JP3770547B2 - イオナイザ制御システム - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、イオナイザ、イオンモニタ及びこれらを制御するサーバの間で近距離無線通信規格（例えば、ブルートゥース（ザ・ブルートゥース・エスアイジー・インコーポレイテッドの登録商標））により各種データを送受信するイオナイザ制御システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体や液晶の製造工程では、静電気による素子の破壊や微粒子の吸着を防止するために、クリーンルームの天井やクリーンブース、クリーントンネル、製造装置内などにイオナイザを設置し、被除電物を除電している。
しかし、エミッタ（放電電極）に高電圧を印加してコロナ放電を起こさせることにより正または負のイオンを発生させるコロナ放電式イオナイザでは、設置環境等によって正負のイオンバランスが微妙に変化し、被除電物を効率よく除電できない場合がある。このため、イオンバランスを適切に調整することが通常、必要とされている。
【０００３】
従来では、エミッタに印加する正負電圧を人為的に制御してイオンバランスを調整する等の方法が採られているため、イオナイザが多数設置されている場合には調整作業に多大な手間と時間を必要としていた。
また、コロナ放電式イオナイザはエミッタの経時的な劣化によっても性能が低下したりイオンバランスが変化するため、帯電プレートモニタと呼ばれる一種のイオンモニタを使用して被除電物の表面付近の正負イオン濃度を定期的に測定し、イオナイザの性能を評価したりエミッタに印加する電圧の大きさや時間を調整している。しかしながら、これらの定期的な測定・調整作業は使用者の大きな負担となっている。
【０００４】
本発明は上記の問題を解決するためになされたもので、イオナイザ、イオンモニタ及びサーバの相互間でブルートゥース（登録商標）等による近距離無線通信手段を構築し、この無線通信手段を用いて、イオナイザ，イオンモニタの性能や動作状態の評価、監視、並びにイオンバランスの調整等を自動的に行うようにしたイオナイザ制御システムを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、コロナ放電により正負のイオンを発生して被除電物を除電するイオナイザと、このイオナイザの性能を評価するためのイオンモニタと、前記イオナイザ及びイオンモニタを管理し制御するサーバとを備えたイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ、イオンモニタ及びサーバはブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信規格に準拠した無線通信手段を備え、サーバとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データ及びイオナイザの選択データを送受信し、サーバとイオンモニタとの間で前記無線通信手段を介してイオンモニタ制御データ及びイオンモニタの選択データを送受信し、かつ、イオンモニタとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データを送受信するものである。
なお、上記無線通信手段の通信規格はブルートゥース（登録商標）に何ら限定されるものではない。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ制御データは、イオナイザのエミッタに印加する正負電圧の大きさ及び時間を制御するデータを含むものである。
【０００７】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタが帯電プレートモニタであるときに、イオンモニタ制御データは少なくとも帯電開始電圧及び帯電終了電圧を含むものである。
【０００８】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタによる測定データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバは前記測定データに基づいて作成したイオナイザ制御データを前記無線通信手段を介してイオナイザに送信するものである。
【０００９】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、サーバは前記測定データをディスプレイに表示するものである。
【００１０】
請求項６記載の発明は、請求項１〜５の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ及びイオンモニタはそれぞれ自己の動作状態を示す動作状態データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバはこれらの動作状態をディスプレイに表示するものである。
【００１１】
請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
複数のイオナイザのうち、サーバとの間で前記無線通信手段を介して直接通信可能なイオナイザをマスタとして他のイオナイザをスレーブとし、スレーブに対するイオナイザ制御データ及びスレーブの動作状態データをマスタを介してサーバとの間で送受信するものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
まず、図１は本発明の概念的な全体構成図である。図１において、１００はシステム全体を制御、管理するサーバ、２００は交流駆動形のコロナ放電式イオナイザ、３００はイオンモニタである。ここで、イオンモニタ３００が直接、イオナイザ２００を制御するようにシステムを構成する場合には、サーバ１００を省略することができる。なお、本発明は、イオンバランス調整機能を除外すれば、直流駆動形のイオナイザを複数制御するシステムにも適用可能である。
【００１５】
上記サーバ１００、イオナイザ２００及びイオンモニタ３００には、ブルートゥース（登録商標）に準拠した後述する無線通信モジュール等の無線通信手段が実装されており、相互間で各種のデータを双方向に通信可能となっている。
【００１６】
サーバ１００はいわゆるパソコンによって構成され、通常の演算、記憶、制御、表示等の機能のほか、前記無線通信モジュールにより、イオナイザ２００やイオンモニタ３００のオン・オフ制御データ、イオナイザ２００やイオンモニタ３００がそれぞれ複数存在する場合にいずれかを選択するための選択データ、各イオナイザ２００のエミッタに対する印加電圧の極性や大きさ、時間を制御するためのイオナイザ制御データ等を送信する機能と、イオナイザ２００やイオンモニタ３００から送信される個々の動作状態データ、イオンモニタ３００から送信される帯電プレート電圧、イオン量等の測定データを受信する機能を備えている。また、サーバ１００は、前記動作状態データ及び測定データ、除電時間等を表示する機能も備えている。
【００１７】
