JP2000173446A - 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 - Google Patents
電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置Info
- Publication number
- JP2000173446A JP2000173446A JP35145998A JP35145998A JP2000173446A JP 2000173446 A JP2000173446 A JP 2000173446A JP 35145998 A JP35145998 A JP 35145998A JP 35145998 A JP35145998 A JP 35145998A JP 2000173446 A JP2000173446 A JP 2000173446A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electromagnetic wave
- field emission
- cathode
- electron beam
- cathode member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
- Microwave Tubes (AREA)
- Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 テラヘルツ帯を中心とするサブミリ波帯から
遠赤外帯域までの広い帯域内の任意の周波数で変調され
た電子ビームを効率良く発生することができる構成が簡
単で小型な電界放射陰極および電磁波発生装置を提供す
る。 【解決手段】 陰極部材11の表面にアレイ状に設けた
針状突起11aへレーザ光源12から極短パルスのレー
ザ光または周波数の異なる2つのレーザ光を照射して励
起される電子を、陰極部材とゲート電極14との間に接
続した電界放射用直流電源15による強電界での量子力
学的トンネル効果によって陰極表面から放射させる。こ
の電子ビームを、高周波回路において電磁波と相互作用
させて電磁波を発生させる。陰極部材11の表面は、光
励起により伝導帯への電子励起が可能なP型半導体およ
び真性半導体、電子の空間的選択励起が可能な半導体ヘ
テロ構造、量子井戸および超格子、照射光源のエネルギ
ーによる選択励起が可能な量子ドット、フラーレン、炭
素ナノチューブなどの低次元超構造で構成できる。
遠赤外帯域までの広い帯域内の任意の周波数で変調され
た電子ビームを効率良く発生することができる構成が簡
単で小型な電界放射陰極および電磁波発生装置を提供す
る。 【解決手段】 陰極部材11の表面にアレイ状に設けた
針状突起11aへレーザ光源12から極短パルスのレー
ザ光または周波数の異なる2つのレーザ光を照射して励
起される電子を、陰極部材とゲート電極14との間に接
続した電界放射用直流電源15による強電界での量子力
学的トンネル効果によって陰極表面から放射させる。こ
の電子ビームを、高周波回路において電磁波と相互作用
させて電磁波を発生させる。陰極部材11の表面は、光
励起により伝導帯への電子励起が可能なP型半導体およ
び真性半導体、電子の空間的選択励起が可能な半導体ヘ
テロ構造、量子井戸および超格子、照射光源のエネルギ
ーによる選択励起が可能な量子ドット、フラーレン、炭
素ナノチューブなどの低次元超構造で構成できる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子を放射する陰
極、特に光照射によって励起された電子を電界の作用で
放射させる電界放射陰極およびこのような電界放射陰極
を具える電磁波発生装置に関するものである。
極、特に光照射によって励起された電子を電界の作用で
放射させる電界放射陰極およびこのような電界放射陰極
を具える電磁波発生装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、電磁波を発生する手段としては、
電子ビームデバイス、半導体デバイスおよびレーザが用
いられている。電子ビームデバイスとしては、例えばマ
イクロ波電子管が知られている。このマイクロ波電子管
は、電子ビームをマイクロ波の周期に比べて長い時間走
行させてマイクロ波エネルギーを得るものであり、一般
に高出力を必要とする場合に用いられており、マグネト
ロンやクライストロンなどが知られている。半導体デバ
イスは、半導体中を走行する電子の変調によって電磁波
を発生するものである。また、レーザは一般に光波を発
生するものであるが、赤外レーザも用いられている。
電子ビームデバイス、半導体デバイスおよびレーザが用
いられている。電子ビームデバイスとしては、例えばマ
イクロ波電子管が知られている。このマイクロ波電子管
は、電子ビームをマイクロ波の周期に比べて長い時間走
行させてマイクロ波エネルギーを得るものであり、一般
に高出力を必要とする場合に用いられており、マグネト
ロンやクライストロンなどが知られている。半導体デバ
イスは、半導体中を走行する電子の変調によって電磁波
を発生するものである。また、レーザは一般に光波を発
生するものであるが、赤外レーザも用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電磁波
