KR102382561B1

KR102382561B1 - 이온 발생기의 모니터링 장치 및 시스템

Info

Publication number: KR102382561B1
Application number: KR1020200021741A
Authority: KR
Inventors: 지문영
Original assignee: 에스케이하이닉스 주식회사
Priority date: 2020-02-21
Filing date: 2020-02-21
Publication date: 2022-04-04
Also published as: US11733314B2; KR20210106788A; US20210263110A1

Abstract

본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치는, 적어도 하나 이상의 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하되, 이온 발생기에 대응되게 형성되는 대전판; 대전판과 인접하게 배치되어 대전판의 전압을 감지하기 위한 감지 센서; 컨트롤러의 제어에 따라 대전판으로 전압을 인가하기 위한 전압 발생기; 및 전압 발생기를 통해 대전판에 인가되는 전압을 제어하고, 모니터링 시간 동안 감지 센서로부터 전달되는 시간별 전압값들을 수신하여 저장하며, 수신한 시간별 전압값들을 기초로 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 컨트롤러를 포함할 수 있다.

Description

이온 발생기의 모니터링 장치 및 시스템{Monitoring apparatus and system for ionizer}

본 발명은 이온 발생기의 모니터링 장치 및 시스템에 관한 것이다.

현재 반도체 장비를 비롯한 다양한 장비에서 발생하는 정전기의 충전과 충전된 먼지 입자는 공정 중 대상물(제품)의 품질 저하 및 화재 등을 발생시킬 수 있는 원인이 될 수 있으며, 이러한 문제를 해결하기 위해 다양한 제전 장치를 적용하고 있는 실정이다.

상술한 제전 장치 중 이온 발생기는 고전압을 방전시켜 얻어지는 양이온 또는 음이온을 공정 대상물에 전달되도록 하여 정전기와 반대 극성으로 중화시켜 소멸되도록 하는 원리를 적용한 장치이다.

공정 중 발생하는 정전기의 제거가 공정 결과물의 품질에 중요한 요소로 작용하기 때문에, 이온 발생기의 성능이 항상 양호한 상태로 유지되는 것이 요구되고 있는 실정이다.

현재, 이온 발생기의 성능을 측정하는 장치는 사이즈로 인해 상술한 장비 내 장착되지 못하고 사용자가 직접 손에 들고 플레이트에 직접 고전압을 인가하는 방식으로 디케이 타임(decay time)을 측정하는 방식으로 이루어지고 있다.

본 발명의 실시 예는 이온 발생기의 성능을 자동으로 모니터링할 수 있는 이온 발생기의 모니터링 장치 및 시스템을 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 실시 예에 따른 적어도 하나 이상의 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하되, 상기 이온 발생기에 대응되게 형성되는 대전판; 상기 대전판과 인접하게 배치되어 상기 대전판의 전압을 감지하기 위한 감지 센서; 컨트롤러의 제어에 따라 상기 대전판으로 전압을 인가하기 위한 전압 발생기; 및 상기 전압 발생기를 통해 상기 대전판에 인가되는 전압을 제어하고, 모니터링 시간 동안 상기 이온 발생기로부터 이온이 발생되는 상태에서 상기 감지 센서로부터 전달되는 시간별 전압값들을 수신하여 저장하며, 수신한 시간별 전압값들을 기초로 상기 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 컨트롤러를 포함하고, 상기 대전판 및 상기 감지 센서는 상기 적어도 하나 이상의 이온 발생기 각각에 대응하도록 형성될 수 있다.

본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 시스템은, 유무선 통신이 가능하며 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하여, 상기 장비 내에서 모니터링 시간 동안 감지되는 시간별 전압값들을 기초로 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 모니터링 장치; 유무선 통신이 가능하며 상기 모니터링 장치로부터 전송되는 상기 이온 발생기의 제전 성능의 타입 및 통신 프로토콜을 기준 타입 및 기준 통신 프로토콜로 변환하는 통합 연계 장치; 및 유무선 통신이 가능하며 상기 통합 연계 장치로부터 전달되는 상기 이온 발생기의 제전 성능을 기준치와 비교하여 해당 이온 발생기의 이상 여부를 비롯한 분석 정보를 저장하고, 상기 분석 정보에 따라 상기 이온 발생기의 동작을 제어하는 이온 발생기 관리 서버를 포함할 수 있다.

본 실시 예들에 따르면, 이온 발생기의 제전 성능을 자동으로 모니터링할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 본 실시 예는 이온 발생기가 장착되어 있는 장비 내에서 이온 발생기의 제전 성능을 감지할 수 있기 때문에, 이온 발생기의 제전 성능 결과에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 본 실시 예는 장비 내 제품에 대한 공정이 이루어지지 않는 경우, 실시간으로 이온 발생기의 성능을 감지할 수 있기 때문에, 이온 발생기의 성능을 항상 양호한 상태로 유지할 수 있고, 이로 인해 장비 내 정전기로 인해 발생할 수 있는 문제를 사전에 예방할 수 있다.

또한, 본 실시 예는 모니터링 장치의 각 구성의 조합 및 디자인을 변경하여 소형화하기 때문에, 장비 내에 모니터링 장치를 장착할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 이온 발생기 모니터링 장치의 구성을 보다 상세하게 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모니터링 장치의 구성을 나타내는 제어 블록도이다.
도 5 내지 도 13은 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 형상의 예시를 나타내는 도면이다.
도 14 및 도 15는 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시 예에 따른 통합 연계 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기 관리 서버의 구성을 나타내는 도면이다.

이하, 첨부한 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 구성을 나타내는 도면으로서, 모니터링 장치의 구성이 모두 일체형으로 구현되는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.

