JP4811731B2 - イオナイザ - Google Patents

Description

本発明は、静電気で帯電した各種ワークの除電に使用するイオナイザに関するものである。

半導体ウエハや液晶ガラスなどの各種ワークの処理工程においては、静電気で帯電した該ワークの除電にイオナイザが使用される。このイオナイザは、電極針に正負の高電圧を印加することによってコロナ放電を生じさせ、そのとき発生する正負のイオンをエアでワークに吹き付けることによって静電気を中和させるものである。
この種のイオナイザにおいては、上記電極針が塵埃の付着等によって汚れ易く、その汚れが進行すると、徐々にコロナ放電が生じにくくなってイオンの生成量が減少していき、ついにはイオンが生成されなくなってしまうおそれがある。このため、電極針が汚れた際には、その都度該電極針の清掃や交換などの保守作業を行わなければならず、煩雑な保守作業をできるだけ簡単かつ安全に行うためには、上記電極針を収容部から簡単かつ安全に取り出すことができるようになっていることが重要である。

特許文献１には、放電針（電極針）のメンテナンスが容易なイオナイザとして、電極針ユニットを本体ケースに対して着脱自在としたものが開示されている。このものは、上記本体ケースに、イオン生成室となるエア噴射口を備えたノズルを設けると共に、上記電極針に高電圧を印加するための高電圧発生回路が搭載されたプリント配線基板を設け、上記ノズルのイオン生成室内に該ノズルの後方側から上記電極針ユニットを着脱自在としたものである。この構成により、上記電極針が汚れたときは、上記電極針ユニットをノズルから取り外すことで、該電極針の清掃や交換などを行うことができる。
特開２００４−２２８０６９号公報

ところが、上記特許文献に記載されたイオナイザは、上記本体ケースに、高電圧発生回路が搭載されたプリント配線基板やコネクタなどの電気関係の部品あるいは部分と、エア通孔や配管用接続ポートなどのエア関係の部品あるいは部分とを、全て組み込んでいるため、上記各部品や部分の配置や電気絶縁のための構造等によって該本体ケースの構造が複雑になると同時に大形化し易く、また、上記電極針ユニットを着脱する際に電極針が上記高電圧発生回路部に対して接続されたり切り離されたりするための機構も組み込む必要があるため、そのための構造も複雑であった。

そこで本発明の目的は、電極針や高電圧発生装置などの電気関係の部品及び部分と、ノズルやエア通孔及び配管用接続ポートなどのエア関係の部品及び部分とを、別々の部材に分けて設けることにより、それらの配置を容易にして構成を簡略化すると同時に、電極針の着脱を簡単かつ安全に行うことができるようにした、合理的設計構造を有するイオナイザを提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明は、イオン発生用の電極針を備えた電極針カートリッジと、電極針収容室を兼ねるエア噴出口を備えた本体ブロックとを、上記電極針を該エア噴出口内に挿入した状態で分離自在に連結することにより構成され、かつ、これらの電極針カートリッジと本体ブロックとを連結及び分離する際に、上記電極針が、上記エア噴出口内に、該エア噴出口の後端部側の電極針挿入口から挿脱されるように構成されたイオナイザにおいて、上記電極針カートリッジに、着脱自在の上記電極針と、該電極針に高電圧を印加するための高電圧発生装置とを設け、上記本体ブロックには、上記エア噴出口にエアを供給するためのエア通孔と、該エア通孔にエア配管を接続するための接続ポートとを設けてなることを特徴とするものである。

本発明においては、上記電極針カートリッジを非回転のまま前後方向にスライドさせるだけで、該電極針カートリッジが上記本体ブロックに対して着脱されると共に、上記電極針が上記エア噴出口内に挿脱されるように構成されていることが望ましい。

