat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • (Beispiel A8)
  • In Beispiel A8 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung A auf 20 Massenprozent für das (Meth)acrylat gesetzt, das eine Urethanbindung aufweist, 0 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, und 80 Massenprozent für den Weichmacher gesetzt. Mit anderen Worten, die Zusammensetzung A in Beispiel A8 enthält kein (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, sondern enthält nur (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und den Weichmacher. Als der Weichmacher wurde Dimethylphthalat verwendet. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie die aus Beispiel A1.
  • 8 ist eine Tabelle, die durch Zusammenfassen der Ergebnisse der Beispiele A1 bis A8 erhalten wurde. In der Spalte „Bewertung” in 8 bedeutet A „gut”, B bedeutet „akzeptabel” und NG bedeutet „schlecht”. 8 zeigt auch Bilder des Oberflächenzustands des plattenförmigen Werkstücks 11, die durch die Untersuchungsvorrichtung für einen Oberflächendefekt aufgenommen wurden. Wie in 8 gezeigt ist in Beispiel A1 das Verhältnis des Weichmachers zu dem (Meth)acrylat gering, sodass die Kunststoffzusammensetzung 15a vor dem Aushärten eine hohe Viskosität und hohe Schrumpfung aufweist. Als ein Ergebnis ist die Menge der Biegung nach dem Aushärten groß und auch die Größe der Welligkeit ist groß. Diese Welligkeit tritt auch in dem Bild durch „MAKYO” auf.
  • In Beispiel 8 ist die Zusammensetzung A zu 20 Massenprozent aus dem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und zu 80 Massenprozent aus dem Weichmacher zusammengesetzt und weist kein (Meth)acrylat auf, das keine Urethanbindung aufweist. Als ein Ergebnis kann die Kunststoffzusammensetzung 15a nicht ausreichend ausgehärtet werden.
  • Im Gegensatz dazu fällt in Beispiel A2 bis A7 der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in dem Bereich von 30–40 Massenprozent, der Inhalt des (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, fällt in den Bereich von 5–15 Massenprozent und der Inhalt des Weichmachers fällt in dem Bereich von 40–65 Massenprozent. In diesen Zuständen kann die Kunststoffzusammensetzung 15a geeignet ausgehärtet werden und die Biegung oder Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 kann unterdrückt werden.
  • Folglich entsprechend dieser bevorzugten Ausführungsform ist der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in der Zusammensetzung A auf 30–45 Massenprozent gesetzt, wobei der Inhalt des (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, in der Zusammensetzung A auf 5–15 Massenprozent gesetzt ist, und der Inhalt des Weichmachers in der Zusammensetzung A auf 40–65 Massenprozent gesetzt ist. Mit dieser Konfiguration kann die Kunststoffzusammensetzung 15a geeignet ausgehärtet werden und die Schrumpfung der Kunststoffzusammensetzung 15a beim Aushärten kann unterdrückt werden. Entsprechend kann die Biegung und Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 unterdrückt werden. Insbesondere durch Setzen des Inhalts des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, auf 30–45 Massenprozent, letzten des Inhalts des (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, auf 5–15 Massenprozent und setzen des Inhalts des Weichmachers auf 45–65 Massenprozent kann die Biegung und Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 weiter unterdrückt werden. Entsprechend kann die Kunststoffzusammensetzung 15a der ersten bevorzugten Ausführungsform in einer kurzen Zeit mit einer unterdrückten Schrumpfung ausgehärtet werden. Als ein Ergebnis kann eine Belastung, die in dem plattenförmigen Werkstück 11 beim Fixieren generiert wird, reduziert werden und eine hohe Produktivität kann erhalten werden.
