CN102460869B

CN102460869B - 离子发生器和静电荷消除系统

Info

Publication number: CN102460869B
Application number: CN2010800326970A
Authority: CN
Inventors: 伊东正彦; 佐藤义明
Original assignee: 3M Innovative Properties Co
Current assignee: 3M Innovative Properties Co
Priority date: 2009-05-29
Filing date: 2010-05-26
Publication date: 2013-09-04
Anticipated expiration: 2030-05-26
Also published as: CN102460869A; EP2436091A2; JP5479780B2; TWI479954B; TW201103375A; WO2010138532A3; JP2010277931A; US20120162848A1; WO2010138532A2; SG176596A1; KR20120030462A

Abstract

在本发明的实施例中，提供了离子发生器和静电荷消除系统，其中在同时使用具有诸如清洁功能之类的可选功能的多个离子发生器或者使用具有多个可选功能的离子发生器的情况下，当操作可选功能部分的时序移位时，功能部分可以在不增加电流消耗的情况下进行操作。根据本发明的实施例，离子发生器包括：控制部分7；清洁部分10，当从所述控制部分7向清洁部分发送指令时，所述清洁部分进行操作；第一计时器5，第一计时器5用于测量从电源导通的时刻到清洁部分10第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器6，第二计时器6用于测量循环时间，使得清洁部分10可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间。

Description

离子发生器和静电荷消除系统

技术领域

本发明涉及离子发生器和静电荷消除系统，其用于在空气离子被鼓吹到带静电荷的物体，并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除物体中的静电荷。

背景技术

用于消除物体(如，IC芯片或具有绝缘性质的电子部件)中的静电荷的离子发生器的实例是在官方公报JP-A-2004-234972中描述的空气鼓吹型离子发生装置。在官方公报JP-A-2004-234972的第0021段中，描述了如下的一种生成空气离子的装置。“离子发生器9包括：环形对向电极14，其附着在空气离子引导缸12的外周长上，空气离子引导缸12由与覆盖物11的前部连接的绝缘材料制成；以及8个放电针15，其在空气离子引导缸13中沿对向电极14的外周方向以规则间隔径向布置。这些放电针15被植入杆型电极夹持器16中，电极夹持器16由布置在空气离子引导缸13的中心部分中的绝缘材料制成。布置在壳体4的内底部中的高电压AC电源17的输出电线17a经嵌入在电极夹持器16中的导体18连接到放电针15。高电压电源17的返回电线17b连接到对向电极14。在放电针15和对向电极14之间产生电晕放电，以生成正负空气离子。”

在第0022段至第0024段中，描述了如下的一种用于从放电针的顶端去除灰尘的清洁装置。“清洁装置10包括：杆形旋转构件20，其在风力作用下旋转，具有翅片部分19，从空气鼓吹装置8传送的气流撞击翅片部分19；以及刷子构件21，其通过翅片部分19附着于旋转构件20(0022)。旋转构件20的纵向方向上的中心被布置在电极夹持器16前部的支撑部分22支撑。旋转构件20可以绕着与对向电极14的环形中心同心的轴自由地旋转(0023)。刷子构件21由诸如尼龙树脂或丙烯酸类树脂之类的塑料制成。刷子构件21附着于径向方向上的某一位置处，该位置对应于从对向电极14的环形中心通过刷子附着构件23直至各放电针15的顶端的距离。当旋转构件20旋转时，刷子构件21接触放电针15的顶端(0024)。”

发明内容

通常，用于操作具有电扇的离子发生器的操作电流大致是1A。然而，当增加清洁功能来清洁放电电极(放电针)时，要在离子发生器的操作电流的基础上加上用于驱动刷子进行清洁的电流。因此，总电流翻了数倍。在制造电子部件的生产线(如，半导体生产线)中使用多个离子发生器的情况下，通过主电源开关总体上使多个离子发生器的电源导通和截止。因此，用于同时操作所有离子发生器的总电流消耗进一步增加。例如，当多个离子发生器用于IC处理器(半导体芯片传送装置)时，必须充分增大IC处理器的电流能力，使得即使当所有的离子发生器消耗各自最大的电流消耗时，装置的操作也不会受到影响。