イオナイザ２００としては、図示例では例えばクリーンルームの天井に設置されるイオナイザバーを想定している。しかし、本発明はこの天井設置形のイオナイザバーに限定されるものではなく、机上設置形のイオナイザであっても良い。これらのイオナイザ２００は、交流または直流の低電圧から正または負の高電圧を自ら作成し、この高電圧を多数のエミッタに印加してエミッタ周辺の空気をコロナ放電により正負にイオン化させ、発生した正負イオンを気流に乗せて被除電物方向に送る基本的機能を有している。更に、イオナイザ２００は、内蔵する無線通信モジュールにより、自己の動作状態データをサーバ１００やイオンモニタ３００に送信する機能、サーバ１００やイオンモニタ３００から送信されるイオナイザ制御データを受信する機能、他のイオナイザ２００との間でイオナイザ制御データを送受信する機能等を備えている。
【００１８】
イオンモニタ３００は、帯電プレートモニタ及びイオン測定モニタを含むものである。ここで、帯電プレートモニタは、帯電プレートを予め正または負の高電圧に帯電させた状態でイオナイザを動作させたときの除電時間や帯電プレート上の電圧を測定することによりイオナイザの性能を評価したりイオンバランスを測定するものである。また、イオン測定モニタは、イオナイザを動作させたときの測定プレート上のイオン量を測定するものである。イオンモニタ３００は、測定データを表示する機能を備えていても良い。
上記イオンモニタ３００はこれらの基本的機能の他に、内蔵する無線通信モジュールにより、測定データをサーバ１００に送信する機能を備え、必要に応じてイオナイザ制御データを自ら作成する機能、並びに、このイオナイザ制御データをイオナイザ２００に送信する機能等を備えている。
【００１９】
なお、サーバ１００、イオナイザ２００及びイオンモニタ３００は、通信の相手方までの距離が最大で約１０ｍとなるようにそれぞれ設置されている。
【００２０】
次に、図２及び図３によりイオナイザ２００の構成を説明する。
図２は、イオナイザ２００の主要部を示すブロック図である。まず、２０２はブルートゥース（登録商標）に準拠した無線通信モジュールであり、このモジュール２０２にはチップアンテナ等のアンテナ２０１が接続されている。
無線通信モジュール２０２は、イオナイザ２００がサーバ１００、イオンモニタ３００及び他のイオナイザ２００との間でイオナイザ制御データや自己の動作状態データ等の各種データを相互に無線通信するためのものである。この無線通信モジュール２０２は、周波数ホッピング方式による変復調回路やベースバンド処理回路、送受信アンプ等を備え、例えば２．４ＧＨｚ帯の電波を用いて各種データを近距離無線通信する。
【００２１】
無線通信モジュール２０２には制御ユニット２０３が接続されている。この制御ユニット２０３は、無線通信モジュール２０２から送られたイオナイザ制御データに基づいてエミッタに印加する正または負の電圧の大きさや時間を制御するために、後段のドライバユニット２０４に制御信号を送出する。また、後述する図３に示す構成によって自己の動作状態を監視し、その動作状態データを無線通信モジュール２０２に送出してサーバ１００等に送信する。
ここで、破線で示されたセンサ２０６及びセンサ信号処理ユニット２０７は、イオナイザ２００を単独で使用してイオンバランスを自ら調整するセルフコントロールモードで使用するオプション的な部品であり、本発明に必須の構成要素ではない。
【００２２】
ドライバユニット２０４は、制御ユニット２０３から送られたイオナイザ制御データに従い、エミッタに印加する正または負の高電圧を発生させる高電圧ユニット２０５を駆動するための制御信号を送出する。
高電圧ユニット２０５は、ドライバユニット２０４からの制御信号に従って、交流または直流の低電圧から正または負の高電圧を生成し、これらの高電圧をリレー接点等を経てエミッタに印加するためのブロックである。
【００２３】
図３は図２の構成の主要部を示したものであり、図２における無線通信モジュール２０２及び制御ユニット２０３の内部構成に相当している。
図３において、２０８は無線通信モジュール２０２を駆動するモジュール駆動プログラムであり、データ保管・通信プログラム２１１と協働して無線通信モジュール２０２による各種データの送受信動作を実行する。
【００２４】
一方、２０９はイオナイザ制御プログラムであり、無線通信モジュール２０２が受信したイオナイザ制御データに従ってエミッタに所定の極性及び大きさの電圧を所定時間印加するために、ドライバユニット２０４に対する制御データを作成する。また、イオナイザ制御プログラム２０９は、自己の動作状態データを取得し、このデータを無線通信モジュール２０２を介してサーバ１００やイオンモニタ３００に送信する処理を実行する。
【００２５】
前記データ保管・通信プログラム２１１は、モジュール駆動プログラム２０８及びイオナイザ制御プログラム２０９を起動すると共に、共通メモリエリア２１０にイオナイザ制御データや動作状態データを保管するための処理を行う。共通メモリエリア２１０は、イオナイザ制御プログラム２０９及びデータ保管・通信プログラム２１１の双方からアクセス可能となっている。
【００２６】
イオナイザ制御プログラム２０９が作成したドライバユニット２０４の制御データは、Ｄ／Ａ変換器２１２によりアナログデータに変換され、エミッタへの正電圧印加用のアンプ２１４及び負電圧印加用のアンプ２１５を介してドライバユニット２０４に送られる。
また、アンプ２１４，２１５の入力データはアンプ２１６，２１７を介してＡ／Ｄ変換器２１３に入力されており、この変換器２１３によりディジタルデータに変換されてイオナイザ制御プログラム２０９により共通メモリエリア２１０に格納される。こうしてＡ／Ｄ変換器２１３を介して共通メモリエリア２１０に格納されるデータは、イオナイザ２００の主要部が正常に動作しているか否かを示す動作状態データとしての意味を持ち、この動作状態データを無線通信モジュール２０２からサーバ１００等へ送信可能となっている。
【００２７】
次いで、図４及び図５によりイオンモニタ３００の構成を説明する。なお、ここではイオンモニタ３００として帯電プレートモニタを例示してある。
図４は、イオンモニタ３００の主要部を示すブロック図である。無線通信モジュール３０２の構成及び機能はイオナイザ２００内の無線通信モジュール２０２とほぼ同様であるが、異なる点は、図４の無線通信モジュール３０２はサーバ１００及びイオナイザ２００との間で各種データを送受信する。
【００２８】
例えば、イオンモニタ３００とサーバ１００との間で送受信するデータとしては、帯電プレート電圧やイオン量の測定データ、イオンモニタ３００のオン・オフ制御データ、帯電開始指令、動作状態データ及び識別コードデータ、イオンモニタ３００の動作条件データ（測定時に帯電プレート３０６に印加する開始電圧、終了電圧、オフセット電圧等のデータ）等がある。
また、イオンモニタ３００とイオナイザ２００との間で送受信するデータとしては、初期設定時にイオナイザ２００のイオンバランスがアンバランスである時にエミッタに印加する電圧を指示するためのイオナイザ制御データや、イオナイザ２００の識別コードデータ等がある。更に、上述した初期設定時を含めてイオンモニタ３００がイオナイザ２００を直接制御する場合には、イオナイザ２００の動作状態データやイオナイザ制御データ等がある。
