JP5479780B2 - 除電装置及び静電気除去システム - Google Patents

Description

本発明は、静電気が帯電した除電対象物に対して空気イオンを吹き付けることにより、静電気を中和して除電対象物の静電気を除去する除電装置及び静電気除去システムに関する。

空気イオンを吹き付けることにより、ＩＣチップや電子部品などの絶縁性を有する除電対象物の静電気を除去する除電装置の一例として、特許文献１で記載されている送風式イオン生成装置がある。特許文献１の段落番号００２１には、空気イオンを生成する手段についての記述があり、「イオン生成手段９は、シュラウド１１の前方に連設した絶縁体から成る空気イオン案内筒１３の外周に装着した環状の対向電極１４と、空気イオン案内筒１３内に対向電極１４の周方向に間隔を空けて放射状に配置した８本の放電針１５とを備えている。これら放電針１５は、空気イオン案内筒１３内の中心部に配置した絶縁体から成る棒状の電極ホルダ１６に植設されている。そして、ケース４の内底部に配置した交流の高圧電源１７の出力ケーブル１７ａを電極ホルダ１６に埋設した導体１８を介して放電針１５に接続すると共に、高圧電源１７の戻りケーブル１７ｂを対向電極１４に接続し、放電針１５と対向電極１４との間にコロナ放電を発生させて、正負の空気イオンを生成させるようにしている。」と記載されている。

また、段落番号００２２〜００２４には、放電針の先端に付着したダストを除去するための清掃手段についての記述があり、「清掃手段１０は、送風手段８からの送風気流が当たるフィン部１９を有して風力により回転する棒状の回転部材２０と、フィン部１９を介して回転部材２０に取り付けられたブラシ部材２１とを備えている（００２２）。回転部材２０は、長手方向の中心を電極ホルダ１６の前方に配設された支持部２２にて支持され、対向電極１４の環状中心と同心の軸線周りに回転自在に構成されている（００２３）。ブラシ部材２１は、例えばナイロン樹脂やアクリル樹脂等のプラスチックから構成され、回転部材２０上で、対向電極１４の環状中心から各放電針１５の先端部までの距離に対応する径方向位置にブラシ取付部材２３を介して取り付けられ、回転部材２０の回転により放電針１５の先端部に触れる（００２４）。」と記載されている。

特開２００４−２３４９７２号公報

一般に、電動式のファンを有するイオナイザーを動作させる動作電流は１Ａ程度であるが、放電電極（放電針）をクリーニングするクリーニング機能を付加すると、イオナイザーの動作電流にクリーニング用ブラシなどを駆動する電流が加わるため、トータルの電流値が数倍になることがある。また、半導体製造ラインなどの電子部品の製造ラインに複数のイオナイザーが使用される場合は、複数のイオナイザーの電源ＯＮ／ＯＦＦがメイン電源スイッチにより一括に行われることがあり、全てのイオナイザーを同時に動作させるトータルの消費電流はさらに増加することとなる。例えば、ＩＣハンドラー（半導体チップ運搬装置）などに複数のイオナイザーを使用するときには、全てのイオナイザーがそれぞれの最大消費電流を同時に消費しても装置の作動に影響が生じないように、ＩＣハンドラーの電流容量を充分に大きくする必要がある。

本発明はその一態様において、クリーニング機能などの付加機能を備えた複数の除電装置を同時に使用する場合や、複数の付加機能を備えた除電装置を使用する場合に、付加機能を動作させるタイミングをずらすことにより、消費電流を高めることなく、付加機能を動作させることができる除電装置及び静電気除去システムを提供する。

本発明はその一態様において、静電気が帯電している除電対象物に対して空気イオンを吹き付けることにより、前記静電気を中和して前記除電対象物の前記静電気を除去する除電装置であって、制御部と、該制御部からの指令を受けて動作する機能部と、電源が入ってから前記機能部が第１回目の動作を行うまでの待機時間を計時する第１のタイマーと、
前記機能部が第２回目以降の動作を所定のサイクルタイムで繰り返し行うために、前記サイクルタイムを計時する第２のタイマーと、を備えた除電装置を提供する。