  • Die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform wird jetzt beschrieben. Im Vergleich mit der Kunststoffzusammensetzung 15a der ersten bevorzugten Ausführungsform, die oben genannt ist, unterscheidet sich die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform deutlich in dem Punkt, dass das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, nicht verwendet wird. Die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform beinhaltet eine Zusammensetzung eines Fotopolymerisationsinitiators, der zu dieser Zusammensetzung in einem vorbestimmten Anteil hinzugefügt ist (zum Beispiel einen 1 bis 5%) zu der Gesamtmenge dieser Zusammensetzung, wobei diese Zusammensetzung (die später als Zusammensetzung B bezeichnet wird) aus einem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, und einem Reaktivverdünner gebildet ist. Der Anteil des Fotopolymerisationsinitiators ist willkürlich angepasst in einem solchen Wirkbereich, dass eine Aushärtbarkeit der Kunststoffzusammensetzung 15b erhalten werden kann.
  • Das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung (Urethangruppe) als eine Urethangruppe in einem Molekül aufweist. Beispiele des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, beinhalten die folgende Produkte, Light acrylate IAA, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H, UF-8001G, DAUA-167 und UF-07DF (von Kyoeisha Chemical Co., Ltd. hergestellt); R-1235, R-1220, RST-201, RST-402, R-1301, R-1304, R-1214, R-1302XT, GX-8801A, R-1603, R-1150D, DOCR-102, and DOCR-206 (von Dai-ichi Kogyo Seiyaku Co., Ltd. hergestellt); und UX-3204, UX-4101, UXT-6100, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, UXF-4001-M35, UXF-4002, DPHA-40H, UX-5000, UX-5102D-M20, UX-5103D, UX-5005, UX-3204, UX-4101, UX-6101, UX-7101, UX-8101, UX-0937, UXF-4001-M35, UXF-4002, UXT-6100, DPHA-40H, UX-5000, UX-5102D-M20, UX-5103 und UX-5005 (von Nippon Kayaku Co., Ltd. hergestellt). In dieser bevorzugten Ausbildungsform wird UF-07DF (hergestellt von Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, verwendet.
  • Der Reaktivverdünner dient dazu, die Viskosität des (Meth)acrylats zu senken, ohne dessen Charakteristika zu schädigen. Beispiele eines Reaktivverdünners beinhalten Glycidylether. In dieser bevorzugten Ausführungsform werden 2-ethylhexylglycidylether (Formel 1), P-sec-butylphenyl-glycidylether (Formel 2) oder P-tert-butylphenyl-glycidylether (Formel 3) als der Reaktivverdünner verwendet. (Formel 1)
    Figure DE102017202042A1_0002
    (Formel 2)
    Figure DE102017202042A1_0003
    (Formel 3)
    Figure DE102017202042A1_0004
  • Der Glycidylether, der in jeder Formel 1–3 gezeigt ist, weist eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül auf. Die Reaktion zwischen dem (Meth)acrylat und dem Reaktivverdünner in dieser bevorzugten Ausführungsform beinhaltet, dass die Epoxidgruppe, die in dem als der Reaktivverdünner enthalten ist, modifiziert wird, um eine starke Kopplung zwischen dem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und dem Reaktivverdünner zu leisten. Die Reaktion zwischen dem (Meth)acrylat und dem Reaktivverdünner beinhaltet ferner, dass die Epoxidgruppe beibehalten wird und das (Meth)acrylat und der Reaktivverdünner miteinander interagieren.
  • Der Fotopolymerisationsinitiator dient dazu die Fotopolymerisation der Zusammensetzung B, die aus dem (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung (Urethangruppe) aufweist, und dem Reaktivverdünner zusammengesetzt ist, durch Aufbringen von Licht (zum Beispiel ultraviolettes Licht) auszuhärten. In dieser bevorzugten Ausführungsform wird 1-hydroxycyclohexylphenylketon (z. B. Irgacure (eingetragenes Warenzeichen) 184 usw. hergestellt durch BASF) als der Fotopolymerisationsinitiator verwendet.
  • Die Zusammensetzung B der Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform enthält 35–70 Massenprozent des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, und 30–65 Massenprozent des Reaktivverdünners.
