DE102006055121B4 - Verfahren zur Entfernung von Ladungen von einem Werkstück - Google Patents

Verfahren zur Entfernung von Ladungen von einem Werkstück Download PDF

Info

Publication number
DE102006055121B4
DE102006055121B4 DE102006055121.4A DE102006055121A DE102006055121B4 DE 102006055121 B4 DE102006055121 B4 DE 102006055121B4 DE 102006055121 A DE102006055121 A DE 102006055121A DE 102006055121 B4 DE102006055121 B4 DE 102006055121B4
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
positive
workpiece
negative
charge removal
removal region
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE102006055121.4A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE102006055121A1 (de
Inventor
Toshio Sato
Satoshi Suzuki
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Publication of DE102006055121A1 publication Critical patent/DE102006055121A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE102006055121B4 publication Critical patent/DE102006055121B4/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05FSTATIC ELECTRICITY; NATURALLY-OCCURRING ELECTRICITY
    • H05F3/00Carrying-off electrostatic charges
    • H05F3/04Carrying-off electrostatic charges by means of spark gaps or other discharge devices
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T19/00Devices providing for corona discharge
    • H01T19/04Devices providing for corona discharge having pointed electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01TSPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T23/00Apparatus for generating ions to be introduced into non-enclosed gases, e.g. into the atmosphere

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Elimination Of Static Electricity (AREA)
DE102006055121.4A 2005-11-25 2006-11-21 Verfahren zur Entfernung von Ladungen von einem Werkstück Active DE102006055121B4 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-340027 2005-11-25
JP2005340027A JP4910207B2 (ja) 2005-11-25 2005-11-25 イオンバランス調整方法及びそれを用いたワークの除電方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE102006055121A1 DE102006055121A1 (de) 2007-05-31
DE102006055121B4 true DE102006055121B4 (de) 2018-11-29

Family

ID=38037958

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102006055121.4A Active DE102006055121B4 (de) 2005-11-25 2006-11-21 Verfahren zur Entfernung von Ladungen von einem Werkstück

