KR20060060571A

KR20060060571A - 이오나이저

Info

Publication number: KR20060060571A
Application number: KR1020050112450A
Authority: KR
Inventors: 노부히로 후지와라; 시게루 코모리야; 노리아키 쿠사바; 사토시 스즈키
Original assignee: 에스엠시 가부시키가이샤
Priority date: 2004-11-30
Filing date: 2005-11-23
Publication date: 2006-06-05
Also published as: US7391598B2; TW200633335A; JP2006156219A; CN1783607A; TWI284444B; CN1783607B; US20060114636A1; DE102005056595A1; JP4345060B2; KR100751269B1; DE102005056595B4

Abstract

본 발명은 이오나이저(ionizer)에 있어서의 통 형상 케이스 내의 공기 유로를 유효 단면적을 확보하면서 부피가 커지지 않고 내압성이 있는 것으로 하며, 유로의 확보도 간단하고 용이하게 하는 것을 과제로 한다.

이를 위해, 내부에 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)을 수용하는 통 형상의 케이스(1)를 구비한 이오나이저에 있어서, 상기 케이스(1)의 길이 방향을 따라 전극침(5a, 5b) 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구(6)를 갖는 전극 유닛(4)의 복수를 나열하여 설치한다. 상기 통 형상의 케이스의 길이 방향을 따르는 일부를 합성 수지에 의해 형성하고, 상기 합성 수지로 이루어지는 수지 케이스(12)에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 케이스(12)의 길이 방향으로 연장되는 공기 유로(15)의 유로통(12b)을 일체로 형성하며, 상기 공기 유로를 상기 공기 분출구(6)에 연통시킨다.

이오나이저

Description

이오나이저{IONIZER}

도 1은 본 발명에 의한 이오나이저의 제 1 실시예를 도시하는 모식적 구성 도이다.

도 2는 상기 제 1 실시예의 요부 확대 단면도이다.

도 3은 본 발명에 의한 이오나이저의 제 2 실시예에 있어서의 수지 케이스의 확대 단면도이다.

도 4는 동 제 3 실시예에 있어서의 수지 케이스의 확대 단면도이다.

도 5는 본 발명에 의한 이오나이저의 제 4 실시예의 요부 확대 단면도이다.

[부호의 설명]

1: 케이스 2: 고압 전원 유닛

3: 제어 유닛 4: 전극 유닛

5a, 5b: 전극침 6, 46: 공기 분출구

11, 41: 케이스대 패널 12, 22, 32: 수지 케이스

12a: 커버부 12b: 유로통

13: 끝판 14: 공기 공급 포트

15, 25, 35, 45: 공기 유로 16, 26, 36: 분기관

18, 48: 유지통 42: 보호 커버

본 발명은 정(正)극성 또는 부(負)극성의 전하에 의해 대전되고 있는 각종 대전물, 예를 들면 반도체 관련 제전(除電) 대상물 등에 대해서 제전을 행하기 위한 이오나이저에 관한 것이다.

종래부터, 제전 대상물의 대전량을 제로에 가깝게 하기 위한 수단으로서 전극침에 고전압 발생부로부터의 직류 고전압 또는 교류 고전압을 인가하여 코로나 방전시키고, 상기 전극침에 의해 정 또는 부극성의 이온을 출력시켜 이 이온을 대전체에 공기유(空氣流)로 내뿜도록 한 이오나이저가 알려져 있다.

또한, 이 이오나이저의 사용의 편리를 꾀하기 위해서 내부에 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 수용하는 통 형상의 케이스를 구비하고, 상기 케이스의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침을 갖는 전극 유닛의 복수를 나열하여 설치함으로써 구성한 것도 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌1 참조).

이오나이저를 상기한 바와 같이 통 형상의 케이스에 수용한 것으로서 구성할 경우, 전극침의 주위에 공기류를 흘려서 발생한 이온을 대전체의 방향으로 흘리도록 할 필요가 있으므로 그 공기류를 발생시키기 위한 공급원으로부터의 공기 유로를 전극침의 주위에 개구시키지만, 그것을 위해서는 상기 특허문헌1에 나타나 있는 바와 같이 공기 유로 중에 전극침을 지지하기 위한 부분을 슬리브 등으로서 형성한, 서로 접합되는 상하의 편평판 형상의 유로 형성 부재의 접합에 의해 공기 유로 를 형성하는 것이 일반적이다.