また、本発明において好ましくは、上記本体ブロックの前端部と電極針カートリッジの前端部とに、相互に当接し合う凸段部と凹段部とが形成され、凸段部の位置に上記エア噴出口が形成されると共に、凹段部の位置に上記電極針が形成されていることである。
より好ましくは、上記本体ブロックが、上記エア噴出口とエア通孔と接続ポートとが設けられたベース部と、該ベース部上に位置して上記電極針カートリッジを受容するカートリッジ受容部とを有し、上記ベース部の先端部上面には、上向きに立ち上がった上記凸段部が形成され、この凸段部の前面に上記エア噴出口が設けられると共に、該凸段部の後面に上記電極針挿入口が該エア噴出口と同心状に設けられており、また、上記電極針カートリッジは、上記本体ブロックと近似する前後方向長さを有していて、先端部下面に上記凸段部に適合する上記凹段部を有すると共に、この凹段部の位置に上記電極針が前方に延出した状態に取り付けられ、上記本体ブロックに対し、上記ベース部の上面をガイドとして前後方向にスライドさせることにより着脱されるように構成されていることである。

本発明においては、上記電極針が、弾性を有する導電性の電極針ホルダに着脱自在かつ弾力的に保持されていて、この電極針ホルダが、上記電極針カートリッジのハウジングから外部に突出する柱状の給電端子に着脱自在かつ弾力的に取り付けられていても良い。

あるいは、上記電極針挿入口が、入口側の大径部と奥側の小径部とからなり、また、上記電極針ホルダが、基端部にフランジ状の当接部を有していて、該当接部の直径が上記小径部の口径より大きく形成され、該電極針ホルダに保持された電極針を上記電極針挿入口からエア噴出口内に挿入したとき、上記当接部が上記小径部の口縁に当接、係止して該電極針ホルダの前方への移動が規制されるように構成されていても良い。

また、本発明において好ましくは、上記電極針カートリッジと本体ブロックとを連結状態にロックするためのロック部材を有し、該ロック部材は、上記高電圧発生装置が電源に接続されている状態ではロック解除のための操作が規制されるように構成されていることである。

より好ましくは、上記電極針カートリッジが、電源ケーブルに取り付けられた給電コネクタを接続するための受電コネクタを有し、上記ロック部材が、上記電極針カートリッジに回転自在に支持された主軸部と、該主軸部の往復回転により上記本体ブロックに係脱するフック部と、該主軸部を回転操作するハンドル部とを有していて、該ハンドル部を上記受電コネクタの接続口に近接させて配設することにより、該受電コネクタに給電コネクタが接続されているときには該給電コネクタによって上記ハンドル部のロック解除方向への回転が規制されるように構成されていることである。

本発明のイオナイザは、電極針カートリッジに電極針と高電圧発生装置とを設け、本体ブロックにエア噴出口とエア通孔と接続ポートとを設けたことにより、電気関係の部品及び部分とエア関係の部品及び部分とを別々の部材に合理的に配分して担持させることができ、この結果、上述した従来の問題点が解消され、全体の構成が簡略化されると同時に、電極針の着脱を簡単かつ安全に行うことができる。

図１〜図１１は本発明に係るイオナイザの一実施形態を示すものである。このイオナイザは、交流の高電圧を電極針に印加してイオンを発生させる交流方式のイオナイザであって、イオン発生用の電極針３を備えた電極針カートリッジ１と、上記電極針３で発生したイオンによってイオン化したエアをワークに向けて噴射するためのノズル４を備えた本体ブロック２とによって構成されている。

上記本体ブロック２は、合成樹脂等の電気絶縁性材料からなっていて、図４から良く分かるように、該本体ブロック２の下半部を前後方向に細長く延びるベース部６と、該ベース部６の上方に区画、形成されて上記電極針カートリッジ１を受容するカートリッジ受容部７とを有し、側面から見た場合の外形形状が前後方向に長い矩形をなしている。