도 1을 참고하면, 이온 발생기의 모니터링 장치(40)는 장비(10) 내에 장착되되, 각각의 이온 발생기(20a, 20b, 20c, 20d: 이하에서는 20이라고 하기로 함)에 대응되게 참조번호 40a, 40b, 40c, 40d처럼 구현될 수 있다. 본 실시예에서 개시하는 이온 발생기(20)는 이온 발생기 이외에도 이오나이저(ionizer) 또는 제전장치로 불릴 수 있으나, 본 실시예에서는 설명의 편의를 위해 이온 발생기로 명명하기로 한다.

이때, 참조번호 40a의 모니터링 장치는 참조번호 20a의 이온 발생기와 인접하게 위치하여 이온 발생기(20a)로부터 발생되는 이온으로 인한 시간별 전압값을 감지할 수 있는 것이다.

또한, 이온 발생기(20)와 모니터링 장치(40)는 각각의 식별정보가 부여되어 이온 발생기(20)의 제전 성능을 관리하거나 또는 이온 발생기(20)의 동작을 제어할 때 참고할 수 있다.

도 2는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 구성을 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 이온 발생기 모니터링 장치의 구성을 보다 상세하게 나타내는 도면이다.

도 2를 참고하면, 모니터링 장치는 대전판(41) 및 감지 센서(43)가 일체형으로 형성된 제1 본체(40)와 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47)가 일체형으로 형성된 제2 본체(50)가 서로 이격되게 배치될 수 있다.

이온 발생기의 모니터링 장치(40)는 장비(10) 내에 장착되되, 각각의 이온 발생기(20a, 20b, 20c, 20d: 이하에서는 20이라고 하기로 함)에 대응되게 제1 본체(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)가 구현될 수 있다.

이때, 참조번호 40-1a의 제1 본체는 참조번호 20a의 이온 발생기와 인접하게 위치하여 이온 발생기(20a)로부터 발생되는 이온으로 인한 시간별 전압값을 감지할 수 있는 것이다.

도 3을 참고하면, 모니터링 장치는 복수의 제1 본체(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)가 하나의 제2 본체(40-2)에 연결된 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 본 실시예는 하나의 컨트롤러(47)에 복수의 감지 센서(43)가 연결될 수 있어, 장비(10)의 크기 및 형상에 따라 컨트롤러(47)를 복수 개 구비하는 경우, 4ch, 8ch, 16ch, 32ch 등으로 확장할 수 있다. 예를 들어, 장비(10)의 사이즈가 커지는 경우, 제2 본체(40-2)를 복수 개 구비하여, 각각의 제2 본체(40-2)마다 제1 본체(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)가 연결되도록 하여, 4ch, 8ch, 16ch, 32ch 등으로 확장할 수 있는 것이다. 이때, 장비(10) 내 제1 본체(40-1) 및 제2 본체(40-2)가 장착되는 위치는 이온 발생기(20)의 제전 성능을 감지하기 양호한 위치로 운용자에 따라 변경될 수 있음은 당연하다 할 것이다.

이러한 구조는 장비(10) 내에서 모니터링 장치가 차지하는 면적이 도 1에 비해 더 작을 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 실시예는 모니터링 장치(40)가 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47) 외 이온 발생기(20)의 성능을 측정 결과를 표시하기 위한 디스플레이와 같은 구성을 생략하기 때문에, 사이즈가 더 축소될 수 있는 것이다.

도 1 및 도 2에서의 이온 발생기(20) 및 모니터링 장치(40)의 배치는 일 예로, 이에 한정되지 않고 운용자에 따라 위치를 조정할 수 있음은 당연하다 할 것이다.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 모니터링 장치의 구성을 나타내는 제어 블록도이다.

이하에서는, 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 장치의 형상의 예시를 나타내는 도 5 내지 도 13을 참고하여 설명하기로 한다.

도 4를 참고하면, 모니터링 장치(100)는 통신 인터페이스(110), 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45), 메모리(120) 및 컨트롤러(47)를 포함할 수 있다.

통신 인터페이스(110)는 외부 장치와 정보 송수신을 위해 유선 또는 무선 통신 연결을 위한 구성일 수 있다.

이때, 외부 장치는 도 14에서 도시하는 통합 연계 장치(200)일 수 있으며, 이에 한정되지 않고, 통신 가능한 모든 장치일 수 있다.

한편, 통신 인터페이스(110)는 모니터링 장치(100) 내 구성들의 구현에 따라 그룹지어진 각 본체 내 별도로 구현되어, 모니터링 장치(100) 내 구성들 간의 통신 연결을 수행하는 것 역시 가능할 수 있다.

대전판(charged plate)(120)은 적어도 하나 이상의 이온 발생기(20)가 설치된 장비 내 위치하되, 이온 발생기(20)에 대응되게 형성될 수 있다.

도시하지 않았지만, 본 실시예에서 개시하는 대전판(41)은 도체판, 상기 도체판과 대향되게 형성되는 접지된 표면, 상기 도체판과 상기 접지된 표면 사이에 형성된 절연체, 접지된 표면에 연결된 접지를 포함할 수 있다.

감지 센서(43)는 대전판(41)과 인접하게 배치되어 대전판(20)의 전압을 감지하기 위한 구성일 수 있다.

감지 센서(43)는 대전되는 대전판(41)에 외부 접촉이 발생하지 않는 비접촉 상태로 전위 측정이 가능한 정전압계 측정(Electrostatic field meter) 방식을 적용할 수 있으며, 이에 한정되지 않는다. 본 실시예는 기존과 달리 사용자가 모니터링 장치(100)를 직접 손에 들고 이온 발생기(20)의 제전 성능을 감지할 필요가 없기 때문에, 사용자의 손과 같은 외부 접촉으로 인한 충전된 전압의 손실을 사전에 예방하여, 보다 정확한 이온 발생기(20)의 제전 성능을 파악할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.