그러나, 이 경우에는 비교적 면적이 큰 상하의 판 형상의 유로 형성 부재를 접합해서 공기 유로를 형성하게 되므로 내부에 공급되는 공기 압력에 의해 각각의 유로 형성 부재에 작용하는 힘이 대단히 크게 되고, 접합 강도를 충분히 높이지 않으면 내부의 공기 압력에 견딜 수 없어, 결과적으로 유로 형성 부재를 고강도의 대형으로 형성하던지 공급되는 공기 압력을 낮게 하는 등의 제약이 있다.

또한, 상기 유로 형성 부재는 통 형상의 케이스와는 별체(別體)가 되기 때문에 통 형상 케이스의 일부를 지나서 외부로 연통시킬 필요가 있지만, 그것을 위해서는 튜브에 의한 접속 등의 번잡한 부착 작업이 필요하게 된다.

[특허문헌1] 일본 특허공개 2002-260821호 공보

본 발명의 기술적 과제는 통 형상 케이스 내에 있어서의 공기 유로를 유효 단면적을 확보하면서 부피가 커지지 않고 내압성이 있는 것으로 하며, 유로의 확보도 간단하고 용이하게 한 이오나이저를 제공하는 것에 있다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 이오나이저는 내부에 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 수용하는 통 형상의 케이스를 구비하고, 상기 케이스의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구를 갖는 전극 유닛의 복수를 나열하여 설치해서 이루어지는 이오나이저에 있어서, 상기 통 형상의 케이스의 전부 또는 길이 방향을 따르는 일부를 합성 수지에 의해 형성하고, 상기 합성 수지로 이루어지는 수지 케이스에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 케이스의 길이 방향으로 연장되는 공기 유로의 유로통을 일체로 형성하며, 상기 공기 유로를 상기 공기 분출구에 연통시킨 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 이오나이저의 바람직한 실시형태에 있어서는 상기 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 유지하는 케이스대 패널에 그것들의 유닛을 커버하는 형태로 상기 공기 유로의 유로통을 일체로 형성해서 이루어지는 수지 케이스가 피착되고, 그 경우에 상기 수지 케이스에 있어서의 공기 유로를 외벽면을 따르게 한 편평한 것으로서 일체로 형성할 수도 있으며, 이것에 의해 공기 유로의 단면적을 크게 취하면서 케이스 내의 공간을 넓게 할 수 있다.

또한, 본 발명의 이오나이저의 다른 바람직한 실시형태에 있어서는 상기 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 유지하는 케이스대 패널을 합성 수지로 이루어지는 케이스에 의해 형성하고, 그것들의 고압 전원 유닛 및 제어 유닛에 보호 커버를 피착하며 상기 케이스대 패널에 상기 공기 유로의 유로통이 일체로 형성된다.

본 발명의 상기 실시형태에 있어서는 상기 수지 케이스의 끝부를 폐쇄하는 끝판에 상기 수지 케이스 내의 공기 유로와 직접 연통되는 공기 공급 포트를 개구시킬 수 있다.

본 발명의 이오나이저의 또 다른 바람직한 실시형태에 있어서는 상기 전극 유닛은 정 및 부의 고전압이 개별적으로 인가되는 한 쌍의 대향 배치된 제 1 및 제 2 전극침을 구비하고, 상기 제어 유닛은 상기 제 1 전극침에 정의 고전압을 인가함 과 동시에 제 2 전극침을 어스(earth)에 접속하는 통전 상태와, 상기 제 1 전극침을 어스에 접속함과 동시에 상기 제 2 전극침에 부의 고전압을 인가하는 통전 상태로 스위칭하는 제어를 행하는 것으로서 구성된다.

상기 구성을 갖는 본 발명의 이오나이저는 통 형상의 케이스의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구를 갖는 전극 유닛의 복수를 나열하여 설치한 이오나이저에 있어서, 상기 통 형상의 케이스의 전부 또는 길이 방향을 따르는 일부를 합성 수지에 의해 형성하고, 상기 합성 수지로 이루어지는 수지 케이스에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 케이스의 길이 방향으로 연장되는 공기 유로의 유로통을 일체로 형성하고 있으므로, 상기 공기 유로의 형성 부재를 한 쌍의 판 형상의 유로 형성 부재의 접합에 의해 형성할 경우와 비교하여 매우 내압성에 있어서 뛰어난 것으로 형성할 수 있다.