  • Im Allgemeinen zeigt das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, eine hohe Aushärtbarkeit und eine geringe Schrumpfung beim Aushärten. Jedoch, da dieses (Meth)acrylat eine Urethanbindung in einem Molekül aufweist, weist dieses (Meth)acrylat ein großes Molekulargewicht auf und tendiert dazu eine hohe Viskosität zu haben. Um mit diesem Problem umzugehen, ist ein (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, normalerweise mit dem (Meth)acrylat gemischt, dass eine Urethanbindung aufweist, weil das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, eine geringe Viskosität mit hoher Schrumpfung beim Aushärten aufweist. In der zweiten bevorzugten Ausführungsform werden das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und der Reaktivverdünner, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, miteinander gemischt, um die Zusammensetzung B auszubilden, sodass der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in der Zusammensetzung reduziert werden kann. Ferner, im Vergleich mit einem Reaktivverdünner, der mehrere Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, kann der Reaktivverdünner, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, die Viskosität der Zusammensetzung B reduzieren. Folglich enthält die Zusammensetzung B nicht das (Meth)acrylat, das keine Urethanbindung aufweist, sondern enthält das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und den Reaktivverdünner, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist. Mit dieser Konfiguration kann das Fortschreiten der Reaktion des Epoxidkunststoffs unterdrückt werden und die Reaktion des Epoxidkunststoffs kann angepasst werden, sodass sie nicht vollständig vollzogen wird. Folglich wird in der zweiten bevorzugten Ausführungsform die Viskosität der Zusammensetzung B unterdrückt und der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung in der zweiten Zusammensetzung B aufweist, ist reduziert. Entsprechend kann die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden, in dem ultraviolettes Licht aufgebracht wird, wobei das Schrumpfen unterdrückt wird. Als ein Ergebnis kann eine Spannung, die in dem plattenförmigen Werkstück 11 beim Fixieren generiert wird, reduziert werden.
  • Im Folgenden werden Beispiele der Zusammensetzung B beschrieben, die aus dem (Meth)acrylat ausgebildet ist, das eine Urethanbindung aufweist, und dem Reaktivverdünner ausgebildet ist, die so vorbereitet sind, dass der Inhalt einer jeden Komponente unterschiedlich ist. D. h., dass in den folgenden Beispielen der Inhalt eine jeder Komponente der Zusammensetzung B geändert ist, um mehrere Kunststoffzusammensetzung zu präparieren.
  • (Beispiel B1)
  • In Beispiel B1 wird ein Siliziumwafer (ein Wafer wie geschnitten), der durch Schneiden eines Ingots erhalten wurde, als das plattenförmige Werkstück 11 verwendet. Ferner ist der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 70 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 30 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Als das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, wurde UF-07DF (hergestellt durch Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) verwendet. Als der Reaktivverdünner wurde 2-ethylhexyl-glycidylether verwendet. Ferner wurde als der Fotopolymerisationsinitiator 1-hydroxycyclohexylphenylketon verwendet und es wurde in einem Verhältnis von einem Massenprozent zu der Gesamtmenge der Zusammensetzung B hinzugesetzt.
  • Die Kunststoffzusammensetzung 15b, die oben vorbereitet wurde, wurde verwendet, um das plattenförmigen Werkstück (Siliziumwafer) 11 in dem folgenden Fixierungsverfahren zu fixieren. D. h., dass ultraviolettes Licht auf die Kunststoffzusammensetzung 15b für einen vorbestimmten Zeitraum (1 Minute) aufgebracht wurde, um dadurch die Kunststoffzusammensetzung 15b auszuhärten. Unter Verwendung einer Untersuchungsvorrichtung für einen Oberflächendefekt „Makyo” (YIS-300SP hergestellt von Yamashita Denso Corporation) wurde der Oberflächenzustand des plattenförmigen Werkstücks 11, der an der Kunststoffzusammensetzung 15a fixiert war, überprüft. Ferner wurde nach dem Schleifen der vorderen Seite (zweite Oberfläche) 11a des plattenförmigen Werkstücks 11, das an der Kunststoffzusammensetzung 15b fixiert war, und als nächstes Entfernen des plattenförmigen Werkstücks 11 von der Kunststoffzusammensetzung 15b die Menge der Biegung des plattenförmigen Werkstücks 11 und die Größe der Welligkeit an dem plattenförmigen Werkstück 11 untersucht.