上記ベース部６の先端部には、上向きに立ち上がった凸段部８が形成されていて、該ベース部６の上面６ａは、この凸段部８の上面も含めて、該ベース部６の前後方向には凹凸のない実質的に平坦な面に形成されている。
上記ベース部６の前端面には、上記凸段部８と対応する位置に円筒形をしたエア噴射用の上記ノズル４が取り付けられている。このノズル４は導電性のもので、接地用のグランド電極を兼ねるものであり、このノズル４が、上記ベース部６に形成されたノズル取付孔５内に挿入され、係止金具４ａで固定されると共に、本体ブロック２に設けられた図示しない接地部に接続されている。上記ノズル４の内部には、電極針収容室を兼ねる円形のエア噴出口９が設けられると共に、このエア噴出口９の内周を取り囲むように電気絶縁性のスリーブ１０が取り付けられている。また、上記凸段部８の後端面には、上記ノズル４のエア噴出口９に対して上記電極針３を挿脱するための電極針挿入口１１が、該エア噴出口９と同心状に設けられている。この電極針挿入口１１は、入口側の大径部１１ａと、その奥側の小径部１１ｂとからなっている。

上記ノズル４と電極針挿入口１１の小径部１１ｂとの間の位置には、上記エア噴出口９に通じるエア通孔１２が形成されている。このエア通孔１２は、上記ノズル４と電極針挿入口１１との間の位置から一旦下向きに延びたあと、横向きに折れ曲がって上記ベース部６の内部を後方に向けて延び、該ベース部６の後端部に形成されたエア配管用の接続ポート１３に連通している。この接続ポート１３には、簡易接続形の管継手１４が取り付けられ、この管継手１４に配管チューブを差し込むだけで、該配管チューブが抜止状態に接続されるようになっている。
従って、上記配管チューブからエア通孔１２に圧力エアが供給されると、このエアは、上記ノズル４のエア噴出口９からワークに向けて噴射されることになる。

上記カートリッジ受容部７は、側面カバー１６を有している。この側面カバー１６は、図２及び図４から明らかなように、該カートリッジ受容部７の一方の側面を覆う側壁部分１６ａと、前面を覆う前壁部分１６ｂと、上面の一部を覆う上壁部分１６ｃとからなるもので、このカートリッジ受容部７の他方の側面と後面とに対応する部分は開放している。そして、上記電極針カートリッジ１を、上記ベース部６の上面６ａに載置し、この上面６ａをガイドとして非回転状態で前方にスライドさせ、上記側面カバー１６の内部に嵌合させることにより、該電極針カートリッジ１が上記カートリッジ受容部７に受容されて本体ブロック２に連結されるようになっている。上記電極針カートリッジ１を本体ブロック２から分離するときは、上述した連結時の操作とは逆の操作を行えば良い。
上記の如く電極針カートリッジ１を本体ブロック２に連結してイオナイザを組み立てたとき、これらの電極針カートリッジ１と本体ブロック２とによってイオナイザ全体の形は矩形のブロック形となる。

上記電極針カートリッジ１は、図３及び図４から明らかなように、合成樹脂等の電気絶縁性材料で形成されたハウジング２０に、上記電極針３と、該電極針３に高電圧を印加するための高電圧発生装置２１と、この高電圧発生装置２１が取り付けられているプリント配線基板２２と、電源ケーブル２３に取り付けられた給電コネクタ２４を接続するための受電コネクタ２５とを設けることにより構成されている。

上記ハウジング２０は、実質的に矩形またはそれに類似する断面形状の箱形をなすもので、左右２つの皿形のハウジング部材を相互に突き合わせて結合することにより形成されており、上記本体ブロック２の前後方向長さに近似する前後方向長さと、上記カートリッジ受容部７の高さに近似する高さとを有し、該ハウジング２０の先端部下面には、上記本体ブロック２の凸段部８と相互に嵌合、当接し合う凹段部２６が形成されている。これらの凸段部８と凹段部２６とは、互いの高さがほぼ同じであると共に、前後方向長さもほぼ同じである。また、該ハウジング２０の下面２０ａは、上記凹段部２６の下面も含めて、後述するロック部材２７が取り付けられている部分を除き、該ハウジング２０の前後方向には凹凸のない実質的に平坦な面に形成されている。