発生装置の内、電子ビームデバイスは高出力、高効率を
有するという特長があるが、発生する電磁波の波長が短
くなると、デバイスを構成する回路構造が小さくなるこ
と、電子ビームの変調が困難になること、デバイスの規
模が大きくなることなどの欠点がある。
発生装置の内、電子ビームデバイスは高出力、高効率を
有するという特長があるが、発生する電磁波の波長が短
くなると、デバイスを構成する回路構造が小さくなるこ
と、電子ビームの変調が困難になること、デバイスの規
模が大きくなることなどの欠点がある。
【0004】また、半導体デバイスを用いる電磁波発生
装置では、半導体中の電子の走行速度が遅いため、ミリ
波帯以下の実用的な電磁波発生装置は開発されていな
い。また、レーザを用いた電磁波発生装置では、発生さ
れる電磁波は光波帯が中心であり、遠赤外光の発生に
は、光励起のガスレーザによるなど、装置が大掛かりと
なるとともに発生電磁波が離散的となる欠点がある。こ
のため、テラヘルツ(THz)帯(波長300μm 以下)の
実用的な電磁波発生装置は開発されていない。
装置では、半導体中の電子の走行速度が遅いため、ミリ
波帯以下の実用的な電磁波発生装置は開発されていな
い。また、レーザを用いた電磁波発生装置では、発生さ
れる電磁波は光波帯が中心であり、遠赤外光の発生に
は、光励起のガスレーザによるなど、装置が大掛かりと
なるとともに発生電磁波が離散的となる欠点がある。こ
のため、テラヘルツ(THz)帯(波長300μm 以下)の
実用的な電磁波発生装置は開発されていない。
【0005】一方、近年キャリア寿命の短い半導体に極
短パルス光を照射する方法や、周波数の異なる2つの光
を照射する光混合法によってテラヘルツ帯の電磁波を発
生させることが報告されている。しかしながら、発生さ
れる電磁波はマイクロワット以下の微弱な電力に止まっ
ており、実用的でない欠点がある。
短パルス光を照射する方法や、周波数の異なる2つの光
を照射する光混合法によってテラヘルツ帯の電磁波を発
生させることが報告されている。しかしながら、発生さ
れる電磁波はマイクロワット以下の微弱な電力に止まっ
ており、実用的でない欠点がある。
【0006】したがって、本発明の目的は、テラヘルツ
帯を中心とするサブミリ波帯から遠赤外帯域までの広い
帯域内の任意の周波数で変調された電子ビームを効率良
く発生することができ、しかも構成が簡単で小型な電界
放射陰極を提供しようとするものである。本発明の他の
目的は、このような電界放射陰極から発生される電子ビ
ームとの相互作用によって、テラヘルツ帯を中心とする
サブミリ波帯から遠赤外帯域までの広帯域に亘って周波
数を変えることができる電磁波を高い効率で発生するこ
とができ、しかも構成が簡単で小型な電磁波発生装置を
提供しようとするものである。
帯を中心とするサブミリ波帯から遠赤外帯域までの広い
帯域内の任意の周波数で変調された電子ビームを効率良
く発生することができ、しかも構成が簡単で小型な電界
放射陰極を提供しようとするものである。本発明の他の
目的は、このような電界放射陰極から発生される電子ビ
ームとの相互作用によって、テラヘルツ帯を中心とする
サブミリ波帯から遠赤外帯域までの広帯域に亘って周波
数を変えることができる電磁波を高い効率で発生するこ
とができ、しかも構成が簡単で小型な電磁波発生装置を
提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明による電界放射陰
極は、陰極部材と、この陰極部材の表面への光照射によ
って電子を励起する光源手段と、前記陰極部材の表面と
対向して配置されたゲート電極と、前記陰極部材とゲー
ト電極との間に接続され、光照射によって励起された電
子を、量子力学的トンネル効果によって陰極表面から放
射させるための電界を印加する電界放射用直流電源とを
具えることを特徴とするものである。
極は、陰極部材と、この陰極部材の表面への光照射によ
って電子を励起する光源手段と、前記陰極部材の表面と
対向して配置されたゲート電極と、前記陰極部材とゲー
ト電極との間に接続され、光照射によって励起された電
子を、量子力学的トンネル効果によって陰極表面から放
射させるための電界を印加する電界放射用直流電源とを
具えることを特徴とするものである。
【0008】本発明による電界放射陰極においては、前
記陰極部材の表面を針状のアレイを以て構成するのが好
適である。また、前記陰極部材の少なくとも表面は、光
励起により伝導帯への電子励起が可能なP型半導体およ
び真性半導体、電子の空間的選択励起が可能な半導体ヘ
テロ構造、量子井戸および超格子、および照射光源のエ
ネルギーによる選択励起が可能な量子ドット、フラーレ
ン、炭素ナノチューブなどの低次元超構造の何れかを以
て構成することができる。
記陰極部材の表面を針状のアレイを以て構成するのが好
適である。また、前記陰極部材の少なくとも表面は、光
励起により伝導帯への電子励起が可能なP型半導体およ
び真性半導体、電子の空間的選択励起が可能な半導体ヘ
テロ構造、量子井戸および超格子、および照射光源のエ
ネルギーによる選択励起が可能な量子ドット、フラーレ
ン、炭素ナノチューブなどの低次元超構造の何れかを以
て構成することができる。
【0009】また、本発明による電界放射陰極から変調
パルス電子ビームを発生させるには、極短パルスのレー
ザ光を陰極部材に照射するか、周波数の異なる2つのレ