在本发明的实施例中，提供了离子发生器和静电荷消除系统，其中在同时使用具有诸如清洁功能之类的可选功能的多个离子发生器或者使用具有多个可选功能的离子发生器的情况下，当功能部分的操作时序移位时，功能部分可以在不增加电流消耗的情况下进行操作。

在一个实施例中，本发明提供了一种离子发生器，其用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的静电荷，所述离子发生器包括：控制部分；功能部分，当从所述控制部分向所述功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间。

在另一个实施例中，本发明提供了一种具有多个离子发生器的静电荷消除系统，所述多个离子发生器用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的静电荷，其中由公共电源向所述多个离子发生器提供电功率，各离子发生器包括：控制部分；功能部分，当从所述控制部分向所述功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间，其中在所述功能部分的操作时序移位的同时，各离子发生器操作所述功能部分。

根据本发明的离子发生器和静电荷消除系统，当可选功能的操作时序移位时，可以在不增加电流消耗的情况下操作可选功能。由于以上原因，导致可以同时使用具有诸如清洁功能之类的可选功能的多个离子发生器。另外，可以使用具有多个可选功能的静电荷消除装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施例的离子发生器(静电荷消除装置)和静电荷消除系统的框图。

图2是图1所示的离子发生器的详细框图。

图3是示出图2所示的各离子发生器的清洁操作的流程图。

图4是各离子发生器执行清洁操作时的时序图。

图5是多个离子发生器以相同时序执行清洁操作时的时序图。

图6是当时序移位时多个离子发生器执行清洁操作时的时序图。

图7是本发明的第二实施例的离子发生器和静电荷消除系统的框图。

图8是图7所示的静电荷消除系统的各离子发生器的框图。

图9是图7所示的静电荷消除系统的多个离子发生器的电路图。

图10是图7所示的各离子发生器执行清洁操作时的流程图。

图11是当在时序正移位的同时使用第三计时器时图7所示的多个离子发生器执行清洁操作时的时序图。

图12是当在时序正移位的同时没有使用第三计时器时图7所示的多个离子发生器执行清洁操作时的时序图。

图13是本发明的第三实施例的离子发生器的框图。

图14是图13所示的离子发生器的控制单元的详细框图。

图15是图13所示的离子发生器的静电荷消除单元的详细框图。

图16是图13所示的离子发生器执行清洁操作时的流程图。

图17是本发明的第四实施例的离子发生器的框图。

具体实施方式

根据本发明的实施例，离子发生器(静电荷消除装置)包括：控制部分；至少一个功能部分，在从控制部分向功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；第一计时器，其用于测量从电源导通的时刻到功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及第二计时器，其用于测量循环时间，使得功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间。根据本发明的实施例，静电荷消除系统包括从公共电源接收电功率的多个离子发生器。各离子发生器的功能部分具有在电源提供电功率时进行操作的可选功能，如，清洁功能和空气鼓吹功能。

参照附图，以下将说明本发明的离子发生器和静电荷消除系统的实施例。图1示出本发明的第一实施例的离子发生器和静电荷消除系统。如附图中所示，虽然本发明的静电荷消除系统1不受该实施例限制，但是(例如)本实施例的静电荷消除系统1可以应用于洁净室中的半导体制造系统的IC处理器。静电荷消除系统1包括多个离子发生器3a至3d。离子发生器3a至3d并联连接到电源2(例如，DC电源)。另外，电源2电连接到IC处理器和各种装置，使得可以提供电功率。确定电源2的允许电流为预定安培数。因此，在所消耗电流的强度超过允许电流的情况下，断路器进行操作。通常，静电荷消除系统的离子发生器3a至3d连接到IC处理器的电源和其它装置。然而，静电荷消除系统的离子发生器3a至3d可以连接到以不同方式设置的电源。