【００２９】
図４の制御ユニット３０３は、例えばサーバ１００から無線通信モジュール３０２を介して送られた前記動作条件データに基づいて、帯電プレート３０６に正または負の開始電圧（例えば±１０００Ｖ）を印加するようにドライバユニット３０４に対して制御データを送出する。ドライバユニット３０４はこの制御データに基づいて高電圧ユニット３０５を駆動し、リレー接点等を経て帯電プレート３０６に所定の高電圧を印加して帯電させる。
【００３０】
一方、サーバ１００からの指令によりイオナイザ２００を動作させて帯電プレート３０６の電圧を非接触形のセンサ３０７により測定する。この測定データはセンサ信号処理ユニット３０８により増幅され、制御ユニット３０３に入力される。
制御ユニット３０３では、これらの測定データを逐次保管する。
なお、イオンモニタ３００がイオン測定モニタである場合には、プレートを流れるイオン電流をセンサにより直接測定して制御ユニット３０３に取り込み、イオン量の測定データとして保管する。
これらの測定データは、無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信される。
【００３１】
測定データを受信したサーバ１００では、帯電プレートの電圧が開始電圧から終了電圧に至るまでの時間を測定して除電時間を求め、この除電時間からイオナイザ２００の性能を評価する。また、正負のイオンバランスを検出し、これがアンバランスであるときにはバランスを保つような正または負の電圧を計算し、この電圧をイオナイザ制御データとして内蔵の無線通信モジュールからイオナイザ２００に送信する。
以後は、そのイオナイザ２００が前述した図２，図３の構成によりエミッタに所定の電圧を印加して、正負のイオンバランスを保つように動作する。
【００３２】
図５は、図４の主要部を示すものであり、図４における無線通信モジュール３０２及び制御ユニット３０３の内部構成に相当する。
図５において、モジュール駆動プログラム３０９、データ保管・通信プログラム３１２の作用は図３における各プログラム２０８，２１１とほぼ同様である。
【００３３】
図５のイオンモニタ制御プログラム３１０は、無線通信モジュール３０２がサーバ１００から受信した動作条件データに従って帯電プレート３０６を帯電させるために、ドライバユニット３０４に対する制御データを作成する。また、イオンモニタ制御プログラム３１０は、帯電プレート電圧やイオン量等の測定データを取得し、これらのデータを自己の動作状態データ等と一緒に無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信する処理を実行する。
更に、イオンモニタ３００は、Ｉ／Ｏポート３１５を介して除電時間測定時にタイマを始動したり、サーバ１００によって複数のイオンモニタの中から自己が選択された際に電源をオン・オフする機能を備えており、イオンモニタ制御プログラム３１０はこれらの処理も実行する。
【００３４】
イオンモニタ制御プログラム３１０により作成されるドライバユニット３０４の制御データは、前記開始電圧、終了電圧、オフセット電圧を含んでおり、これらのデータはＤ／Ａ変換器３１３及びアンプ３１６〜３１８を介してドライバユニット３０４に送られる。
また、アンプ３１６〜３１８の入力データはアンプ３１９〜３２１を介してＡ／Ｄ変換器３１４に入力されている。更に、センサ３０７により検出した帯電プレート３０６の電圧のピーク値も、測定データとしてアンプ３２２，３２３を介しＡ／Ｄ変換器３１４に入力されている。
【００３５】
イオンモニタ制御プログラム３１０は、Ａ／Ｄ変換器３１４から出力されるこれらのディジタルデータを処理して測定データを作成し、かつ、自己の動作状態を示す動作状態データを作成する。
そして、これらの測定データ及び動作状態データは無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信され、サーバ１００では、前述したイオナイザ２００の制御並びに以下に述べる表示処理を実行する。
【００３６】
図６は、サーバ１００のディスプレイに表示される測定画面の一例を示す図である。
図６において、１０１はシステム全体が有する複数台のイオンモニタを識別コードで表示したイオンモニタ表示エリアであり、この例ではＣＰＭ００１，同００２，……として６台の帯電プレートモニタが表示されている。これらの帯電プレートモニタの中からイオナイザの性能評価に使用する１台を選択すると、その識別コードがイオンモニタ選択エリア１０２に表示される。
【００３７】
１０３は、選択された帯電プレートモニタの帯電プレートを帯電させる開始電圧及び終了電圧を設定する電圧設定エリアであり、例えば正に帯電させる場合には開始電圧を＋１０００Ｖ、終了電圧を＋１００Ｖというように設定する。
１０４は帯電開始ボタンであり、このボタン１０４をクリックすることで選択された帯電プレートモニタにサーバ１００から制御信号が送られ、電源をオンさせると共にその帯電プレートを設定された開始電圧で帯電させる。これらの動作は、前述した図５のイオンモニタ制御プログラム３１０、Ｉ／Ｏポート３１５等を介して実行される。
【００３８】
なお、帯電プレートモニタによって性能を評価するべきイオナイザ２００はサーバ１００からの指令によって既に起動されており、例えば正のイオンが帯電プレート方向に吹き付けられているものとする。
図６における１０７，１０８はアラーム設定エリアであり、イオンバランスが正側または負側にアンバランスである場合にアラームを発生させるためのしきい値を設定するエリアである。これらのしきい値はユーザが設定可能であり、帯電プレートの電圧がしきい値を越えるとアラームを発生することとなる。
【００３９】
次に、測定開始ボタン１０５をクリックすると、除電時間を測定するためのタイマが始動し、帯電プレートが前記開始電圧から終了電圧まで除電されるのに要する時間の測定を開始する。ここで、１１６は操作モード選択エリアであり、図では正電圧による帯電時の除電時間測定モードとなっている。
１０９は除電時間表示エリアであり、サーバ１００は帯電プレートモニタからの測定データ（図５のアンプ３２２または３２３を介してＡ／Ｄ変換器３１４に入力される電圧）を受信して帯電プレートの電圧が終了電圧に達するまでの時間を測定し、これを除電時間として表示する。
また、帯電プレートの電圧は、正電圧表示画面１１３の表示部１０６に時々刻々表示されている。なお、１１４は負電圧表示画面を表示させるためのタブ、１１５はイオンバランス表示画面を表示させるためのタブである。
【００４０】
更に、１１０，１１１は正負のイオンバランス表示エリアであり、イオンバランス測定時に正側または負側の電圧のアンバランスがあれば、その電圧のピーク値をホールドして表示するものである。また、１１２はアンバランスな電圧の平均値を表示するための平均値表示エリアである。
【００４１】