ーザ光を陰極部材に照射することができる。前者の場合
には、極短パルスの繰り返し周波数に等しい周期でピコ
秒以下の極短パルス電子ビームを発生させることがで
き、後者の場合には、2つのレーザ光の周波数の差の周
波数、すなわちビート周波数の電子ビームを発生させる
ことができる。
パルス電子ビームを発生させるには、極短パルスのレー
ザ光を陰極部材に照射するか、周波数の異なる2つのレ
ーザ光を陰極部材に照射することができる。前者の場合
には、極短パルスの繰り返し周波数に等しい周期でピコ
秒以下の極短パルス電子ビームを発生させることがで
き、後者の場合には、2つのレーザ光の周波数の差の周
波数、すなわちビート周波数の電子ビームを発生させる
ことができる。
【0010】さらに本発明による電磁波発生装置は、上
述した電界放射陰極と、この電界放射陰極から放射され
る変調電子ビームとの相互作用によって電磁波を効率良
く発生する電磁波発生手段とを具えることを特徴とする
ものである。
述した電界放射陰極と、この電界放射陰極から放射され
る変調電子ビームとの相互作用によって電磁波を効率良
く発生する電磁波発生手段とを具えることを特徴とする
ものである。
【0011】本発明による電磁波発生装置においては、
前記励起光を発生する光源手段を、極短パルスのレーザ
光を発生するように構成し、前記電磁波発生手段には、
極短パルスの電子ビームと相互作用する高周波回路を設
けることができる。
前記励起光を発生する光源手段を、極短パルスのレーザ
光を発生するように構成し、前記電磁波発生手段には、
極短パルスの電子ビームと相互作用する高周波回路を設
けることができる。
【0012】或いはまた、前記励起光を発生する光源手
段を、2周波数のレーザ光を発生するように構成し、前
記電磁波発生手段には、前記陰極部材の表面から放射さ
れる電子ビームと電磁波との相互作用場を構成するよう
に、電子ビームの通路を挟んで互いに対向して配置され
た周期構造体および反射板を設けることができる。さら
に、前記電子ビームと電磁波との相互作用場を透過した
電子ビームを補足する集電極を設け、この集電極に、前
記周期構造体よりも低い電位を与えるのが好適である。
このように構成すると、相互作用後の電子ビームの運動
エネルギーの一部を回収することができ、したがって電
磁波発生の効率をさらに高くすることができる。
段を、2周波数のレーザ光を発生するように構成し、前
記電磁波発生手段には、前記陰極部材の表面から放射さ
れる電子ビームと電磁波との相互作用場を構成するよう
に、電子ビームの通路を挟んで互いに対向して配置され
た周期構造体および反射板を設けることができる。さら
に、前記電子ビームと電磁波との相互作用場を透過した
電子ビームを補足する集電極を設け、この集電極に、前
記周期構造体よりも低い電位を与えるのが好適である。
このように構成すると、相互作用後の電子ビームの運動
エネルギーの一部を回収することができ、したがって電
磁波発生の効率をさらに高くすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】図1は、本発明による電界放射陰
極を具える本発明による電磁波発生装置の一例を示す線
図であり、図2は同じくその線図的な斜視図である。本
例では、一方の表面に多数の針状の突起11aを1次元
的に配列したアレイを有する陰極部材11を設け、その
表面にレーザ光源12からレーザ光を照射する。レーザ
光源12にはレーザ駆動回路13を接続し、パルス幅が
サブピコ秒またはそれ以下の極短パルスでレーザ光源を
駆動する。レーザ光源12からこのような極短パルス光
を発生させ、これを陰極部材11の針状突起11aの表
面に照射することによって、突起表面で電子が光励起さ
れる。
極を具える本発明による電磁波発生装置の一例を示す線
図であり、図2は同じくその線図的な斜視図である。本
例では、一方の表面に多数の針状の突起11aを1次元
的に配列したアレイを有する陰極部材11を設け、その
表面にレーザ光源12からレーザ光を照射する。レーザ
光源12にはレーザ駆動回路13を接続し、パルス幅が
サブピコ秒またはそれ以下の極短パルスでレーザ光源を
駆動する。レーザ光源12からこのような極短パルス光
を発生させ、これを陰極部材11の針状突起11aの表
面に照射することによって、突起表面で電子が光励起さ
れる。
【0014】このようにレーザ光の照射によって陰極部
材11の針状突起11aから電子を効率よく光励起する
ために、陰極部材11の材料としては、光照射により伝
導帯への電子励起が可能な、P型半導体または真性半導
体、電子の空間的な選択励起を可能とする半導体ヘテロ
構造、量子井戸または超格子、照射光源のエネルギーに
よる選択励起を可能とする量子ドット、フラーレン、炭
素ナノチューブなどの低次元超構造を用いることができ
る。また、陰極部材11の針状突起11aは、2次元的
に配列することもできる。いずれにしても、複数の針状
突起11aを配列することによって電子ビーム発生効率
を高めることができる。
材11の針状突起11aから電子を効率よく光励起する
ために、陰極部材11の材料としては、光照射により伝
導帯への電子励起が可能な、P型半導体または真性半導
体、電子の空間的な選択励起を可能とする半導体ヘテロ
構造、量子井戸または超格子、照射光源のエネルギーに
よる選択励起を可能とする量子ドット、フラーレン、炭
素ナノチューブなどの低次元超構造を用いることができ