上記ハウジング２０には、上記凹段部２６の縦向きの段壁２６ａに、給電端子３０と電極針ホルダ３１とを介して上記電極針３が着脱自在に取り付けられている。
上記給電端子３０は、金属等の導電性材料により形成されたもので、図５及び図６から明らかなように、その先端側から順次、柱状好ましくは円柱状をした電極針取付軸部３０ａと、外周にＯリング３２が取り付けられたシール用円板部３０ｂと、ハウジング２０の上記段壁２６ａの取付孔２６ｂ内に嵌合する嵌合軸部３０ｃと、上記ハウジング２０の内面に当接、係止するフランジ状の係止部３０ｄと、高電圧発生装置２１に接続するための接続軸部３０ｅとを一体に有し、該接続軸部３０ｅに取り付けられたクリップ式の給電プレート３３を介して上記基板２２上の端子接続部２２ａに電気接続されている。上記給電プレート３３は、弾性を有する金属板によって断面略Ｕ字状に形成されたもので、上記接続軸部３０ｅと端子接続部２２ａとに弾力的に挟着されている。
かくして上記給電端子３０をハウジング２０に取り付けたとき、上記円板部３０ｂは上記段壁２６ａの外部前方に位置し、上記取付軸部３０ａがこの円板部３０ｂの前面中央から前方に向けて同心状に延出している。

上記取付孔２６ｂは、ハウジング２０における左右のハウジング部材の合わせ目に、これらのハウジング部材に形成された半孔を相互に突き合わせることによって形成されたもので、その際これらの半孔間に上記嵌合軸部３０ｃを嵌合、挟持させることにより、この嵌合軸部３０ｃが上記取付孔２６ｂ内に取り付けられている。

また、上記電極針ホルダ３１は、金属などの導電性と弾性とを有する材料により形成された円筒状の部材であって、先端に次第に先細りをなすように傾斜する円錐状の抜止部３１ａを有すると共に、後端に外周方向に張り出したフランジ状の当接部３１ｂを有し、側面に該電極針ホルダ３１の軸方向に延びる切れ目を有し、この切れ目によって該電極針ホルダ３１の径が、電極針３及び給電端子３０の電極針取付軸部３０ａに合わせて弾力的且つ自動的に調整されるようになっている。上記当接部３１ｂの直径Ｄは、上記本体ブロック２の小径部１１ｂの口径ｄより大きく形成されている。

一方、上記電極針３は、上記電極針ホルダ３１に密に嵌合して電気接触する円柱状の本体部３ａと、次第に先細りをなすように傾斜する円錐状の先端部３ｂとを有するもので、上記電極針ホルダ３１にその後端部側から挿入され、先端部３ｂを該電極針ホルダ３１の上記抜止部３１ａに係止させることにより、前方への抜け出しが防止された状態で該電極針ホルダ３１に着脱自在に保持されている。

そして、上記電極針３を保持させた電極針ホルダ３１を、その当接部３１ｂが円板部３０ｂに当接する位置まで上記取付軸部３０ａに嵌合させることにより、該電極針ホルダ３１を介して上記電極針３が、上記給電端子３０に取り付けられている。この場合、上記電極針３は、凹段部２６の領域内に位置して先端部３ｂがハウジング２０よりも前方に突出しないようにしておくことが望ましい。

この構成により、上記電極針カートリッジ１のハウジング２０の下面２０ａを上記本体ブロック２のベース部６の上面６ａに当接させ、図４に矢印で示すように、該電極針カートリッジ１を前方にスライドさせて上記本体ブロック２に連結することにより、上記電極針３が、電極針挿入口１１からノズル４の内部に挿入され、該電極針３の先端部３ｂが上記エア噴出口９の内部、特にスリーブ１０の内部に位置することになる。このとき、上記円板部３０ｂは、上記電極針挿入口１１の大径部１１ａ内に嵌合し、Ｏリング３２が該円板部３０ｂの外周と大径部１１ａの内周との間をシールする。
また、電極針ホルダ３１の当接部３１ｂは、小径部１１ｂの口縁に当接して係止すると共に、該口縁と上記円板部３０ｂとの間に挟持され、それにより、該電極針ホルダ３１が上記小径部１１ｂを通り抜けてノズル４側に移動するのが防止される。