상기 대전판(41) 및 감지 센서(43)는 적어도 하나 이상의 이온 발생기(도 1 및 도 2의 20a, 20b, 20c, 20d) 각각에 대응하도록 형성될 수 있다. 이때, 각각에 대응한다는 것은 이온 발생기(20)의 개수와 대전판(41) 및 감지 센서(43)의 개수가 동일하는 것을 의미할 수 있다.

전압 발생기(45)는 컨트롤러(47)의 제어에 따라 대전판(41)으로 전압을 인가하기 위한 구성일 수 있다.

메모리(120)는 시간별 전압값, 이온 발생기(20)의 제전 성능 및 장비(10)의 공정모드를 비롯하여 모니터링 장치(100)와 관련된 정보를 저장할 수 있다.

이때, 공정모드는 공정 대상물(제품)이 장비(10) 내 로드되지 않은 상태를 의미하는 유휴 모드(idle mode)와 공정 대상물이 장비(10) 내 로드된 상태를 의미하는 가동 모드를 포함할 수 있다.

컨트롤러(47)는 전압 발생기(45)를 통해 대전판(41)에 인가되는 전압을 제어하고, 모니터링 시간 동안 이온 발생기(20)로부터 이온이 발생되는 상태에서 감지 센서(43)로부터 전달되는 시간별 전압값들을 수신하여 저장하며, 수신한 시간별 전압값들을 기초로 이온 발생기(20)의 제전 성능을 파악할 수 있다.

컨트롤러(47)는 시간별 전압값들을 기초로 대전판(41)에 전압을 인가한 시점부터 측정된 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 이온 발생기(20)의 제전 성능을 파악할 수 있다.

이때, 측정된 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간은 이온 발생기(20)로부터 발생되는 이온에 의해 해당 영역의 전압값이 기준치로 낮아지는 시간을 의미하는 디케이 타임(Decay Time)을 의미할 수 있다. 예를 들어, 디케이 타임은 대전판(41)에 ±1000 V의 전압이 인가된 경우, 인가된 전압이 90% 감쇠되는 시간을 의미할 수 있다. 여기서, 대전판(41)에 인가된 전압이 ±1000 V일 경우, 기준치는 ±100 V이고, 인가된 전압이 ±2000 V일 경우, 기준치는 ±200 V일 수 있다.

컨트롤러(47)는 기 설정된 모니터링 스케쥴 또는 운용자의 요청에 따라 이온 발생기(20)의 성능을 모니터링하도록 제어하되, 공정모드가 유휴 모드(idle mode)인지 여부를 확인하고, 확인 결과 유휴 모드일 경우 이온 발생기(20)의 모니터링 동작을 시작할 수 있다. 예를 들어, 컨트롤러(47)는 운용자에 의해서 미리 설정된 초, 분, 시, 월 등의 단위로 설정된 모니터링 스케쥴에 따라 모니터링 명령을 발생시키거나, 또는 사전에 설정된 모니터링 스케쥴 이외에 운용자에 의한 즉시 요청에 따라 모니터링 명령을 발생시킬 수 있다.

이를 위해, 메모리(120)는 이온 발생기 관리 서버(300) 등의 외부 장치로부터 장비(10) 내 공정 대상물(제품)이 로드되었는지 여부 정보를 수신하고, 수신된 정보를 기초로 유휴 모드와 가동 모드로 구분될 수 있는 공정모드를 저장할 수 있다.

이하에서는, 도 5 내지 도 13을 참고하면, 모니터링 장치(100) 내부 구성의 구현 예를 설명하기로 한다.

도 5 및 도 6과 같이, 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47)가 일체형으로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)과 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47) 간을 연결하도록 형성된 복수의 절연기둥(42)을 더 포함할 수 있다. 상기 절연기둥(42)은 대전판(41)에 인가되는 전압이 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47)에 영향을 주지 않도록 쉴드 역할을 수행하는 구성으로, 절연재질로 이루어질 수 있다. 이하에서 개시하는 절연기둥(42) 역시 동일한 기능을 수행하기 위한 것이다.

이때, 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45), 컨트롤러(47) 및 복수의 절연기둥(42)은 장비(10) 내부에 위치할 수 있다.

예를 들어, 대전판(41)은 평판 형태(도 5 참고)이거나, 또는 평판 및 상기 평판의 테두리로부터 수직 방향으로 연장된 연장부를 포함하는 형태(도 6 참고)로 형성될 수 있다.

이때, 도 6과 같은 경우, 대전판(41)이 하방으로 꺽인 형상이기 때문에 장비(10)내에서 차지하는 면적은 작으나 실제 대전판(41)의 면적은 꺽인 부분까지 확장된 것으로 간주할 수 있다. 이에, 대전판(41)이 이온 발생기(20)의 제전 성능을 감지할 수 있는 충분한 고전압을 인가받을 수 있는 면적을 확보하는 동시에 장비(10)내 탑재할 수 있도록 대전판(41)을 소형으로 구현할 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.

도 7 내지 도 13에서 도시하는 바와 같이, 대전판(41) 및 감지 센서(43)가 일체형으로 제1 본체(도 3의 40-1)를 형성하고, 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47)가 일체형으로 제2 본체(도 3의 40-2)를 형성하며, 제1 본체(40-1)와 제2 본체(40-2)가 서로 이격되게 배치되는 경우, 제1 본체(40-1)와 제2 본체(40-2)는 각각 유무선 통신이 가능한 통신 인터페이스(110)를 포함할 수 있다.

