CN1783607A - 电离器 - Google Patents

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Abstract

使电离器中的筒状外壳内的空气流路具有在确保有效截面积的同时不会体积增大的耐压性，流路的确保也变得简单容易。为此，具备在内部容纳高压电源单元(2)及控制单元(3)的筒状外壳(1)，并沿该外壳(1)的纵向排列多个具有电极针(5a、5b)以及向其周围喷出空气流的空气吹出口(6)的电极单元(4)。其中，利用合成树脂形成上述筒状外壳的沿纵向的一部分，在由该合成树脂构成的树脂外壳(12)上一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁、在该外壳(12)的纵向上延伸的空气流路(15)的流路筒(12b)，并使该空气流路连通到上述空气吹出口(6)。

Description

电离器
技术领域
本发明涉及用于对利用正极性或者负极性的电荷而带电的各种带电物、例如半导体相关联的除电对象物等进行除电的电离器。
背景技术
以往，作为用于使除电对象物的带电量接近零的装置，对电极针外加来自高电压发生部的直流高电压或交流高电压使之进行电晕放电，使之由该电极针输出正或者负极性的离子，并利用空气流将此离子吹到带电体上的电离器(ionizer：离子发生器)为公众所知。
另外，还公知为了谋求此电离器的使用方便，通过具备在内部容纳高压电源单元及控制单元的筒状外壳，并沿该外壳的纵向(长度方向、轴向)排列多个具有电晕放电用的电极针的电极单元由此来构成的情况(例如，参照专利文献1)。
在将电离器如上述那样作为容纳于筒状外壳来进行构成的情况下，由于需要在电极针的周围流过空气流，以使所发生的离子流向带电体的方向，所以在电极针的周围开设来自用于使该空气流发生的供给源的空气流路，为此，如上述专利文献1所示那样，通常的例子是借助于在空气流路中将用于支撑电极针的部分作为套筒(sleeve)等形成的、相互接合的上下的扁平板状流路形成部材的接合来形成空气流路。
但是，在此情况下，由于是将面积比较大的上下的板状流路形成部材接合起来形成空气流路，所以因送给到内部的空气压力而作用于各个流路形成部材的作用力就非常大，若不充分提高接合强度就无法承受内部的空气压力，结果就有高强度、大型地形成流路形成部材、或者将进行送给的空气压力降低等限制。
另外，由于上述流路形成部材与筒状的外壳不是一体，所以就需要经由筒状外壳的一部分使之连通到外部，为此，就需要利用管道(tube)的连接等烦杂的组装作业。
【专利文献1】日本专利公开特开2002-260821号公报
发明内容
本发明的技术性课题在于提供一种使筒状外壳内的空气流路具有在确保有效截面积的同时不会体积增大的耐压性，流路的确保也简单容易的电离器。
本发明的技术方案提供一种用于解决上述课题的电离器，具备在内部容纳高压电源单元及控制单元的筒状外壳，并沿该外壳的纵向排列多个电极单元而成，该电极单元具有用于电晕放电的电极针及向其周围喷出空气流的空气吹出口，所述电离器的特征是：利用合成树脂形成上述筒状外壳的全部或者沿纵向的一部分，在由该合成树脂构成的树脂外壳上一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁、在该外壳的纵向上延伸的空气流路的流路筒，并使该空气流路连通到上述空气吹出口。
在本发明的电离器的优选实施方式中，在保持上述高压电源单元以及控制单元的外壳底座上，以覆盖这些单元的形态被覆一体地形成上述空气流路的流路筒而成的树脂外壳，在此情况下，还能够将上述树脂外壳中的空气流路设为沿着外壁面的扁平流路而一体地形成，由此就能够一边将空气流路的截面积取得较大一边使外壳内的空间宽广。
另外，在本发明的电离器其他优选实施方式中，利用由合成树脂构成的外壳形成保持上述高压电源单元以及控制单元的外壳底座，并在这些高压电源单元及控制单元上被覆保护盖，在上述底座上一体地形成上述空气流路的流路筒。
在本发明的上述实施方式中，能够在封闭上述树脂外壳的端部的端板上，开设与该树脂外壳内的空气流路直接连通的空气供给开口。
在本发明的电离器进一步的其他优选实施方式中，构成为上述电极单元具备将正以及负的高电压个别地进行外加的、一对相对配置的第1及第2电极针，上述控制单元进行以下控制，即切换成在对上述第1电极针外加正的高电压的同时将第2电极针接地的通电状态，和在将上述第1电极针接地的同时对上述第2电极针外加负的高电压的通电状态。
具有上述构成的本发明的电离器，沿筒状外壳的纵向排列多个电极单元，该电极单元具有用于电晕放电的电极针及向其周围喷出空气流的空气吹出口，其中：利用合成树脂形成上述筒状外壳的全部或者沿纵向的一部分，在由该合成树脂构成的树脂外壳上一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁、在该外壳的纵向上延伸的空气流路的流路筒，所以与利用一对板状的流路形成部材的接合来形成该空气流路的形成部材的情况相比，就能够在耐压性上极其出色地进行形成。
而且，通过在封闭树脂外壳的端部的端板，开设与该树脂外壳内的空气流路直接连通的空气供给开口，就能够将上述空气流路连接到压缩空气的供给源，所以压缩空气的供给系统的构成就得以简化。
根据以上所详述的本发明的电离器，就能够使筒状外壳内的空气流路具有在确保有效截面积的同时不会体积增大的耐压性，流路的确保也变得简单容易。
附图说明
图1是表示与本发明相关的电离器的第1实施例的模式的构成图。
图2是上述第1实施例的要部扩大截面图。
图3是与本发明相关的电离器的第2实施例中的树脂外壳的扩大截面图。
图4是第3实施例中的树脂外壳的扩大截面图。
图5是与本发明相关的电离器的第4实施例的要部扩大截面图。
具体实施方式