この実施形態では、図６の測定画面をサーバ１００のディスプレイ上に表示させる場合を説明したが、これらの表示機能及びディスプレイをイオンモニタ３００に備えて表示させるようにしても良い。
また、サーバ１００における画面の他の表示内容としては、各イオナイザ２００やイオンモニタ３００の動作状態を表示することも可能である。例えば、イオンモニタ３００が正常に動作しているにも関わらず帯電プレートの電圧が変化しないような場合には、イオンを発生させているイオナイザ２００が異常であると推定してそのイオナイザ２００の識別コードを表示することが考えられる。更に、サーバ１００がイオンモニタ制御データとして送信した帯電開始電圧がイオンモニタ３００から測定されない場合に、イオンモニタ３００が異常であると推定してその識別データを表示させる等の動作状態表示（異常表示）も可能である。
【００４２】
次に、図７は、サーバ１００、イオナイザ２００Ａ〜２００Ｅ及びイオンモニタ３００の相互の位置関係を示す概念図である。
図７において、サーバ１００、イオナイザ２００Ａ及びイオンモニタ３００が近距離無線通信により相互にデータを送受信する場合、相互間の距離は最大限で約１０ｍであり、例えばサーバ１００と他のイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃ等が直接、送受信することはできない。
【００４３】
ここで、サーバ１００からイオナイザ２００Ａに送信するイオナイザ制御データの中に、そのイオナイザ２００Ａをマスタとして他のイオナイザ、例えば２００Ｂ，２００Ｃをスレーブとして設定するデータを含め、更に、スレーブとして設定されたイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃに対するイオナイザ制御データを含めるとする。このようにすれば、マスタであるイオナイザ２００Ａが、図３の構成によりサーバ１００から受信したイオナイザ制御データに従ってスレーブであるイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃに各々のイオナイザ制御データを送信し、イオナイザ２００Ｂ，２００Ｃのエミッタに印加する正負電圧の大きさや時間を制御することが可能である。
同様にして、イオナイザ２００Ｂ，２００Ｃの動作状態データも、イオナイザ２００Ａの動作状態データと共にイオナイザ２００Ａを介してサーバ１００により収集することができる。
上記の原理は、イオンモニタ３００との間でデータを送受信する場合にも適用可能である。
【００４４】
このように、本発明によれば、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信規格による通信距離の制約を受けずに、理論的には無限遠までの広範囲に散在する多数のイオナイザ２００及びイオンモニタ３００をサーバ１００が個別に制御することができる。
【００４５】
また、エミッタへの印加電圧や時間等の使用条件が同一である複数のイオナイザを一つのグループとし、１台のイオナイザの性能をイオンモニタが測定、評価してそれらのデータをサーバに送信し、サーバがイオンバランスを調整するための１種類のイオナイザ制御データを作成したうえで、このイオナイザ制御データを前記グループ内のすべてのイオナイザに送信してこれらを一括制御することも可能である。
【００４６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、イオナイザやイオンモニタの性能及び動作状態の評価、監視、並びにイオンバランスの調整等を近距離無線通信手段を介して自動的に行うことができ、特にイオナイザが多数設置されている場合には、人手による煩雑なイオンバランス調整作業を不要にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の概念的な全体構成図である。
【図２】本発明の実施形態におけるイオナイザの主要部を示すブロック図である。
【図３】図２の主要部の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態におけるイオンモニタの主要部を示すブロック図である。
【図５】図４の主要部の構成を示すブロック図である。
【図６】サーバディスプレイに表示される測定画面の一例を示す図である。
【図７】サーバ、イオナイザ及びイオンモニタの相互の位置関係を示す概念図である。
【符号の説明】
１００ サーバ
１０１ イオンモニタ表示エリア
１０２ イオンモニタ選択エリア
１０３ 電圧設定エリア
１０４ 帯電開始ボタン
１０５ 測定開始ボタン
１０６ 表示部
１０７，１０８ アラーム設定エリア
１０９ 除電時間表示エリア
１１０，１１１ イオンバランス表示エリア
１１２ 平均値表示エリア
１１３ 正電圧表示画面
１１４ 負電圧表示画面
１１５ イオンバランス表示画面
１１６ 操作モード選択エリア
２００，２００Ａ〜２００Ｅ イオナイザ
２０１，３０１ アンテナ
２０２，３０２ 無線通信モジュール
２０３，３０３ 制御ユニット
２０４，３０４ ドライバユニット
２０５，３０５ 高電圧ユニット
２０６，３０７ センサ
２０７，３０８ センサ信号処理ユニット
２０８ モジュール駆動プログラム
２０９ イオナイザ制御プログラム
２１０，３１ｌ 共通メモリエリア
２１１，３１２ データ保管・通信プログラム
２１２，３１３ Ｄ／Ａ変換器
２１３，３１４ Ａ／Ｄ変換器
２１４〜２１７，３１６〜３２３ アンプ
３００ イオンモニタ
３１５ Ｉ／Ｏポート
【産業上の利用分野】
本発明は、イオナイザ、イオンモニタ及びこれらを制御するサーバの間で近距離無線通信規格（例えば、ブルートゥース（ザ・ブルートゥース・エスアイジー・インコーポレイテッドの登録商標））により各種データを送受信するイオナイザ制御システムに関するものである。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
半導体や液晶の製造工程では、静電気による素子の破壊や微粒子の吸着を防止するために、クリーンルームの天井やクリーンブース、クリーントンネル、製造装置内などにイオナイザを設置し、被除電物を除電している。
しかし、エミッタ（放電電極）に高電圧を印加してコロナ放電を起こさせることにより正または負のイオンを発生させるコロナ放電式イオナイザでは、設置環境等によって正負のイオンバランスが微妙に変化し、被除電物を効率よく除電できない場合がある。このため、イオンバランスを適切に調整することが通常、必要とされている。
【０００３】
従来では、エミッタに印加する正負電圧を人為的に制御してイオンバランスを調整する等の方法が採られているため、イオナイザが多数設置されている場合には調整作業に多大な手間と時間を必要としていた。
また、コロナ放電式イオナイザはエミッタの経時的な劣化によっても性能が低下したりイオンバランスが変化するため、帯電プレートモニタと呼ばれる一種のイオンモニタを使用して被除電物の表面付近の正負イオン濃度を定期的に測定し、イオナイザの性能を評価したりエミッタに印加する電圧の大きさや時間を調整している。しかしながら、これらの定期的な測定・調整作業は使用者の大きな負担となっている。
