KR100944078B1 - 이온 발생 장치 및 이온 발생 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 레이저빔의 입사 위치를 이동하여 용이하게 반응 두께를 변화시킴으로써 발생되는 이온에너지를 변화시킬 수 있는 이온발생장치 및 방법을 제공하고자 한다. 본 발명의 이온발생장치는 단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체, 레이저빔 발생기, 진공 밀폐용기, 및 매개체 공급기로 이루어져서, 레이저빔을 매개체의 일측에 조사하여 매개체의 타측에서 이온 에너지를 발생시킨다. 레이저 조사 위치를 변화시켜 레이저가 반응하는 반응 두께를 달리할 수 있어서 발생되는 이온 에너지를 용이하게 변화시킬 수 있는 특징을 가진다. 매개체로서 단면의 형상이 삼각형인 초극세사를 사용하여 레이저빔의 조사 위치를 바꿈으로 해서 발생하는 이온 에너지를 쉽게 변화시킬 수 있다. 본 발명의 이온발생장치 및 이온발생방법에 의하면, 표적으로 초극세사를 사용하기 때문에 표적의 두께 변경을 위하여 진공 밀폐 용기를 개방하지 않고 손쉽게 두께 변경을 할 수 있을 뿐만 아니라, 초극세사를 표적으로 사용함으로써 표적의 잦은 교체로 말미암아 발생하는 문제들을 쉽게 해결할 수 있는 효과가 있다.

레이저, 초극세사, 이온, 삼각형.

Description

이온 발생 장치 및 이온 발생 방법 {Method and Apparatus for Producing Ion}

본 발명은 레이저를 표적에 조사하여 이온 에너지를 발생시키는 장치 및 방법에 관한 것으로, 구체적으로 초극세사를 표적으로 이용하여 초극세사의 단면 형상이 삼각형임을 이용하여 용이하게 레이저와 반응하는 두께를 변화시킴으로써 발생하는 이온 에너지를 쉽게 변화시킬 수 있는 이온 에너지를 발생시키는 장치 및 방법에 관한 것이다.

집속된 펨토초 고출력 레이저빔에 의해 얇은 두께의 유기화합물인탄화수소 화합물 표적에서 발생하는 플라즈마의 내부에서, 레이저의 전기장의 진폭 변화에 의하여 전자가 요동을 하며 그 일부가 요동 중에 강한 에너지를 얻어 플라즈마를 벗어나 가속이 된다. 이 때 가속되어 플라즈마의 뒷면을 벗어난 전자들은 플라즈마의 표면에 대해 전하 분리를 일으키면서 플라즈마에서 멀어지게 된다. 전하분리에 의해 발생된 전기장은 매우 강하여 플라즈마 표면에 존재하던 일부 양이온들을 분리된 전자들의 방향으로 끌어당겨 전자의 운동 방향으로 가속시킨다.

레이저에 의한 전자와 이온들의 움직임 반응은 표적의 형태와 두께에 매우 큰 영향을 받는다. 레이저 펄스의 시간 폭이 표적의 두께에 비하여 몇 배수가 되어야 플라즈마 내부에서 전자의 요동에 충분한 에너지를 공급하고 따라서 많은 전자가 높은 에너지를 얻어 플라즈마를 탈출할 수 있게 된다. 따라서, 표적의 두께는 레이저 펄스의 시간 폭보다 짧아야 하며 10 마이크론 이하에서 최적치를 가진다.

레이저 출력의 증감 및 레이저빔의 파형 변화가 일정하지 않고 시간에 따라 변화하므로 그에 따라 능동적으로 표적의 두께를 변화시켜 레이저의 변화된 특성에 맞추어줘야 이온의 발생을 효율적으로 유지할 수 있다.

종래에는 레이저빔에 의해 고에너지 이온을 발생시키기 위해 탄화수소 화합물 표적으로 평판 박막 표적을 주로 사용하였다. 종래의 평판 박막 표적을 사용하게 되면, 레이저의 출력이 달라지거나 이온의 에너지를 바꾸어야 하는 경우에는 표적의 두께를 변화시켜야 하므로 표적의 잦은 교체에 따른 많은 문제점들이 발생하였다. 왜냐하면, 레이저빔에 의해 고에너지 이온을 발생시키기 위한 장치들은 진공 밀폐 용기 내에 위치하므로, 표적의 두께를 변경하려면 매번 진공 밀폐 용기에 공기를 주입하여 개방하고 표적을 교체 한 후 다시 진공을 형성하여야 하였기 때문이다. 이로 인해 오랜 대기 시간이 소모될 뿐만 아니라 작업의 효율이 현저히 저하되는 등의 문제들이 발생하게 된다.