る。また、陰極部材11の針状突起11aは、2次元的
に配列することもできる。いずれにしても、複数の針状
突起11aを配列することによって電子ビーム発生効率
を高めることができる。
【0015】陰極部材11と対向してゲート電極14を
配置し、陰極部材とゲート電極との間には第1の直流電
源15を接続する。このゲート電極14は金属層より形
成されており、この金属層には、陰極部材11の針状突
起11aに対向した位置に開口14aが形成されてい
る。第1の直流電源15によって陰極部材11の表面の
針状の突起11aに強電界が形成され、この電界の作用
によって針状の突起表面から電子が放射されるので、こ
の第1の直流電源を電界放射用直流電源とも称する。
配置し、陰極部材とゲート電極との間には第1の直流電
源15を接続する。このゲート電極14は金属層より形
成されており、この金属層には、陰極部材11の針状突
起11aに対向した位置に開口14aが形成されてい
る。第1の直流電源15によって陰極部材11の表面の
針状の突起11aに強電界が形成され、この電界の作用
によって針状の突起表面から電子が放射されるので、こ
の第1の直流電源を電界放射用直流電源とも称する。
【0016】図面では、陰極部材11の針状突起11a
の先端はゲート電極14の開口14aから外方へ突出し
ていないが、本発明によれば突起の先端は開口から突出
させるようにしても何ら問題はない。すなわち、陰極部
材11とゲート電極14との間に接続された第1の直流
電源15によって針状の突起11aに強電界が作用する
ようなものであれば、どのような構成でも良い。
の先端はゲート電極14の開口14aから外方へ突出し
ていないが、本発明によれば突起の先端は開口から突出
させるようにしても何ら問題はない。すなわち、陰極部
材11とゲート電極14との間に接続された第1の直流
電源15によって針状の突起11aに強電界が作用する
ようなものであれば、どのような構成でも良い。
【0017】このようにして、陰極部材11の針状突起
11aの表面から放射される電子は、ゲート電極14
と、このゲート電極と対向して配置された加速電極16
との間に接続された第2の直流電源17によって加速さ
れる。この第2の直流電源17は、陰極部材11の表面
から放射される電子を加速するものであるから、加速用
直流電源とも称する。このようにして、陰極部材11の
表面から加速電極16へ向けて電子ビーム18が放射さ
れる。この電子ビームは、レーザ光源12による極短パ
ルスレーザ光によって励起されるものであるので、この
極短パルスレーザ光によって変調されたものとなる。
11aの表面から放射される電子は、ゲート電極14
と、このゲート電極と対向して配置された加速電極16
との間に接続された第2の直流電源17によって加速さ
れる。この第2の直流電源17は、陰極部材11の表面
から放射される電子を加速するものであるから、加速用
直流電源とも称する。このようにして、陰極部材11の
表面から加速電極16へ向けて電子ビーム18が放射さ
れる。この電子ビームは、レーザ光源12による極短パ
ルスレーザ光によって励起されるものであるので、この
極短パルスレーザ光によって変調されたものとなる。
【0018】本発明による電磁波発生装置においては、
上述したようにして陰極部材11の表面から発生される
変調電子ビーム18を、ゲート電極14と加速電極16
で構成される高周波回路内に導いて電磁波を発生させ、
この電磁波と変調電子ビームとを相互作用させることに
よって、テラヘルツ帯に及ぶ高い周波数の電磁波を発生
させている。このとき、目的とする電磁波の周波数に合
わせて、ゲート電極14と加速電極16との間を走行す
る電子ビームの走行時間を調整することによって発生す
る電磁波の電力を大きくすることができる。この目的の
ために、加速用の第2の直流電源17を可変とする。ま
た本例では、加速電極16は電子ビームの集電極として
の機能をも有しており、電磁波との相互作用後の電子ビ
ームを回収している。
上述したようにして陰極部材11の表面から発生される
変調電子ビーム18を、ゲート電極14と加速電極16
で構成される高周波回路内に導いて電磁波を発生させ、
この電磁波と変調電子ビームとを相互作用させることに
よって、テラヘルツ帯に及ぶ高い周波数の電磁波を発生
させている。このとき、目的とする電磁波の周波数に合
わせて、ゲート電極14と加速電極16との間を走行す
る電子ビームの走行時間を調整することによって発生す
る電磁波の電力を大きくすることができる。この目的の
ために、加速用の第2の直流電源17を可変とする。ま
た本例では、加速電極16は電子ビームの集電極として
の機能をも有しており、電磁波との相互作用後の電子ビ
ームを回収している。
【0019】上述した図1に示す実施例の変形例とし
て、加速電極16を金属メッシュのような電子ビームを
透過できる構造とし、この加速電極を透過した電子ビー
ムと相互作用する高周波回路を、加速電極の外側に配置
することもできる。ただし、この場合には、相互作用後
の電子ビームを回収するための集電極を別個に設ける必
要があるが、この集電極に前記加速電極よりも低い電位
を与えて、相互作用後の電子ビームの運動エネルギーの
一部を回収することができ、電磁波発生の効率を高くす
ることができると共に高周波回路の設計の自由度が大き
くなる。
て、加速電極16を金属メッシュのような電子ビームを