또한, 수지 케이스의 끝부를 폐쇄하는 끝판에 상기 수지 케이스 내의 공기 유로와 직접 연통되는 공기 공급 포트를 개구시킴으로써 상기 공기 유로를 압축 공기의 공급원에 접속할 수 있으므로, 압축 공기 공급계의 구성이 간단화된다.

도 1은 본 발명에 의한 이오나이저의 제 1 실시예의 전체적인 구성을 도시하고, 도 2에는 그 요부 단면을 도시하고 있다.

이 이오나이저는 반송(搬送) 라인을 따라 이송되는 제전 대상물 등에 대향 배치되어 사용하는 것으로, 긴 횡 배치의 통 형상을 이루는 케이스(1)의 내부에 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)을 수용함과 아울러 상기 케이스(1)의 일측(하측)에 상기 케이스의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침(5a, 5b) 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구(6)를 갖는 전극 유닛(4)의 복수를 나열하여 설치하고 있다.

본 발명에 의한 이오나이저에 있어서는 상기 통 형상의 케이스(1)의 전부 또는 길이 방향을 따르는 일부를 합성 수지에 의해 형성할 수 있지만, 이 제 1 실시예에 있어서는 상기 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)을 유지하는 케이스대 패널(11)에 그것들의 유닛(2, 3)을 커버하는 형태의 수지 케이스(12)를 피착함으로써, 상기 통 형상의 케이스(1)를 구성하고 있다. 케이스대 패널(11)은 합성 수지 또는 기타의 소재에 의해 구성할 수 있다.

상기 수지 케이스(12)는 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)을 커버하는 커버부(12a)와 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 케이스(1)의 길이 방향으로 연장되는 공기 유로(15)를 내부에 형성하는 유로통(12b)을 합성 수지에 의해 일체로 형성한 것이며, 그 커버부(12a)의 양 각부(脚部)를 케이스대 패널(11)의 측 가장자리에 고정할 수 있게 하고 있다.

또한, 상기 수지 케이스(12)에는 그 끝부를 폐쇄하는 끝판(13)을 구비하고, 이 끝판(13)은 적어도 상기 수지 케이스(12) 내의 공기 유로(15)의 주위를 밀봉 부재의 협착(挾着)에 의해 기밀하게 밀봉해서 상기 수지 케이스(12)에 연결되며, 상기 끝판(13)에 상기 공기 유로(15)와 직접 연통하는 공기 공급 포트(14)를 개구시키고 있다.

상기 수지 케이스(12)에 있어서의 유로통(12b)에는 그 공기 유로(15)를 분기해서 각 전극 유닛(4)에 연통시키는 복수의 분기관(16)을 전극 유닛(4)의 배치 간 격에 대응시켜서 설치하고 있다. 이 분기관(16)은 상기 유로통(12b)과 일체로 형성된 것으로서 도시하고 있지만, 유로통(12b)과는 별체의 것으로서 상기 유로통(12b)의 외면에 접착하여 기타의 수단으로 고정할 수도 있고, 이것에 의해 수지 케이스(12)의 형상을 단순화해서 그 성형을 쉽게 할 수 있다.

그리고, 상기 분기관(16)은 도시를 생략하고 있는 바, 고압 전원 유닛(2) 또는 제어 유닛(3)을 관통하는 유로 또는 그것들의 유닛(2, 3)을 비켜간 유로를 지나고, 각 전극 유닛(4)에 있어서의 전극침(5a, 5b)의 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구(6)로 연통시키고 있다. 이러한 공기 분출구(6)를 설치하면 한 쌍의 전극침(5a, 5b) 사이에서 생성된 이온을 공기류로 제전 대상물의 부근에 보내어 고능률적으로 제전할 수 있다.

상기 전극 유닛(4)은 케이스대 패널(11)을 관통하고 절연 재료로 이루어지는 유지통(18)의 복수를 나열하여 설치한 상태에서 밑면에 돌출시켜, 상기 유지통(18) 내에 정 및 부의 고전압이 개별적으로 인가되는 한 쌍의 제 1 및 제 2 전극침(5a, 5b)을 대향 배치한 것으로, 상기 고압 전원 유닛(2)에서 발생시킨 코로나 방전을 위한 정 또는 부의 고전압을 상기 제어 유닛(3)에 의한 후술하는 제어에 의해 그 전극침(5a, 5b)에 인가하도록 하고 있다.