【０００４】
本発明は上記の問題を解決するためになされたもので、イオナイザ、イオンモニタ及びサーバの相互間でブルートゥース（登録商標）等による近距離無線通信手段を構築し、この無線通信手段を用いて、イオナイザ，イオンモニタの性能や動作状態の評価、監視、並びにイオンバランスの調整等を自動的に行うようにしたイオナイザ制御システムを提供しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、コロナ放電により正負のイオンを発生して被除電物を除電するイオナイザと、このイオナイザの性能を評価するためのイオンモニタと、前記イオナイザ及びイオンモニタを管理し制御するサーバとを備えたイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ、イオンモニタ及びサーバはブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信規格に準拠した無線通信手段を備え、サーバとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データ及びイオナイザの選択データを送受信し、サーバとイオンモニタとの間で前記無線通信手段を介してイオンモニタ制御データ及びイオンモニタの選択データを送受信し、かつ、イオンモニタとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データを送受信するものである。
なお、上記無線通信手段の通信規格はブルートゥース（登録商標）に何ら限定されるものではない。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ制御データは、イオナイザのエミッタに印加する正負電圧の大きさ及び時間を制御するデータを含むものである。
【０００７】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタが帯電プレートモニタであるときに、イオンモニタ制御データは少なくとも帯電開始電圧及び帯電終了電圧を含むものである。
【０００８】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタによる測定データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバは前記測定データに基づいて作成したイオナイザ制御データを前記無線通信手段を介してイオナイザに送信するものである。
【０００９】
請求項５記載の発明は、請求項１〜４の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、サーバは前記測定データをディスプレイに表示するものである。
【００１０】
請求項６記載の発明は、請求項１〜５の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ及びイオンモニタはそれぞれ自己の動作状態を示す動作状態データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバはこれらの動作状態をディスプレイに表示するものである。
【００１１】
請求項７記載の発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
複数のイオナイザのうち、サーバとの間で前記無線通信手段を介して直接通信可能なイオナイザをマスタとして他のイオナイザをスレーブとし、スレーブに対するイオナイザ制御データ及びスレーブの動作状態データをマスタを介してサーバとの間で送受信するものである。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下、図に沿って本発明の実施形態を説明する。
まず、図１は本発明の概念的な全体構成図である。図１において、１００はシステム全体を制御、管理するサーバ、２００は交流駆動形のコロナ放電式イオナイザ、３００はイオンモニタである。ここで、イオンモニタ３００が直接、イオナイザ２００を制御するようにシステムを構成する場合には、サーバ１００を省略することができる。なお、本発明は、イオンバランス調整機能を除外すれば、直流駆動形のイオナイザを複数制御するシステムにも適用可能である。
【００１５】
上記サーバ１００、イオナイザ２００及びイオンモニタ３００には、ブルートゥース（登録商標）に準拠した後述する無線通信モジュール等の無線通信手段が実装されており、相互間で各種のデータを双方向に通信可能となっている。
【００１６】
サーバ１００はいわゆるパソコンによって構成され、通常の演算、記憶、制御、表示等の機能のほか、前記無線通信モジュールにより、イオナイザ２００やイオンモニタ３００のオン・オフ制御データ、イオナイザ２００やイオンモニタ３００がそれぞれ複数存在する場合にいずれかを選択するための選択データ、各イオナイザ２００のエミッタに対する印加電圧の極性や大きさ、時間を制御するためのイオナイザ制御データ等を送信する機能と、イオナイザ２００やイオンモニタ３００から送信される個々の動作状態データ、イオンモニタ３００から送信される帯電プレート電圧、イオン量等の測定データを受信する機能を備えている。また、サーバ１００は、前記動作状態データ及び測定データ、除電時間等を表示する機能も備えている。
【００１７】
イオナイザ２００としては、図示例では例えばクリーンルームの天井に設置されるイオナイザバーを想定している。しかし、本発明はこの天井設置形のイオナイザバーに限定されるものではなく、机上設置形のイオナイザであっても良い。これらのイオナイザ２００は、交流または直流の低電圧から正または負の高電圧を自ら作成し、この高電圧を多数のエミッタに印加してエミッタ周辺の空気をコロナ放電により正負にイオン化させ、発生した正負イオンを気流に乗せて被除電物方向に送る基本的機能を有している。更に、イオナイザ２００は、内蔵する無線通信モジュールにより、自己の動作状態データをサーバ１００やイオンモニタ３００に送信する機能、サーバ１００やイオンモニタ３００から送信されるイオナイザ制御データを受信する機能、他のイオナイザ２００との間でイオナイザ制御データを送受信する機能等を備えている。
【００１８】
イオンモニタ３００は、帯電プレートモニタ及びイオン測定モニタを含むものである。ここで、帯電プレートモニタは、帯電プレートを予め正または負の高電圧に帯電させた状態でイオナイザを動作させたときの除電時間や帯電プレート上の電圧を測定することによりイオナイザの性能を評価したりイオンバランスを測定するものである。また、イオン測定モニタは、イオナイザを動作させたときの測定プレート上のイオン量を測定するものである。イオンモニタ３００は、測定データを表示する機能を備えていても良い。
上記イオンモニタ３００はこれらの基本的機能の他に、内蔵する無線通信モジュールにより、測定データをサーバ１００に送信する機能を備え、必要に応じてイオナイザ制御データを自ら作成する機能、並びに、このイオナイザ制御データをイオナイザ２００に送信する機能等を備えている。