上記電極針３のメンテナンスを行うときは、上記電極針カートリッジ１をベース部６の上面６ａに沿って後方にスライドさせ、上記本体ブロック２から取り外すと、上記電極針３がノズル４から後方に抜き取られるので、該電極針３の汚れの除去や交換等を行うことができる。

上記高電圧発生装置２１は、プリント配線された上記基板２２上に搭載され、この基板２２を介して上記ハウジング２０の内部に設けられている。また、該ハウジング２０の後端部には、上記受電コネクタ２５がその接続口２５ａを該ハウジング２０の後方に向けて取り付けられ、基板２２上のプリント配線を介して上記高電圧発生装置２１に接続されている。

また、上記電極針カートリッジ１のハウジング２０の後端部には、この電極針カートリッジ１と上記本体ブロック２とを連結状態にロックするための上記ロック部材２７が設けられている。このロック部材２７は、上記ハウジング２０に前後方向の軸線Ｌを中心に回転自在なるように支持された主軸部２７ａと、この主軸部２７ａの先端に該主軸部の側方に突出するように形成され、該主軸部２７ａの往復回転により上記本体ブロック２の係止孔３６に係脱するフック部２７ｂと、該主軸部２７ａの後端部に、上記フック部２７ｂとは軸線Ｌの回りに９０度異なる角度を保って側方に突出するように形成され、該主軸部２７ａを回転操作するハンドル部２７ｃとを有するもので、上記受電コネクタ２５に近接する位置に配設されている。

そして、図３及び図１１に示すように上記フック部２７ｂが係止孔３６に係止するロック状態では、図１０に示すように、上記ハンドル部２７ｃが受電コネクタ２５の接続口２５ａの横に位置して該接続口２５ａから待避するロック位置を占め、図７及び図９に示すように上記フック部２７ｂが係止孔３６から外れてロックが解除された状態では、図７及び図８に示すように、上記ハンドル部２７ｃが受電コネクタ２５の接続口２５ａの前方にあって該接続口２５ａの一部を覆うロック解除位置を占めるようになっている。従って、上記ハンドル部２７ｃが上記ロック位置にあるときは、上記受電コネクタ２５に対して給電コネクタ２４を自由に着脱することができ、上記ハンドル部２７ｃが上記ロック解除位置にあるときは、受電コネクタ２５に給電コネクタ２４を接続することができない。

換言すれば、上記電極針３のメンテナンスを行うに当たって電極針カートリッジ１を本体ブロック２から取り外す場合、上記受電コネクタ２５に給電コネクタ２４が接続されているとき、つまり高電圧発生装置２１が電源に接続されている状態では、上記給電コネクタ２４によってハンドル部２７ｃの回転操作が規制されるため、ロック位置にある該ハンドル部２７ｃをロック解除位置へと回転させることができない。このため、電極針３への通電状態のまま電極針カートリッジ１を取り外してしまうといったような危険性が防止され、安全性が高い。
しかし、上記給電コネクタ２４を受電コネクタ２５から取り外せば、上記ハンドル部２７ｃをロック解除位置へと回転させることができるため、電極針カートリッジ１を取り外して安全に電極針３のメンテナンスを行うことができる。

上記構成を有するイオナイザは、電源ケーブル２３の給電コネクタ２４を受電コネクタ２５に接続すると共に、配管用接続ポート１３にエア配管チューブを接続して使用する。その使用時に上記ロック部材２７は、ハンドル部２７ｃが図１０のようにロック位置を占め、フック部２７ｂが本体ブロック２の係止孔３６に係止して該本体ブロック２と電極針カートリッジ１とを連結状態にロックしている。

この状態で電源をオンにすると、高電圧発生装置２１から電極針３に向けて交流の高電圧が印加され、該電極針３がコロナ放電を生じて正負のイオンが交互に発生する。
一方、上記ノズル４にはエア通孔１２を通じてエアが供給され、このエアが上記エア噴出口９から噴出するが、このエアが、上記電極針３から発生したイオンを取り込んでイオン化エアとなり、その状態でワークに向けて噴射されることになる。