透過できる構造とし、この加速電極を透過した電子ビー
ムと相互作用する高周波回路を、加速電極の外側に配置
することもできる。ただし、この場合には、相互作用後
の電子ビームを回収するための集電極を別個に設ける必
要があるが、この集電極に前記加速電極よりも低い電位
を与えて、相互作用後の電子ビームの運動エネルギーの
一部を回収することができ、電磁波発生の効率を高くす
ることができると共に高周波回路の設計の自由度が大き
くなる。
【0020】図2は、本発明による電磁波発生装置の他
の実施例を示す線図である。本例において、前例と同じ
部分には同じ符号を付けて示した。本例で使用する電界
放射陰極の構成および動作は、図1に示した実施例と同
様であり、その詳細な説明は省略する。本例では、陰極
部材11の1次元状に配列された針状突起11aに極短
レーザパルス光を照射することによって励起される電子
を、突起に作用する強電界によって放射させて生成され
る電子ビーム18を、第2の直流電源17によって加速
し、周期構造20と、これと対向して配置された反射板
21とで構成されるファブリ・ペロー共振器に導き、こ
こで発生される電磁界との相互作用によってテラヘルツ
オーダーの高周波数の電磁波を発生させる。このように
して発生させた電磁波は、反射板21にあけた開口21
aを経て外部へ導くことができる。また、電磁波との相
互作用を行った後の電子ビーム18は、集電極22に流
入するが、このとき第3の直流電源23によって、集電
極23に周期構造20よりも低い電位を与えることによ
り、相互作用後の電子ビームの運動エネルギーの一部を
回収することができ、電磁波発生効率を高めることがき
る。
の実施例を示す線図である。本例において、前例と同じ
部分には同じ符号を付けて示した。本例で使用する電界
放射陰極の構成および動作は、図1に示した実施例と同
様であり、その詳細な説明は省略する。本例では、陰極
部材11の1次元状に配列された針状突起11aに極短
レーザパルス光を照射することによって励起される電子
を、突起に作用する強電界によって放射させて生成され
る電子ビーム18を、第2の直流電源17によって加速
し、周期構造20と、これと対向して配置された反射板
21とで構成されるファブリ・ペロー共振器に導き、こ
こで発生される電磁界との相互作用によってテラヘルツ
オーダーの高周波数の電磁波を発生させる。このように
して発生させた電磁波は、反射板21にあけた開口21
aを経て外部へ導くことができる。また、電磁波との相
互作用を行った後の電子ビーム18は、集電極22に流
入するが、このとき第3の直流電源23によって、集電
極23に周期構造20よりも低い電位を与えることによ
り、相互作用後の電子ビームの運動エネルギーの一部を
回収することができ、電磁波発生効率を高めることがき
る。
【0021】本例では、発生する電磁波の周波数は、上
述した実施例と同様に、加速用の第2の直流電源17の
電圧を調整して周期構造20上を走行する電子の速度を
調整したり、ファブリ・ペロー共振器を構成する周期構
造20と反射板21との間隔を調整することによて所望
の周波数とすることができる。また、陰極部材11を2
つの極短レーザパルス光で照射してそれらの差の周波数
の変調電子ビームを発生させる場合には、照射する一方
のレーザ光の周波数を調整することによって発生する電
磁波の周波数を広範囲に亘って調整することができる。
述した実施例と同様に、加速用の第2の直流電源17の
電圧を調整して周期構造20上を走行する電子の速度を
調整したり、ファブリ・ペロー共振器を構成する周期構
造20と反射板21との間隔を調整することによて所望
の周波数とすることができる。また、陰極部材11を2
つの極短レーザパルス光で照射してそれらの差の周波数
の変調電子ビームを発生させる場合には、照射する一方
のレーザ光の周波数を調整することによって発生する電
磁波の周波数を広範囲に亘って調整することができる。
【0022】
【発明の効果】上述した本発明による電界放射陰極は、
陰極部材の表面への光照射によって電子を励起させ、こ
の電子を、量子力学的トンネル効果によって陰極表面か
ら放射させる電界放射用直流電源を設けたものであるの
で、テラヘルツ帯を中心とするサブミリ波帯から遠赤外
帯域までの広い帯域内の任意の周波数で変調された電子
ビームを効率良く発生することができ、しかも構成が簡
単で小型となる。
陰極部材の表面への光照射によって電子を励起させ、こ
の電子を、量子力学的トンネル効果によって陰極表面か
ら放射させる電界放射用直流電源を設けたものであるの
で、テラヘルツ帯を中心とするサブミリ波帯から遠赤外
帯域までの広い帯域内の任意の周波数で変調された電子
ビームを効率良く発生することができ、しかも構成が簡
単で小型となる。
【0023】さらに、本発明による電磁波発生装置で
は、上述した電界放射陰極と、この電界放射陰極から放
射される変調電子ビームとの相互作用によって電磁波を
効率良く発生する電磁波発生手段とを設けたものである
ので、電界放射陰極から発生される電子ビームとの相互
作用によって、テラヘルツ帯を中心とするサブミリ波帯
から遠赤外帯域までの広帯域に亘って周波数を制御する
ことができる電磁波を高い効率で発生することができ、
しかも構成が簡単で小型となる。
は、上述した電界放射陰極と、この電界放射陰極から放
射される変調電子ビームとの相互作用によって電磁波を