また、本発明は他の態様において、静電気が帯電している除電対象物に対して空気イオンを吹き付けることにより、前記静電気を中和して前記除電対象物の前記静電気を除去する除電装置を複数有し、複数の該除電装置が共通の電源から電力の供給を受けている静電気除去システムであって、個々の除電装置が、制御部と、該制御部からの指令を受けて動作する機能部と、電源が入ってから前記機能部が第１回目の動作を行うまでの待機時間を計時する第１のタイマーと、前記機能部が第２回目以降の動作を所定のサイクルタイムで繰り返し行うために、前記サイクルタイムを計時する第２のタイマーと、を備え、個々の前記除電装置が、前記機能部を動作させるタイミングをずらして前記機能部を動作させる、静電気除去システムを提供する。

本発明による除電装置及び静電気除去システムによれば、付加機能を動作させるタイミングをずらすことにより、消費電流を高めることなく、付加機能を動作させることができる。これにより、クリーニング機能などの付加機能を備えた複数の除電装置を同時に使用することや、複数の付加機能を備えた除電装置を使用することができる。

本発明の第１の実施形態によるイオナイザー（除電装置）及び静電気除去システムのブロック図である。 図１に示すイオナイザーの詳細なブロック図である。 図２に示す個々のイオナイザーのクリーニング動作のフローチャートである。 個々のイオナイザーがクリーニング動作するときのタイムチャートを示す説明図である。 複数のイオナイザーが同じタイミングでクリーニング動作するときのタイムチャートを示す説明図である。 複数のイオナイザーがタイミングをずらしてクリーニング動作するときのタイムチャートを示す説明図である。 本発明の第２の実施形態によるイオナイザー及び静電気除去システムのブロック図である。 図７に示す静電気除去システムの個々のイオナイザーのブロック図である。 図７に示す静電気除去システムの複数のイオナイザーの回路図である。 同じく図７に示す個々のイオナイザーがクリーニング動作するときのフローチャートである。 同じく図７に示す複数のイオナイザーが第３のタイマーを使用してタイミングをずらしてクリーニング動作するときのタイムチャートを示す説明図である。 同じく図７に示す複数のイオナイザーが第３のタイマーを使用せずにタイミングをずらしてクリーニングするときのタイムチャートを示す説明図である。 本発明の第３の実施形態によるイオナイザーのブロック図である。 図１３に示すイオナイザーのコントロールユニットの詳細なブロック図である。 同じく図１３に示すイオナイザーの除電ユニットの詳細なブロック図である。 同じく図１３に示すイオナイザーがクリーニング動作するときのフローチャートである。 本発明の第４の実施形態によるイオナイザーのブロック図である。

本発明のイオナイザー（除電装置）の一態様は、制御部と、制御部からの指令を受けて動作する少なくとも一つの機能部と、機能部が第１回目の動作をするまでの待機時間を計時する第１のタイマーと、機能部に第２回目以降の動作を所定のサイクルタイムで繰り返し行わせるために、そのサイクルタイムを計時する第２のタイマーと、を備えている。本発明の静電気除去システムの一態様は、共通の電源から電力の供給を受ける複数のイオナイザーを有している。個々のイオナイザーが有している機能部は、電源から電力の供給を受けて動作するクリーニング機能や送風機能などの付加機能である。

以下図面を参照しながら、本発明のイオナイザー及び静電気除去システムの一実施形態を説明する。図１には、本発明の第１の実施形態に係る除電装置及び静電気除去システムが示されている。図示するように、本実施形態の静電気除去システム１は、この実施形態に制限されるものではないが、例えばクリンルーム内の半導体製造システムのＩＣハンドラーに適用されることができる。静電気除去システム１は、複数のイオナイザー３ａ〜３ｄを有している。複数のイオナイザー３ａ〜３ｄは電源２（例えば直流電源）に並列に接続されている。電源２には、複数のイオナイザー３ａ〜３ｄの他、ＩＣハンドラーや種々のデバイスが電気的に接続して、電力の供給を受けることができる。電源２の許容電流値は、所定のアンペア数に定められており、許容電流値を超える電流が消費される場合には、ブレーカが落ちるようになっている。静電気除去システムのイオナイザー３ａ〜３ｄは、典型的にはＩＣハンドラーなどの装置の電源に対して接続されるが、装置とは別に用意された電源に接続されてもよい。