상기 고압 전원 유닛(2)은 전극침(5a, 5b)에 대하여 코로나 방전을 위한 고전압을 인가하기 때문에 그 고전압을 발생시키기 위한 요소를 구비하는 것이며, 또한 상기 제어 유닛(3)은 이 이오나이저의 전체적인 동작 제어, 동작 상태의 표시 외, 전극침으로의 전압 인가를 상기 제 1 전극침(5a)에 정의 고전압을 인가함과 동 시에 제 2 전극침(5b)을 어스에 접속하는 통전 상태와, 상기 제 1 전극침(5a)을 어스에 접속함과 동시에 상기 제 2 전극침(5b)에 부의 고전압을 인가하는 통전 상태로 스위칭하는 제어를 행하는 것으로서 구성하고 있다.

이와 같이, 한 쌍의 전극침(5a, 5b)을 대향 배치하고, 한 쪽의 전극침에 고전압을 인가하고 있을 때에 다른 쪽의 전극침을 어스에 접속하면, 일반적인 이오나이저에 있어서 사용되고 있는 접지된 그라운드 플레이트의 설치를 필요없게 하면서, 정부의 이온을 효율적으로 생성시켜 제전을 행할 수 있다.

또한, 상기 전극 유닛(4)으로서는 상기한 제 1 및 제 2 전극침(5a, 5b)을 대향 배치한 것에 한정되는 것은 아니고, 공지의 각종 전극침을 이용할 수 있고, 그 경우 당연히 제어 유닛(3)에 있어서의 전극침으로의 통전 제어도 상기한 바 와는 달리 그 전극침에 적합한 제어 상태로 할 필요가 있다.

상기 구성을 갖는 이오나이저는 통 형상의 케이스(1)의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침(5a, 5b) 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구(6)를 갖는 전극 유닛(4)의 복수를 나열하여 설치함으로써 구성하고, 상기 통 형상의 케이스(1)의 길이 방향을 따라서 설치한 수지 케이스(12)에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 수지 케이스(12)의 길이 방향으로 연장되는 공기 유로(15)의 유로통(12b)을 일체로 형성하고 있으므로, 상기 공기 유로의 형성 부재를 한 쌍의 판 형상의 유로 형성 부재의 접합에 의해 형성할 경우에 비해 매우 고강도로 형성할 수 있다.

또한, 수지 케이스(12)의 끝부를 폐쇄하는 끝판(13)에 상기 수지 케이스(12) 내의 공기 유로와 직접 연통하는 공기 공급 포트(14)를 개구시킴으로써 상기 공기 유로를 압축 공기의 공급원에 접속할 수 있으므로, 압축 공기 공급계의 구성이 간단화된다.

또한, 이 끝판(13)은 수지 케이스(12) 내의 가늘고 긴 공기 유로의 끝부를 폐쇄하는 것으로, 공기 유로 내의 공기 압력이 작용하는 면적이 대단히 작기 때문에 수지 케이스(12)에 접합되어 있어도 공기 압력에 의한 큰 힘을 받는 일은 없다.

도 3 및 도 4는 본 발명에 의한 이오나이저의 제 2 및 제 3 실시예에 있어서의 수지 케이스만의 단면 형상을 도시하고 있다.

도 3의 제 2 실시예는 상기 제 1 실시예의 경우와 마찬가지로, 통 형상의 케이스(1)를 형성하는 합성 수지제의 수지 케이스(22)에 있어서의 공기 유로(25)를 외벽면을 따르게 한 편평한 것으로서 일체로 형성한 것으로, 이것에 의해 공기 유로(25)의 단면적을 크게 취하면서 통 형상의 케이스(1) 내의 공간을 넓게 할 수 있다. 또한, 도면 내의 26은 분기관을 도시하고 있다.

또한, 도 4에 도시한 제 3 실시예는 같은 수지 케이스(32)에 있어서의 공기 유로(35)의 단면적의 확대를 우선한 것으로, 분기관(36)의 수를 많게 했을 경우 등에 유리한 것이다.