効率良く発生する電磁波発生手段とを設けたものである
ので、電界放射陰極から発生される電子ビームとの相互
作用によって、テラヘルツ帯を中心とするサブミリ波帯
から遠赤外帯域までの広帯域に亘って周波数を制御する
ことができる電磁波を高い効率で発生することができ、
しかも構成が簡単で小型となる。
【図1】図1は、本発明による電界放射陰極を有する電
磁波発生装置の一例の構成を示す線図である。
磁波発生装置の一例の構成を示す線図である。
【図2】図2は、同じくその線図的な斜視図である。
【図3】図3は、本発明による電界放射陰極を有する電
磁波発生装置の他の例の構成を示す線図である。
磁波発生装置の他の例の構成を示す線図である。
【図4】図4は、同じくその線図的な斜視図である。
11 陰極部材11、 11a 針状突起、 12 レ
ーザ光源12、 13レーザ駆動回路13、 14 ゲ
ート電極、 14a 開口、 15 第1の直流電源
(電界放射用直流電源)、 16 加速電極、 17
第2の直流電源(加速用直流電源)、 18 電子ビー
ム18、 20 周期構造、 21 反射板、 21a
開口、 22 集電極、 23 第3の直流電源
ーザ光源12、 13レーザ駆動回路13、 14 ゲ
ート電極、 14a 開口、 15 第1の直流電源
(電界放射用直流電源)、 16 加速電極、 17
第2の直流電源(加速用直流電源)、 18 電子ビー
ム18、 20 周期構造、 21 反射板、 21a
開口、 22 集電極、 23 第3の直流電源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H03B 9/01 H03B 9/01
Claims (13)
- 【請求項1】 陰極部材と、この陰極部材の表面への光
照射によって電子を励起する光源手段と、前記陰極部材
の表面と対向して配置されたゲート電極と、前記陰極部
材とゲート電極との間に接続され、光照射によって励起
された電子を、量子力学的トンネル効果によって陰極表
面から放射させるための電界を印加する電界放射用直流
電源とを具える電界放射陰極。 - 【請求項2】 前記陰極部材の表面をアレイ状に形成し
た請求項1に記載の電界放射陰極。 - 【請求項3】 前記陰極部材の表面のアレイの各々を、
針状に形成した請求項2に記載の電界放射陰極。 - 【請求項4】 前記陰極部材の少なくとも表面を、光励
起により伝導帯への電子励起が可能なP型半導体および
真性半導体、電子の空間的選択励起が可能な半導体ヘテ
ロ構造、量子井戸および超格子、および照射光源のエネ
ルギーによる選択励起が可能な量子ドット、フラーレ
ン、炭素ナノチューブなどの低次元超構造の何れかを以
て構成した請求項1〜3の何れかに記載の電界放射陰
極。 - 【請求項5】 前記ゲート電極の、前記陰極部材の表面
と対向する側とは反対側に配置された加速電極と、前記
ゲート電極と加速電極との間に加速用電界を印加する加
速用直流電源とを設けた請求項1〜4の何れかに記載の
電界放射陰極。 - 【請求項6】 前記励起光を発生する光源手段を、極短
パルスのレーザ光を発生するように構成した請求項1〜
5の何れかに記載の電界放射陰極。 - 【請求項7】 前記励起光を発生する光源手段を、2周
波数のレーザ光を発生するように構成した請求項1〜5
の何れかに記載の電界放射陰極。 - 【請求項8】 請求項1〜7の何れかに記載の電界放射
陰極と、この電界放射陰極から放射される電子と相互作
用して電磁波を発生する電磁波発生手段とを具える電磁
波発生装置。 - 【請求項9】 前記励起光を発生する光源手段を、極短
パルスのレーザ光を発生するように構成し、前記電磁波
発生手段が、極短パルスの電子ビームと相互作用する高
周波回路を具える請求項8に記載の電磁波発生装置。 - 【請求項10】 前記高周波回路を、前記ゲート電極
と、このゲート電極と対向して配置された電極とを以て
構成した請求項9に記載の電磁波発生装置。 - 【請求項11】 前記励起光を発生する光源手段を、2
周波数のレーザ光を発生するように構成し、前記電磁波
発生手段が、前記陰極部材の表面から放射される電子ビ
ームと電磁波との相互作用場を構成するように、電子ビ
ームの通路を挟んで互いに対向して配置された周期構造
体および反射板を具える請求項8に記載の電磁波発生装
置。 - 【請求項12】 前記電子ビームと電磁波との相互作用
場を透過した電子ビームを補足する集電極を設けた請求
項11に記載の電磁波発生装置。 - 【請求項13】 前記集電極に、前記周期構造体よりも
低い電位を与える直流電源を設けた請求項12に記載の
電磁波発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35145998A JP2000173446A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP35145998A JP2000173446A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000173446A true JP2000173446A (ja) | 2000-06-23 |
Family