【００１９】
なお、サーバ１００、イオナイザ２００及びイオンモニタ３００は、通信の相手方までの距離が最大で約１０ｍとなるようにそれぞれ設置されている。
【００２０】
次に、図２及び図３によりイオナイザ２００の構成を説明する。
図２は、イオナイザ２００の主要部を示すブロック図である。まず、２０２はブルートゥース（登録商標）に準拠した無線通信モジュールであり、このモジュール２０２にはチップアンテナ等のアンテナ２０１が接続されている。
無線通信モジュール２０２は、イオナイザ２００がサーバ１００、イオンモニタ３００及び他のイオナイザ２００との間でイオナイザ制御データや自己の動作状態データ等の各種データを相互に無線通信するためのものである。この無線通信モジュール２０２は、周波数ホッピング方式による変復調回路やベースバンド処理回路、送受信アンプ等を備え、例えば２．４ＧＨｚ帯の電波を用いて各種データを近距離無線通信する。
【００２１】
無線通信モジュール２０２には制御ユニット２０３が接続されている。この制御ユニット２０３は、無線通信モジュール２０２から送られたイオナイザ制御データに基づいてエミッタに印加する正または負の電圧の大きさや時間を制御するために、後段のドライバユニット２０４に制御信号を送出する。また、後述する図３に示す構成によって自己の動作状態を監視し、その動作状態データを無線通信モジュール２０２に送出してサーバ１００等に送信する。
ここで、破線で示されたセンサ２０６及びセンサ信号処理ユニット２０７は、イオナイザ２００を単独で使用してイオンバランスを自ら調整するセルフコントロールモードで使用するオプション的な部品であり、本発明に必須の構成要素ではない。
【００２２】
ドライバユニット２０４は、制御ユニット２０３から送られたイオナイザ制御データに従い、エミッタに印加する正または負の高電圧を発生させる高電圧ユニット２０５を駆動するための制御信号を送出する。
高電圧ユニット２０５は、ドライバユニット２０４からの制御信号に従って、交流または直流の低電圧から正または負の高電圧を生成し、これらの高電圧をリレー接点等を経てエミッタに印加するためのブロックである。
【００２３】
図３は図２の構成の主要部を示したものであり、図２における無線通信モジュール２０２及び制御ユニット２０３の内部構成に相当している。
図３において、２０８は無線通信モジュール２０２を駆動するモジュール駆動プログラムであり、データ保管・通信プログラム２１１と協働して無線通信モジュール２０２による各種データの送受信動作を実行する。
【００２４】
一方、２０９はイオナイザ制御プログラムであり、無線通信モジュール２０２が受信したイオナイザ制御データに従ってエミッタに所定の極性及び大きさの電圧を所定時間印加するために、ドライバユニット２０４に対する制御データを作成する。また、イオナイザ制御プログラム２０９は、自己の動作状態データを取得し、このデータを無線通信モジュール２０２を介してサーバ１００やイオンモニタ３００に送信する処理を実行する。
【００２５】
前記データ保管・通信プログラム２１１は、モジュール駆動プログラム２０８及びイオナイザ制御プログラム２０９を起動すると共に、共通メモリエリア２１０にイオナイザ制御データや動作状態データを保管するための処理を行う。共通メモリエリア２１０は、イオナイザ制御プログラム２０９及びデータ保管・通信プログラム２１１の双方からアクセス可能となっている。
【００２６】
イオナイザ制御プログラム２０９が作成したドライバユニット２０４の制御データは、Ｄ／Ａ変換器２１２によりアナログデータに変換され、エミッタへの正電圧印加用のアンプ２１４及び負電圧印加用のアンプ２１５を介してドライバユニット２０４に送られる。
また、アンプ２１４，２１５の入力データはアンプ２１６，２１７を介してＡ／Ｄ変換器２１３に入力されており、この変換器２１３によりディジタルデータに変換されてイオナイザ制御プログラム２０９により共通メモリエリア２１０に格納される。こうしてＡ／Ｄ変換器２１３を介して共通メモリエリア２１０に格納されるデータは、イオナイザ２００の主要部が正常に動作しているか否かを示す動作状態データとしての意味を持ち、この動作状態データを無線通信モジュール２０２からサーバ１００等へ送信可能となっている。
【００２７】
次いで、図４及び図５によりイオンモニタ３００の構成を説明する。なお、ここではイオンモニタ３００として帯電プレートモニタを例示してある。
図４は、イオンモニタ３００の主要部を示すブロック図である。無線通信モジュール３０２の構成及び機能はイオナイザ２００内の無線通信モジュール２０２とほぼ同様であるが、異なる点は、図４の無線通信モジュール３０２はサーバ１００及びイオナイザ２００との間で各種データを送受信する。
【００２８】
例えば、イオンモニタ３００とサーバ１００との間で送受信するデータとしては、帯電プレート電圧やイオン量の測定データ、イオンモニタ３００のオン・オフ制御データ、帯電開始指令、動作状態データ及び識別コードデータ、イオンモニタ３００の動作条件データ（測定時に帯電プレート３０６に印加する開始電圧、終了電圧、オフセット電圧等のデータ）等がある。
また、イオンモニタ３００とイオナイザ２００との間で送受信するデータとしては、初期設定時にイオナイザ２００のイオンバランスがアンバランスである時にエミッタに印加する電圧を指示するためのイオナイザ制御データや、イオナイザ２００の識別コードデータ等がある。更に、上述した初期設定時を含めてイオンモニタ３００がイオナイザ２００を直接制御する場合には、イオナイザ２００の動作状態データやイオナイザ制御データ等がある。
【００２９】
図４の制御ユニット３０３は、例えばサーバ１００から無線通信モジュール３０２を介して送られた前記動作条件データに基づいて、帯電プレート３０６に正または負の開始電圧（例えば±１０００Ｖ）を印加するようにドライバユニット３０４に対して制御データを送出する。ドライバユニット３０４はこの制御データに基づいて高電圧ユニット３０５を駆動し、リレー接点等を経て帯電プレート３０６に所定の高電圧を印加して帯電させる。
【００３０】
一方、サーバ１００からの指令によりイオナイザ２００を動作させて帯電プレート３０６の電圧を非接触形のセンサ３０７により測定する。この測定データはセンサ信号処理ユニット３０８により増幅され、制御ユニット３０３に入力される。
制御ユニット３０３では、これらの測定データを逐次保管する。
なお、イオンモニタ３００がイオン測定モニタである場合には、プレートを流れるイオン電流をセンサにより直接測定して制御ユニット３０３に取り込み、イオン量の測定データとして保管する。
これらの測定データは、無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信される。
【００３１】