또한, 종래의 평판 박막 표적에 레이저 빔을 조사하여 고에너지 이온을 발생시킬 경우, 사용된 평판 박막 표적을 교체해 주어야 하는데, 이 때에도 진공 밀폐 용기의 진공을 제거하여야 하므로 시간과 인력이 소모된다는 단점이 있다.

따라서, 본 발명은 종래의 레이저빔에 의한 고에너지 이온 발생 장치 및 방법이 가지는 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 레이저의 출력이 달라지거나 이온의 에너지를 바꾸어야 할 경우 표적의 두께를 용이하게 변화시킬 수 있는 이온 발생 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 다른 목적은 이온 발생 장치의 표적으로서 연속적으로 공급이 가능한 초극세사를 사용함으로써, 장시간 동안 레이저 빔을 조사받아 이온을 발생시킬 수 있게 하여 표적의 잦은 교체로 말미암아 발생하는 문제들인 시간 및 인력의 소모를 줄일 수 있는 이온 발생 장치 및 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 이온 발생 장치는 단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체, 및 레이저를 발생시켜 매개체의 일측에 레이저를 조사하여 매개체의 타측에서 이온 에너지를 발생시키는 레이저빔 발생기를 포함한다. 본 발명의 이온 발생 장치를 사용하면, 레이저의 조사 위치를 변화시켜 레이저가 반응하는 매개체의 반응두께를 달리함으로써 발생되는 이온 에너지를 변화시킬 수 있다.

본 발명의 이온 발생 장치는 내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기, 및 매개체를 공급하는 매개체공급기를 더 포함한다. 레이저빔 발생기, 매개체, 및 매개체공급기는 진공 밀폐용기 내에 배치되어 진공 상태에서 레이저빔의 조사에 의해 이온 에너지를 발생시킨다.

바람직하게, 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴일 수 있으며, 매개체의 단면의 두께가 가변되므로 레이저빔의 조사 위치를 변화시킴으로써, 발생되는 이온 에너지를 용이하게 변화시킬 수 있다.

바람직하게 매개체는 초극세사일 수 있으며, 초극세사의 단면 형상은 삼각형이므로, 레이저빔의 조사 위치를 변화시킴으로써 레이저빔이 입사되는 초극세사의 두께를 용이하게 변화시킬 수 있다. 이에 의해 이온 에너지의 발생량을 변화시킨다. 따라서, 레이저빔의 조사 위치에 따라 이와 반응하는 초극세사의 두께를 용이하게 변화시킬 수 있어야 하므로, 레이저빔 발생기는 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치되어야 한다.

초극세사의 단면의 크기는 아주 작으며, 초극세사의 단면인 삼각형의 장축 길이는 5 마이크론 내지 15 마이크론 사이인 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는 초극세사의 단면인 삼각형의 장축의 길이는 10 마이크론일 수 있다.

바람직하게, 초극세사의 단면인 삼각형의 두께는 10 마이크론 이하일 수 있다. 왜냐하면, 표적의 두께는 레이저펄스의 시간 폭보다 짧아야 하는데, 초극세사의 단면인 삼각형의 두께가 10 마이크론 이하일 때 이온 에너지를 발생시키기에 최적의 조건을 가지기 때문이다.

본 발명에 따른 이온 발생 방법은 내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기를 제공하는 단계, 단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체, 레이저빔 발생기, 및 상기 매개체를 공급하는 매개체공급기를 진공 밀폐 용기 내에 배치시키는 단계, 진공 밀폐 용기 내부에 진공을 형성하는 단계, 및 매개체로 레이저를 조 사하여 이온 에너지를 발생시키는 단계를 포함한다. 레이저빔의 조사 위치를 변화시켜 레이저빔이 반응하는 반응두께를 달리하여 발생되는 이온 에너지를 변화시키는 것을 특징으로 한다.

바람직하게, 본 발명에 따른 이온 발생 방법에 사용되는 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴일 수 있으며, 이러한 매개체들은 단면의 두께가 가변되므로 레이저빔의 조사 위치를 변화시킴으로써, 발생되는 이온 에너지를 용이하게 변화시킬 수 있다.

바람직하게, 본 발명에 따른 이온 발생 방법에 사용되는 매체개는 초극세사이다. 초극세사의 단면의 형상은 삼각형이므로, 레이저빔 발생기는 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치하여 레이저빔과 반응하는 초극세사의 두께를 용이하게 변화시킬 수 있도록 한다.