  • Die Menge der Biegung des plattenförmigen Werkstücks 11 wurde unter Verwendung einer Messvorrichtung für eine Flachheit (SBW-330 hergestellt von Kobelco Research Institute, Inc.) bewertet. Insbesondere wurden 16 Liniensegmente an der vorderen Seite 11a gezeichnet, sodass sie durch das Zentrum des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 in einer solchen Weise laufen, dass sie in gleichen Winkelintervallen angeordnet sind. An diesen 16 Liniensegmenten wurde die Höhe der vorderen Seite 11a an mehreren Punkten in Abständen von 1 mm gemessen und der Unterschied zwischen einem maximalen Wert und einem minimalen Wert für die gemessene Höhe wurde berechnet. Ferner wurde die Größe der Welligkeit in einem plattenförmigen Werkstück (Siliziumwafer) 11 entsprechend der Krümmung oder Dichte (Helligkeit) einer Sägemarkierung, die beim Schneiden des Ingots zu dem Siliziumwafer ausgebildet wurde, bewertet. Zum Beispiel in dem Fall, dass dieselbe Markierung dunkel war, sodass sie ein Anzeichen für Unebenheiten ist, wurde die Größe der Welligkeit bestimmt groß zu sein.
  • (Beispiel B2)
  • In Beispiel B2 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 60 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 40 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Beispiel B3)
  • In Beispiel B3 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 50 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 50 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Beispiel B4)
  • In Beispiel B4 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 45 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 55 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Beispiel B5)
  • In Beispiel 35 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 40 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 60 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Beispiel B6)
  • In Beispiel B6 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 35 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 65 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Beispiel B7)
  • In Beispiel B7 wurde der Inhalt von jeder Komponente der Zusammensetzung B auf 30 Massenprozent für das (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und 70 Massenprozent für den Reaktivverdünner gesetzt. Die andere Konfiguration ist die gleiche wie in Beispiel B1.
  • (Referenz)
  • Als Referenz wurde ein Epoxidkunststoff eines Bisphenol A Typs als der Reaktivverdünner verwendet. Der Epoxidkunststoff eines Bisphenol A Typs weist zwei Epoxidgruppen in einem Molekül auf, wie in Formel 4 gezeigt. Die restliche Konfiguration ist die gleiche wie in den Beispielen B1 bis B7. (Formel 4)
    Figure DE102017202042A1_0005
  • 9 ist eine Tabelle, die durch Zusammenfassen der Ergebnisse der Beispiele B1 bis B7 erhalten wurde. In der Spalte „Bewertung” in 9 deutet A „gut”, B „akzeptabel” und NG „schlecht” an. 9 zeigt auch Bilder des Oberflächenzustands des plattenförmigen Werkstücks 11, die durch die Untersuchungseinrichtung für einen Oberflächendefekt aufgenommen wurden. Wie in 9 gezeigt, ist in Beispiel B7 der Inhalt des (Meth)acrylats gering, sodass die Kunststoffzusammensetzung 15b nicht ausreichend ausgehärtet werden kann.
  • Im Gegensatz dazu ist in Beispielen B1 bis B6 der Inhalt des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, in den Bereich von 35–70 Massenprozent fallend und der Inhalt des Reaktivverdünners in den Bereich von 30–65 Massenprozent fallend. In diesem Zustand kann die Kunststoffzusammensetzung 15b geeignet ausgehärtet werden und die Biegung und Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Silizium etwas (11 kann auch unterdrückt werden.
  • Obwohl die Bewertung der Beispiele B1 und B6 auf der Basis der Biegung oder Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 „akzeptabel” ist, sind diese Beispiele den anderen Beispielen (Beispiel B2 bis B5) in dem Punkt unterliegen, dass die Schrumpfung höher (Beispiel B1) und die Härte geringer (Beispiel B6) ist. Entsprechend wird durch ein Setzen des Inhalts des (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, auf 40–60 Massenprozent und Setzen des Inhalts des Reaktivverdünners auf 40–60 Massenprozent die Biegung oder Welligkeit des plattenförmigen Werkstücks (Siliziumwafer) 11 weiter unterdrück. Entsprechend kann die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden, wobei das Schrumpfen unterdrückt ist. Als ein Ergebnis kann eine Spannung, die in dem plattenförmigen Werkstück 11 beim Fixieren generiert wird, reduziert werden und eine hohe Produktivität kann erhalten werden.