ID=18417436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP35145998A Pending JP2000173446A (ja) | 1998-12-10 | 1998-12-10 | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000173446A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2002082518A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-17 | Ki-Bum Kim | An apparatus and a method for forming a pattern using a crystal structure of material |
WO2005001180A1 (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-06 | Ideal Star Inc. | 電子放出性織布及びそれを用いた表示装置 |
KR100597014B1 (ko) * | 2001-01-10 | 2006-07-06 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 물질의 결정 구조를 이용한 패턴 형성 방법 및 그 구조를갖는 기능성 소자 |
WO2007020921A1 (ja) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | Riken | 電子ビームの変調方法及び装置 |
JP2007214117A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放出装置及びこれを用いた電磁波発生装置 |
JP2007534138A (ja) * | 2003-07-22 | 2007-11-22 | イエダ リサーチ アンド ディベロプメント カンパニー リミテッド | 電子放出装置 |
US7307432B2 (en) | 2003-12-02 | 2007-12-11 | Yokogawa Electric Corporation | Electron beam generating apparatus and optical sampling apparatus using the same |
US7474060B2 (en) | 2003-08-22 | 2009-01-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Light source |
JP2010257898A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電子放出装置および電子放出方法 |
-
1998
- 1998-12-10 JP JP35145998A patent/JP2000173446A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100597014B1 (ko) * | 2001-01-10 | 2006-07-06 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 물질의 결정 구조를 이용한 패턴 형성 방법 및 그 구조를갖는 기능성 소자 |
WO2002082518A1 (en) * | 2001-04-03 | 2002-10-17 | Ki-Bum Kim | An apparatus and a method for forming a pattern using a crystal structure of material |
US6855481B2 (en) | 2001-04-03 | 2005-02-15 | Ki-Bum Kim | Apparatus and a method for forming a pattern using a crystal structure of material |
WO2005001180A1 (ja) * | 2003-06-30 | 2005-01-06 | Ideal Star Inc. | 電子放出性織布及びそれを用いた表示装置 |
US7741232B2 (en) | 2003-06-30 | 2010-06-22 | Ideal Star Inc. | Electron-emitting woven fabric and display device using same |
JP4792293B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2011-10-12 | 株式会社イデアルスター | 電子放出性織布及びそれを用いた表示装置 |
JP2007534138A (ja) * | 2003-07-22 | 2007-11-22 | イエダ リサーチ アンド ディベロプメント カンパニー リミテッド | 電子放出装置 |
US7474060B2 (en) | 2003-08-22 | 2009-01-06 | Ngk Insulators, Ltd. | Light source |
US7307432B2 (en) | 2003-12-02 | 2007-12-11 | Yokogawa Electric Corporation | Electron beam generating apparatus and optical sampling apparatus using the same |