离子发生器3a至3d的数量不限于四个，而是可能使用数量为两个或更多个的离子发生器。然而，待使用的离子发生器的数量不受电源2的允许电流限制。用于本实施例的离子发生器3a至3d具有作为可选功能的清洁功能。为了周期性地执行清洁功能，用于本实施例的各离子发生器具有作为用于测量循环时间的计时器的第二计时器6，第二计时器6用于测量与对向电极(未示出)一起用于产生电晕放电的放电电极被清洁的循环时间。四个离子发生器3a至3d电连接到未示出的IC处理器的主开关。因此，可以同时通过主开关导通和截止电源。

总体上，离子发生器包括：放电电极，其与对向电极相对地布置；离子发生部分，其用于在对向电极和放电电极之间产生电晕放电；以及空气鼓吹部分(鼓风机)，其用于将所生成的离子鼓吹到将要被消除静电荷的物体上。在离子发生器中，当离化的空气被鼓吹到将要被消除电荷的物体上时，可以消除物体上的静电荷。

可以按任意方式决定放电电极的布置。通常，放电电极沿着与气流方向垂直的方向径向布置。根据静电电容来决定电极的数量，并且电极的数量不受具体限制。然而，例如，可以按规则间隔布置数量为四个的电极。例如，放电电极由钨合金制成。关于其尺寸，例如，直径是1.5mm并且长度是20mm。就DC型离子发生器而言，施加到放电电极的电压大致为+，-5000v。

空气鼓吹部分是用于产生风力的装置，其能够将离化空气的气流鼓吹到将要被消除静电荷的物体上。空气鼓吹部分可以具有其中由电机旋转风扇的结构。或者，空气鼓吹部分可以具有如下结构：压缩空气的管连接到离子发生器并且在压缩空气的压力作用下传送气流。

如图2中所示，本实施例的离子发生器包括：传统的离子发生部分8；和空气鼓吹部分9。另外，本实施例的离子发生器包括：清洁部分(可选功能)10，其用于周期性清洁放电电极的顶端部分，以去除附着在放电电极的顶端部分上的灰尘；第一计时器5，其用于测量从电源导通的时刻到清洁部分10第一次执行操作的时刻的等待时间t₁；等待时间设置部分11，其用于设置第一计时器5中的等待时间；第二计时器6，其用于测量循环时间t₂，使得可以使清洁部分10在第二次或随后将操作重复执行预定的循环时间；以及控制部分7，其用于发出指令，以操作清洁部分10。清洁部分10包括：可移动部分(未示出)，其由诸如螺线管或电机之类的电源操作；以及刷子(未示出)，其用于当刷子与可移动部分一起移动时从放电电极的顶部去除灰尘。执行清洁，使得刷子往复地接触放电电极的顶端(例如)几秒至几十秒。当清洁放电电极时，离子发生器消耗电流，所述电流的强度是生成离子时所消耗的电流的几倍。在第一计时器5中设置从电源2导通的时刻到清洁部分10开始操作的时刻的等待时间。用于自动产生随机数的随机电路可以应用于等待时间设置部分11。然而，可以设置等待时间，使得操作柱手动转动计时器中设置的刻度盘。以此方式，等待时间设置部分11可以设置第二计时器6中的循环时间t₂。就这一点而言，各个离子发生器3a至3d不受本实施例的形式限制，而是可以提供可选功能，如，用于改变空气鼓吹方向的风向改变装置。

图3是清洁各个离子发生器3a至3d的流程图。当在步骤S 1中导通离子发生器的电源时，放电电极开始放电，并且离子发生器开始鼓吹离化空气的气流。同时，第一计时器5测量预定的等待时间t₁(步骤S2)。在经过等待时间t₁之后，清洁部分10开始操作，对放电电极进行清洁(步骤S3)。同时，当步骤S3开始时，第二计时器6开始测量时间。在经过预定的循环时间t₂(步骤S4)之后，清洁部分10开始再次操作并且对放电电极进行清洁。此后，经过预定的循环时间t₂，对放电电极重复进行清洁。就这一点而言，循环时间t₂可能是恒定的。或者，循环时间t₂可能按预定模式改变或者随机改变，使得清洁间隔可以发生变化。