  • Obwohl nicht in 9 gezeigt, in dem Vergleich mit der Referenz unter Verwendung eines Epoxidkunststoffs eines Bisphenol A Typs, der zwei Epoxidgruppe in einem Molekül als den Reaktivverbinder aufweist, sind die Beispiele, die einen hohen Inhalt des Reaktivverdünners (entsprechende Beispielen B5 bis B7, die eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweisen) vorteilhaft, sodass die Herstellung von nicht reagierten Bindungen unterdrückt werden kann, um dadurch ein Bluten zu reduzieren und entsprechend die Aushärtbarkeit zu verbessern. Im Gegensatz dazu, in dem Fall, in dem der Inhalt des Reaktivverdünners gering ist (entsprechenden Beispielen B1 bis B4, die eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweisen) ist es möglich, die Tendenz zu unterdrücken, dass die Viskosität und das Schrumpfen der Kunststoffzusammensetzung sich erhöhen, wenn der Inhalt des Reaktivverdünners im Vergleich zu der Referenz, die zwei Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist, verringert ist. Als ein Ergebnis kann das Biegen und die Welligkeit nach dem Aushärten unterdrückt werden.
  • Wie oben beschrieben ist die Kunststoffzusammensetzung 15 entsprechend der bevorzugten Ausführungsform eine Kunststoffzusammensetzung zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 und diese Kunststoffzusammensetzung beinhaltet eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator, der zu dieser Zusammensetzung hinzugefügt wird, wobei diese Zusammensetzung (Zusammensetzung A oder B aus (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner zusammengesetzt ist. Das Schrumpfen der Kunststoffzusammensetzung 15 beim Aushärten kann durch den Weichmacher oder den Reaktivverdünner reduziert werden, sodass es möglich ist, die Kunststoffzusammensetzung 15 zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei ein Schrumpfen unterdrückt wird. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung 15 zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück 1 beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 generiert wird.
  • Ferner enthält die Zusammensetzung A, welche die Kunststoffzusammensetzung 15a der ersten bevorzugten Ausführungsform bildet, 30–45 Massenprozent von (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, 15–15 Massenprozent eines (Meth)acrylats, das keine Urethanbindung aufweist, und 40–65 Massenprozent eines Weichmachers, der ein Ester ist. Folglich sind mehrere Materialien in einem geeigneten Verhältnis gemischt, sodass es möglich ist, die Kunststoffzusammensetzung 15a zu realisieren, die in einer kurzen Zeit ausgehärtet werden kann, wobei ein Schrumpfen unterdrückt wird. Entsprechend ist es möglich die Kunststoffzusammensetzung 15a zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 generiert wird.
  • Ferner enthält die Zusammensetzung B, welche die Kunststoffzusammensetzung 15b der zweiten bevorzugten Ausführungsform bildet, 35–70 Massenprozent von (Meth)acrylats, das eine Urethanbindung aufweist, und 30–65 Massenprozent des Reaktivverdünners, der ein Ether ist, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist. Folglich ist eine Mehrzahl von Materialien in einem geeigneten Verhältnis gemischt, sodass es möglich ist, die Kunststoffzusammensetzung 15b, die in einer kurzen Zeit mit einem unterdrückten Schrumpfen ausgehärtet werden kann, zu realisieren. Entsprechend ist es möglich, die Kunststoffzusammensetzung 15b zu erhalten, die eine Spannung reduzieren kann, die in dem plattenförmigen Werkstück 11 beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 generiert wird.