컨트롤러(47)는 제1 본체(40-1)와 제2 본체(40-2) 간에 무선통신 모드일 경우, 감지 센서(43)로부터 기준시간 내에 시간별 전압값이 전송되지 않는 경우, 무선통신 모드를 유선통신 모드로 전환하도록 제어할 수 있다.

이와 반대로, 제1 본체(40-1)와 제2 본체(40-2) 간에 유선통신 모드일 경우, 감지 센서(43)로부터 기준시간 내에 시간별 전압값이 연속적으로 전송되는 경우, 유선통신 모드를 무선통신 모드로 전환하도록 제어하는 것 역시 가능하다 할 것이다.

도 3과 같이, 제1 본체(40-1)는 대전판(41) 및 감지 센서(43)를 각각 포함하는 복수의 쌍(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)을 포함하고, 제2 본체(40-2)는 제1 본체의 복수의 쌍(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)과 연결될 수 있다.

즉, 장비(10) 내 하나의 제2 본체(40-2)가 복수의 제1 본체(40-1)와 연결되어 모니터링 관련 제어를 수행할 수 있다는 것이다. 이때, 제2 본체(40-2)가 장비(10) 내에서 차지하는 면적을 줄일 수 있다는 효과를 기대할 수 있는 것이다.

이러한 구조로 인해, 모니터링 장치(100)의 사이즈는 축소시키되, 이온 발생기(20)의 제전 성능 감지에 대한 신뢰성은 양호한 상태를 유지할 수 있는 것이다.

상술한 경우, 컨트롤러(47)는 모니터링 스케쥴에 따라 제1 본체(40-1) 내 복수의 대전판(41) 및 감지 센서(43) 쌍 각각(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)에 모니터링 명령을 전송하되, 대전판(41)으로 전압 발생기(45)를 통해 전압을 인가하고 감지 센서(43)로 전압 감지 명령을 전송할 수 있다.

예를 들어, 컨트롤러(47)는 제1 본체(40-1) 중 참조번호 40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d 순으로 모니터링 명령을 전송할 수 있는 것이다. 제1 본체(40-1) 내 대전판(41) 및 감지 센서(43) 쌍(40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d)을 각각 구동시키기 때문에, 이에 대응되는 이온 발생기(20a, 20b, 20c, 20d)의 성능을 보다 정확히 감지할 수 있다는 효과를 기대할 수 있다.

본 실시예에서는 제1 본체(40-1)와 제2 본체(40-2)를 장비(10) 내에서 서로 이격 배치시키고, 제1 본체(40-1) 내 참조번호 40-1a, 40-1b, 40-1c, 40-1d의 구동시기를 순차적 또는 랜덤으로 차별화 제어할 수 있다.

도 7을 참고하면, 대전판(41)이 ㄷ 형태로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스(44), 대전판(41)의 내측 상부와 절연 케이스(44)의 바닥면을 연결하는 복수의 절연기둥(42)을 더 포함할 수 있다. 이때, 감지 센서(43)는 대전판(41)과 절연 케이스(44) 간에 형성되는 공간에 형성될 수 있다.

도 8을 참고하면, 대전판(41)이 ㄷ 형태로 형성되는 경우, 대전판(41)의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스(44) 및 감지 센서(43)가 대전판(41)의 내부에 떠 있는 상태를 유지하도록 대전판(41)의 측면에 형성된 관통홀을 통해 감지 센서(43) 양측의 각각과 절연 케이스(44)의 내측벽을 연결하도록 형성된 고정부(48)를 더 포함할 수 있다. 이때, 고정부(48)는 감지 센서(43)와 컨트롤러(47)를 연결하는 통신선이거나 또는 통신선을 포함할 수 있다.

상술한, 대전판(41)과 고정부(48)가 접촉되는 영역, 즉, 대전판(41)과 고정부(48) 사이에는 절연재질로 이루어진 절연체(49)가 추가로 형성되어, 대전판(41)과 고정부(48) 간의 전압 간섭에 대한 쉴드 역할을 수행할 수 있다.

구체적으로, 도 7 및 도 8의 대전판(41)은 평판 및 평판의 테두리로부터 수직 하방으로 연장된 연장부를 포함하는 ㄷ 형태일 수 있다.

도 9 및 도 10과 같이, 대전판(41)이 상부면이 오목형태(도 9 참고)로 형성되거나, 또는 하부면이 오목형태로 형성(도 10 참고)된 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스(44)를 더 포함할 수 있다. 이때, 감지 센서(43)는 대전판(41)과 절연 케이스(44) 사이의 이격 공간에 형성될 수 있다.

도 11과 같이, 대전판(41)이 내부가 공간을 포함하는 육면체로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스(44) 및 대전판(41)과 절연 케이스(44)를 연결하는 복수의 기둥(45)을 더 포함할 수 있다. 이때, 감지 센서(43)는 대전판(41)과 절연 케이스(44) 사이의 이격 공간에 형성될 수 있다.

도 12와 같이, 대전판(41)이 내부가 공간을 포함하는 육면체로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스(44) 및 감지 센서(43)가 대전판(41)의 내부에 떠 있는 상태를 유지하도록 대전판(41)의 측면에 형성된 관통홀을 통해 감지 센서(43) 양측의 각각과 절연 케이스(44)의 내측벽을 연결하도록 형성된 고정부(48)를 더 포함할 수 있다.

도 13과 같이, 대전판(41)이 원판 형태로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)과 감지 센서(43)를 연결하는 절연기둥(42)을 더 포함할 수 있다.

도 14 및 도 15는 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기의 모니터링 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.