바람직하게, 본 발명에 따른 이온 발생 방법에 사용되는 초극세사는 단면인 삼각형의 장축 길이가 5 마이크론 내지 15 미이크론이고, 더욱 바람직하게는 10 마이크론이다. 또한, 초극세사의 단면인 삼각형의 두께는 10 마이크론 이하인 것이 바람직하다.

본 발명의 이온 발생 장치 및 방법에 의하면, 레이저의 출력이 달라지거나 이온의 에너지를 바꾸어야 할 경우 진공 밀폐 용기에 진공을 제거하는 등의 불편을 제거할 수 있으며, 표적으로 초극세사를 사용하여 레이저빔의 조사 위치를 달리하는 것만으로 표적의 두께를 용이하게 변화시킬 수 있으므로 간단하게 이온 발생량 을 조절할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 이온 발생 장치 및 방법에 의하면, 표적으로서 연속적으로 공급이 가능한 초극세사를 사용하기 때문에, 장시간 동안 레이저빔을 조사받아 이온을 발생시킬 수 있다. 이에 의해, 표적의 잦은 교체로 말미암아 발생하는 문제들인 시간 및 인력 소모를 줄일 수 있는 효과가 있다.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 이온 발생 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다. 도 1에 도시된 바와 같이 본 발명의 이온 발생 장치(1)는 레이저빔 발생기(20), 레이저빔 발생기(20)로부터의 레이저빔(L)을 조사받아 고에너지 이온(I)이 발생되는 매개체인 초극세사(10), 초극세사를 공급하는 매개체공급기인 초극세사공급기(40), 및 이들이 내부에 배치되고 진공이 형성되는 진공 밀폐 용기(30)를 포함한다. 또한, 진공 밀폐 용기(30)의 외부에 설치되는 제어기(50)가 구비된다. 제어기(50)는 레이저빔 발생기(20)에서 레이저빔(L)의 조사 및 조사 위치를 제어한다.

레이저빔 발생기(20)가 유기화합물인 탄화수소 화합물인 초극세사(10)의 한 면에 레이저빔(L)을 조사하게 되면, 플라즈마가 발생하고 그 속의 전자와 수소이온 이 가속되어 초극세사(10)의 반대 면에서 높은 에너지의 이온(I)이 발생하게 된다.

초극세사(microfiber; 10)란, 사람 머리카락 굵기의 1/100 (1 마이크론(micrometer) = 1/1,000,000m)의 고도로 섬세한 초극세 섬유로서 섬유의 지름이 0.012mm도 되지 않는 첨단 기술이 탄생시킨 미래형 신소재로서 원사 1g의 무게가 45,000m의 실 길이와 같은 첨단 신섬유소재이다.

초극세사(10)는 상용성이 없는 폴리아미드와 폴리에스텔 2종의 고분자를 특수한 방사구금을 통하여 복합 방사한 후 물리적인 방법에 의하여 2 성분의 고분자 계면을 분할(split)하고 각 성분을 분리(separation)하는 방법을 통해 얻어진다.

폴리아미드와 폴리에스텔 접합계면에 침투한 NaoH 수용액의 수산화 이온은 폴리에스텔 표면을 가수분해하여 폴리아미드로부터 분할하며 분할 수 모노필라멘트에서 분리된 폴레이스텔의 표면은 극성화되어 삼각형의 단면을 갖게 되고, 2 종의 고분자 사이에 미세한 가공들이 형성되어 모세관 현상을 유발, 뛰어난 유체 흡수성을 발현할 수 있는 괄목할만한 특성을 지니게 되어 실생활에 어느 곳에서나 유용하게 사용될 수 있는 미래형 첨단 신소재섬유이다.

초극세사(10)는 탄화수소 화합물이므로 화학적 구성 성분으로 수소를 반드시 포함하게 되므로, 레이저빔(L)이 조사되면 높은 에너지의 이온(I)을 발생시킬 수 있다. 또한, 초극세사(10)는 그 제조가 상업적으로 완숙 단계에 이르렀으므로 가격과 품질의 신뢰성이 있어서 기존 표적으로 사용되던 평판 박막 표적에 비하여 유리한 측면을 가진다.

도 2는 초극세사의 단면 형태 및 레이저빔 위치에 따른 반응 두께의 변화를 도시한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 초극세사(10)는 그 제조 과정에서 분할을 통해 태생적으로 삼각형의 단면을 가진다. 삼각형 단면은 앞에서 뒤로 갈수록 그 두께가 선형적으로 증가하는 형상적 특징이 있다.