WO2007020921A1 (ja) * | 2005-08-19 | 2007-02-22 | Riken | 電子ビームの変調方法及び装置 |
JP2007214117A (ja) * | 2006-01-12 | 2007-08-23 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子放出装置及びこれを用いた電磁波発生装置 |
JP2010257898A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Tokyo Univ Of Agriculture & Technology | 電子放出装置および電子放出方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7736210B2 (en) | Microscale high-frequency vacuum electrical device | |
US9053833B2 (en) | DC high-voltage super-radiant free-electron based EUV source | |
US8487234B2 (en) | Electron emission device having an electrodes' arrangement and an antenna circuit with operational frequency in THz-range | |
US20050175042A1 (en) | Method for enabling high-brightness, narrow-band orbital radiation to be utilized simultaneously on a plurality of beam lines | |
Wang et al. | Quantum decoherence in high-order harmonic generation from solids | |
JP2000173446A (ja) | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 | |
US4313072A (en) | Light modulated switches and radio frequency emitters | |
US4038602A (en) | Automodulated realtivistic electron beam microwave source | |
US4553068A (en) | High power millimeter-wave source | |
US8564224B2 (en) | High average current, high quality pulsed electron injector | |
US4809281A (en) | Free-electron laser | |
JP3101713B2 (ja) | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 | |
JP2702541B2 (ja) | 自由電子レーザ装置 | |
US5164634A (en) | Electron beam device generating microwave energy via a modulated virtual cathode | |
JP2001035353A (ja) | 電界放射陰極およびそれを用いる電磁波発生装置 | |
JP2001148502A (ja) | 電界効果テラヘルツ電磁波発生素子 | |
JP2005039099A (ja) | 光パルス発生素子 | |
JPH0963468A (ja) | 光電子発生方法及び装置 | |
Petelin | Mode selection in high power microwave sources | |
CN116191170A (zh) | 一种光场发射太赫兹辐射方法 | |
Ginzburg et al. | Terahertz-Range Superradiant Generation in the Process of Laser Pulses Scattering with Frequency Down-Conversion | |
JP3095284B2 (ja) | 発光装置 | |
JP2552423B2 (ja) | 自由電子レーザー発振方法及び装置 | |
US5232902A (en) | Method and apparatus for modulating relativistic electron beams to produce microwaves using a superconducting passage | |
Kaminer | High harmonic lasing using attosecond electron pulse combs in photon-induced near-field electron microscopy |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000808 |