イオナイザー３ａ〜３ｄの数は４つに制限されるものではなく、２つ以上のイオナイザーを同時に使用することができるが、電源２の許容電流値により使用するイオナイザーの台数が制限を受ける。本実施形態で使用されるイオナイザー３ａ〜３ｄは、付加機能としてクリーニング機能を有するイオナイザー３ａ〜３ｄであり、定期的にクリーニング機能を実施するサイクルタイムを計時するタイマーとして、対向電極（図示せず）との間でコロナ放電を生じる放電電極を清掃するサイクルタイムを計時する第２のタイマー６を有している。４つのイオナイザー３ａ〜３ｄは、図示しないＩＣハンドラーのメインスイッチに電気的に接続し、メインスイッチにより同時に電源がＯＮ／ＯＦＦされるようになっている。

一般に、イオナイザーは、対向電極に対向して配置された放電電極と、対向電極と放電電極と間でコロナ放電を生じるイオン生成部と、生成したイオンを除電対象物まで送風する送風部（送風機）とを備えている。イオナイザーは、イオン化した空気を除電対象物まで送風することで、除電対象物から静電気が除去される。

放電電極の配置などは任意であるが、典型的には放射状に、かつ空気の流れ方向に直交する方向に配置される。電極本数は、除電対象物の静電気量に応じて設定されるものであり、制限されるものではないが、例えば、等間隔に４本設けることができる。放電電極は、金属、例えばタングステン合金製にてなり、その形状寸法は、例えば直径１．５ｍｍ、長さ２０ｍｍの棒状にてなる。放電電極へ印加する電圧は、直流型のイオナイザーにおいて、例えば約＋、−５千ボルトである。

送風部は、除電対象物に対してイオン化した空気を吹き付け可能な程度の風力を発生する装置であり、モータによりファンを回転させる構造を有するものを使用できる。あるいは、圧縮空気の配管をイオナイザーに接続し、圧縮空気の空気圧によって送風してもよい。

図２に示すように、本実施形態のイオナイザーは、従来のイオン生成部８や送風部９に加えて、さらに、放電電極の先端に付着した汚れを落とすために放電電極の先端を定期的に清掃するクリーニング部（付加機能）１０と、クリーニング部１０が第１回目の動作をするまでの待機時間ｔ₁を計時する第１のタイマー５と、第１のタイマー５に待機時間を設定する待機時間設定部１１と、クリーニング部１０に第２回目以降の動作を所定のサイクルタイムで繰り返し行わせるために、サイクルタイムｔ₂を計時する第２のタイマー６と、クリーニング部１０などを動作させるための指令を出す制御部７と、を有している。クリーニング部１０は、ソレノイドやモータなどの動力源により動作する可動部（図示せず）と、可動部とともに動き放電電極の先端に接触して汚れを落とすブラシ（図示せず）とを有している。クリーニングは、例えば、数秒〜数１０秒程度ブラシを放電電極の先端に接触させながら往復動作させることにより行われる。放電電極のクリーニングを実施するときのイオナイザーの消費電流は、イオンを生成するときの動作電流の数倍となることがある。第１のタイマー５には、待機時間設定部１１により、電源２をＯＮにしたときからクリーニング部１０の動作が開始されるまでの待機時間が設定されるようになっている。待機時間設定部１１には、自動で乱数を発生するランダム回路を適用することができるが、オペレータがマニュアルでタイマーに備わるダイヤルを回すことにより待機時間を設定することも可能である。同様にして、第２のタイマー６も、待機時間設定部１１などにより、サイクルタイムｔ₂を設定することができる。なお、第１のタイマー５及び第２のタイマー６は、物理的に独立した二つのタイマーを用いる構成に制限されるものではなく、一つの部材によって二つのタイマー機能が実現される場合も含まれる。例えば、第１のタイマー５及び第２のタイマー６が、待機時間ｔ₁及びサイクルタイムｔ₂を計時するＰＬＣ（Programmable Logic Controller）に置換されることも可能である。ＰＬＣは、入出力部と、ＣＰＵと、メモリと、論理回路とを有して、シーケンス制御を行う制御装置であり、イオナイザーを含む自動化システムの制御の信頼性を高める上で有効である。また、個々のイオナイザー３ａ〜３ｄは、本実施の形態に制限されるものではなく、送風方向を変更する風向き変更手段などの付加機能を備えることもできる。