이하에서는, 본 발명의 실시 예에 따른 통합 연계 장치의 구성을 나타내는 도 16 및 본 발명의 실시 예에 따른 이온 발생기 관리 서버의 구성을 나타내는 도 17을 참고하여 설명하기로 한다.

도 14를 참고하면, 모니터링 시스템(500)은 모니터링 장치(100), 통합 연계 장치(200), 이온 발생기 관리 서버(300) 및 사용자 단말기(400)를 포함할 수 있다.

모니터링 장치(100)는 유무선 통신이 가능하며 이온 발생기(20)가 설치된 장비(10) 내 위치하여, 상기 장비(10) 내에서 모니터링 시간 동안 감지되는 시간별 전압값들을 기초로 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 이온 발생기(20)의 제전 성능을 파악하는 구성일 수 있다.

구체적으로, 모니터링 장치(100)는 통신 인터페이스(110), 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45), 메모리(120) 및 컨트롤러(47)를 포함할 수 있다.

컨트롤러(47)는 기 설정된 모니터링 스케쥴 또는 운용자의 요청에 따라 이온 발생기(20)의 성능을 모니터링하도록 제어하되, 공정모드가 유휴 모드(idle mode)인지 여부를 확인하고, 확인 결과 유휴 모드일 경우 이온 발생기(20)의 모니터링 동작을 시작할 수 있다.

도 5 및 도 6과 같이, 대전판(41), 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47)가 일체형으로 형성되는 경우, 모니터링 장치(100)는 대전판(41)과 감지 센서(43), 전압 발생기(45) 및 컨트롤러(47) 간을 연결하도록 형성된 복수의 절연기둥(42)을 더 포함할 수 있다.

즉, 장비(10) 내 하나의 제2 본체(40-2)가 복수의 제1 본체(40-1)와 연결되어 모니터링 관련 제어를 수행할 수 있다는 것이다.

상술한 경우, 컨트롤러(47)는 모니터링 스케쥴에 따라 제1 본체(40-1) 내 복수의 대전판(41) 및 감지 센서(43) 쌍 각각에 모니터링 명령을 전송하되, 대전판(41)으로 전압 발생기(45)를 통해 전압을 인가하고 감지 센서(43)로 전압 감지 명령을 전송할 수 있다.

통합 연계 장치(200)는 유무선 통신이 가능하며 상기 모니터링 장치(100)로부터 전송되는 상기 이온 발생기(20)의 제전 성능의 타입 및 통신 프로토콜을 기준 타입 및 기준 통신 프로토콜로 변환할 수 있다.

도 15에서 도시하는 바와 같이, 통합 연계 장치(200)는 모니터링 장치(100)와 일대일로 구비되어, 하나의 모니터링 장치(100)로부터 전송되는 이온 발생기의 시간별 전압값을 수신할 수 있다.

이때, 이온 발생기의 시간별 전압값은 이온 발생기(20)이 장착된 장비 식별정보, 이온 발생기 식별정보, 모니터링 장치 식별정보, 모니터링 장치 내 감지 센서 식별번호 및 장비(10)가 위치하는 공장 식별정보 중 적어도 하나 이상과 매칭되어 전송되거나 또는 저장될 수 있다.

도 16을 참고하면, 통합 연계 장치(200)는 통신 인터페이스(210), 디스플레이(220), 메모리(230) 및 컨트롤러(240)를 포함할 수 있다.

통신 인터페이스(210)는 외부 장치와 정보 송수신을 위해 유선 또는 무선 통신 연결을 위한 구성일 수 있다.

디스플레이(220)는 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라, 메모리(230)에 저장된 이온 발생기(20)의 제전 성능을 비롯한 정보를 화면 상에 표시할 수 있다.

이때, 디스플레이(220)는 사용자의 요청에 따른 컨트롤러(240)의 제어에 따라 이온 발생기의 시간별 전압값, 이온 발생기의 시간별 전압값을 기초로 산출된 이온 발생기의 제전 성능 등을 화면 상에 출력할 수 있는 것이다.

메모리(230)는 이온 발생기(20)의 제전 성능을 비롯하여 통합 연계 장치(200)와 관련된 정보를 저장하되, 이온 발생기(20)의 제전 성능을 이온 발생기별 모니터링 이력정보 형태로 저장할 수 있다.

컨트롤러(240)는 외부 장치로부터 수신한 이온 발생기(20)의 제전 성능을 비롯한 데이터의 타입 및 통신 프로토콜을 기준 타입 및 기준 통신 프로토콜로 변환하고 이온 발생기 관리 서버(300)로부터 전송되는 이온 발생기(20)의 제어 정보를 관련 식별정보를 기초로 해당 이온 발생기(20)로 전달되도록 할 수 있다.

컨트롤러(240)는 모니터링 장치(100)로부터 전달된 아날로그 형태의 이온 발생기(20)의 제전 성능을 디지털 형태로 변환하고, 이온 발생기(20)의 제전 성능의 통신 프로토콜을 기 설정된 통신 프로토콜로 변환하여 유선 또는 무선 통신을 통해 이온 발생기 관리 서버(300)로 전달할 수 있다.

이온 발생기 관리 서버(300)는 유무선 통신이 가능하며 통합 연계 장치(200)로부터 전달되는 상기 이온 발생기(20)의 제전 성능을 기준치와 비교하여 해당 이온 발생기의 이상 여부를 비롯한 분석 정보를 저장하고, 상기 분석 정보에 따라 상기 이온 발생기(20)의 동작을 제어할 수 있다.

도 17을 참고하면, 이온 발생기 관리 서버(300)는 통신 인터페이스(310), 디스플레이(320), 메모리(330), 알람부(340) 및 컨트롤러(350)를 포함할 수 있다.