도 3에 도시된 바와 같이, 초극세사(10)의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔(L)을 입사하게 되면, 레이저빔(L)이 입사되는 위치에 따라 초극세사(10)가 레이저빔(L)과 반응하는 실제 반응 두께(R)는 달라진다. 즉, 레이저빔(L)이 초극세사(10)의 앞 부분에 조사되면 실제 반응 두께(R)는 얇아지게 되고, 뒷 부분에 조사되면 실제 반응 두께(R)가 두꺼워져서 레이저빔(L)과 초극세사(10)에 의해 발생되는 고에너지 이온(I)의 발생량이 달라지게 된다. 즉, 레이저빔 발생기(20)의 출력이 달라지거나 발생되는 이온(I)의 에너지를 바꾸기를 원하는 경우에는 표적이 되는 초극세사(10)의 두께를 다르게 함으로써 이를 달성할 수 있다.

초극세사(10)의 단면의 장축 방향 길이(A)는 5 마이크론 내지 15 마이크론 사이이며, 바람직하게는 10 마이크론이다. 초극세사(10)의 두께(B)는 10 마이크론 이하로 형성되며, 이는 레이저빔(L)에 의해 발생하는 플라즈마에서 내부에서 전자의 요동에 충분한 에너지가 공급되어 많은 전자가 높은 에너지를 얻어 플라즈마를 탈출할 수 있도록 하는데 유리하기 때문이다.

레이저빔 발생기(20)는 진공 밀폐 용기(30) 내부에 배치되어 레이저빔(L)을 발생시킨다. 레이저빔 발생기(20)에서 발생한 레이저빔(L)은 표적인 초극세사(10)로 조사되도록 배치되어야 하며, 초극세사(10)의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔(L)이 조사되도록 배치되어야 한다.

레이저빔 발생기(20)에는 레이저빔 초점 위치 조절부(미도시)가 제공된다. 레이저빔 초점 위치 조절부는 레이저빔(L)이 표적의 원하는 위치에 조사될 수 있도록 레이저빔(L)이 조사되는 방향을 정밀하게 조절한다. 레이저빔(L)의 조사 방향 제어는 마이크론 단위로 제어될 수 있도록 설계된다. 레이저빔 발생기(20)의 레이저빔 초점 위치 조절은 진공 밀폐 용기(30) 외부에 위치한 제어기(50)를 통해 이루어진다. 제어기(50)에 의해 고에너지 이온(I)을 원하는 양만큼 발생시키도록 초극세사(10)의 원하는 위치로 레이저빔(L)이 조사되는 초점 위치를 조종한다.

매개체공급기인 초극세사공급기(40)는 초극세사(10)가 가지런히 감기는 실패 형상이다. 초극세사의 제조 과정에서 섬유 필라멘트의 길이는 거의 무한에 가깝기 때문에 한 가닥의 필라멘트를 초극세사공급기(40)에 감아 연속적으로 레이저 초점에 이송할 수 있다. 초극세사(10)는 소모성이므로, 초극세사공급기(40)는 레이저빔(L)이 조사될 때마다 매번 새로운 초극세사(10)를 레이저빔(L) 초점으로 공급한다.

초극세사공급기(40)에 수용된 초극세사(10)는 그 길이가 무한으로 제작될 수 있고 연속적으로 레이저 초점으로 이송되고 레이저 조사 위치를 정밀하게 변화시키게 되기 때문에, 초극세사공급기(40)는 한번의 표적 설치로 장시간 동안 다양한 두께로 레이저빔(L)과 반응할 수 있는 초극세사(10)를 제공할 수 있다.

이하에서는, 본 발명에 따른 이온 발생 장치(1)에 의한 이온 발생 방법에 대해 상술한다.

진공 밀폐 용기(30) 내에 단면의 두께가 가변되는 탄수화물 화합물인 매개체, 즉 초극세사(10)를 배치한다. 이 때, 초극세사(10)는 매개체공급기인 초극세사공급기(40)에 내에 수용되어 배치된다. 또한, 레이저빔 발생기(20)를 진공 밀폐 용기(30)내에 배치한다. 레이저빔 발생기(20)의 레이저빔(L)의 초점은 초극세사(10)를 향하도록 배치하는데, 이 때 레이저빔(L)은 초극세사(10)의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 조사되도록 배치한다.

이후, 진공 밀폐 용기(30) 내부에 진공을 형성하는 단계가 이루어진다. 진공이 형성된 후에는 초극세사(10)의 한 면으로 레이저빔(L)을 조사하여 타측 면에서 고에너지 이온(I)을 발생시킨다.