図３には、個々のイオナイザー３ａ〜３ｄのクリーニングのフローチャートが示されている。ステップＳ１でイオナイザーの電源がＯＮになると、放電電極が放電を開始し、イオナイザーが空気イオンの送風を開始すると共に、第１のタイマー５が所定の待機時間ｔ₁を計時する（ステップＳ２）。待機時間ｔ₁経過後、クリーニング部１０が動作を開始し、放電電極をクリーニングする（ステップＳ３）。ステップＳ３の開始と同時に第２のタイマー６が計時を開始し、所定のサイクルタイムｔ₂経過後（ステップＳ４）に再度クリーニング部１０が動作を開始して放電電極をクリーニングする。以降、所定のサイクルタイムｔ₂経過毎に放電電極を繰り返しクリーニングする。なお、サイクルタイムｔ₂は一定であってもよいし、クリーニング間隔を変化させるために所定のパターンあるいはランダムに変化させてもよい。

図４には、１台のイオナイザー３ａ〜３ｄがクリーニング動作するときのタイムチャートが示されている。第１のタイマー５は、電源２の投入後、クリーニング動作を開始するまでの待機時間ｔ₁を計時し、待機時間ｔ₁が経過したときに第２のタイマー６が任意に定めたサイクルタイムｔ₂の計時を開始すると共に放電電極のクリーニングが行われるようになっている。本実施形態では、サイクルタイムｔ₂を例えば１時間に設定することができる。本実施形態のイオナイザー３ａ〜３ｄでは、イオン生成時の消費電流は１Ａであり、クリーニング動作時の消費電流は２Ａになっている。

図５には、比較例として、４台のイオナイザー３ａ〜３ｄが同じタイミングでクリーニングするときのタイムチャートが示されている。図示するように、４台のイオナイザー３ａ〜３ｄを同時に動作させると、イオン生成時の消費電流は４Ａとなり、クリーニング動作時の消費電流はトータルで８Ａとなる。このようなタイミングで各イオナイザー３ａ〜３ｄを動作させるには、８Ａ以上の許容電流を有する電源２を使用する必要がある。

図６には、複数のイオナイザー３ａ〜３ｄがタイミングをずらしてクリーニングするときのタイムチャートが示されている。図示するように、４台のイオナイザー３ａ〜３ｄは、それぞれのクリーニング開始タイミングが１０分間隔でずれるように、第１のタイマー５の待機時間ｔ_1a〜ｔ_1dが１０分から４０分まで、１０分ずつ長くなるように設定されている。そのため、放電電極のクリーニングが同時に行われることがなく、これにより、クリーニング動作時の消費電流をトータルで５Ａに抑制することが可能となる。

このように、本実施形態のイオナイザー３ａ〜３ｄ及び静電気除去システム１によれば、第１のタイマー５が動作するタイミングが、個々のイオナイザー３ａ〜３ｄでずれているため、消費電流の増大を小さくすることができる。

次に、第２の実施形態のイオナイザー及び静電気除去システムについて説明する。図７に示すように、本実施形態の静電気除去システム２０は、電源２と、イオナイザー２３ａ〜２３ｄとを備えている。図８に示すように、個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄは、第２のタイマー６と、ランダム回路１１により待機時間ｔ₁を設定する第１のタイマー５と、他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニングをしているときに、再度共通信号ライン２４の電圧レベルを検出するまでの待機時間ｔ₃を計時する第３のタイマー２８とを備えている。また、本実施形態の個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄは、共通信号動作ライン２４に接続し、共通動作信号ライン２４の電圧レベルを検出する信号検出部２５と、共通動作信号ライン２４の電圧レベルを下げるために共通動作信号ライン２４に動作信号を出力する信号出力部２６とを有している。