測定データを受信したサーバ１００では、帯電プレートの電圧が開始電圧から終了電圧に至るまでの時間を測定して除電時間を求め、この除電時間からイオナイザ２００の性能を評価する。また、正負のイオンバランスを検出し、これがアンバランスであるときにはバランスを保つような正または負の電圧を計算し、この電圧をイオナイザ制御データとして内蔵の無線通信モジュールからイオナイザ２００に送信する。
以後は、そのイオナイザ２００が前述した図２，図３の構成によりエミッタに所定の電圧を印加して、正負のイオンバランスを保つように動作する。
【００３２】
図５は、図４の主要部を示すものであり、図４における無線通信モジュール３０２及び制御ユニット３０３の内部構成に相当する。
図５において、モジュール駆動プログラム３０９、データ保管・通信プログラム３１２の作用は図３における各プログラム２０８，２１１とほぼ同様である。
【００３３】
図５のイオンモニタ制御プログラム３１０は、無線通信モジュール３０２がサーバ１００から受信した動作条件データに従って帯電プレート３０６を帯電させるために、ドライバユニット３０４に対する制御データを作成する。また、イオンモニタ制御プログラム３１０は、帯電プレート電圧やイオン量等の測定データを取得し、これらのデータを自己の動作状態データ等と一緒に無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信する処理を実行する。
更に、イオンモニタ３００は、Ｉ／Ｏポート３１５を介して除電時間測定時にタイマを始動したり、サーバ１００によって複数のイオンモニタの中から自己が選択された際に電源をオン・オフする機能を備えており、イオンモニタ制御プログラム３１０はこれらの処理も実行する。
【００３４】
イオンモニタ制御プログラム３１０により作成されるドライバユニット３０４の制御データは、前記開始電圧、終了電圧、オフセット電圧を含んでおり、これらのデータはＤ／Ａ変換器３１３及びアンプ３１６〜３１８を介してドライバユニット３０４に送られる。
また、アンプ３１６〜３１８の入力データはアンプ３１９〜３２１を介してＡ／Ｄ変換器３１４に入力されている。更に、センサ３０７により検出した帯電プレート３０６の電圧のピーク値も、測定データとしてアンプ３２２，３２３を介しＡ／Ｄ変換器３１４に入力されている。
【００３５】
イオンモニタ制御プログラム３１０は、Ａ／Ｄ変換器３１４から出力されるこれらのディジタルデータを処理して測定データを作成し、かつ、自己の動作状態を示す動作状態データを作成する。
そして、これらの測定データ及び動作状態データは無線通信モジュール３０２を介してサーバ１００に送信され、サーバ１００では、前述したイオナイザ２００の制御並びに以下に述べる表示処理を実行する。
【００３６】
図６は、サーバ１００のディスプレイに表示される測定画面の一例を示す図である。
図６において、１０１はシステム全体が有する複数台のイオンモニタを識別コードで表示したイオンモニタ表示エリアであり、この例ではＣＰＭ００１，同００２，……として６台の帯電プレートモニタが表示されている。これらの帯電プレートモニタの中からイオナイザの性能評価に使用する１台を選択すると、その識別コードがイオンモニタ選択エリア１０２に表示される。
【００３７】
１０３は、選択された帯電プレートモニタの帯電プレートを帯電させる開始電圧及び終了電圧を設定する電圧設定エリアであり、例えば正に帯電させる場合には開始電圧を＋１０００Ｖ、終了電圧を＋１００Ｖというように設定する。
１０４は帯電開始ボタンであり、このボタン１０４をクリックすることで選択された帯電プレートモニタにサーバ１００から制御信号が送られ、電源をオンさせると共にその帯電プレートを設定された開始電圧で帯電させる。これらの動作は、前述した図５のイオンモニタ制御プログラム３１０、Ｉ／Ｏポート３１５等を介して実行される。
【００３８】
なお、帯電プレートモニタによって性能を評価するべきイオナイザ２００はサーバ１００からの指令によって既に起動されており、例えば正のイオンが帯電プレート方向に吹き付けられているものとする。
図６における１０７，１０８はアラーム設定エリアであり、イオンバランスが正側または負側にアンバランスである場合にアラームを発生させるためのしきい値を設定するエリアである。これらのしきい値はユーザが設定可能であり、帯電プレートの電圧がしきい値を越えるとアラームを発生することとなる。
【００３９】
次に、測定開始ボタン１０５をクリックすると、除電時間を測定するためのタイマが始動し、帯電プレートが前記開始電圧から終了電圧まで除電されるのに要する時間の測定を開始する。ここで、１１６は操作モード選択エリアであり、図では正電圧による帯電時の除電時間測定モードとなっている。
１０９は除電時間表示エリアであり、サーバ１００は帯電プレートモニタからの測定データ（図５のアンプ３２２または３２３を介してＡ／Ｄ変換器３１４に入力される電圧）を受信して帯電プレートの電圧が終了電圧に達するまでの時間を測定し、これを除電時間として表示する。
また、帯電プレートの電圧は、正電圧表示画面１１３の表示部１０６に時々刻々表示されている。なお、１１４は負電圧表示画面を表示させるためのタブ、１１５はイオンバランス表示画面を表示させるためのタブである。
【００４０】
更に、１１０，１１１は正負のイオンバランス表示エリアであり、イオンバランス測定時に正側または負側の電圧のアンバランスがあれば、その電圧のピーク値をホールドして表示するものである。また、１１２はアンバランスな電圧の平均値を表示するための平均値表示エリアである。
【００４１】
この実施形態では、図６の測定画面をサーバ１００のディスプレイ上に表示させる場合を説明したが、これらの表示機能及びディスプレイをイオンモニタ３００に備えて表示させるようにしても良い。
また、サーバ１００における画面の他の表示内容としては、各イオナイザ２００やイオンモニタ３００の動作状態を表示することも可能である。例えば、イオンモニタ３００が正常に動作しているにも関わらず帯電プレートの電圧が変化しないような場合には、イオンを発生させているイオナイザ２００が異常であると推定してそのイオナイザ２００の識別コードを表示することが考えられる。更に、サーバ１００がイオンモニタ制御データとして送信した帯電開始電圧がイオンモニタ３００から測定されない場合に、イオンモニタ３００が異常であると推定してその識別データを表示させる等の動作状態表示（異常表示）も可能である。
【００４２】
次に、図７は、サーバ１００、イオナイザ２００Ａ〜２００Ｅ及びイオンモニタ３００の相互の位置関係を示す概念図である。
図７において、サーバ１００、イオナイザ２００Ａ及びイオンモニタ３００が近距離無線通信により相互にデータを送受信する場合、相互間の距離は最大限で約１０ｍであり、例えばサーバ１００と他のイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃ等が直接、送受信することはできない。
【００４３】