图4是一组离子发生器3a至3d执行清洁操作时的时序图。第一计时器5测量从电源2导通的时刻到清洁操作开始的时刻的等待时间t₁。当经过等待时间t₁之后，第二计时器6开始测量随意决定的循环时间t₂并且再次执行清洁。在本实施例中，可以将循环时间t₂设置为例如一小时。在本实施例的各离子发生器3a至3d中，生成离子时的电流消耗是1A并且清洁时的电流消耗是2A。

图5是四组离子发生器3a至3d以相同时序执行清洁操作时的时序图。图5示出比较例。如时序图中所示，当四组离子发生器3a至3d同时操作时，在生成离子时的电流消耗是4A。因此，在进行清洁操作时的总电流消耗是8A。为了按该时序操作各离子发生器3a至3d，必须使用电源2，使允许电流不小于8A。

图6是进行清洁操作时的时序图，在该清洁操作中，离子发生器3a至3d以移位的时序进行操作。如时序图中所示，第一计时器5的等待时间t_1a至t_1d被设置成比10分钟至40分钟加长了10分钟，使得相应的清洁开始时序可以移位10分钟的间隔。因此，放电电极不同时执行清洁操作。因此，在进行清洁操作时的总电流消耗可以被限制为5A。

如上所述，根据本实施例的离子发生器3a至3d和静电荷消除系统1，对于各个离子发生器3a至3d，第一计时器5的操作时序发生移位。因此，可以防止电流消耗增加。

接着，以下将说明第二实施例的离子发生器和静电荷消除系统。如图7中所示，本实施例的静电荷消除系统包括：电源2；以及离子发生器23a至23d。如图8中所示，各离子发生器23a至23d包括：第二计时器6；第一计时器5，由随机电路11来设置其等待时间t₁；以及第三计时器28，其测量直至其它离子发生器23a至23d正执行清洁操作时检测公共信号线24的电压电平这一时刻的等待时间t₃。本实施例的各离子发生器23a至23d包括：信号检测部分25，其连接到公共信号操作线24并且检测公共操作信号线24的电压电平；以及信号输出部分26，其用于向公共操作信号线24输出操作信号，使得公共操作信号线24的电压电平可以降低。

图9是与公共信号操作线24连接的多个离子发生器23a至23d的电路图。各离子发生器23a至23d的信号检测部分25检测公共操作信号线24的电压电平是高还是低。同时，各离子发生器23a至23d的信号检测部分25判断在检测到的电压电平低时其它离子发生器23a至23d是否正执行清洁操作。各离子发生器23a至23d的信号检测部分25判断在检测到的电压电平为高时是否有离子发生器23a至23d没有正执行清洁操作。当各离子发生器23a至23d正执行清洁操作时，信号输出部分26经晶体管27向公共操作信号线24输出操作信号，即，微小的电流。晶体管27属于NPN型。当从信号输出部分26向基极发送操作信号(电流)时，发射极和集电极之间的电阻值大大降低并且公共操作信号线24的电压电平变低。当不是每个离子发生器23a至23d都正执行清洁操作时，信号输出部分26不输出操作信号。结果，集电极和发射极相对于彼此设置成打开状态。因此，DC电源的电压V被原样施加到公共操作信号线。因此，电压电平变高。

图10是各离子发生器23a至23d进行清洁操作时的流程图。第一计时器5测量从离子发生器23a至23d的电源导通的时刻到第一次清洁操作开始的时刻的等待时间t₁。第二计时器6测量预定清洁间隔的循环时间t₂。第三计时器测量当其它离子发生器23a至23d正执行清洁操作时清洁操作的开始所延迟的等待时间t₃。也就是说，在清洁的时序与其它离子发生器23a至23d的时序重叠的情况下，开始清洁操作的等待时间延长，从而时序发生移位。