上記電極針３が汚れてメンテナンスの必要性が生じたときは、図７に示すように、上記給電コネクタ２４を受電コネクタ２５から取り外したあと、上記ロック部材２７のハンドル部２７ｃをロック解除位置へと回転させることによってロックを解除し、図４に示すように、電極針カートリッジ１を後方にスライドさせて本体ブロック２から取り外し、電極針３の清掃又は交換を行う。その清掃又は交換のために上記電極針３を取り外す場合は、図５及び図６に示すように、電極針ホルダ３１を給電端子３０の電極針取付軸部３０ａから抜き取り、この電極針ホルダ３１から電極針３を抜き取れば良い。
この場合、上記電極針ホルダ３１が弾性を有すると共に軸方向の切れ目を有しているため、上記電極針３の着脱や電極針取付軸部３０ａに対する着脱が容易である。

このように、上記構成を有するイオナイザは、電極針カートリッジ１に電極針３と高電圧発生装置２１と受電コネクタ２５とを設け、本体ブロック２にエア噴出口９とエア通孔と接続ポート１３とを設けたことにより、電気関係の部品及び部分とエア関係の部品及び部分とを別々の部材に合理的に配分して担持させることができたものであり、この結果、全体の構成が簡略化されると同時に、電極針カートリッジ１と本体ブロック２との着脱を簡単かつ安全に行うことができる。しかも、ロック部材２７によって電極針カートリッジ１と本体ブロック２との分離を安全に行うことができるため、電極針３のメンテナンス時の安全性にも勝れるものである。

なお、上記実施形態のものは交流方式のイオナイザであるが、本発明は直流方式のイオナイザにも適用することができる。この場合、上記電極針カートリッジ１に正負２つの電極針３が保持され、本体ブロック２のエア噴出口９にこれらの電極針３が収容される。

また、図示した実施形態においては、ノズル４が導電性を有していて、グランド電極を兼ねているが、このノズル４を合成樹脂等の非導電性素材で形成し、グランド電極は別に設けても良い。例えば、図１２に示すように、合成樹脂からなる円筒形のノズル４に、導電性のグランド電極３７を保持させても良い。この場合、該グランド電極３７は、円筒形であることが望ましいが、必ずしも断面が完全に円形である必要はなく、側面に軸線方向の切れ目を有する断面Ｃ字形のものであっても良く、あるいは、図示したように、断面形状が円弧状やそれに類似する形状をした複数（例えば２〜４個）のグランド電極３７を、相互間に隙間を介在させた状態で略円筒状に並べて保持させても構わない。
上記各グランド電極３７は、上記ノズル４の内周や外周あるいは肉厚内に取り付けることができる。このグランド電極３７を図１２に示すようにノズル４の内周に取り付ける場合には、電極針３との接触を避けるため、このグランド電極３７の内周に沿って電気絶縁性のスリーブを必要に応じて取り付けても良い。
なお、図中の符号３は電極針、９はエア噴出口、３１は電極針ホルダである。

本発明に係るイオナイザの一実施形態を示す側面図である。 図１のイオナイザの後面図である。 図１の縦断側面図である。 上記イオナイザにおける電極針カートリッジと本体ブロックとを分離した状態の側面図である。 電極針を取り外した状態の電極針カートリッジの部分側面図である。 電極針の取り付けに関連する部品を分解して示す電極針カートリッジの部分側面図である。 図１の要部拡大断面図で、図３とは異なる動作状態を示す図である。 イオナイザの後面図で、図２とは異なる動作状態を示す図である。 図８の動作状態での内部構造を示す要部断面図である。 給電コネクタを接続した状態でのイオナイザの後面図である。 図１０の動作状態での内部構造を示す要部断面図である。 ノズルの別構成例を示す断面図である。

符号の説明

１ 電極針カートリッジ
２ 本体ブロック
３ 電極針
６ ベース部
６ａ 上面
７ カートリッジ受容部
８ 凸段部
９ エア噴出口
１１ 電極針挿入口
１１ａ 大径部
１１ｂ 小径部
１２ エア通孔
１３ 接続ポート
２０ ハウジング
２１ 高電圧発生装置
２３ 電源ケーブル
２４ 給電コネクタ
２５ 受電コネクタ
２５ａ 接続口
２６ 凹段部
２７ ロック部材
２７ａ 主軸部
２７ｂ フック部
２７ｃ ハンドル部
３１ 電極針ホルダ
３１ｂ 当接部