図９には、共通信号動作ライン２４に接続している複数のイオナイザー２３ａ〜２３ｄの回路図が示されている。個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄの信号検出部２５は、共通動作信号ライン２４の電圧レベルがＨｉｇｈ又はＬｏｗのどちらの状態にあるかをを検出すると共に、検出した電圧レベルがＬｏｗのときは他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニングしていると判断し、検出した電圧レベルがＨｉｇｈのときはいずれのイオナイザー２３ａ〜２３ｄもクリーニングしていないと判断する。信号出力部２６は、個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニングしているときに、トランジスタ２７を介して共通動作信号ライン２４に対して微小電流の動作信号を出力する。トランジスタ２７は、ＮＰＮ型であり、信号出力部２６からの動作信号（電流）がベースに入ることで、エミッタとコレクター間の抵抗値が大幅に下がり、共通動作信号ライン２４の電圧レベルがＬｏｗになる。個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニングしていないときは、信号出力部２６は信号出力部２６は動作信号を出力しない。その結果、コレクタとエミッタ間は開放状態となり、共通動作信号ライン２４には、直流電源Ｖの電圧がそのまま印加され、電圧レベルはＨｉｇｈとなる。

図１０には、個々のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニング動作するときのフローチャートが示されている。第１のタイマー５は、イオナイザー２３ａ〜２３ｄの電源が入った後の１回目のクリーニングを開始するまでの待機時間ｔ₁を計時し、第２のタイマー６は、所定のクリーニング間隔のサイクルタイムｔ₂を計時し、第３のタイマーは他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがクリーニングをしているときにクリーニングの開始を遅らせる待機時間ｔ₃を計時する。すなわち、他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄとクリーニングのタイミングが重複した場合は、タイミングをずらすために、クリーニングを開始するための待ち時間を長くする。

具体的には、例えば、クリーニングのサイクルタイムｔ₂を１時間に設定した場合、ステップＳＳ２で第１のタイマー５の待機時間ｔ₁がランダム回路１１により０秒から５０分（サイクルタイム−１０分）程度の範囲にランダムに設定されるようにし、この時間が経過した後、ステップＳＳ３で共通動作信号ライン２４に加わる電圧を検出することにより、共通の電源２を使用してクリーニング動作している他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがあるかどうかをチェックする。クリーニング動作中の他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがある場合には（図１１参照）、ステップＳＳ４に進み、クリーニング動作時間を１０秒とすると、１０秒より長い時間、例えば２０秒を第３のタイマーの待機時間ｔ₃とし、再び共通動作信号ライン２４を使用してクリーニング動作している他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがあるかどうかをチェックする。クリーニング動作中の他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄがない場合には（図１２参照）、ステップＳＳ５に進み、信号出力部２６が動作信号を出力して共通動作信号ライン２４の電圧レベルをＬｏｗにする。これにより、他のイオナイザー２３ａ〜２３ｄと同じタイミングでクリーニングできないようにする。ステップＳＳ６でクリーニングが終了すると、ステップＳＳ７で共通動作信号ライン２４の電圧レベルをＨｉｇｈに戻す。ステップＳＳ６から、所定のサイクルタイムｔ₂だけ待機（ステップＳＳ８）した後、ステップＳＳ３に戻りクリーニングを繰り返し実施する。なお、第２回目以降は、ＳＳ３に戻らずにＳＳ６に戻り、クリーニングを繰り返し実施することもできる。第３のタイマーの待機時間ｔ₃は、ランダム回路により設定されることもできる。

上述の実施形態では、第１のタイマー５の待機時間ｔ₁を複数のイオナイザー２３ａ〜２３ｄ間で重複しないように予め設定しなくても、複数のイオナイザー２３ａ〜２３ｄが同じタイミングでクリーニングすることを避けることができる。

本実施形態の変形例として、イオナイザーは、第３のタイマーを使用して共通動作信号ライン２４の電圧を所定の間隔で監視する代わりに、共通動作信号ライン２４の電圧を常時検出するようにしても良い。この変形例において、図１０のステップＳＳ３にて共通動作信号レベルがＬｏｗであるとき、イオナイザーは連続的に共通動作信号レベルを検出する。そして、共通動作信号レベルがＨｉｇｈであることを検出したときに、ステップＳＳ５に移るようにすることも可能である。換言すれば、ステップＳＳ４の待機時間ｔ₃を実質的に０秒としてもよい。この場合、イオナイザーは第３のタイマーを有さなくともよい。