具体来讲，例如，在步骤SS2中，在清洁的循环时间t₂被设置为1小时的情况下，由随机电路11进行设置，使得第一计时器5的等待时间t₁可以被随机设置在0秒至50分钟(从循环时间中减去10分钟)的范围内。在经过这段时间后，当在步骤SS3中检测到提供到公共操作信号线24的电压时，检查是否有其它离子发生器23a至23d通过使用公共电源2正执行清洁操作。在其它离子发生器23a至23d正执行清洁操作(参照图11)的情况下，程序前进至步骤SS4并且清洁操作时间被设置成10秒。然后，第三计时器的等待时间t₃被设置成比10秒长，例如，第三计时器的等待时间t₃被设置成20秒，并且再次检查是否有其它离子发生器23a至23d通过使用公共操作信号线24正执行清洁操作。在没有离子发生器23a至23d正执行清洁操作(参照12)的情况下，程序前进至步骤SS5，并且信号输出部分26输出操作信号并且使公共操作信号线24的电压电平为低。由于以上原因，导致使离子发生器不能以与其它离子发生器23a至23d相同的时序来执行清洁操作。当在步骤SS6中完成清洁操作时，在步骤SS7中，公共操作信号线24的电压电平重新为高。在程序从步骤SS6开始已等待预定的循环时间t₂(步骤SS8)之后，程序返回到步骤SS3并且重复执行清洁操作。就这一点而言，程序可能没有返回到SS3，而是第二次并且之后返回到步骤SS6，并且重复执行清洁操作。还可以由随机电路设置第三计时器的等待时间t₃。

在上述实施例中，即使当之前没有设置第一计时器5的等待时间t₁使得多个离子发生器23a至23d不能彼此重叠时，可以防止多个离子发生器23a至23d以相同时序执行清洁操作。

如下描述本实施例的变型。在离子发生器中，可以一直检测公共操作信号线24的电压，而并不以预定间隔使用第三计时器来观察公共操作信号线24的电压。在这个变型中，当在图10中在步骤SS3中的公共操作信号电平为低时，离子发生器连续检测公共操作信号电平。然后，当检测到公共操作信号电平为高时，程序可以转到步骤SS5。换句话讲，步骤SS4的等待时间t₃可以基本上为0秒。在这种情况下，离子发生器可能未提供有第三计时器。

接着，以下将说明本发明的第三实施例的离子发生器和静电荷消除系统。如图13中所示，本实施例的静电荷消除系统包括：电源2；以及离子发生器31。离子发生器31包括：控制单元32；以及多个静电荷消除单元33a至33d，其连接到控制单元32。各静电荷消除单元33a至33d连接到公共电源2。如图14中所示，控制单元32包括：控制部分34；第一计时器5；第二计时器6；以及通信部分36，其用于发送信号并且从静电荷消除单元33a至33d的通信部分36接收信号。

如其中示出静电荷消除单元33a为代表的图15中所示，各静电荷消除单元33a至33d包括：离子发生部分8；空气鼓吹部分9；清洁部分10；以及通信部分36，其用于发送信号并且从控制单元32的通信部分35接收信号。通信部分36将关于清洁部分10是否操作的检测结果发送到控制单元32，并且从控制单元32接收开始进行清洁操作的指令。根据第一计时器5和第二计时器6测得的延迟时间t₁和循环时间t₂，控制单元32向各静电荷消除单元33a至33d发出开始进行清洁操作的指令。通信部分36可以使用与控制单元32的通信部分35相同的通信部分。

图16是用于说明本实施例的静电荷消除系统的操作的流程图。当离子发生器31的开关导通(步骤SSS1)并且经过预定的等待时间t₁(步骤SSS2)时，控制单元32向第一静电荷消除单元33a发送开始进行清洁操作的指令。当第一静电荷消除单元33a从控制单元32接收到指令时，开始清洁放电电极的清洁操作(步骤SSS3)。在从第一静电荷消除单元33a开始清洁操作起经过预定的等待时间t₁(SSS4)之后，控制单元32向第二静电荷消除单元33b发送开始进行清洁操作的指令。第二静电荷消除单元33b接收控制单元32所发送的指令，并且开始清洁放电电极的清洁操作(SSS5)。同样，以相同的方式清洁与控制单元32连接的其它静电荷消除单元33c、33d(SSSn)。如上所述，在经过等待时间t₁之后，静电荷消除单元33a至33d依次执行清洁放电电极的清洁操作。