ここで、サーバ１００からイオナイザ２００Ａに送信するイオナイザ制御データの中に、そのイオナイザ２００Ａをマスタとして他のイオナイザ、例えば２００Ｂ，２００Ｃをスレーブとして設定するデータを含め、更に、スレーブとして設定されたイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃに対するイオナイザ制御データを含めるとする。このようにすれば、マスタであるイオナイザ２００Ａが、図３の構成によりサーバ１００から受信したイオナイザ制御データに従ってスレーブであるイオナイザ２００Ｂ，２００Ｃに各々のイオナイザ制御データを送信し、イオナイザ２００Ｂ，２００Ｃのエミッタに印加する正負電圧の大きさや時間を制御することが可能である。
同様にして、イオナイザ２００Ｂ，２００Ｃの動作状態データも、イオナイザ２００Ａの動作状態データと共にイオナイザ２００Ａを介してサーバ１００により収集することができる。
上記の原理は、イオンモニタ３００との間でデータを送受信する場合にも適用可能である。
【００４４】
このように、本発明によれば、ブルートゥース（登録商標）等の近距離無線通信規格による通信距離の制約を受けずに、理論的には無限遠までの広範囲に散在する多数のイオナイザ２００及びイオンモニタ３００をサーバ１００が個別に制御することができる。
【００４５】
また、エミッタへの印加電圧や時間等の使用条件が同一である複数のイオナイザを一つのグループとし、１台のイオナイザの性能をイオンモニタが測定、評価してそれらのデータをサーバに送信し、サーバがイオンバランスを調整するための１種類のイオナイザ制御データを作成したうえで、このイオナイザ制御データを前記グループ内のすべてのイオナイザに送信してこれらを一括制御することも可能である。
【００４６】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、イオナイザやイオンモニタの性能及び動作状態の評価、監視、並びにイオンバランスの調整等を近距離無線通信手段を介して自動的に行うことができ、特にイオナイザが多数設置されている場合には、人手による煩雑なイオンバランス調整作業を不要にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の概念的な全体構成図である。
【図２】本発明の実施形態におけるイオナイザの主要部を示すブロック図である。
【図３】図２の主要部の構成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施形態におけるイオンモニタの主要部を示すブロック図である。
【図５】図４の主要部の構成を示すブロック図である。
【図６】サーバディスプレイに表示される測定画面の一例を示す図である。
【図７】サーバ、イオナイザ及びイオンモニタの相互の位置関係を示す概念図である。
【符号の説明】
１００ サーバ
１０１ イオンモニタ表示エリア
１０２ イオンモニタ選択エリア
１０３ 電圧設定エリア
１０４ 帯電開始ボタン
１０５ 測定開始ボタン
１０６ 表示部
１０７，１０８ アラーム設定エリア
１０９ 除電時間表示エリア
１１０，１１１ イオンバランス表示エリア
１１２ 平均値表示エリア
１１３ 正電圧表示画面
１１４ 負電圧表示画面
１１５ イオンバランス表示画面
１１６ 操作モード選択エリア
２００，２００Ａ〜２００Ｅ イオナイザ
２０１，３０１ アンテナ
２０２，３０２ 無線通信モジュール
２０３，３０３ 制御ユニット
２０４，３０４ ドライバユニット
２０５，３０５ 高電圧ユニット
２０６，３０７ センサ
２０７，３０８ センサ信号処理ユニット
２０８ モジュール駆動プログラム
２０９ イオナイザ制御プログラム
２１０，３１ｌ 共通メモリエリア
２１１，３１２ データ保管・通信プログラム
２１２，３１３ Ｄ／Ａ変換器
２１３，３１４ Ａ／Ｄ変換器
２１４〜２１７，３１６〜３２３ アンプ
３００ イオンモニタ
３１５ Ｉ／Ｏポート
Claims (7)
- コロナ放電により正負のイオンを発生して被除電物を除電するイオナイザと、このイオナイザの性能を評価するためのイオンモニタと、前記イオナイザ及びイオンモニタを管理し制御するサーバとを備えたイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ、イオンモニタ及びサーバは近距離無線通信規格に準拠した無線通信手段を備え、サーバとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データ及びイオナイザの選択データを送受信し、サーバとイオンモニタとの間で前記無線通信手段を介してイオンモニタ制御データ及びイオンモニタの選択データを送受信し、かつ、イオンモニタとイオナイザとの間で前記無線通信手段を介してイオナイザ制御データを送受信することを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ制御データは、イオナイザのエミッタに印加する正負電圧の大きさ及び時間を制御するデータを含むことを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１または２記載のイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタが帯電プレートモニタであるときに、イオンモニタ制御データは少なくとも帯電開始電圧及び帯電終了電圧を含むことを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１〜３の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオンモニタによる測定データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバは前記測定データに基づいて作成したイオナイザ制御データを前記無線通信手段を介してイオナイザに送信することを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１〜４の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
サーバは前記測定データをディスプレイに表示することを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１〜５の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
イオナイザ及びイオンモニタはそれぞれ自己の動作状態を示す動作状態データを前記無線通信手段を介してサーバに送信し、サーバはこれらの動作状態をディスプレイに表示することを特徴とするイオナイザ制御システム。 - 請求項１〜６の何れか１項に記載したイオナイザ制御システムにおいて、
複数のイオナイザのうち、サーバとの間で前記無線通信手段を介して直接通信可能なイオナイザをマスタとして他のイオナイザをスレーブとし、スレーブに対するイオナイザ制御データ及びスレーブの動作状態データをマスタを介してサーバとの間で送受信することを特徴とするイオナイザ制御システム。
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