次に、本発明の第３の実施形態に係るイオナイザーおよび静電気除去システムについて説明する。図１３に示すように、本実施形態の静電気除去システム３０は、電源２と、イオナイザー３１とを備えている。イオナイザー３１は、コントロールユニット３２と、コントロールユニット３２に接続された複数の除電ユニット３３ａ〜３３ｄとを有する。個々の除電ユニット３３ａ〜３３ｄは、共通の電源２に接続されている。図１４に示すように、コントロールユニット３２は、制御部３４と、第1のタイマー５と、第２のタイマー６と、除電ユニット３３ａ〜３３ｄの通信部３６と信号を送受信する通信部３５とを有する。

図１５（除電ユニット３３ａを代表として示す）に示すように、個々の除電ユニット３３ａ〜３３ｄは、イオン生成部８と、送風部９と、クリーニング部１０と、コントロールユニット３２の通信部３５と信号を送受信する通信部３６とを有する。通信部３６は、クリーニング部１０の動作状況を検出した結果をコントロールユニット３２に送信し、コントロールユニット３２からクリーニング動作などを開始するための指令を受信する。コントロールユニット３２は、第１のタイマー５及び第２のタイマー６で計時された遅延時間ｔ₁，サイクルタイムｔ₂に基づいて個々の除電ユニット３３ａ〜３３ｄに対して、クリーニング動作などを開始する指令を出す。通信部３６には、コントロールユニット３２の通信部３５と同様のものを使用することが出来る。

図１６に、本実施形態に係る静電気除去システムの動作を説明するフローチャートを示す。イオナイザー３１のスイッチがＯＮにされて（ステップＳＳＳ１）、所定の待機時間ｔ₁が経過後（ステップＳＳＳ２）、コントロールユニット３２は、第１の除電ユニット３３ａに対してクリーニング動作を開始する指令を送信する。第１の除電ユニット３３ａは、コントロールユニット３２からの指令を受信して、放電電極のクリーニング動作を始める（ステップＳＳＳ３）。第1の除電ユニット３３ａがクリーニング動作を開始してから所定の待機時間ｔ₁経過後（ＳＳＳ４）、コントロールユニット３２は、クリーニング動作を開始する指令を第２の除電ユニット３３ｂに送信する。第２の除電ユニット３３ｂは、コントロールユニット３２からの指令を受信して、放電電極のクリーニング動作を始める（ＳＳＳ５）。コントロールユニット３２に接続された他の除電ユニット３３ｃ，３３ｄについても、同様にクリーニング動作（ＳＳＳｎ）を行う。このようにして、各除電ユニット３３ａ〜３３ｄは、待機時間ｔ₁を経過した後、順番に放電電極のクリーニング動作をする。

全ての除電ユニット３３ａ〜３３ｄのクリーニング動作を終了した後は、第１の除電ユニット３３ａのクリーニング開始から所定のサイクルタイムｔ₂経過したときに（ＳＳＳｎ＋１）、コントロールユニット３２は第１の除電ユニット３３ａに対して２回目の放電電極のクリーニング動作を開始する指令を送信する。第１の除電ユニット３３ａは、コントロールユニット３２からの指令を受信して、２回目の放電電極のクリーニング動作を始める（ＳＳＳｎ＋２）。同様にして、他の除電ユニット３３ｂ〜３３ｄに対しても２回目のクリーニング動作を行う（ＳＳＳｎ＋２〜ＳＳＳｎ＋ｎ）。各除電ユニット３３ａ〜３３ｄは、サイクルタイムｔ₂を経過した後、このような動作を順次繰り返し、放電電極のクリーニング動作をする。