Claims (8)

1. イオン発生用の電極針を備えた電極針カートリッジと、電極針収容室を兼ねるエア噴出口を備えた本体ブロックとを、上記電極針を該エア噴出口内に挿入した状態で分離自在に連結することにより構成され、かつ、これらの電極針カートリッジと本体ブロックとを連結及び分離する際に、上記電極針が、上記エア噴出口内に、該エア噴出口の後端部側の電極針挿入口から挿脱されるように構成されたイオナイザにおいて、
   上記電極針カートリッジに、着脱自在の上記電極針と、該電極針に高電圧を印加するための高電圧発生装置とを設け、上記本体ブロックには、上記エア噴出口にエアを供給するためのエア通孔と、該エア通孔にエア配管を接続するための接続ポートとを設けてなることを特徴とするイオナイザ。
2. 上記電極針カートリッジを非回転のまま前後方向にスライドさせるだけで、該電極針カートリッジが上記本体ブロックに対して着脱されると共に、上記電極針が上記エア噴出口内に挿脱されるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載のイオナイザ。
3. 上記本体ブロックの前端部と電極針カートリッジの前端部とに、連結時に相互に当接し合う凸段部と凹段部とが形成され、凸段部の位置に上記エア噴出口が形成されると共に、凹段部の位置に上記電極針が形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のイオナイザ。
4. 上記本体ブロックが、上記エア噴出口とエア通孔と接続ポートとが設けられたベース部と、該ベース部上に位置して上記電極針カートリッジを受容するカートリッジ受容部とを有し、上記ベース部の先端部上面には、上向きに立ち上がった上記凸段部が形成され、この凸段部の前面に上記エア噴出口が設けられると共に、該凸段部の後面に上記電極針挿入口が該エア噴出口と同心状に設けられており、
   また、上記電極針カートリッジは、上記本体ブロックと近似する前後方向長さを有していて、先端部下面に上記凸段部に適合する上記凹段部を有すると共に、この凹段部の位置に上記電極針が前方に延出した状態に取り付けられ、上記本体ブロックに対し、上記ベース部の上面をガイドとして前後方向にスライドさせることにより着脱されるように構成されていることを特徴とする請求項３に記載のイオナイザ。
5. 上記電極針が、弾性を有する導電性の電極針ホルダに着脱自在かつ弾力的に保持されていて、この電極針ホルダが、上記電極針カートリッジのハウジングから外部に突出する柱状の給電端子に着脱自在かつ弾力的に取り付けられていることを特徴とする請求項１から４の何れかに記載のイオナイザ。
6. 上記電極針挿入口が、入口側の大径部と奥側の小径部とからなり、また、上記電極針ホルダが、基端部にフランジ状の当接部を有していて、該当接部の直径が上記小径部の口径より大きく形成され、該電極針ホルダに保持された電極針を上記電極針挿入口からエア噴出口内に挿入したとき、上記当接部が上記小径部の口縁に当接、係止して該電極針ホルダの前方への移動が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項５に記載のイオナイザ。
7. 上記電極針カートリッジと本体ブロックとを連結状態にロックするためのロック部材を有し、該ロック部材は、上記高電圧発生装置が電源に接続されている状態ではロック解除のための操作が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載のイオナイザ。
8. 上記電極針カートリッジが、電源ケーブルに取り付けられた給電コネクタを接続するための受電コネクタを有し、上記ロック部材が、上記電極針カートリッジに回転自在に支持された主軸部と、該主軸部の往復回転により上記本体ブロックに係脱するフック部と、該主軸部を回転操作するハンドル部とを有していて、該ハンドル部を上記受電コネクタの接続口に近接させて配設することにより、該受電コネクタに給電コネクタが接続されているときには該給電コネクタによって上記ハンドル部のロック解除方向への回転が規制されるように構成されていることを特徴とする請求項７に記載のイオナイザ。

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