통신 인터페이스(310)는 유선 또는 무선 통신을 통해 정보를 송수신하기 위한 구성일 수 있다.

디스플레이(320)는 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라, 메모리(330)에 저장된 이온 발생기(20)의 제전 성능을 비롯한 정보를 화면 상에 표시할 수 있다.

메모리(330)는 이온 발생기(20)의 이상 여부를 파악하기 위한 기준치 및 통합 연계 장치(200)로부터 전달되는 이온 발생기(20)의 제전 성능을 비롯하여 이온 발생기 관리 서버(300)와 관련된 정보를 저장하는 구성일 수 있다.

알림부(340)는 이온 발생기(20)의 제전 성능이 기준치를 초과하는 경우 사용자 단말기(400)로 이온 발생기(20)의 이상 알림 메시지 또는 메일을 전송하거나, 또는 문자, 소리, 영상 및 점등 중 적어도 하나 이상을 포함한 이온 발생기(20)의 이상 알림을 출력할 수 있다.

컨트롤러(350)는 통합 연계 장치(200)로부터 전달되는 이온 발생기(20)의 제전 성능을 상기 기준치와 비교하고, 비교 결과를 기초로 해당 이온 발생기(20)로 동작 제어 정보를 전송할 수 있다.

컨트롤러(350)는 이온 발생기(20)의 동작 정지 및 이온 발생기(20)의 이온 발생량 조정 중 적어도 하나 이상을 포함하는 동작 제어 정보를 발생시킬 수 있다.

컨트롤러(350)는 통합 연계 장치(200)로부터 전달되는 이온 발생기(20)의 제전 성능을 시간별로 누적하여 관리하되, 이온 발생기의 제전 성능을 다양한 방식으로 가공하여 사용자가 각 이온 발생기(20)의 제전 성능을 용이하게 확인할 수 있도록 그래프 등으로 관리할 수 있다. 이때, 이온 발생기의 제전 성능은 각 이온 발생기의 식별정보와 매칭되어 관리될 수 있음은 당연하다 할 것이다.

또한, 가공된 이온 발생기의 제전 성능은 이온 발생기의 제전 성능이 기준치를 초과하는 이력 등의 관련 정보도 포함하고 있음은 당연하다 할 것이다.

컨트롤러(350)는 통합 연계 장치(200)로부터 전달되는 이온 발생기(20)의 실시간 제전 성능을 사용자가 확인할 수 있도록 디스플레이(320)를 통해 제공하거나, 사용자 단말기(400) 또는 통합 연계 장치(200)로 제공할 수 있다.

컨트롤러(350)는 가공된 이온 발생기의 제전 성능을 통합 연계 장치(200) 또는 사용자 단말기(400)로도 제공할 수 있다.

사용자 단말기(400)는 통합 연계 장치(200) 또는 이온 발생기 관리 서버(300)로부터 유무선 통신을 통해 전달되는 상기 이온 발생기(20)의 이상 여부를 비롯한 분석 정보를 저장하고, 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라 상기 분석 정보를 화면을 통해 출력하며, 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라 상기 이온 발생기(20)의 동작 제어 정보를 전송할 수 있다.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 기술자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

20: 이온 발생기
40, 40a, 40b, 40c, 40d, 100: 모니터링 장치
41: 대전판 43: 감지 센서
45: 전압 발생기 47: 컨트롤러