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7586731B2 (https=)
JP (1) JP4910207B2 (https=)
KR (1) KR100853726B1 (https=)
CN (1) CN1972551B (https=)
DE (1) DE102006055121B4 (https=)
TW (1) TW200738072A (https=)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100759587B1 (ko) * 2005-04-19 2007-09-17 (주)선재하이테크 막대형 이오나이저
JP5097514B2 (ja) * 2007-11-22 2012-12-12 国立大学法人東京工業大学 ワイヤ電極式イオナイザ
JP5299989B2 (ja) * 2007-12-06 2013-09-25 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 イオナイザ
KR100944078B1 (ko) * 2008-01-28 2010-02-24 한국원자력연구원 이온 발생 장치 및 이온 발생 방법
JP5212787B2 (ja) * 2008-02-28 2013-06-19 Smc株式会社 イオナイザ
JP5201338B2 (ja) * 2008-07-08 2013-06-05 Smc株式会社 イオナイザ
CN102106051B (zh) * 2008-08-01 2015-03-25 夏普株式会社 照明装置
JP5336949B2 (ja) * 2009-06-30 2013-11-06 サントリーホールディングス株式会社 樹脂製容器の帯電除去方法、樹脂製容器の殺菌充填方法、樹脂製容器の充填キャッピング方法、樹脂製容器の帯電除去装置および樹脂製容器の殺菌充填システム
JP5435423B2 (ja) 2009-12-09 2014-03-05 Smc株式会社 イオナイザ及び除電方法
CN101969736A (zh) * 2010-11-03 2011-02-09 北京聚星创源科技有限公司 离子发生系统及控制离子平衡度的方法
US9588161B2 (en) 2010-12-07 2017-03-07 Desco Industries, Inc. Ionization balance device with shielded capacitor circuit for ion balance measurements and adjustments
WO2013085952A1 (en) 2011-12-08 2013-06-13 3M Innovative Properties Company An ionization monitoring device and method
JP5945928B2 (ja) * 2012-03-30 2016-07-05 Smc株式会社 電荷発生装置
DE102012207219B4 (de) 2012-04-30 2017-11-23 Gema Switzerland Gmbh Antistatikvorrichtung und zugehöriges Betriebsverfahren
KR101750740B1 (ko) * 2013-04-11 2017-06-27 가부시키가이샤 고가네이 이온 발생기
CN103354693A (zh) * 2013-06-14 2013-10-16 苏州天华超净科技股份有限公司 静电消除系统
WO2015076155A1 (ja) * 2013-11-20 2015-05-28 株式会社コガネイ イオン発生器
US11337783B2 (en) * 2014-10-22 2022-05-24 Ivoclar Vivadent Ag Dental machine tool
US10251251B2 (en) * 2016-02-03 2019-04-02 Yi Jing Technology Co., Ltd Electrostatic dissipation device with static sensing and method thereof
US10548206B2 (en) * 2017-09-05 2020-01-28 International Business Machines Corporation Automated static control
WO2019175952A1 (ja) 2018-03-13 2019-09-19 株式会社 エー・アンド・デイ 除電器、除電器を備えた電子天びん、および除電方法
JP6740299B2 (ja) * 2018-08-24 2020-08-12 ファナック株式会社 加工条件調整装置及び機械学習装置
KR102346822B1 (ko) * 2019-09-17 2022-01-04 (주)선재하이테크 이온 밸런스의 감시 및 이온 밸런스의 자동 조정 기능을 구비한 바 타입 이오나이저
KR102295099B1 (ko) 2019-10-04 2021-08-31 한국전자기술연구원 이온밸런스 측정센서 및 그 측정방법, 이온밸런스 측정센서를 이용한 이온밸런스 조절장치 및 그 조절방법
KR102382561B1 (ko) * 2020-02-21 2022-04-04 에스케이하이닉스 주식회사 이온 발생기의 모니터링 장치 및 시스템
JP7433719B2 (ja) * 2020-04-10 2024-02-20 株式会社ディスコ 加工装置
WO2022092376A1 (ko) * 2020-11-02 2022-05-05 한국전자기술연구원 이온밸런스 측정센서 및 그 측정방법, 이온밸런스 측정센서를 이용한 이온밸런스 조절장치 및 그 조절방법
KR20230000757A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 (주)선재하이테크 광 이오나이저
US11785697B2 (en) * 2022-01-07 2023-10-10 Universal City Studios Llc Systems and methods for monitoring electrostatic buildup for an attraction system
TWI858502B (zh) * 2023-01-11 2024-10-11 有銳有限公司 用於靜電消除設備的離子平衡監控系統與其運作方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4630167A (en) 1985-03-11 1986-12-16 Cybergen Systems, Inc. Static charge neutralizing system and method
DE3603947A1 (de) 1986-02-06 1987-08-13 Stiehl Hans Henrich Dr System zur dosierung von luftgetragenen ionen mit hoher genauigkeit und verbessertem wirkungsgrad zur eliminierung elektrostatischer flaechenladungen
US4951172A (en) 1988-07-20 1990-08-21 Ion Systems, Inc. Method and apparatus for regulating air ionization
JPH03266398A (ja) 1990-03-14 1991-11-27 Kasuga Denki Kk 除電器のイオンバランス制御装置
JPH11135293A (ja) 1997-10-24 1999-05-21 Keyence Corp 除電装置
EP0987929A2 (en) 1998-09-18 2000-03-22 Illinois Tool Works Inc. Ionization system
US6252233B1 (en) 1998-09-18 2001-06-26 Illinois Tool Works Inc. Instantaneous balance control scheme for ionizer
JP2003217892A (ja) 2002-01-22 2003-07-31 Takayanagi Kenkyusho:Kk 静電位イオンバランス測定器および除電装置
US6873515B2 (en) 2002-04-17 2005-03-29 United Microelectronics Corp. Method for preventing electrostatic discharge in a clean room
DE102004043605A1 (de) 2003-09-09 2005-05-19 Smc Corp. Verfahren und Vorrichtung zur statischen Entladung

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2894464B2 (ja) 1992-01-16 1999-05-24 高砂熱学工業株式会社 イオナイザによる帯電物品の除電制御法
EP1448029A3 (en) * 1992-08-14 2010-01-27 Hamamatsu Photonics K.K. Apparatus and method for producing gaseous ions by use of x-rays, and various apparatuses and structures using them
JP2003068497A (ja) 2001-08-29 2003-03-07 Kasuga Electric Works Ltd 直流除電器の制御方法及び制御装置
JP2004063427A (ja) 2002-07-31 2004-02-26 Sunx Ltd 除電装置
JP4184213B2 (ja) * 2003-09-25 2008-11-19 修二 高石 イオン発生量制御方法及びイオナイザー