图1表示与本发明相关的电离器的第1实施例的整体构成，在图2中表示出其要部截面。
此电离器在沿输送线所移送的除电对象物等上相对配置来进行使用，在采用横置较长的筒状的外壳1的内部容纳高压电源单元2以及控制单元3，同时在该外壳1的一侧(下侧)沿该外壳的纵向(长度方向)排列着多个具有电晕放电用的电极针5a、5b以及向其周围喷出空气流的空气吹出口6的电极单元4。
在与本发明相关的电离器中，能够利用合成树脂形成上述筒状外壳1的全部或者沿纵向的一部分，在该第1实施例中，通过在保持上述高压电源单元2以及控制单元3的外壳底座11上被覆对这些单元2、3进行覆盖的形态的树脂外壳12，来构成上述筒状的外壳1。底座11能够利用合成树脂或者其他材料来构成。
上述树脂外壳12利用合成树脂一体地形成覆盖高压电源单元2以及控制单元3的覆盖部12a、和将其内壁的一部分作为流路筒壁在内部形成沿该外壳1的纵向延伸的空气流路15的流路筒12b，并能够将其覆盖部12a的两脚部固定于外壳底座11的侧缘。
另外，在上述树脂外壳12中具有封闭其端部的端板13，该端板13至少通过密封部件的挟持将该树脂外壳12内的空气流路15的周围气密地进行密封后连结到该树脂外壳12，并在该端板13上开设有与该空气流路15直接连通的空气供给开口(port：进出口)14。
在上述树脂外壳12中的流路筒12b上对应于电极单元4的配设间隔设置有将该空气流路15分支后使之连通到各电极单元4的多个分支管16。虽然设该分支管16与上述流路筒12b一体地形成来图示，但还能够设为与流路筒12b不是一体，并利用粘结以及其他手段固定到该流路筒12b的外面，由此就可使树脂外壳12的形状单纯化而使其成形容易地进行。
然后，上述分支管16经由省略图示处的、贯通高压电源单元2或者控制单元3的流路、或者避开这些单元2、3的流路，使之连通到向各电极单元4中的电极针5a、5b的周围喷出空气流的空气吹出口6。若设置这样的空气吹出口6，就能够用空气流将在一对电极针5a、5b间所生成的离子送到除电对象物的附近，高效率地进行除电。
上述电极单元4，贯通外壳底座11并以排列多个由绝缘材料组成的保持筒18的状态使之突出到下面，在该保持筒18内相对配置了将正以及负的高电压个别地进行外加的一对第1及第2电极针5a、5b，以通过利用上述控制单元3的后述控制对该电极针5a、5b外加由上述高压电源单元2所发生的电晕放电用的正或者负的高电压。
上述高压电源单元2为了对电极针5a、5b外加电晕放电用的高电压，而具备用于使该高电压发生的要素，另外，上述控制单元3构成为除此电离器的整体动作控制、动作状态的显示以外，还对向电极针的电压外加进行以下控制，即，切换成在对上述第1的电极针5a外加正的高电压的同时将第2电极针5b接地的通电状态，和在将上述第1电极针5a接地的同时对上述第2电极针5b外加负的高电压的通电状态。
这样，相对配置一对电极针5a、5b，若在对一方的电极针外加高电压时将另一方的电极针接地，则不需要设置在通常的电离器中所用的进行了接地的接地导板(ground plate)，同时还能够使正负离子有效率地生成来进行除电。
此外，作为上述电极单元4，并不限于上述的相对配置了第1及第2电极针5a、5b的情况，还能够利用已有的各种电极针，在此情况下，控制单元3中的针对电极针的通电控制当然也与上述情形不同，需要采用适合于该电极针的控制形态。
具有上述构成的电离器，通过沿筒状外壳1的纵向排列多个具有电晕放电用的电极针5a、5b以及向其周围喷出空气流的空气吹出口6的电极单元4来构成，在沿上述筒状外壳1的纵向设置的树脂外壳12上，将其内壁的一部分作为流路筒壁而一体地形成在该树脂外壳12的纵向延伸的空气流路15的流路筒12b，所以与通过一对板状的流路形成部材的接合来形成该空气流路的形成部材的情况相比，就能够极其高强度地进行形成。
而且，通过在封闭树脂外壳12的端部的端板13上开设与该树脂外壳12内的空气流路直接连通的空气供给开口14，就能够将上述空气流路连接到压缩空气的供给源，所以压缩空气的供给系统的构成就得以简化。
此外，由于该端板13对树脂外壳12内的细长的空气流路的端部进行闭锁，空气流路内的空气压力作用的面积就非常小，所以即便与树脂外壳12接合也不会受到由空气压力所造成的较大的作用力。
图3以及图4是表示与本发明相关的电离器的第2及第3实施例中的仅树脂外壳的截面形状。
图3的第2实施例，与上述第1实施例的情况同样地将形成筒状外壳1的合成树脂制造的树脂外壳22中的空气流路25设为沿着外壁面的扁平流路而一体地进行形成，由此就能够一边将空气流路25的截面积较大地取得一边使筒状外壳1内的空间宽广。此外，图中26表示分支管。
另外，图4所示的第3实施例，使同样的树脂外壳32中的空气流路35的截面积的扩大优先进行，在将分支管36数目进行了增多等情况下较为有利。
此外，由于上述第2及第3实施例中的其他结构和作用与第1实施例的情况没有不同之处，故它们的图示及说明省略。
进而，图5表示与本发明相关的电离器的第4实施例，通过由合成树脂组成的外壳来形成保持上述高压电源单元2及控制单元3的外壳底座41，在这些高压电源单元2及控制单元3上被覆保护盖42，在上述底座41内，一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁的、形成空气流路45的流路筒，使该空气流路45连通到在电极单元4中的电极针5a、5b的周围喷出空气流的空气吹出口46。
上述电极单元4使外壳底座41内的空气流路45贯通，以排列多个由绝缘材料组成的保持筒48的状态使之突出到该外壳底座41的下面，在该保持筒48内相对配置上述一对电极针5a、5b，同时在该保持筒48上开设从空气流路45向电极针5a、5b的周围喷出空气流的空气吹出口46。
此外，该第4实施例的其他结构和作用与第1实施例没有不同之处。