또한, 상기 제 2 및 제 3 실시예에 있어서의 기타의 구성 및 작용은 제 1 실시예의 경우와 바뀌는 바가 없으므로, 그것들의 도시 및 설명은 생략한다.

또한, 도 5는 본 발명에 의한 이오나이저의 제 4 실시예를 도시한 것으로, 상기 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)을 유지하는 케이스대 패널(41)을 합성 수 지로 이루어지는 케이스에 의해 형성하고, 그것들의 고압 전원 유닛(2) 및 제어 유닛(3)에 보호 커버(42)를 피착하며, 상기 케이스대 패널(41) 내에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 하는 공기 유로(45)를 형성하는 유로통을 일체로 형성하고, 상기 공기 유로(45)를 전극 유닛(4)에 있어서의 전극침(5a, 5b)의 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구(46)로 연통시키고 있다.

상기 전극 유닛(4)은 케이스대 패널(41) 내의 공기 유로(45)를 관통시키고 절연 재료로 이루어지는 유지통(48)의 복수를 나열하여 설치한 상태에서 상기 케이스대 패널(41)의 밑면에 돌출시키고, 상기 유지통(48) 내에 상기 한 쌍의 전극침(5a, 5b)을 대향 배치함과 아울러 상기 유지통(48)에 공기 유로(45)로부터 전극침(5a, 5b)의 주위로 공기류를 분출하는 공기 분출구(46)를 개설(開設)한 것이다.

또한, 이 제 4 실시예의 기타의 구성 및 작용은 제 1 실시예와 변경되는 점이 없다.

이상에서 상세히 설명한 본 발명의 이오나이저에 의하면 통 형상 케이스 내에 있어서의 공기 유로를 유효 단면적을 확보하면서 부피가 커지지 않고 내압성이 있는 것으로 하며, 유로의 확보도 간단하고 용이하게 할 수 있다.

Claims

내부에 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 수용하는 통 형상의 케이스를 구비하고, 상기 케이스의 길이 방향을 따라서 코로나 방전을 위한 전극침 및 그 주위에 공기류를 분출하는 공기 분출구를 갖는 전극 유닛의 복수를 나열하여 설치해서 이루어지는 이오나이저에 있어서;

상기 통 형상의 케이스의 전부 또는 길이 방향을 따르는 일부를 합성 수지에 의해 형성하고, 상기 합성 수지로 이루어지는 수지 케이스에 그 내벽의 일부를 유로통 벽으로 해서 상기 케이스의 길이 방향으로 연장하는 공기 유로의 유로통을 일체로 형성하며, 상기 공기 유로를 상기 공기 분출구로 연통시킨 것을 특징으로 하는 이오나이저.
제 1 항에 있어서,

상기 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 유지하는 케이스대 패널에 그것들의 유닛을 커버하는 형태로 상기 공기 유로의 유로통을 일체로 형성해서 이루어지는 수지 케이스를 피착한 것을 특징으로 하는 이오나이저.
제 2 항에 있어서,

상기 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 커버하는 수지 케이스에 상기 공기 유로를 상기 양 유닛을 커버하는 외벽면을 따르게 한 편평한 것으로서 일체로 형성 한 것을 특징으로 하는 이오나이저.
제 1 항에 있어서,

상기 고압 전원 유닛 및 제어 유닛을 유지하는 케이스대 패널을 합성 수지로 이루어지는 케이스에 의해 형성하고, 그것들의 고압 전원 유닛 및 제어 유닛에 보호 커버를 피착하며, 상기 케이스대 패널에 상기 공기 유로의 유로통을 일체로 형성한 것을 특징으로 하는 이오나이저.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 수지 케이스의 끝부를 폐쇄하는 끝판에 상기 수지 케이스 내의 공기 유로와 직접 연통하는 공기 공급 포트를 개구시킨 것을 특징으로 하는 이오나이저.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 전극 유닛은 정 및 부의 고전압이 개별적으로 인가되는 한 쌍의 대향 배치된 제 1 및 제 2 전극침을 구비하고,

상기 제어 유닛은 상기 제 1 전극침에 정의 고전압을 인가함과 동시에 제 2 전극침을 어스에 접속하는 통전 상태와, 상기 제 1 전극침을 어스에 접속함과 동시에 상기 제 2 전극침에 부의 고전압을 인가하는 통전 상태로 스위칭하는 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 이오나이저.