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4630167A (en) 1985-03-11 1986-12-16 Cybergen Systems, Inc. Static charge neutralizing system and method
DE3603947A1 (de) 1986-02-06 1987-08-13 Stiehl Hans Henrich Dr System zur dosierung von luftgetragenen ionen mit hoher genauigkeit und verbessertem wirkungsgrad zur eliminierung elektrostatischer flaechenladungen
US4951172A (en) 1988-07-20 1990-08-21 Ion Systems, Inc. Method and apparatus for regulating air ionization
JPH03266398A (ja) 1990-03-14 1991-11-27 Kasuga Denki Kk 除電器のイオンバランス制御装置
JPH11135293A (ja) 1997-10-24 1999-05-21 Keyence Corp 除電装置
EP0987929A2 (en) 1998-09-18 2000-03-22 Illinois Tool Works Inc. Ionization system
US6252233B1 (en) 1998-09-18 2001-06-26 Illinois Tool Works Inc. Instantaneous balance control scheme for ionizer
JP2003217892A (ja) 2002-01-22 2003-07-31 Takayanagi Kenkyusho:Kk 静電位イオンバランス測定器および除電装置
US6873515B2 (en) 2002-04-17 2005-03-29 United Microelectronics Corp. Method for preventing electrostatic discharge in a clean room
DE102004043605A1 (de) 2003-09-09 2005-05-19 Smc Corp. Verfahren und Vorrichtung zur statischen Entladung

Also Published As

Publication number Publication date
DE102006055121A1 (de) 2007-05-31
KR20070055393A (ko) 2007-05-30
US7586731B2 (en) 2009-09-08
CN1972551A (zh) 2007-05-30
JP4910207B2 (ja) 2012-04-04
TWI326191B (https=) 2010-06-11
JP2007149419A (ja) 2007-06-14
US20070133145A1 (en) 2007-06-14
KR100853726B1 (ko) 2008-08-22
CN1972551B (zh) 2011-05-04
TW200738072A (en) 2007-10-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102006055121B4 (de) Verfahren zur Entfernung von Ladungen von einem Werkstück
DE3205398A1 (de) Verfahren zur behandlung eines flachen gegenstandes und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE2203067B2 (de) Schaltung für eine elektrische Regelanlage einer Sprühbeschichtungsvorrichtung
DE3633113A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur automatischen erfassung der ansprechspannung eines elektromagnetischen bauteils, insbesondere eines magnetventils
DE2545905A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur aufrechterhaltung einer vorbestimmten elektrisch geladenen atmosphaere
DE2318803A1 (de) Warnanlage
EP3630663B1 (de) Stockwerkpositionserkennungsvorrichtung einer aufzuganlage und verfahren zur erzeugung eines stockwerksignals
DE102015101178A1 (de) Elektronische Vorrichtung mit Funktion zur Bestimmung einer Verschlechterung einer Leiterplatte
DE2543906A1 (de) Feuchtigkeitsfuehler
DE102012101987A1 (de) Spannungsregler für einen Gleitstrommotor
DE69502044T2 (de) Gerät und Verfahren zur Steuerung der freien Ladung auf laufenden Bahnen
DE112019003357T5 (de) Distanzmessvorrichtung
EP2148751B1 (de) Verfahren und vorrichtung zum runden von blechabschnitten
DE4210957A1 (de) Verfahren zum Überwachen des Transportes von Druckerzeugnissen in einer drucktechnischen Maschine
CH678407A5 (https=)
EP0340756A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Überwachung des Vergleichmässigens mindestens eines Faserverbandes in einem Regulierstreckwerk
EP3269674A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum überwachen eines tragmittels für eine aufzuganlage
LU83624A1 (de) Verfahren zur kontrolle der vereinzelung und von fehlstellen bei der zufuehrung von blattfoermigen gut
DE2259479C3 (de) Verfahren und Anordnung zur Einstellung einer elektroerosiven Bearbeitungsmaschine
DE202004016049U1 (de) Testsystem für Solarzellen
DE69528209T2 (de) Detektorvorrichtung für Änderungen einer Versorgungsspannung
DE102014000931B4 (de) Verfahren zum Betrieb einer Ionisatorvorrichtung und Ionisatorvorrichtung zur Beaufschlagung von Luft, z.B. der Innenraumluft von Kraftfahrzeugen, mit negativen Ionen"
DE3637215A1 (de) Aetzdruckmaschine zum herstellen gedruckter schaltungen
DE2242948C2 (de) Verfahren zur berührungslosen Feststellung von fehlerhaft transportiertem oder angelegtem Blattmaterial und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE3854371T2 (de) Vorrichtung umd Verfahren zum Zuführen und Positionieren von zu behandelnden Gegenständen.

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final