在所有的静电荷消除单元33a至33d已完成清洁操作之后，当从第一静电荷消除单元33a开始起经过预定的循环时间t₂(SSSn+1)时，控制单元32向第一静电荷消除单元33a发送开始清洁放电电极的第二次清洁操作的指令。第一静电荷消除单元33a从控制单元32接收指令，并且开始清洁放电电极的第二次清洁操作(SSSn+2)。以相同的方式，其它静电荷消除单元33b至33d执行第二次清洁操作(SSSn+2至SSSn+n)。在经过循环时间t₂之后，各静电荷消除单元33a至33d依次重复执行操作，以对放电电极进行清洁。

就这一点而言，当等待时间t₁随机改变时，第一静电荷消除单元33a的清洁操作和第二静电荷消除单元33b的清洁操作之间的间隔可以是恒定或可变的。或者，可以采用以下的构成方式。如图17中所示，作为静电荷消除单元43b至43d的多个从单元45连接到主单元44，主单元44具有位于同一外壳内的控制单元41和静电荷消除单元43a，使得系统可以得以构成。在这种情况下，不必提供将处于同一外壳(主单元44)中的控制单元41连接到静电荷消除单元43a的通信部分。控制单元41和静电荷消除单元43a可以通过电源线彼此进行通信。或者，控制单元41和静电荷消除单元43a可以通过以不同于电源线的方式布置的通信线彼此进行通信。

在本说明书中，以上说明了离子发生器和静电荷消除系统。然而，应该注意，本发明不受以上公开的实施例限制，并且可以对本发明进行变形和改进。在本说明书中，对离子发生器3a至3d以及23a至23d进行说明，这些离子发生器具有用于清洁放电电极的清洁部分。然而，作为清洁部分的替代，改变风向的风向改变功能可以是功能部分，也就是说，应该注意，功能部分的形式不受具体实施例限制。另外，离子发生器可以设置有整流器或变压器，并且可以转换并消耗从电源2所发送的电功率。

Claims

1.一种离子发生器，其用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体，并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的所述静电荷，所述离子发生器包括：

控制部分；

功能部分，当从所述控制部分向所述功能部分发送指令时，所述功能部分进行操作；

第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分在第一次执行操作的时刻的等待时间；以及

第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间。

2.根据权利要求1所述的离子发生器，其中所述功能部分是清洁部分，用于清洁与对向电极一起产生电晕放电的放电电极。

3.根据权利要求1或2所述的离子发生器，其中所述第一计时器包括用于设置所述第一计时器中的所述等待时间的随机电路。

4.根据权利要求1至2中的一项所述的离子发生器，所述离子发生器进一步包括：

控制单元，所述控制单元具有所述控制部分、所述第一计时器和所述第二计时器；以及

多个静电荷消除单元，所述多个静电荷消除单元分别具有所述功能部分，

其中所述控制部分使所述第一计时器测量所述等待时间并且还使所述第二计时器测量所述循环时间，并且控制所述多个静电荷消除单元，使得所述静电荷消除单元的所述功能部分可以依次进行操作。

5.根据权利要求1至2中的一项所述的离子发生器，所述离子发生器进一步包括：

信号检测部分，所述信号检测部分用于检测与多个离子发生器电连接的公共操作信号线的电压电平；以及

信号输出部分，所述信号输出部分用于向所述公共操作信号线输出操作信号，以便当所述功能部分进行操作时将所述公共操作信号线的电压电平降低至低于预定电压电平的值，

其中所述控制部分根据所述信号检测部分检测到的所述电压电平来判断操作所述功能部分的时序。

6.一种具有多个离子发生器的静电荷消除系统，所述多个离子发生器用于当空气离子被鼓吹到带静电荷的物体，并且当所述静电荷将从所述物体被消除时，通过中和所述静电荷来消除所述物体中的静电荷，其中从公共电源向所述多个离子发生器提供电功率，各离子发生器包括：

控制部分；

第一计时器，所述第一计时器用于测量从电源导通的时刻到所述功能部分第一次执行操作的时刻的等待时间；以及

第二计时器，所述第二计时器用于测量循环时间，使得所述功能部分可在第二次或随后将所述操作重复执行预定的循环时间，其中，

在所述功能部分的操作时序移位的同时，各离子发生器操作所述功能部分。