なお、第１の除電ユニット３３ａと第２の除電ユニット３３ｂのクリーニング動作の間隔は一定であっても良いし、待機時間ｔ₁を所定のパターンあるいはランダム変化させて可変としてもよい。また、図１７に示すように、コントロールユニット４１と除電ユニット４３ａとを同じ筐体内に有するマスターユニット４４に、除電ユニット４３ｂ〜４３ｄであるスレーブユニット４５を複数接続して、システムとして構成してもよい。この場合、同じ筐体（マスターユニット４４）内にあるコントロールユニット４１と除電ユニット４３ａとを接続するための通信部を有さなくとも良い。コントロールユニット４１と除電ユニット４３ａとの通信は、電源ラインを介して行ってもよいし、電源ラインとは別に通信用ラインを設けて行ってもよい。

以上、本明細書ではイオナイザー及び静電気除去システムについて説明したが、本発明は開示した実施形態に制限されるものではなく、実施形態の変更や改良が許容されるものである。また、本明細書では、放電電極をクリーニングするクリーニング部を有するイオナイザー３ａ〜３ｄ，２３ａ〜２３ｄを対象として説明したが、クリーニング部に代えて風向きを変更する風向き変更機能を機能部とすることもでき、機能部の形態は制限されるものではない。さらに、イオナイザーは内部に整流器や変圧器を有し、電源２からの電力を変換して消費してもよい。

１、２０，３０，４０ 静電気除去システム
２ 電源
５ 第１のタイマー
６ 第２のタイマー
７，３４ 制御部
１０ クリーニング部
３ａ〜３ｄ，２３ａ〜２３ｄ，３１，４１ イオナイザー
２５ 信号検出部
２６ 信号出力部
２８ 第３のタイマー
３２，４２ コントロールユニット
３３ａ〜３３ｄ，４３ａ〜４３ｄ， 除電ユニット

Claims (5)

1. 静電気が帯電している除電対象物に対して空気イオンを吹き付けて前記静電気を中和することにより、前記除電対象物の静電気を除去する除電装置であって、
   制御部と、
   該制御部からの指令を受けて動作する複数の機能部と、
   電源が入れられた時点から第１の時点までの第１の待機時間を計時する第１のタイマーであって、前記第１の時点において、前記複数の機能部の逐次的動作が開始され、該逐次的動作において、前記複数の機能部は、前記制御部によって互いに動作が重複しないように逐次的に動作される、第１のタイマーと、
   サイクルタイムを計時する第２のタイマーであって、前記サイクルタイム毎に、前記複数の機能部が前記制御部によって互いに動作が重複しないように逐次的に動作される、第２のタイマーと、を備えた除電装置。
2. 前記複数の機能部の各々は、対向電極との間でコロナ放電を生じさせる放電電極をクリーニングするクリーニング部である、請求項１に記載の除電装置。
3. 前記制御部、前記第１のタイマー及び前記第２のタイマーを有するコントロールユニットと、
   前記複数の機能部をそれぞれ有する複数の除電ユニットと、を備える、請求項１又は２に記載の除電装置。
4. 複数の除電装置に電気的に接続する共通動作信号ラインの電圧レベルを検出する信号検出部と、
   前記複数の機能部のうちの１つが動作しているときに、前記共通動作信号ラインの電圧レベルを所定の電圧レベルより下げるために前記共通動作信号ラインに動作信号を出力する信号出力部と、を備え、
   前記制御部は、前記信号検出部により検出された前記電圧レベルに基づいて前記機能部を動作させるタイミングを判断する、請求項１〜３の何れか１項に記載の除電装置。
5. 静電気が帯電している除電対象物に対して空気イオンを吹き付けて前記静電気を中和することにより、前記除電対象物の静電気を除去する除電装置を複数有し、複数の該除電装置が共通の電源から電力の供給を受けている静電気除去システムであって、
   個々の除電装置は、
   制御部と、
   該制御部からの指令を受けて動作する機能部と、
   電源が入れられた時点から第１の時点までの第１の待機時間を計時する第１のタイマーであって、前記第１の時点において、前記複数の除電装置の前記機能部の逐次的動作が開始され、該逐次的動作において、前記複数の除電装置の前記機能部は、前記制御部によって互いに動作が重複しないように逐次的に動作される、第１のタイマーと、
   サイクルタイムを計時する第２のタイマーであって、前記サイクルタイム毎に、前記複数の除電装置の前記機能部が前記制御部によって互いに動作が重複しないように逐次的に動作される、第２のタイマーと、を備える、静電気除去システム。

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