Claims

적어도 하나 이상의 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하되, 상기 이온 발생기에 대응되게 형성되고, 평판 및 상기 평판의 테두리로부터 수직 방향으로 연장된 연장부를 포함하는 ㄷ 형태, 내부 공간을 포함하는 육면체 형태, 상부면이 오목한 평판 형태 및 하부면이 오목한 평판 형태 중 어느 하나의 형태를 갖는 대전판;
상기 대전판과 인접하게 배치되어 상기 대전판의 전압을 감지하기 위한 감지 센서;
컨트롤러의 제어에 따라 상기 대전판으로 전압을 인가하기 위한 전압 발생기;
상기 전압 발생기를 통해 상기 대전판에 인가되는 전압을 제어하고, 모니터링 시간 동안 상기 이온 발생기로부터 이온이 발생되는 상태에서 상기 감지 센서로부터 전달되는 시간별 전압값들을 수신하여 저장하며, 수신한 시간별 전압값들을 기초로 상기 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 컨트롤러 및
상기 대전판의 상부면을 노출시키되, 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스를 포함하고,
상기 대전판 및 상기 감지 센서는 상기 적어도 하나 이상의 이온 발생기 각각에 대응하도록 형성되며,
상기 감지 센서는 상기 대전판과 절연 케이스 사이의 이격 공간에 형성되는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제1항에 있어서,
외부 장치와 정보 송수신을 위해 유선 또는 무선 통신 연결을 위한 통신 인터페이스; 및
상기 시간별 전압값, 상기 이온 발생기의 제전 성능 및 상기 장비의 공정모드를 비롯하여 상기 모니터링 장치와 관련된 정보를 저장하는 메모리;
를 더 포함하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제2항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
상기 시간별 전압값들을 기초로 상기 대전판에 전압을 인가한 시점부터 측정된 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 상기 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제3항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
기 설정된 모니터링 스케쥴 또는 운용자의 요청에 따라 상기 이온 발생기의 성능을 모니터링하도록 제어하되, 상기 공정모드가 유휴 모드(idle mode)인지 여부를 확인하고, 확인 결과 유휴 모드일 경우 상기 이온 발생기의 모니터링 동작을 시작하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제4항에 있어서,
상기 대전판, 상기 감지 센서, 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러가 일체형으로 형성되는 경우,
상기 대전판과 상기 감지 센서, 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러 간을 연결하도록 형성된 복수의 절연기둥을 더 포함하고,
상기 대전판, 상기 감지 센서, 상기 전압 발생기, 상기 컨트롤러 및 상기 복수의 절연기둥은 상기 장비 내부에 위치하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
삭제
제4항에 있어서,
상기 대전판 및 상기 감지 센서가 일체형으로 제1 본체를 형성하고, 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러가 일체형으로 제2 본체를 형성하며, 상기 제1 본체와 상기 제2 본체가 서로 이격되게 배치되는 경우,
상기 제1 본체와 상기 제2 본체는 각각 유무선 통신이 가능한 통신 인터페이스를 포함하고,
상기 컨트롤러는,
상기 제1 본체와 상기 제2 본체 간에 무선통신 모드일 경우, 상기 감지 센서로부터 기준시간 내에 상기 시간별 전압값이 전송되지 않는 경우, 상기 무선통신 모드를 유선통신 모드로 전환하도록 제어하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 본체는 상기 대전판 및 상기 감지 센서를 각각 포함하는 복수의 쌍을 포함하고, 상기 제2 본체는 상기 제1 본체의 복수의 쌍과 연결되며,
상기 컨트롤러는,
모니터링 스케쥴에 따라 상기 제1 본체 내 복수의 상기 대전판 및 상기 감지 센서 쌍 각각에 모니터링 명령을 전송하되, 상기 대전판으로 상기 전압 발생기를 통해 전압을 인가하고 상기 감지 센서로 전압 감지 명령을 전송하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제7항에 있어서,
상기 대전판이 ㄷ 형태로 형성되는 경우,
상기 대전판의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스; 및
상기 대전판의 내측 상부와 상기 절연 케이스의 바닥면을 연결하는 복수의 절연기둥을 더 포함하고,
상기 감지 센서는 상기 대전판과 상기 절연 케이스 간에 형성되는 공간에 형성되는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제7항에 있어서,
상기 대전판이 ㄷ 형태로 형성되는 경우,
상기 대전판의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스; 및
상기 감지 센서가 상기 대전판의 내부에 떠 있는 상태를 유지하도록 상기 대전판의 측면에 형성된 관통홀을 통해 상기 감지 센서 양측의 각각과 상기 절연 케이스의 내측벽을 연결하도록 형성된 고정부;
를 더 포함하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
삭제
제7항에 있어서,
상기 대전판이 내부가 공간을 포함하는 육면체로 형성되는 경우,
상기 대전판의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스; 및
상기 대전판과 상기 절연 케이스를 연결하는 복수의 기둥을 더 포함하고,
상기 감지 센서는 상기 대전판과 상기 절연 케이스 사이의 이격 공간에 형성되는 이온 발생기의 모니터링 장치.
제7항에 있어서,
상기 대전판이 내부가 공간을 포함하는 육면체로 형성되는 경우,
상기 대전판의 상부면을 노출시키되 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스; 및
상기 감지 센서가 상기 대전판의 내부에 떠 있는 상태를 유지하도록 상기 대전판의 측면에 형성된 관통홀을 통해 상기 감지 센서 양측의 각각과 상기 절연 케이스의 내측벽을 연결하도록 형성된 고정부;
를 더 포함하는 이온 발생기의 모니터링 장치.
삭제
유무선 통신이 가능하며 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하여, 상기 장비 내에서 모니터링 시간 동안 감지되는 시간별 전압값들을 기초로 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 모니터링 장치;
유무선 통신이 가능하며 상기 모니터링 장치로부터 전송되는 상기 이온 발생기의 제전 성능의 타입 및 통신 프로토콜을 기준 타입 및 기준 통신 프로토콜로 변환하는 통합 연계 장치; 및
유무선 통신이 가능하며 상기 통합 연계 장치로부터 전달되는 상기 이온 발생기의 제전 성능을 기준치와 비교하여 해당 이온 발생기의 이상 여부를 비롯한 분석 정보를 저장하고, 상기 분석 정보에 따라 상기 이온 발생기의 동작을 제어하는 이온 발생기 관리 서버;를 포함하고,