초극세사(10)의 단면은 삼각형의 형상이므로 레이저빔(L)과 반응하는 초극세사(10)의 두께를 변화시킴으로 해서 발생하는 이온(I)의 에너지를 변화시킬 수 있다. 즉, 레이저빔 발생기(20)의 출력이 변하거나 이온(I) 에너지의 발생량을 조절할 필요가 있을 경우에는, 진공 밀폐 용기(30) 외부에 위치한 제어기(50)를 통해서 레이저빔 발생기(20)의 초점을 조절하여 이를 조절한다. 레이저빔 발생기(20)의 초점은 레이저빔 초점 위치 조절부에 의해 정밀하게 제어된다.

초극세사(10)는 무한에 가까운 길이의 섬유 필라멘트로 제작되기 때문에, 초극세사(10)를 교체할 필요가 있을 때에는 제어기(50)를 통해 초극세사공급기(40)를 작동시켜 초극세사(10)를 공급한다. 이온 발생을 위한 장치들은 진공 밀폐 용기(30) 내에 위치하므로 표적인 매개체의 두께를 변경하려면 종래에는 매번 용기에 공급기를 주입하여 개방하고 교체 후 다시 진공을 만들어야 하였으므로 오랜 대기 시간이 소요되었다. 그러나, 본 발명의 이온 발생 장치(1)에 의하면 초극세사(10)를 표적인 매개체로 사용하기 때문에 초극세사(10)의 교체를 용이하게 수행하여 표적의 교체로 인한 문제들이 발생하지 않게 된다.

본 실시예에서는 단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체로 초극세사를 사용하였지만, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다. 표적이 되는 매개체로는 단면의 두께가 선형적으로 변하는 탄화수소 화합물을 사용할 수 있으며, 이러한 단면의 형상으로는 삼각형, 마름모, 사다리꼴 등이 될 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 본 발명의 이온 발생 장치를 개략적으로 나타낸 구성도이다;

도 2는 본 발명에 사용되는 초극세사의 단면 및 이에 조사되는 레이저빔의 조사 위치에 따른 초극세사의 실제 반응 두께를 도시한다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 이온 발생 장치 10 : 초극세사

20 : 레이저빔 발생기 30 : 진공 밀폐 용기

40 : 초극세사공급기 50 : 제어기

L : 레이저빔 I : 이온

A : 초극세사 단면 장축 길이 B : 초극세사 두께

R : 레이저빔과 반응하는 실제 두께

Claims (11)

1. 단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체; 및

   레이저빔을 발생시켜 상기 매개체에 상기 레이저빔을 조사하여 이온 에너지를 발생시키는 레이저빔 발생기;

   를 포함하며, 상기 레이저빔의 조사 위치를 변화시켜 상기 레이저빔이 반응하는 반응두께를 달리하여 상기 발생되는 이온 에너지를 변화시키는 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기; 및

   상기 매개체를 공급하는 매개체공급기;

   를 더 포함하고,

   상기 레이저빔 발생기, 상기 매개체, 및 상기 매개체공급기는 상기 진공 밀폐용기 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 매개체는 단면의 형상이 삼각형인 초극세사인 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 레이저빔 발생기는 상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치된 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축 길이는 5 마이크론(um) 내지 15 마이크론 사이인 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 초극세사의 단면인 삼각형의 두께는 10 마이크론 이하인 것을 특징으로 하는 이온발생장치.
8. 내부에 진공을 형성하는 진공 밀폐 용기를 제공하는 단계;

   단면의 두께가 가변되는 탄화수소 화합물인 매개체, 레이저빔 발생기, 및 상기 매개체를 공급하는 매개체공급기를 상기 진공 밀폐 용기 내에 배치시키는 단계;

   상기 진공 밀폐 용기 내부에 진공을 형성하는 단계; 및

   상기 매개체로 레이저빔을 조사하여 이온 에너지를 발생시키는 단계;

   를 포함하고, 상기 레이저빔의 조사 위치를 변화시켜 상기 레이저빔이 반응하는 반응두께를 달리하여 상기 발생되는 이온 에너지를 변화시키는 것을 특징으로 하는 이온발생방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 매개체의 단면 형상은 삼각형, 마름모 또는 사다리꼴 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이온발생방법.
10. 제 8 항에 있어서,

    상기 매개체는 단면의 형상이 삼각형인 초극세사이며, 상기 레이저빔 발생기는 상기 초극세사의 단면인 삼각형의 장축에 수직하게 레이저빔이 조사되도록 배치된 것을 특징으로 하는 이온발생방법.
11. 제 10 항에 있어서,

    상기 초극세사 단면인 삼각형의 장축 길이가 5 마이크론 내지 15마이크론 사이이고, 두께가 10 마이크론 이하인 것을 특징으로 하는 이온발생방법.

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