  • Ferner beinhaltet das Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung 15 den Zufuhrschritt für eine Kunststoffzusammensetzung zum Zuführen der Kunststoffzusammensetzung 15 zwischen der Plattform 18 und der hinteren Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11, den Druckschritt zum Aufbringen eines Drucks auf dem plattenförmigen Werkstück 11 in einer Richtung von der vorderen Seite 11a zu der hinteren Seite 11b nach dem Durchführen des Zufuhrschritts für eine Kunststoffzusammensetzung, wodurch das plattenförmige Werkstück 11 gegen die Plattform 18 gedrückt wird, um die Kunststoffzusammensetzung 15 gleichmäßig über die hintere Seite 11b des plattenförmigen Werkstücks 11 zu drücken, und den Aushärtungsschritt zum Aufbringen von Licht auf die Kunststoffzusammensetzung 15 nach dem Durchführen des Druckschritts, wodurch die Kunststoffzusammensetzung 15 ausgehärtet wird. Entsprechend ist es möglich, das Fixierungsverfahren zum Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 unter Verwendung der Kunststoffzusammensetzung 15 an zu realisieren, welche eine Spannung, die in dem plattenförmigen Werkstück 11 beim Fixieren des plattenförmigen Werkstücks 11 generiert wird, reduzieren kann und eine hohe Produktivität erhalten kann.
  • Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung ist durch die beigefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Modifikationen, die in das Äquivalente des Umfangs der Ansprüche fallen, werden der dadurch von der Erfindung umfasst.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 2009-148866 [0002]

Claims (6)

  1. Kunststoffzusammensetzung zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks, wobei die Kunststoffzusammensetzung eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator umfasst, der zu der Zusammensetzung hinzugefügt ist, wobei die Zusammensetzung aus (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner ausgebildet ist.
  2. Kunststoffzusammensetzung nach Anspruch 1, wobei das (Meth)acrylat ein erstes (Meth)acrylat, das eine Urethanbindung aufweist, und ein zweites (Meth)acrylat beinhaltet, das keine Urethanbindung aufweist, wobei die Zusammensetzung 30–45 Massenprozent des ersten (Meth)acrylats, 5–15 Massenprozent des zweiten (Meth)acrylats und 40–65 Massenprozent des Weichmachers beinhaltet.
  3. Kunststoffzusammensetzung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Weichmacher ein Ester ist.
  4. Kunststoffzusammensetzung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das (Meth)acrylat ein (Meth)acrylat ist, das eine Urethanbindung aufweist, und die Zusammensetzung 35–70 Massenprozent des (Meth)acrylats, das die Urethanbindung aufweist, und 30–65 Massenprozent des Reaktivverdünners enthält.
  5. Kunststoffzusammensetzung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Reaktivverdünner ein Ether ist, der eine einzelne Epoxidgruppe in einem Molekül aufweist.
  6. Fixierungsverfahren zum Fixieren eines plattenförmigen Werkstücks unter Verwendung einer Kunststoffzusammensetzung, die eine Zusammensetzung und einen Fotopolymerisationsinitiator beinhaltet, der zu der Zusammensetzung hinzugefügt ist, wobei die Zusammensetzung aus (Meth)acrylat und einem Weichmacher oder einem Reaktivverdünner zusammengesetzt ist, wobei das Fixierungsverfahren umfasst: einen Aufbringungsschritt zum Aufbringen der Kunststoffzusammensetzung zwischen einer Plattform und einer ersten Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks; einen Druckschritt zum Aufbringen eines Drucks auf das plattenförmige Werkstück in einer Richtung von einer zweiten Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks zu der ersten Oberfläche nach dem Durchführen des Aufbringungsschritts für eine Kunststoffzusammensetzung, wodurch das plattenförmige Werkstück gegen die Plattform gedrückt wird, um die Kunststoffzusammensetzung gleichmäßig über die erste Oberfläche des plattenförmigen Werkstücks zu verteilen; und einen Aushärtungsschritt zum Aufbringen von Licht auf die Kunststoffzusammensetzung nach dem Durchführen des Druckschritts, wodurch die Kunststoffzusammensetzung ausgehärtet wird.
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