상기 모니터링 장치는,
외부 장치와 정보 송수신을 위해 유선 또는 무선 통신 연결을 위한 통신 인터페이스;
적어도 하나 이상의 이온 발생기가 설치된 장비 내 위치하되, 상기 이온 발생기에 대응되게 형성되고, 평판 및 상기 평판의 테두리로부터 수직 방향으로 연장된 연장부를 포함하는 ㄷ 형태, 내부 공간을 포함하는 육면체 형태, 상부면이 오목한 평판 형태 및 하부면이 오목한 평판 형태 중 어느 하나의 형태를 갖는 대전판;
상기 대전판과 인접하게 배치되어 상기 대전판의 전압을 감지하기 위한 감지 센서;
컨트롤러의 제어에 따라 상기 대전판으로 전압을 인가하기 위한 전압 발생기;
상기 전압 발생기를 통해 상기 대전판에 인가되는 전압을 제어하고, 모니터링 시간 동안 상기 이온 발생기로부터 이온이 발생되는 상태에서 상기 감지 센서로부터 전달되는 시간별 전압값들을 수신하여 저장하며, 수신한 시간별 전압값들을 기초로 상기 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 컨트롤러;
상기 대전판의 상부면을 노출시키되, 측면 및 하부면을 감싸는 ㄷ 형태로 형성되는 절연 케이스 및
상기 시간별 전압값, 상기 이온 발생기의 제전 성능 및 상기 장비의 공정모드를 비롯하여 모니터링 장치와 관련된 정보를 저장하는 메모리를 포함하고,
상기 대전판 및 상기 감지 센서는 상기 적어도 하나 이상의 이온 발생기 각각에 대응하도록 형성되며,
상기 감지 센서는 상기 대전판과 절연 케이스 사이의 이격 공간에 형성되는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
삭제
제15항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
상기 시간별 전압값들을 기초로 상기 대전판에 전압을 인가한 시점부터 측정된 전압값이 기준 전압으로 낮아질 때까지 소요되는 시간을 검출하여 상기 이온 발생기의 제전 성능을 파악하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
기 설정된 모니터링 스케쥴 또는 운용자의 요청에 따라 상기 이온 발생기의 성능을 모니터링하도록 제어하되, 상기 공정모드가 유휴 모드(idle mode)인지 여부를 확인하고, 확인 결과 유휴 모드일 경우 상기 이온 발생기의 모니터링 동작을 시작하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 대전판, 상기 감지 센서, 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러가 일체형으로 형성되는 경우,
상기 대전판 및 상기 감지 센서와 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러 간을 서로 연결하는 형태로 형성된 복수의 절연기둥을 더 포함하고,
상기 대전판, 상기 감지 센서, 상기 전압 발생기, 상기 컨트롤러 및 상기 복수의 절연기둥은 상기 장비 내부에 위치하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 대전판 및 상기 감지 센서가 일체형으로 제1 본체를 형성하고, 상기 전압 발생기 및 상기 컨트롤러가 일체형으로 제2 본체를 형성하며, 상기 제1 본체와 상기 제2 본체가 서로 이격되게 배치되는 경우,
상기 제1 본체와 상기 제2 본체는 각각 유무선 통신이 가능한 통신 인터페이스를 포함하고,
상기 컨트롤러는,
상기 제1 본체와 상기 제2 본체 간에 무선통신 모드일 경우, 상기 감지 센서로부터 기준시간 내에 상기 시간별 전압값이 전송되지 않는 경우, 상기 무선통신 모드를 유선통신 모드로 전환하도록 제어하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제20항에 있어서,
상기 제1 본체는 상기 대전판 및 상기 감지 센서를 각각 포함하는 복수의 쌍을 포함하고, 상기 제2 본체는 상기 제1 본체의 복수의 쌍과 연결되며,
상기 컨트롤러는,
모니터링 스케쥴에 따라 상기 제1 본체 내 복수의 상기 대전판 및 상기 감지 센서 쌍 각각에 모니터링 명령을 전송하되, 상기 대전판으로 상기 전압 발생기를 통해 전압을 인가하고 상기 감지 센서로 전압 감지 명령을 전송하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 통합 연계 장치 또는 상기 이온 발생기 관리 서버로부터 유무선 통신을 통해 전달되는 상기 이온 발생기의 이상 여부를 비롯한 분석 정보를 저장하고, 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라 상기 분석 정보를 화면을 통해 출력하며, 사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라 상기 이온 발생기의 동작 제어 정보를 전송하는 사용자 단말기;
를 더 포함하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 통합 연계 장치는,
외부 장치와 정보 송수신을 위해 유선 또는 무선 통신 연결을 위한 통신 인터페이스;
상기 이온 발생기의 제전 성능을 비롯하여 상기 통합 연계 장치와 관련된 정보를 저장하되, 상기 이온 발생기의 제전 성능을 이온 발생기별 모니터링 이력정보 형태로 저장하는 메모리;
사용자에 의해서 입력되는 요청에 따라, 상기 메모리에 저장된 이온 발생기의 제전 성능을 비롯한 정보를 화면 상에 표시하는 디스플레이; 및
상기 외부 장치로부터 수신한 상기 이온 발생기의 제전 성능을 비롯한 데이터의 타입 및 통신 프로토콜을 기준 타입 및 기준 통신 프로토콜로 변환하고 상기 이온 발생기 관리 서버로부터 전송되는 상기 이온 발생기의 제어 정보를 관련 식별정보를 기초로 해당 이온 발생기로 전달되도록 하는 컨트롤러;
를 포함하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제23항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
상기 모니터링 장치로부터 전달된 아날로그 형태의 상기 이온 발생기의 제전 성능을 디지털 형태로 변환하고, 상기 이온 발생기의 제전 성능의 통신 프로토콜을 기 설정된 통신 프로토콜로 변환하여 유선 또는 무선 통신을 통해 상기 이온 발생기의 관리 서버로 전달하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제15항에 있어서,
상기 이온 발생기 관리 서버는,
유선 또는 무선 통신을 통해 정보를 송수신하기 위한 통신 인터페이스;
상기 이온 발생기의 이상 여부를 파악하기 위한 기준치 및 상기 통합 연계 장치로부터 전달되는 상기 이온 발생기의 제전 성능을 비롯하여 상기 이온 발생기 관리 서버와 관련된 정보를 저장하는 메모리; 및
상기 통합 연계 장치로부터 전달되는 상기 이온 발생기의 제전 성능을 상기 기준치와 비교하고, 비교 결과를 기초로 해당 이온 발생기로 동작 제어 정보를 전송하는 컨트롤러;
를 포함하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제25항에 있어서,
상기 컨트롤러는,
상기 이온 발생기의 동작 정지 및 상기 이온 발생기의 이온 발생량 조정 중 적어도 하나 이상을 포함하는 상기 동작 제어 정보를 발생시키는 이온 발생기의 모니터링 시스템.
제25항에 있어서,
상기 이온 발생기의 제전 성능이 상기 기준치를 초과하는 경우 사용자 단말기로 이온 발생기의 이상 알림 메시지 또는 메일을 전송하거나, 또는 문자, 소리, 영상 및 점등 중 적어도 하나 이상을 포함한 이온 발생기의 이상 알림을 출력하는 알림부;
를 더 포함하는 이온 발생기의 모니터링 시스템.