Claims (6)

1.一种电离器，具备在内部容纳高压电源单元及控制单元的筒状外壳，并沿该外壳的纵向排列多个电极单元而成，该电极单元具有用于电晕放电的电极针以及向其周围喷出空气流的空气吹出口，所述电离器的特征在于：
利用合成树脂形成上述筒状外壳的全部或者沿纵向的一部分，在由该合成树脂构成的树脂外壳上一体地形成将其内壁的一部分作为流路筒壁、在该外壳的纵向上延伸的空气流路的流路筒，并使该空气流路连通到上述空气吹出口。
2.根据权利要求1所述的电离器，其特征在于：
在保持上述高压电源单元及控制单元的外壳底座上，以覆盖这些单元的形态被覆一体地形成上述空气流路的流路筒而成的树脂外壳。
3.根据权利要求2所述的电离器，其特征在于：
在覆盖上述高压电源单元及控制单元的树脂外壳上，将上述空气流路设为沿着覆盖上述两单元的外壁面的扁平流路而一体地形成。
4.根据权利要求1所述的电离器，其特征在于：
利用由合成树脂构成的外壳形成保持上述高压电源单元以及控制单元的外壳底座，并在这些高压电源单元及控制单元上被覆保护盖，在上述底座上一体地形成上述空气流路的流路筒。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的电离器，其特征在于：
在封闭上述树脂外壳的端部的端板上，开设与该树脂外壳内的空气流路直接连通的空气供给开口。
6.根据权利要求1～4中任意一项所述的电离器，其特征在于：
上述电极单元具备将正以及负的高电压个别地进行外加的、一对相对配置的第1及第2电极针，
上述控制单元进行以下控制，即切换成在对上述第1电极针外加正的高电压的同时将第2电极针接地的通电状态，和在将上述第1电极针接地的同时对上述第2电极针外加负的高电压的通电状态。
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